JPH05117887A - 銅の洗浄方法 - Google Patents
銅の洗浄方法Info
- Publication number
- JPH05117887A JPH05117887A JP27588291A JP27588291A JPH05117887A JP H05117887 A JPH05117887 A JP H05117887A JP 27588291 A JP27588291 A JP 27588291A JP 27588291 A JP27588291 A JP 27588291A JP H05117887 A JPH05117887 A JP H05117887A
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- copper
- acid
- cleaning
- degreasing
- surfactant
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- Pending
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- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 液管理が容易で低コストであり、かつ安定な
品質を維持しうる銅の洗浄方法を提供する。 【構成】 銅の洗浄方法において、溶剤脱脂及びアルカ
リ脱脂により銅を脱脂し、次に酸と界面活性剤との混合
液により銅の酸洗浄を行った後に炭酸ナトリウムによる
銅の中和処理及び水洗を行い、更に８００℃〜９００℃
にて１０時間真空処理を行う。
品質を維持しうる銅の洗浄方法を提供する。 【構成】 銅の洗浄方法において、溶剤脱脂及びアルカ
リ脱脂により銅を脱脂し、次に酸と界面活性剤との混合
液により銅の酸洗浄を行った後に炭酸ナトリウムによる
銅の中和処理及び水洗を行い、更に８００℃〜９００℃
にて１０時間真空処理を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、銅や、銅を使用した部
材及び製品等における銅の洗浄方法に関する。
材及び製品等における銅の洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、銅は工業材料として各種製品や部
材等に広く利用されているが、これらの製品及び部材等
の付加価値の向上や、ロー付け、半田付けなどの表面活
性等に化学研磨が利用されている。
材等に広く利用されているが、これらの製品及び部材等
の付加価値の向上や、ロー付け、半田付けなどの表面活
性等に化学研磨が利用されている。
【０００３】このように種々の目的に使用される銅の化
学研磨方法としては、硝酸／塩酸液に代表されるキリン
ス浴が広く採用されているのが一般的である。
学研磨方法としては、硝酸／塩酸液に代表されるキリン
ス浴が広く採用されているのが一般的である。
【０００４】しかし、キリンス浴を行った場合、亜硝酸
ガスが発生し、また光沢のある均一な化学研磨を行うこ
とが非常に困難である。
ガスが発生し、また光沢のある均一な化学研磨を行うこ
とが非常に困難である。
【０００５】上記事情から、近年は銅製品専用の化学研
磨液が市販されるようになっており、このような市販化
学研磨液は、過酸化水素、硫酸及びインヒビーターとし
て非イオン系界面活性剤を添加した組成として、以下の
反応により銅の研磨を行っている。
磨液が市販されるようになっており、このような市販化
学研磨液は、過酸化水素、硫酸及びインヒビーターとし
て非イオン系界面活性剤を添加した組成として、以下の
反応により銅の研磨を行っている。
【０００６】Ｃu＋Ｈ2Ｏ2 → ＣuＯ＋Ｈ2Ｏ ＣuＯ＋２Ｈ+ → Ｃu2+＋Ｈ2Ｏ
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これら市販化
学研磨液の問題点は上記のように過酸化水素（Ｈ2Ｏ2）
を利用しているが、この過酸化水素は化学的に不安定な
物質であり、十分な液管理を必要とし、またコストも高
い。
学研磨液の問題点は上記のように過酸化水素（Ｈ2Ｏ2）
を利用しているが、この過酸化水素は化学的に不安定な
物質であり、十分な液管理を必要とし、またコストも高
い。
【０００８】本発明は上記背景の下になされたものであ
り、液管理が容易で低コストであり、かつ安定な品質を
維持しうる銅の洗浄方法を提供することを目的とする。
り、液管理が容易で低コストであり、かつ安定な品質を
維持しうる銅の洗浄方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段及び作用】上記課題を解決
するため、本発明者らは銅の汚損程度が比較的小さい場
合、その汚損の主原因は、銅が空気中の酸素と反応して
銅のごく表面部に生成される酸化第一銅(ＣuＯ)、及び製
品の加工時等に付着する切削油や加工油等であり、この
ような汚損の洗浄には化学研磨液のような過度の洗浄は
不要ではないかと考え、鋭意研究を重ねて本発明を完成
した。
するため、本発明者らは銅の汚損程度が比較的小さい場
合、その汚損の主原因は、銅が空気中の酸素と反応して
銅のごく表面部に生成される酸化第一銅(ＣuＯ)、及び製
品の加工時等に付着する切削油や加工油等であり、この
ような汚損の洗浄には化学研磨液のような過度の洗浄は
不要ではないかと考え、鋭意研究を重ねて本発明を完成
した。
【００１０】即ち、本発明は溶剤脱脂及びアルカリ脱脂
により銅を脱脂する第一工程と、酸と界面活性剤との混
合液により銅の酸洗浄を行う第二工程と、中和剤により
銅の中和処理を行った後に水洗を行う第三工程とにより
銅の洗浄を行うことを特徴とする。
により銅を脱脂する第一工程と、酸と界面活性剤との混
合液により銅の酸洗浄を行う第二工程と、中和剤により
銅の中和処理を行った後に水洗を行う第三工程とにより
銅の洗浄を行うことを特徴とする。
【００１１】また、上記銅の洗浄方法において、前記溶
剤脱脂を超音波洗浄により行って前記希酸として希硝酸
を用い、また前記界面活性剤として非イオン系の界面活
性剤を用いるとともに中和剤として炭酸ナトリウムを使
用し、更に前記第三工程を終えた後に８００℃〜９００
℃にて１０時間真空処理を行う銅の洗浄方法も提供され
る。
剤脱脂を超音波洗浄により行って前記希酸として希硝酸
を用い、また前記界面活性剤として非イオン系の界面活
性剤を用いるとともに中和剤として炭酸ナトリウムを使
用し、更に前記第三工程を終えた後に８００℃〜９００
℃にて１０時間真空処理を行う銅の洗浄方法も提供され
る。
【００１２】上記のように銅の洗浄を行うことで、容易
かつ低コストで、かつ銅の光沢性も良好な銅の洗浄を行
うことができる。
かつ低コストで、かつ銅の光沢性も良好な銅の洗浄を行
うことができる。
【００１３】以下、本発明について更に詳細に説明す
る。
る。
【００１４】本発明に係る銅の洗浄においては、まず溶
剤脱脂及びアルカリ脱脂により十分な脱脂を行う。この
際、脱脂効果を上げるために好ましくは溶剤脱脂を超音
波洗浄にて行う。また、アルカリ脱脂は液温度を５０℃
程度として行うことが好ましい。
剤脱脂及びアルカリ脱脂により十分な脱脂を行う。この
際、脱脂効果を上げるために好ましくは溶剤脱脂を超音
波洗浄にて行う。また、アルカリ脱脂は液温度を５０℃
程度として行うことが好ましい。
【００１５】次に、酸洗浄に使用する酸としてはブレン
ステッド酸を使用し、例えば塩酸、硫酸等の無機酸やカ
ルボン酸等の有機酸等が挙げられ、好ましくは硝酸、更
に好ましくは１０〜２０％程度の希硝酸を用いる。
ステッド酸を使用し、例えば塩酸、硫酸等の無機酸やカ
ルボン酸等の有機酸等が挙げられ、好ましくは硝酸、更
に好ましくは１０〜２０％程度の希硝酸を用いる。
【００１６】また、界面活性剤としては好ましくは酸の
影響が比較的小さい非イオン性界面活性剤を使用し、更
に好ましくはその使用量を前記酸に対して０.５〜１％
とする。
影響が比較的小さい非イオン性界面活性剤を使用し、更
に好ましくはその使用量を前記酸に対して０.５〜１％
とする。
【００１７】上記酸洗浄を行った後に中和剤による中和
処理及び水洗を行うが、この中和剤としては例えば弱塩
基や塩基性塩等が挙げられ、好ましくは炭酸ナトリウム
を使用する。
処理及び水洗を行うが、この中和剤としては例えば弱塩
基や塩基性塩等が挙げられ、好ましくは炭酸ナトリウム
を使用する。
【００１８】更に、好ましくは中和処理を終えた後に真
空処理を行い、更に好ましくは真空処理条件を８００℃
〜９００℃にて１０時間程度行うものとする。
空処理を行い、更に好ましくは真空処理条件を８００℃
〜９００℃にて１０時間程度行うものとする。
【００１９】
【実施例】本実施例においては、測定試料として真空遮
断機用銅部品を選択し、銅の光沢性を維持した酸洗浄を
行うために、以下の方法により洗浄を行った。
断機用銅部品を選択し、銅の光沢性を維持した酸洗浄を
行うために、以下の方法により洗浄を行った。
【００２０】まず、銅を脱脂するために溶剤脱脂として
超音波洗浄を行い、またアルカリ脱脂を液温５０℃にて
行った。
超音波洗浄を行い、またアルカリ脱脂を液温５０℃にて
行った。
【００２１】次に、硝酸及び界面活性剤により酸洗浄を
行った。この際、硝酸濃度は汚損の度合に関係なく１０
〜２０％程度とし、界面活性剤は酸に強い非イオン性界
面活性剤を用いて硝酸に０.５〜１％混合して用いた。
行った。この際、硝酸濃度は汚損の度合に関係なく１０
〜２０％程度とし、界面活性剤は酸に強い非イオン性界
面活性剤を用いて硝酸に０.５〜１％混合して用いた。
【００２２】更に、銅部品の光沢性を高めるために８０
０〜９００℃で１０時間真空処理を行った。
０〜９００℃で１０時間真空処理を行った。
【００２３】上記のように銅の洗浄を行うことにより、
光沢度の優れた銅部品が得られ、また市販の化学研磨液
の１０分の１程度と非常に安価に銅の洗浄を行うことが
できた。
光沢度の優れた銅部品が得られ、また市販の化学研磨液
の１０分の１程度と非常に安価に銅の洗浄を行うことが
できた。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、銅の洗浄に希酸と界面
活性剤を用いていることから、洗浄液の作製や交換を含
めた液管理が容易であり、かつ、ランニングコストも低
減される。
活性剤を用いていることから、洗浄液の作製や交換を含
めた液管理が容易であり、かつ、ランニングコストも低
減される。
【００２５】また、上記酸液に比較的安価な希硝酸を使
用することにより、市販されている化学研磨液の１０分
の１以下と非常に低いコストにて銅の洗浄を行うことが
できる。
用することにより、市販されている化学研磨液の１０分
の１以下と非常に低いコストにて銅の洗浄を行うことが
できる。
【００２６】更に、洗浄液を常温にて使用することがで
きるので容易かつ安価に銅を洗浄することが可能であ
り、また安定な品質を維持することができる。
きるので容易かつ安価に銅を洗浄することが可能であ
り、また安定な品質を維持することができる。
Claims (2)
- 【請求項１】 次の各工程からなる銅の洗浄方法。 （Ａ） 溶剤脱脂及びアルカリ脱脂により銅を脱脂する
第一工程。 （Ｂ） 酸と界面活性剤との混合液により銅の酸洗浄を
行う第二工程。 （Ｃ） 中和剤により銅の中和処理を行った後に水洗を
行う第三工程。 - 【請求項２】 請求項１記載の銅の洗浄方法において、
前記溶剤脱脂を超音波洗浄により行って前記酸として希
硝酸を用い、また前記界面活性剤として非イオン系の界
面活性剤を用いるとともに中和剤として炭酸ナトリウム
を使用し、更に前記第三工程を終えた後に８００℃〜９
００℃にて少なくとも１０時間真空処理を行うことを特
徴とする銅の洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27588291A JPH05117887A (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 銅の洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27588291A JPH05117887A (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 銅の洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05117887A true JPH05117887A (ja) | 1993-05-14 |
Family
ID=17561752
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27588291A Pending JPH05117887A (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 銅の洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05117887A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001181874A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-07-03 | Mitsubishi Electric Corp | 脱脂洗浄方法及び洗浄装置 |
| JP2008088526A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Kitz Corp | 水道メータなどの銅合金製材の再生処理方法 |
-
1991
- 1991-10-24 JP JP27588291A patent/JPH05117887A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001181874A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-07-03 | Mitsubishi Electric Corp | 脱脂洗浄方法及び洗浄装置 |
| JP2008088526A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Kitz Corp | 水道メータなどの銅合金製材の再生処理方法 |
| JP4717773B2 (ja) * | 2006-10-04 | 2011-07-06 | 株式会社キッツ | 水道メータなどの銅合金製材の再生処理方法 |
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