JPH05110377A - 弾性表面波フイルタ - Google Patents
弾性表面波フイルタInfo
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- JPH05110377A JPH05110377A JP26412691A JP26412691A JPH05110377A JP H05110377 A JPH05110377 A JP H05110377A JP 26412691 A JP26412691 A JP 26412691A JP 26412691 A JP26412691 A JP 26412691A JP H05110377 A JPH05110377 A JP H05110377A
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- electrode
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は通信等で特定周波数を通過させるた
めに使用される弾性表面波を通過させるために使用され
る弾性表面波フィルタに関し、電気的な結合を抑え、大
幅な帯域外減衰量を得ることを目的とする。 【構成】 １段目及び２段目の入力接地電極３４ａ，３
５ｂ，（３７ａ）と出力接地電極３５ａ，３４ｃ，３７
ａ，（３７ｂ）を導通させる。そして、１段目の入力接
地電極３４ａと２段目の出力接地電極３４ｂとを分離す
る。
めに使用される弾性表面波を通過させるために使用され
る弾性表面波フィルタに関し、電気的な結合を抑え、大
幅な帯域外減衰量を得ることを目的とする。 【構成】 １段目及び２段目の入力接地電極３４ａ，３
５ｂ，（３７ａ）と出力接地電極３５ａ，３４ｃ，３７
ａ，（３７ｂ）を導通させる。そして、１段目の入力接
地電極３４ａと２段目の出力接地電極３４ｂとを分離す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、通信等で特定周波数を
通過させるために使用される弾性表面波フィルタに関す
る。
通過させるために使用される弾性表面波フィルタに関す
る。
【０００２】近年、車載用や携帯用の電話等の各種通信
装置の小型化、軽量化が進むに伴い、高周波数帯のフィ
ルタとして弾性表面波デバイスが使用されてきている。
従って、このようなフィルタは、通過帯以外減衰量を大
きくする必要がある。
装置の小型化、軽量化が進むに伴い、高周波数帯のフィ
ルタとして弾性表面波デバイスが使用されてきている。
従って、このようなフィルタは、通過帯以外減衰量を大
きくする必要がある。
【０００３】
【従来の技術】図８に、従来の弾性波表面フィルタの構
成図を示す。図８において、弾性表面波フィルタ１
A は、例えば結晶方位がＹ軸３６°回転でＸ軸伝播のＬ
ｉＴａＯ3 （タンタル酸リチウム）の単結晶より形成さ
れる圧電基板２に、入力電極３及び出力電極がそれぞれ
接地電極（接続パッド）５に相対して、交互に配置され
る。すなわち、入力電極３は、入力接続パッド６より３
つの電極が延出しており、各電極間に２つの接地電極
（５ａ，５ｂ）が位置する。出力電極４は、出力接続パ
ッド７より２つの電極が延出し、各電極の両端に３つの
接地電極（５ｃ〜５ｅ）が位置する。そして、入力電極
３と出力側の接地電極５ｃ〜５ｅとがこれらより延出す
るくし形入力電極３ａを、また入力側接地電極５ａ，５
ｂと出力電極４とがこれらより延出するくし形出力電極
４ａを、互いに離間対向させてかみ合い状態で整合させ
て相対する。これら、入力電極３、出力電極４及びくし
形電極３ａ，４ａは、例えばアルミニウム等を圧電基板
２上に蒸着又はスパッタリングで金属層を形成し、フォ
トリソグラフィ技術により図８のパターンに形成するも
のである。例えば、くし形電極３ａ，４ａのピッチは９
００ＭＨｚの周波数帯の場合には約２．２μｍとなる。
成図を示す。図８において、弾性表面波フィルタ１
A は、例えば結晶方位がＹ軸３６°回転でＸ軸伝播のＬ
ｉＴａＯ3 （タンタル酸リチウム）の単結晶より形成さ
れる圧電基板２に、入力電極３及び出力電極がそれぞれ
接地電極（接続パッド）５に相対して、交互に配置され
る。すなわち、入力電極３は、入力接続パッド６より３
つの電極が延出しており、各電極間に２つの接地電極
（５ａ，５ｂ）が位置する。出力電極４は、出力接続パ
ッド７より２つの電極が延出し、各電極の両端に３つの
接地電極（５ｃ〜５ｅ）が位置する。そして、入力電極
３と出力側の接地電極５ｃ〜５ｅとがこれらより延出す
るくし形入力電極３ａを、また入力側接地電極５ａ，５
ｂと出力電極４とがこれらより延出するくし形出力電極
４ａを、互いに離間対向させてかみ合い状態で整合させ
て相対する。これら、入力電極３、出力電極４及びくし
形電極３ａ，４ａは、例えばアルミニウム等を圧電基板
２上に蒸着又はスパッタリングで金属層を形成し、フォ
トリソグラフィ技術により図８のパターンに形成するも
のである。例えば、くし形電極３ａ，４ａのピッチは９
００ＭＨｚの周波数帯の場合には約２．２μｍとなる。
【０００４】なお、両端のくし形入力入力電極３ａの両
最外端に帯域外抑圧度（減衰量）を良好ならしめるため
に反射くし形電極を配置する場合もある。
最外端に帯域外抑圧度（減衰量）を良好ならしめるため
に反射くし形電極を配置する場合もある。
【０００５】一方、図９に、従来のカスケード接続され
た弾性表面波フィルタの構成図を示す。図９（Ａ）に示
す弾性表面波フィルタ１B は、図８における帯域外減衰
量を良好にするために２段のカスケード接続したもので
あり、図９（Ｂ）は、図９（Ａ）のＡ部分の拡大図であ
る。
た弾性表面波フィルタの構成図を示す。図９（Ａ）に示
す弾性表面波フィルタ１B は、図８における帯域外減衰
量を良好にするために２段のカスケード接続したもので
あり、図９（Ｂ）は、図９（Ａ）のＡ部分の拡大図であ
る。
【０００６】図９（Ａ）において弾性表面波フィルタ１
B は、３入力２出力のものであり、入力電極１３は入力
接続パッド１６より３つの電極が延出しており、これら
と接地電極１５ａ〜１５ｃとが、それぞれくし形入力電
極１３ａを互いに離間対向させてかみ合い状態で整合さ
せて相対する。
B は、３入力２出力のものであり、入力電極１３は入力
接続パッド１６より３つの電極が延出しており、これら
と接地電極１５ａ〜１５ｃとが、それぞれくし形入力電
極１３ａを互いに離間対向させてかみ合い状態で整合さ
せて相対する。
【０００７】また、出力電極１４は出力接続パッド１７
より３つの電極が延出しており、これらと接地電極１５
ａ〜１５ｃとが、それぞれくし形出力電極１４ａを互い
に離間対向させてかみ合い状態で整合させて相対する。
より３つの電極が延出しており、これらと接地電極１５
ａ〜１５ｃとが、それぞれくし形出力電極１４ａを互い
に離間対向させてかみ合い状態で整合させて相対する。
【０００８】一方、入力電極１３及び出力電極１４のそ
れぞれの３つの電極間には接地電極１５ｄ〜１５ｇが配
置され、中間接続線１８ａ，１８ｂとの間で、くし形電
極１９ａ〜１９ｄを互いに離間対向させてかみ合い状態
で整合させて相対する。
れぞれの３つの電極間には接地電極１５ｄ〜１５ｇが配
置され、中間接続線１８ａ，１８ｂとの間で、くし形電
極１９ａ〜１９ｄを互いに離間対向させてかみ合い状態
で整合させて相対する。
【０００９】この場合、一部分を取り出せば、くし形入
力電極１３ａが一段目の入力電極となり、くし形電極１
９ａが一段目の出力電極、くし形電極１９ｄが二段目の
入力電極、１４ａが二段目の出力電極となる。
力電極１３ａが一段目の入力電極となり、くし形電極１
９ａが一段目の出力電極、くし形電極１９ｄが二段目の
入力電極、１４ａが二段目の出力電極となる。
【００１０】ここで、図９（Ｂ）に示すように、接地電
極１５ａと１５ｄとは導通状態で接地される。
極１５ａと１５ｄとは導通状態で接地される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図９に示す
ような弾性表面波フィルタ１B は、例えば８００ＭＨｚ
の周波数帯で使用する場合としては、帯域外減衰量が２
０〜３５ｄＢ、比帯域幅３％以上の特性を有する。
ような弾性表面波フィルタ１B は、例えば８００ＭＨｚ
の周波数帯で使用する場合としては、帯域外減衰量が２
０〜３５ｄＢ、比帯域幅３％以上の特性を有する。
【００１２】しかし、通信機等の性能向上のためには帯
域外減衰量が３５〜５０ｄＢ必要であり、図９の弾性表
面波フィルタ１B では、入出力電極１３ａ，１４ａ間又
は次段との電極間で電圧が廻り込み、静電気的結合が大
きくなり、大幅な帯域外減衰量を得ることができないと
いう問題がある。
域外減衰量が３５〜５０ｄＢ必要であり、図９の弾性表
面波フィルタ１B では、入出力電極１３ａ，１４ａ間又
は次段との電極間で電圧が廻り込み、静電気的結合が大
きくなり、大幅な帯域外減衰量を得ることができないと
いう問題がある。
【００１３】そこで、本発明は上記課題に鑑みなされた
もので、電気的な結合を抑え、大幅な帯域外減衰量を得
る弾性表面波フィルタを提供することを目的とする。
もので、電気的な結合を抑え、大幅な帯域外減衰量を得
る弾性表面波フィルタを提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記課題は、圧電基板上
に、入力電極及び出力電極と接地された入出力の接地電
極とを、くし形電極を互いに離間対向させてかみ合い状
態で整合させ、交互に多段で配設した弾性表面波フィル
タにおいて、１段及び次段の前記入力電極に整合された
前記入力接地電極と、前記出力電極に整合された前記出
力接地電極とを、それぞれ導通させると共に、該１段の
入力接地電極と該次段の出力接地電極とを分離すること
により解決され、適宜、該１段の入力接地電極及び出力
接地電極と、該次段の入力接地電極及び出力接地電極と
を分離し、又は、該１段の出力接地電極及び次段の入力
接地電極をそれぞれ非接地の中間電極とする。
に、入力電極及び出力電極と接地された入出力の接地電
極とを、くし形電極を互いに離間対向させてかみ合い状
態で整合させ、交互に多段で配設した弾性表面波フィル
タにおいて、１段及び次段の前記入力電極に整合された
前記入力接地電極と、前記出力電極に整合された前記出
力接地電極とを、それぞれ導通させると共に、該１段の
入力接地電極と該次段の出力接地電極とを分離すること
により解決され、適宜、該１段の入力接地電極及び出力
接地電極と、該次段の入力接地電極及び出力接地電極と
を分離し、又は、該１段の出力接地電極及び次段の入力
接地電極をそれぞれ非接地の中間電極とする。
【００１５】
【作用】上述のように、１段目及び次段の出力接地電極
及び入力接地電極を導通させ、一例として１段目の入力
接地電極と次段の出力接地電極とを分離する。
及び入力接地電極を導通させ、一例として１段目の入力
接地電極と次段の出力接地電極とを分離する。
【００１６】すなわち、入出力の接地電極を分離するこ
とは、入力電極に高周波電圧を印加した場合に、フィル
タ素子内で１段の出力電極や次段の入力電極等へ電圧の
廻り込みが抑えられる。これにより、大幅な帯域外減衰
量を得ることが可能となる。また、１段出力接地電極及
び次段の入力接地電極を非接地状態の中間電極とするこ
とによっても、フィルタ素子内での他電極への高周波印
加電圧の廻り込みが抑えられ、大幅の帯域外減衰量を得
ることが可能となる。
とは、入力電極に高周波電圧を印加した場合に、フィル
タ素子内で１段の出力電極や次段の入力電極等へ電圧の
廻り込みが抑えられる。これにより、大幅な帯域外減衰
量を得ることが可能となる。また、１段出力接地電極及
び次段の入力接地電極を非接地状態の中間電極とするこ
とによっても、フィルタ素子内での他電極への高周波印
加電圧の廻り込みが抑えられ、大幅の帯域外減衰量を得
ることが可能となる。
【００１７】
【実施例】図１に、本発明の一実施例の構成図を示す。
図１において、弾性表面波フィルタ３０は、３入力２出
力の多電極フィルタを２段にカスケード接続したもので
ある。圧電基板３１上に、入力パッド３２より３つの１
段目の入力電極３２ａが形成され、また、出力パッド３
３より３つの２段目の出力電極３３ａが形成される。
図１において、弾性表面波フィルタ３０は、３入力２出
力の多電極フィルタを２段にカスケード接続したもので
ある。圧電基板３１上に、入力パッド３２より３つの１
段目の入力電極３２ａが形成され、また、出力パッド３
３より３つの２段目の出力電極３３ａが形成される。
【００１８】入力電極３２ａ及び出力電極３３ａは、接
地電極３４（３４ａ〜３４ｃ）と、くし形電極を互いに
離間対向させてかみ合い状態で整合される。この場合、
３４ａが１段の入力接地電極、３４ｂが２段の出力接地
電極、３４ｃが共通接地電極である。
地電極３４（３４ａ〜３４ｃ）と、くし形電極を互いに
離間対向させてかみ合い状態で整合される。この場合、
３４ａが１段の入力接地電極、３４ｂが２段の出力接地
電極、３４ｃが共通接地電極である。
【００１９】一方、１段目の入力電極３２ａの間には接
地電極３４（３５ａ，３５ｂ）が形成され、１段目の出
力電極３６とくし形電極で整合される（図２において説
明する）。また、２段目の出力電極３３ａの間には接地
電極３７（３７ａ，３７ｂ）が形成され、２段目の入力
電極３８とくし形電極で整合される。なお、１段目の出
力電極３６は２段目の入力電極３８とは連絡線３９によ
り接続される。
地電極３４（３５ａ，３５ｂ）が形成され、１段目の出
力電極３６とくし形電極で整合される（図２において説
明する）。また、２段目の出力電極３３ａの間には接地
電極３７（３７ａ，３７ｂ）が形成され、２段目の入力
電極３８とくし形電極で整合される。なお、１段目の出
力電極３６は２段目の入力電極３８とは連絡線３９によ
り接続される。
【００２０】ここで、図２に、図１における接地電極の
第１の例の部分図を示す。図２において、１段目の入力
接地電極３４ａは接地電極３５ｂと導通され、１段目の
出力接地電極３５ａが共通接地電極３４ｃに導通され
る。なお、図示しないが、２段目の出力接地電極３４ｂ
は接地電極３７ｂに導通され、２段目の入力接地電極３
７ａが共通接地電極３４ｃに導通される。
第１の例の部分図を示す。図２において、１段目の入力
接地電極３４ａは接地電極３５ｂと導通され、１段目の
出力接地電極３５ａが共通接地電極３４ｃに導通され
る。なお、図示しないが、２段目の出力接地電極３４ｂ
は接地電極３７ｂに導通され、２段目の入力接地電極３
７ａが共通接地電極３４ｃに導通される。
【００２１】すなわち、１段目と２段目の入力接地電極
３４ａ，３７ａと出力接地電極３５ｂ、３４ｂを導通さ
せて、１段目の入力接地電極３４ａ（３５ｂ）と２段目
の出力接地電極３４ｂ（３７ａ）とを、共通接地電極３
４ｃに導通された１段目の出力接地電極３５ａ及び２段
目の入力接地電極３７ａから分離して共通接地しないよ
うにしたものである。
３４ａ，３７ａと出力接地電極３５ｂ、３４ｂを導通さ
せて、１段目の入力接地電極３４ａ（３５ｂ）と２段目
の出力接地電極３４ｂ（３７ａ）とを、共通接地電極３
４ｃに導通された１段目の出力接地電極３５ａ及び２段
目の入力接地電極３７ａから分離して共通接地しないよ
うにしたものである。
【００２２】このような弾性表面波フィルタ３０は、例
えば、厚さ５００μｍ、Ｙ軸３６°回転Ｘ軸伝播のＬｉ
ＴａＯ3 の圧電基板３１上に、上述の入力パッド３２、
出力パッド３３及びくし形の多電極を、ＡｌＣｕ（アル
ミニウム・銅）を２００ｎｍ程度にスパッタリングし
て、フォトリフソグラフィ技術により同時に形成するも
のである。この場合のくし形電極のピッチは通過させる
周波数帯により決定され、例えば９００ＭＨｚ周波数帯
の場合には約２．２μｍのピッチにされる。
えば、厚さ５００μｍ、Ｙ軸３６°回転Ｘ軸伝播のＬｉ
ＴａＯ3 の圧電基板３１上に、上述の入力パッド３２、
出力パッド３３及びくし形の多電極を、ＡｌＣｕ（アル
ミニウム・銅）を２００ｎｍ程度にスパッタリングし
て、フォトリフソグラフィ技術により同時に形成するも
のである。この場合のくし形電極のピッチは通過させる
周波数帯により決定され、例えば９００ＭＨｚ周波数帯
の場合には約２．２μｍのピッチにされる。
【００２３】なお、圧電基板３１の端部であって、接地
電極３４の両端に一般に配設されるくし形反射器を配置
してもよい。
電極３４の両端に一般に配設されるくし形反射器を配置
してもよい。
【００２４】また、図３に、図１の配線の概念図を示
す。図３において、上述した弾性表面波フィルタ３０
は、キャンパッケージ（又はセラミックパッケージ）の
基台４１上に搭載され、入力パッド３２及び出力パッド
をピン端子４２ａ，４２ｂにワイヤ（例えばアルミニウ
ム）４３により接続される。また、接地電極３４，３
５，３７の分離されたそれぞれをワイヤ４３により基台
４１に接続されて、フィルタ特性を得るものである。
す。図３において、上述した弾性表面波フィルタ３０
は、キャンパッケージ（又はセラミックパッケージ）の
基台４１上に搭載され、入力パッド３２及び出力パッド
をピン端子４２ａ，４２ｂにワイヤ（例えばアルミニウ
ム）４３により接続される。また、接地電極３４，３
５，３７の分離されたそれぞれをワイヤ４３により基台
４１に接続されて、フィルタ特性を得るものである。
【００２５】このような弾性表面波フィルタは、１段目
の入力電極３２ａに高周波電圧が加わると、弾性表面波
が励振され、１段目の出力電極３６に入射する。そこ
で、音響エネルギーは電気エネルギーに変換され、２段
目の入力電極３８に電気エネルギーが入力する。そし
て、再び電気エネルギーが音響エネルギー（弾性表面
波）に変換され２段目の出力電極３３ａに入射し、電気
信号が取り出される。
の入力電極３２ａに高周波電圧が加わると、弾性表面波
が励振され、１段目の出力電極３６に入射する。そこ
で、音響エネルギーは電気エネルギーに変換され、２段
目の入力電極３８に電気エネルギーが入力する。そし
て、再び電気エネルギーが音響エネルギー（弾性表面
波）に変換され２段目の出力電極３３ａに入射し、電気
信号が取り出される。
【００２６】一般に、導体間は容量結合しており、図１
に示す電極間には各段で静電的容量で結合されているこ
ととなる（図７参照）。従って、総ての接地電極３４，
３５，３７を圧電基板３１上で共通にすると、入力印加
電圧は、１段目の入力電極３２ａだけでなく、隣接する
１段目の出力電極３６や２段目の入力電極３８にも同時
に電圧が印加されることとなる。
に示す電極間には各段で静電的容量で結合されているこ
ととなる（図７参照）。従って、総ての接地電極３４，
３５，３７を圧電基板３１上で共通にすると、入力印加
電圧は、１段目の入力電極３２ａだけでなく、隣接する
１段目の出力電極３６や２段目の入力電極３８にも同時
に電圧が印加されることとなる。
【００２７】本発明の弾性表面波フィルタ３０は、接地
電極を上述のように圧電基板３１上で分離することによ
り、静電気的な結合容量が抑えられ、他の出力電極３６
や入力電極３８に廻り込む電圧を低減することができ
る。これにより、帯域外減衰量を３５〜４０ｄＢ程度
（図９は２０〜３５ｄＢ）に改善することができる（図
６、Ａ，Ｂ参照）。
電極を上述のように圧電基板３１上で分離することによ
り、静電気的な結合容量が抑えられ、他の出力電極３６
や入力電極３８に廻り込む電圧を低減することができ
る。これにより、帯域外減衰量を３５〜４０ｄＢ程度
（図９は２０〜３５ｄＢ）に改善することができる（図
６、Ａ，Ｂ参照）。
【００２８】次に、図４に、図１における接地電極の第
２の例の部分図を示す。図４は図１の共通接地電極３４
ｃを分離して共通接地電極３４ｃ1 ，３４ｃ2 としたも
ので、共通接地電極３４ｃ1 と１段目の出力接地電極３
５ａとを導通し、共通接地電極３４ｃ2 と２段目の入力
接地電極３７ａとを導通させたものである。
２の例の部分図を示す。図４は図１の共通接地電極３４
ｃを分離して共通接地電極３４ｃ1 ，３４ｃ2 としたも
ので、共通接地電極３４ｃ1 と１段目の出力接地電極３
５ａとを導通し、共通接地電極３４ｃ2 と２段目の入力
接地電極３７ａとを導通させたものである。
【００２９】すなわち、１段目の出力接地電極３５ａと
２段目の入力接地電極３７ａとを分離したものである。
２段目の入力接地電極３７ａとを分離したものである。
【００３０】これによれば、電極間の静電気的な容量結
合がさらに抑えられ、他の出力電極３６や入力電極３８
に廻り込む電圧がさらに低減される。これにより、帯域
外減衰量を４０〜５０ｄＢまで改善することができる。
合がさらに抑えられ、他の出力電極３６や入力電極３８
に廻り込む電圧がさらに低減される。これにより、帯域
外減衰量を４０〜５０ｄＢまで改善することができる。
【００３１】また、図５に、図１における接地電極の第
３の例の部分図を示す。図５は、図１における共通接地
電極３４ｃを排除し、１段目の出力接地電極３５ａと接
地電極３５ｂとを導通すると共に、２段目の入力接地電
極３７ａと接地電極３７ｂを導通したものである。すな
わち、１段目の入力接地電極３４ａ及び１段目の出力接
地電極３５ａ（３５ｂ）と、２段目の入力接地電極３７
ａ（３７ｂ）及び２段目の出力接地電極３４ｂとを分離
したものである。
３の例の部分図を示す。図５は、図１における共通接地
電極３４ｃを排除し、１段目の出力接地電極３５ａと接
地電極３５ｂとを導通すると共に、２段目の入力接地電
極３７ａと接地電極３７ｂを導通したものである。すな
わち、１段目の入力接地電極３４ａ及び１段目の出力接
地電極３５ａ（３５ｂ）と、２段目の入力接地電極３７
ａ（３７ｂ）及び２段目の出力接地電極３４ｂとを分離
したものである。
【００３２】これによれば、図４と同様に、帯域外減衰
量を４０〜５０ｄＢまで改善することができる。ここ
で、図６に、本発明帯域外減衰特性のグラフを示す。図
６において、破線Ａは図９に示す従来の帯域外減衰量２
０〜３５ｄＢであり、一点鎖線Ｂは図２の帯域外減衰量
３５〜４０ｄＢであり、実線Ｃは図４及び図５の帯域外
減衰量４０〜５０ｄＢを示している。
量を４０〜５０ｄＢまで改善することができる。ここ
で、図６に、本発明帯域外減衰特性のグラフを示す。図
６において、破線Ａは図９に示す従来の帯域外減衰量２
０〜３５ｄＢであり、一点鎖線Ｂは図２の帯域外減衰量
３５〜４０ｄＢであり、実線Ｃは図４及び図５の帯域外
減衰量４０〜５０ｄＢを示している。
【００３３】次に、図示しないが本発明の他の実施例を
説明する。この場合の実施例は、図２、図４及び図５に
おける１段目の出力接地電極３５ａ（３４ｃ）及び２段
目の入力接地電極３７ａ（３７ｂ）を非接地の中間電極
とするものである。すなわち、電気的に浮かせる状態と
したものである。
説明する。この場合の実施例は、図２、図４及び図５に
おける１段目の出力接地電極３５ａ（３４ｃ）及び２段
目の入力接地電極３７ａ（３７ｂ）を非接地の中間電極
とするものである。すなわち、電気的に浮かせる状態と
したものである。
【００３４】ここで、図７に、本発明の非接地の場合を
説明するための回路図を示す。図７において、前述した
ように、総ての接地電極３４ａ，３５ａ，３７ａ，３４
ｂが共通して接地されている場合には、各接地電極３４
ａ，３５ａ，３７ａ，３４ｂは静電気的な容量ＣO のコ
ンデンサが結合された状態と同じになる。
説明するための回路図を示す。図７において、前述した
ように、総ての接地電極３４ａ，３５ａ，３７ａ，３４
ｂが共通して接地されている場合には、各接地電極３４
ａ，３５ａ，３７ａ，３４ｂは静電気的な容量ＣO のコ
ンデンサが結合された状態と同じになる。
【００３５】そこで、１段目の出力接地電極３５ａ（３
４ｃ）と２段目の入力接地電極３７ａ（３７ｂ）を非接
地とした場合、コンデンサが電気的に浮いた状態とな
り、高周波電源５０から１段目の入力電極３２ａに印加
される高周波電圧が１段目の出力電極３６及び２段目の
入力電極３８に廻り込むことが抑えられるものである。
これによる帯域外減衰量は、図４及び図５と同様に、図
６の実線Ｃに示す４０〜５０ｄＢまで改善することがで
きる。
４ｃ）と２段目の入力接地電極３７ａ（３７ｂ）を非接
地とした場合、コンデンサが電気的に浮いた状態とな
り、高周波電源５０から１段目の入力電極３２ａに印加
される高周波電圧が１段目の出力電極３６及び２段目の
入力電極３８に廻り込むことが抑えられるものである。
これによる帯域外減衰量は、図４及び図５と同様に、図
６の実線Ｃに示す４０〜５０ｄＢまで改善することがで
きる。
【００３６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、１段目及
び次段の出力接地電極及び入力接地電極を導通させ、１
段目の（入力）出力接地電極と次段の出力（入力）接地
電極を分離することにより、電極間の電気的な結合容量
を抑え、大幅な帯域外減衰量を得ることができ、通信機
等の性能を向上させることができる。
び次段の出力接地電極及び入力接地電極を導通させ、１
段目の（入力）出力接地電極と次段の出力（入力）接地
電極を分離することにより、電極間の電気的な結合容量
を抑え、大幅な帯域外減衰量を得ることができ、通信機
等の性能を向上させることができる。
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
【図２】図１における接地電極の第１の例の部分図であ
る。
る。
【図３】図１の配線を示した概念図である。
【図４】図１における接地電極の第２の例の部分図であ
る。
る。
【図５】図１における接地電極の第３の例の部分図であ
る。
る。
【図６】本発明の帯域外減衰特性のグラフである。
【図７】本発明の非接地の場合を説明するための図であ
る。
る。
【図８】従来の弾性表面波フィルタの構成図である。
【図９】従来のカスケード接続された弾性表面波フィル
タ構成図である。
タ構成図である。
３０ 弾性表面波フィルタ ３１ 圧電基板 ３２ 入力パッド ３２ａ 一段の入力電極 ３３ 出力パッド ３３ａ ２段の出力電極 ３４ 接地電極 ３４ａ １段の入力接地電極 ３４ｂ ２段の出力接地電極 ３４ｃ 接地電極 ３５，３７ 接地電極 ３５ａ １段の出力電極 ３６ １段の出力電極 ３７ａ ２段の入力接地電極 ３８ ２段の入力電極 ３９ 連絡線
Claims (4)
- 【請求項１】 圧電基板（３１）上に、入力電極（３２
ａ）及び出力電極（３３ａ）と接地された入出力の接地
電極（３４，３５，３７）とを、くし形電極を互いに離
間対向させてかみ合い状態で整合させ、交互に多段で配
設した弾性表面波フィルタにおいて、 １段及び次段の前記入力電極（３２ａ，３８）に整合さ
れた前記入力接地電極（３５ａ，３７ａ）と、前記出力
電極（３３ａ）に整合された前記出力接地電極（３４
ｂ，３５ａ）とを、それぞれ導通させると共に、 該１段の入力接地電極（３４ａ）と該次段の出力接地電
極（３４ｂ）とを分離することを特徴とする弾性表面波
フィルタ。 - 【請求項２】 前記１段の出力接地電極（３５ａ）と、
前記次段の入力接地電極（３７ａ）とを分離することを
特徴とする請求項１記載の表面波フィルタ。 - 【請求項３】 圧電基板（３１）上に、入力電極（３２
ａ）及び出力電極（３３ａ）と接地された入出力の接地
電極（３４，３５，３７）とを、くし形電極を互いに離
間対向させてかみ合い状態で整合させ、交互に多段で配
設した弾性表面波フィルタにおいて、 １段及び次段の前記入力電極（３２ａ，３８）に整合さ
れた前記入力接地電極（３５ａ，３７ａ）と、前記出力
電極（３３ａ）に整合された前記出力接地電極（３４
ｂ，３５ａ）とを、それぞれ導通させると共に、 該１段の入力接地電極（３４ａ）及び出力接地電極（３
５ａ）と、該次段の入力接地電極（３７ａ）及び出力接
地電極（３４ｂ）とを分離することを特徴とする弾性表
面波フィルタ。 - 【請求項４】 前記１段の出力接地電極（３５ａ）及び
次段の入力接地電極（３７ａ）のそれぞれを、非接地の
中間電極とすることを特徴とする請求項１乃至３記載の
弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26412691A JPH05110377A (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | 弾性表面波フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26412691A JPH05110377A (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | 弾性表面波フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05110377A true JPH05110377A (ja) | 1993-04-30 |
Family
ID=17398837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26412691A Pending JPH05110377A (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | 弾性表面波フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05110377A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7283016B2 (en) * | 2004-06-30 | 2007-10-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Balanced acoustic wave filter and acoustic wave filter |
| US20160094200A1 (en) * | 2014-09-26 | 2016-03-31 | Wisol Co., Ltd. | Saw filter having ground terminals separated |
-
1991
- 1991-10-11 JP JP26412691A patent/JPH05110377A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7283016B2 (en) * | 2004-06-30 | 2007-10-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Balanced acoustic wave filter and acoustic wave filter |
| US20160094200A1 (en) * | 2014-09-26 | 2016-03-31 | Wisol Co., Ltd. | Saw filter having ground terminals separated |
| US9680447B2 (en) * | 2014-09-26 | 2017-06-13 | Wisol Co., Ltd. | Saw filter having ground terminals separated |
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