JPH05109864A - 機械式インターフエース装置 - Google Patents
機械式インターフエース装置Info
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- JPH05109864A JPH05109864A JP26977891A JP26977891A JPH05109864A JP H05109864 A JPH05109864 A JP H05109864A JP 26977891 A JP26977891 A JP 26977891A JP 26977891 A JP26977891 A JP 26977891A JP H05109864 A JPH05109864 A JP H05109864A
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- port
- port plate
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本体ケースのポートまわりにロック機構等を
設けることなく、簡便な手段で、ポッドと装置本体間の
シール性を確実に向上することができる機械式インター
フェース装置を提供することを目的とする。 【構成】 本体ケース１に設けられ搬入・搬出用ポート
４を形成するポートプレート３上に載置されて前記ポー
トを覆うフランジ１２付ポッド１０、このポッドの開口
１１を閉鎖可能なポッドドア２１、前記本体ケース１内
に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポートプレート３
に係合して前記ポートを閉鎖するポートドア３１、およ
び上記ポッドのフランジ１２を上記ポートプレート３に
向けて付勢する手段とを備え、このポートドア３１が上
記ポッドドア２１を上記ポッド内から本体ケース１内へ
またその逆へ搬送する機械式インターフェース装置にお
いて、上記付勢する手段が、上記ポートプレート３と上
記ポッドのフランジ１２との対向面間に磁気吸引力を作
用させる手段５０であり、この磁気吸引力を打ち消し可
能な付勢解除手段５１を備えていることを特徴とする。
設けることなく、簡便な手段で、ポッドと装置本体間の
シール性を確実に向上することができる機械式インター
フェース装置を提供することを目的とする。 【構成】 本体ケース１に設けられ搬入・搬出用ポート
４を形成するポートプレート３上に載置されて前記ポー
トを覆うフランジ１２付ポッド１０、このポッドの開口
１１を閉鎖可能なポッドドア２１、前記本体ケース１内
に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポートプレート３
に係合して前記ポートを閉鎖するポートドア３１、およ
び上記ポッドのフランジ１２を上記ポートプレート３に
向けて付勢する手段とを備え、このポートドア３１が上
記ポッドドア２１を上記ポッド内から本体ケース１内へ
またその逆へ搬送する機械式インターフェース装置にお
いて、上記付勢する手段が、上記ポートプレート３と上
記ポッドのフランジ１２との対向面間に磁気吸引力を作
用させる手段５０であり、この磁気吸引力を打ち消し可
能な付勢解除手段５１を備えていることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体の製造プロセス
で用いられる機械式インターフェース装置に関する。
で用いられる機械式インターフェース装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体の処理は、半導体のパーテ
ィクル汚染を防止するために、特別に設計したクリーン
ルーム内で行なわれていたが、その保守を含めて費用が
かかりすぎるという問題がある他、パーティクル汚染の
汚染レベルの低減には限界があるので、例えば特開昭６
０−１４３６２３号公報に開示されているような標準化
された機械的インターフェース装置が開発された。
ィクル汚染を防止するために、特別に設計したクリーン
ルーム内で行なわれていたが、その保守を含めて費用が
かかりすぎるという問題がある他、パーティクル汚染の
汚染レベルの低減には限界があるので、例えば特開昭６
０−１４３６２３号公報に開示されているような標準化
された機械的インターフェース装置が開発された。
【０００３】この装置は、例えば、図６に示すように、
ウエハ処理装置（図示しない）を収納し、清浄空気で満
たされている装置の本体ケース１と、可搬式タイプのボ
ックス（以下、ポッドＰＯＤという）１０および搬送装
置３０を含んでいる。装置本体の本体ケース１の天板２
にはポートプレート３によりポート（ウエハカセット２
０の搬入・搬出口）４が形成されており、把持部１０Ａ
を持つポッドＰＯＤ１０はこのポートプレート３上に載
置される。ポッドＰＯＤ１０はその開口１１の周囲に環
状部１２ａを持つフランジ１２を有する形状となってい
る。この例の搬送装置３０は昇降装置であって、昇降軸
３２に支持された昇降台３１にウエハカセット２０を載
せて昇降するが、この昇降台３１は、ポートドアとなっ
ており、最上昇時には、ポートプレート３に下から当接
もしくは嵌合してポート４を本体ケース１を外部に対し
て密閉し、また、ポートドア３１上にあるウエハカセッ
ト２０の台２１はポッドＰＯＤ１０の開口１１の周部に
当接して当該開口１１を密閉する。この台２１を、以
下、ポッドドアという。１３はシール材であって、ポッ
ドＰＯＤ１０の開口とポッドドア２１との間ヲシール
し、シール材１４はポッドＰＯＤ１０のフランジ１２と
ポートプレート３との間をシールし、シール材１５はポ
ートプレート３とポートドア３１との間をシールする。
４０はロック機構であって、図示しないギヤードモータ
により駆動されるロックレバー４１を有し、ポッドＰＯ
Ｄ１０のフランジ１２をポートプレート３上へ押し下げ
る働きをする。
ウエハ処理装置（図示しない）を収納し、清浄空気で満
たされている装置の本体ケース１と、可搬式タイプのボ
ックス（以下、ポッドＰＯＤという）１０および搬送装
置３０を含んでいる。装置本体の本体ケース１の天板２
にはポートプレート３によりポート（ウエハカセット２
０の搬入・搬出口）４が形成されており、把持部１０Ａ
を持つポッドＰＯＤ１０はこのポートプレート３上に載
置される。ポッドＰＯＤ１０はその開口１１の周囲に環
状部１２ａを持つフランジ１２を有する形状となってい
る。この例の搬送装置３０は昇降装置であって、昇降軸
３２に支持された昇降台３１にウエハカセット２０を載
せて昇降するが、この昇降台３１は、ポートドアとなっ
ており、最上昇時には、ポートプレート３に下から当接
もしくは嵌合してポート４を本体ケース１を外部に対し
て密閉し、また、ポートドア３１上にあるウエハカセッ
ト２０の台２１はポッドＰＯＤ１０の開口１１の周部に
当接して当該開口１１を密閉する。この台２１を、以
下、ポッドドアという。１３はシール材であって、ポッ
ドＰＯＤ１０の開口とポッドドア２１との間ヲシール
し、シール材１４はポッドＰＯＤ１０のフランジ１２と
ポートプレート３との間をシールし、シール材１５はポ
ートプレート３とポートドア３１との間をシールする。
４０はロック機構であって、図示しないギヤードモータ
により駆動されるロックレバー４１を有し、ポッドＰＯ
Ｄ１０のフランジ１２をポートプレート３上へ押し下げ
る働きをする。
【０００４】この例においては、処理前のウエハＷが図
示しない他の場所からポートドア３１上へ移載されたの
ち、ポッドＰＯＤ１０をポートプレート３上に載置し、
ロックレバー４１で固定する。ロックレバー４１で固定
したのち、ポッドＰＯＤ１０内に清浄空気を供給して、
ポッドＰＯＤ１０内を本体ケース１内と同様の清浄雰囲
気としたのち、ポートドア３１を移載位置まで下降す
る。ポートドア３１が移載位置まで下降すると、図示し
ない移載装置がポートドア３１上のウエハカセット２０
を処理機械へ搬送する。
示しない他の場所からポートドア３１上へ移載されたの
ち、ポッドＰＯＤ１０をポートプレート３上に載置し、
ロックレバー４１で固定する。ロックレバー４１で固定
したのち、ポッドＰＯＤ１０内に清浄空気を供給して、
ポッドＰＯＤ１０内を本体ケース１内と同様の清浄雰囲
気としたのち、ポートドア３１を移載位置まで下降す
る。ポートドア３１が移載位置まで下降すると、図示し
ない移載装置がポートドア３１上のウエハカセット２０
を処理機械へ搬送する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来は、ウ
エハＷのパーティクル汚染が問題になっていたが、半導
体集積回路の高密度化が進むに従い、空気中の酸素によ
るウエハ表面の自然酸化膜の影響が問題となり始め、こ
の自然酸化膜の成長を防止するため、ウエハＷの移動、
搬送等を不活性ガス（Ｎ2 ガス）雰囲気中で行なう必要
が生じ、現在では、Ｏ2 の濃度が１０ｐｐｍ以下、Ｈ2
Ｏの濃度が１００ｐｐｍ以下であるＮ2 ガス雰囲気が要
求されている。
エハＷのパーティクル汚染が問題になっていたが、半導
体集積回路の高密度化が進むに従い、空気中の酸素によ
るウエハ表面の自然酸化膜の影響が問題となり始め、こ
の自然酸化膜の成長を防止するため、ウエハＷの移動、
搬送等を不活性ガス（Ｎ2 ガス）雰囲気中で行なう必要
が生じ、現在では、Ｏ2 の濃度が１０ｐｐｍ以下、Ｈ2
Ｏの濃度が１００ｐｐｍ以下であるＮ2 ガス雰囲気が要
求されている。
【０００６】上記した機械式インターフェース装置を用
いる場合には、本体ケース１内の空気をＮ2 ガスで置換
してＮ2 ガス雰囲気とし、ポッドＰＯＤ１０は、当該ポ
ッドＰＯＤ１０が本体ケース１の天板２上にセットされ
る都度、その内部をＮ2 ガスで置換してＮ2 ガス雰囲気
とすることになる。
いる場合には、本体ケース１内の空気をＮ2 ガスで置換
してＮ2 ガス雰囲気とし、ポッドＰＯＤ１０は、当該ポ
ッドＰＯＤ１０が本体ケース１の天板２上にセットされ
る都度、その内部をＮ2 ガスで置換してＮ2 ガス雰囲気
とすることになる。
【０００７】この場合、ポッドＰＯＤ１０とポートプレ
ート３間、ポッドＰＯＤ１０とポッドドア２１との間、
ポートドア２１とポートプレート３との間のシール性、
特に、ポッドＰＯＤ１０とポートプレート３間のシール
性の向上が要求されるが、シール材（Ｏーリング）は製
造上のバラツキがあり、巨視的に見た場合、きれいな平
面に対して波を打った形状のものもあるので、前記ロッ
クレバー４１を用いるような機械的手段でシール材（Ｏ
ーリング）を押圧する方法では、充分なシール性能を得
ることが難しく、この機械的手段でシール性能を向上す
るには、ポートプレート３の周方向に多数のロックレバ
ー４１を配設する必要がある上、ポッドＰＯＤ１０が大
きくなると所要の押圧力が大きくなるので、１つ１つの
ロック機構が大形化し、これに要する費用も高価になる
他、本体ケースのポートまわりが煩雑になり、ロック機
構のために大きなスペースを取るられるという問題があ
る。
ート３間、ポッドＰＯＤ１０とポッドドア２１との間、
ポートドア２１とポートプレート３との間のシール性、
特に、ポッドＰＯＤ１０とポートプレート３間のシール
性の向上が要求されるが、シール材（Ｏーリング）は製
造上のバラツキがあり、巨視的に見た場合、きれいな平
面に対して波を打った形状のものもあるので、前記ロッ
クレバー４１を用いるような機械的手段でシール材（Ｏ
ーリング）を押圧する方法では、充分なシール性能を得
ることが難しく、この機械的手段でシール性能を向上す
るには、ポートプレート３の周方向に多数のロックレバ
ー４１を配設する必要がある上、ポッドＰＯＤ１０が大
きくなると所要の押圧力が大きくなるので、１つ１つの
ロック機構が大形化し、これに要する費用も高価になる
他、本体ケースのポートまわりが煩雑になり、ロック機
構のために大きなスペースを取るられるという問題があ
る。
【０００８】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、本体ケースのポートまわりにロック機構等を
設けることなく、簡便な手段で、ポッドと装置本体間の
シール性を確実に向上することができる機械式インター
フェース装置を提供することを目的とする。
たもので、本体ケースのポートまわりにロック機構等を
設けることなく、簡便な手段で、ポッドと装置本体間の
シール性を確実に向上することができる機械式インター
フェース装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、請求項１では、本体ケースに設けられ被処理
物の搬入・搬出用ポートを形成するポートプレート上に
載置されて前記ポートを覆う開口フランジ付ポッド、こ
のポッドの開口を閉鎖可能なポッドドア、前記本体ケー
ス内に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポートプレー
トに係合して前記ポートを閉鎖するポートドア、および
上記ポッドのフランジを上記ポートプレートとに向けて
付勢する手段とを備え、このポートドアが上記ポッドド
アを上記ポッド内から本体ケースへまたその逆へ搬送す
る機械式インターフェース装置において、上記付勢する
手段が、上記ポートプレートと上記ポッドのフランジと
の対向面間に磁気吸引力を作用させる手段であり、この
磁気吸引力を打ち消し可能な付勢解除手段を備えている
構成とした。
するため、請求項１では、本体ケースに設けられ被処理
物の搬入・搬出用ポートを形成するポートプレート上に
載置されて前記ポートを覆う開口フランジ付ポッド、こ
のポッドの開口を閉鎖可能なポッドドア、前記本体ケー
ス内に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポートプレー
トに係合して前記ポートを閉鎖するポートドア、および
上記ポッドのフランジを上記ポートプレートとに向けて
付勢する手段とを備え、このポートドアが上記ポッドド
アを上記ポッド内から本体ケースへまたその逆へ搬送す
る機械式インターフェース装置において、上記付勢する
手段が、上記ポートプレートと上記ポッドのフランジと
の対向面間に磁気吸引力を作用させる手段であり、この
磁気吸引力を打ち消し可能な付勢解除手段を備えている
構成とした。
【００１０】請求項２では、付勢解除手段が、電磁石で
ある構成とした。
ある構成とした。
【００１１】請求項３では、付勢する手段が、磁気吸引
力を作用させる第１の手段と電磁吸引力を作用させる第
２の手段からなり、この第２の手段は、付勢解除機能を
備えている構成とした。
力を作用させる第１の手段と電磁吸引力を作用させる第
２の手段からなり、この第２の手段は、付勢解除機能を
備えている構成とした。
【００１２】請求項４では、付勢手段の永久磁石は、上
記ポッドのフランジと上記ポートプレートの互いに面対
向する部分のいずれか一方の部材に設けられて周方向に
並び、他方の部材が磁性体であるかもしくは上記永久磁
石列と対向して周方向に延びる磁性体部材を有し、付勢
解除手段は、対をなすＮ極およびＳ極永久磁石にわたっ
て設けられた継鉄と当該継鉄に巻回された電磁コイルを
有する電磁石を備えている構成とした。
記ポッドのフランジと上記ポートプレートの互いに面対
向する部分のいずれか一方の部材に設けられて周方向に
並び、他方の部材が磁性体であるかもしくは上記永久磁
石列と対向して周方向に延びる磁性体部材を有し、付勢
解除手段は、対をなすＮ極およびＳ極永久磁石にわたっ
て設けられた継鉄と当該継鉄に巻回された電磁コイルを
有する電磁石を備えている構成とした。
【００１３】請求項５では、永久磁石と電磁石の発生磁
束総和を検出する磁束センサと、この磁束センサの検出
値と磁束指令値との偏差を入力される電流制御回路と、
励磁電源と、この励磁電源の出力極性を切り換える極性
切換回路を備え、上記電流制御回路は励磁電流指令を上
記励磁電源に与えるとともに励磁方向切換指令を上記極
性切換回路に送出する構成とした。
束総和を検出する磁束センサと、この磁束センサの検出
値と磁束指令値との偏差を入力される電流制御回路と、
励磁電源と、この励磁電源の出力極性を切り換える極性
切換回路を備え、上記電流制御回路は励磁電流指令を上
記励磁電源に与えるとともに励磁方向切換指令を上記極
性切換回路に送出する構成とした。
【００１４】請求項６では、付勢解除手段は、ホッドの
ポートプレート上への搬入・搬出時に駆動されるように
した。
ポートプレート上への搬入・搬出時に駆動されるように
した。
【００１５】
【作用】本発明では、ポッドをポートプレート上に載置
すると、磁気吸引力を作用させる手段が働いて、ポッド
のフランジに永久磁石の磁気吸引力が作用し、全周で両
シール材を押圧する。付勢解除手段を働かせると、この
磁気吸引力が打ち消される。
すると、磁気吸引力を作用させる手段が働いて、ポッド
のフランジに永久磁石の磁気吸引力が作用し、全周で両
シール材を押圧する。付勢解除手段を働かせると、この
磁気吸引力が打ち消される。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【００１７】図１において、ポッドＰＯＤ１０は磁性体
（磁性ステンレスからなる）であって、そのフランジ１
２は図６に示した環状部１２ａから更に外方に広がる延
長フランジ１２Ａが形成された広幅のフランジとなって
いる。本実施例の環状部（以下、符号１２ｂで示す）は
嵌合筒部（位置決め用の嵌合筒部）となっており、ポッ
ドＰＯＤ１０は、この環状部１２ｂをポートプレート２
に内嵌して当該ポートプレート２上に載置され、ポッド
ドア２１はこの環状部１２ｂに内嵌する。嵌合筒部１２
ｂの先端は丸みを帯びた形状になっている。
（磁性ステンレスからなる）であって、そのフランジ１
２は図６に示した環状部１２ａから更に外方に広がる延
長フランジ１２Ａが形成された広幅のフランジとなって
いる。本実施例の環状部（以下、符号１２ｂで示す）は
嵌合筒部（位置決め用の嵌合筒部）となっており、ポッ
ドＰＯＤ１０は、この環状部１２ｂをポートプレート２
に内嵌して当該ポートプレート２上に載置され、ポッド
ドア２１はこの環状部１２ｂに内嵌する。嵌合筒部１２
ｂの先端は丸みを帯びた形状になっている。
【００１８】５０は付勢手段を構成する永久磁石であっ
て、ポートプレート３の表面の延長フランジ１２Ａに対
向する部分に埋設状に設けられており、この永久磁石５
０は、図２に示すように、ポートプレート３の周方向に
一定間隔を隔てて並んでいる。本実施例のポートドア３
１はその下部にフランジ部３１Ａを有し、このフランジ
３１Ａにポートプレート３との間をシールするシール材
１５が嵌着されている。
て、ポートプレート３の表面の延長フランジ１２Ａに対
向する部分に埋設状に設けられており、この永久磁石５
０は、図２に示すように、ポートプレート３の周方向に
一定間隔を隔てて並んでいる。本実施例のポートドア３
１はその下部にフランジ部３１Ａを有し、このフランジ
３１Ａにポートプレート３との間をシールするシール材
１５が嵌着されている。
【００１９】５１は付勢解除手段を構成する電磁石であ
って、図３に示すように、対をなすＮ極およびＳ極永久
磁石にわたって設けられた継鉄５１Ａと当該継鉄５１Ａ
に巻回された電磁コイル５１Ｂを有している。この電磁
コイル５１は、図４に示すように、励磁電源５２に接続
されている。５３は励磁電流制御回路であり、磁束指令
Φ* に応じた励磁電流指令ＩF を励磁電源５２に与え
る。
って、図３に示すように、対をなすＮ極およびＳ極永久
磁石にわたって設けられた継鉄５１Ａと当該継鉄５１Ａ
に巻回された電磁コイル５１Ｂを有している。この電磁
コイル５１は、図４に示すように、励磁電源５２に接続
されている。５３は励磁電流制御回路であり、磁束指令
Φ* に応じた励磁電流指令ＩF を励磁電源５２に与え
る。
【００２０】なお、ガス給気口３Ａとガス排気口３Ｂは
ポッドＰＯＤ１０内をＮ2 ガス置換する場合に利用され
るものであり、ガス給気口３Ａは配管を通して図示しな
いＮ2 ガスボンベに連絡される。また本体ケース１内
は、Ｎ2 ガス雰囲気にあり、常時、２０リットル／分の
Ｎ2 ガス注入により与圧されている。
ポッドＰＯＤ１０内をＮ2 ガス置換する場合に利用され
るものであり、ガス給気口３Ａは配管を通して図示しな
いＮ2 ガスボンベに連絡される。また本体ケース１内
は、Ｎ2 ガス雰囲気にあり、常時、２０リットル／分の
Ｎ2 ガス注入により与圧されている。
【００２１】本実施例においては、ポッドＰＯＤ１０が
装置外から本体ケース１のポートプレート３上へ移載さ
れる前に、所定の大きさの磁束指令Φ* （負の磁束指令
とする）が励磁電流制御回路５３に与えられ、電磁コイ
ル５１Ｂに励磁電流Ｉf が流れて電磁石５１が励磁さ
れ、電磁石５１は永久磁石５０の発生磁束を相殺するに
充分な磁束を発生して永久磁石５０による磁気吸引力を
打ち消している。ポッドＰＯＤ１０が装置外から本体ケ
ース１のポートプレート３上へ移載され終わると、磁束
指令Φ* が０レベルに切換えられて電磁石５１は消磁さ
れ、永久磁石５０による磁気吸引力がポッドＰＯＤ１０
に作用する。即ち、ポッドＰＯＤ１０は磁性体であるの
で、ポッドＰＯＤ１０のフランジ１２が磁気吸引力を受
けてシール材１４を押圧し、ポートプレート３との間に
シール性を確保する。永久磁石５０はポートプレート３
の周方向に多数配設しているので、大きな吸引力総和を
得ることができ、また、上記磁気吸引力はポッドＰＯＤ
１０のフランジ１２の全周に作用する。
装置外から本体ケース１のポートプレート３上へ移載さ
れる前に、所定の大きさの磁束指令Φ* （負の磁束指令
とする）が励磁電流制御回路５３に与えられ、電磁コイ
ル５１Ｂに励磁電流Ｉf が流れて電磁石５１が励磁さ
れ、電磁石５１は永久磁石５０の発生磁束を相殺するに
充分な磁束を発生して永久磁石５０による磁気吸引力を
打ち消している。ポッドＰＯＤ１０が装置外から本体ケ
ース１のポートプレート３上へ移載され終わると、磁束
指令Φ* が０レベルに切換えられて電磁石５１は消磁さ
れ、永久磁石５０による磁気吸引力がポッドＰＯＤ１０
に作用する。即ち、ポッドＰＯＤ１０は磁性体であるの
で、ポッドＰＯＤ１０のフランジ１２が磁気吸引力を受
けてシール材１４を押圧し、ポートプレート３との間に
シール性を確保する。永久磁石５０はポートプレート３
の周方向に多数配設しているので、大きな吸引力総和を
得ることができ、また、上記磁気吸引力はポッドＰＯＤ
１０のフランジ１２の全周に作用する。
【００２２】本実施例の機械式インターフェース装置
は、上記のようにして、ポッドＰＯＤ１０内を確実に外
気に対して遮断した状態で、ガス供給口３Ａおよびガス
排気口３Ｂを利用して、ポッドＰＯＤ１０内をＮ2 ガス
で置換する。このＮ2 ガスで置換のためには、例えば、
ポートプレート３の下に、当該ポートプレート３下面に
気密に係合し、ポートドア３１が所定距離だけ昇降可能
な内部空間を区画するスカートをポートプレート３とは
別体に設けて、所定距離（ポッドドア２１が環状部１２
ａより下方へ下降する位置）だけ下降したポートドア３
１がスカートの上記内部空間の下端を気密に閉鎖するよ
うにし、開口したポッドＰＯＤ１０内へガス供給口３Ａ
からＮ2 ガスを送り込む。
は、上記のようにして、ポッドＰＯＤ１０内を確実に外
気に対して遮断した状態で、ガス供給口３Ａおよびガス
排気口３Ｂを利用して、ポッドＰＯＤ１０内をＮ2 ガス
で置換する。このＮ2 ガスで置換のためには、例えば、
ポートプレート３の下に、当該ポートプレート３下面に
気密に係合し、ポートドア３１が所定距離だけ昇降可能
な内部空間を区画するスカートをポートプレート３とは
別体に設けて、所定距離（ポッドドア２１が環状部１２
ａより下方へ下降する位置）だけ下降したポートドア３
１がスカートの上記内部空間の下端を気密に閉鎖するよ
うにし、開口したポッドＰＯＤ１０内へガス供給口３Ａ
からＮ2 ガスを送り込む。
【００２３】ポッドＰＯＤ１０を本体ケース１から装置
外へ移載する場合は、上記所定の大きさの磁束指令Φ*
を励磁電流制御回路５３に与え、電磁石５１を励磁す
る。
外へ移載する場合は、上記所定の大きさの磁束指令Φ*
を励磁電流制御回路５３に与え、電磁石５１を励磁す
る。
【００２４】これにより、磁石５１は永久磁石５０の発
生磁束を相殺するに充分な磁束を発生して永久磁石５０
による磁気吸引力を打ち消すので、ポッドＰＯＤ１０を
ポートプレート３上へ引っ張る力は無くなり、ポッドＰ
ＯＤ１０を持ち上げることが可能になる。
生磁束を相殺するに充分な磁束を発生して永久磁石５０
による磁気吸引力を打ち消すので、ポッドＰＯＤ１０を
ポートプレート３上へ引っ張る力は無くなり、ポッドＰ
ＯＤ１０を持ち上げることが可能になる。
【００２５】本実施例では、永久磁石５０や電磁石５１
はポートプレートに埋設状に設けることができ、本体ケ
ース１のポート４まわりに部材を配設する必要がないの
で、前記ロック機構等を設ける場合に比して、ポートま
わりを著しく簡素化することができる。
はポートプレートに埋設状に設けることができ、本体ケ
ース１のポート４まわりに部材を配設する必要がないの
で、前記ロック機構等を設ける場合に比して、ポートま
わりを著しく簡素化することができる。
【００２６】上記実施例では、永久磁石５０の磁気吸引
力だけで、シール材１４の挟圧力を得るようにしている
が、この磁気吸引力だけでは、ポートプレート３とポッ
ドＰＯＤ１０間に充分な気密性ほ確保することができな
い場合には、永久磁石５０の磁束と同方向の磁束を電磁
石５１に発生させて、上記磁気吸引力に電磁吸引力を加
えるようにする。
力だけで、シール材１４の挟圧力を得るようにしている
が、この磁気吸引力だけでは、ポートプレート３とポッ
ドＰＯＤ１０間に充分な気密性ほ確保することができな
い場合には、永久磁石５０の磁束と同方向の磁束を電磁
石５１に発生させて、上記磁気吸引力に電磁吸引力を加
えるようにする。
【００２７】このためには、図５に示すように、電磁石
５１には、極性切換回路５４を通して励磁電流を供給す
る。５６は磁束センサであって、永久磁石５０と電磁石
５１が発生している磁束総和ΣΦを検出する。励磁電流
制御回路５３は誤差増幅器５５からこの磁束総和ΣΦの
検出値と磁束指令Φ* との偏差を与えられる。励磁電流
制御回路５３はこの偏差に応じた大きさの励磁電流指令
を励磁電源５２に与えるとともに偏差の極性に応じて極
性切換回路５４を切り換えるための励磁方向切換指令Ｓ
を極性切換回路５４に送出する。
５１には、極性切換回路５４を通して励磁電流を供給す
る。５６は磁束センサであって、永久磁石５０と電磁石
５１が発生している磁束総和ΣΦを検出する。励磁電流
制御回路５３は誤差増幅器５５からこの磁束総和ΣΦの
検出値と磁束指令Φ* との偏差を与えられる。励磁電流
制御回路５３はこの偏差に応じた大きさの励磁電流指令
を励磁電源５２に与えるとともに偏差の極性に応じて極
性切換回路５４を切り換えるための励磁方向切換指令Ｓ
を極性切換回路５４に送出する。
【００２８】本実施例では、正の磁束指令Φ* が与えら
れると、電磁石５１は永久磁石５０の発生磁束と同方向
の磁束を発生し、ポッドＰＯＤ１０のフランジ１２は磁
気吸引力と電磁吸引力を受けてシール材１４を押圧す
る。磁束指令Φ* を負の磁束指令へ反転させると、励磁
電流制御回路５３は励磁方向切換指令を発生し、極性切
換回路５４が励磁電流Ｉｆの極性を切り換えるので、電
磁石５１が発生する磁束は永久磁石５０の発生磁束を相
殺する向きとなり、ポッドＰＯＤ１０のフランジ１２に
作用する吸引力は低減もしくは消滅する。
れると、電磁石５１は永久磁石５０の発生磁束と同方向
の磁束を発生し、ポッドＰＯＤ１０のフランジ１２は磁
気吸引力と電磁吸引力を受けてシール材１４を押圧す
る。磁束指令Φ* を負の磁束指令へ反転させると、励磁
電流制御回路５３は励磁方向切換指令を発生し、極性切
換回路５４が励磁電流Ｉｆの極性を切り換えるので、電
磁石５１が発生する磁束は永久磁石５０の発生磁束を相
殺する向きとなり、ポッドＰＯＤ１０のフランジ１２に
作用する吸引力は低減もしくは消滅する。
【００２９】なお、上記実施例では、ホッドＰＯＤ１０
を磁性体としたが、ホッドＰＯＤ１０を非磁性体とし、
延長フランジ１２Ａの上表面に永久磁石５０の列と当該
延長フランジ１２Ａ部を介して対向するように、周方向
に延びる磁性体部材を取付けてもよい。
を磁性体としたが、ホッドＰＯＤ１０を非磁性体とし、
延長フランジ１２Ａの上表面に永久磁石５０の列と当該
延長フランジ１２Ａ部を介して対向するように、周方向
に延びる磁性体部材を取付けてもよい。
【００３０】
【発明の効果】本発明は以上説明した通り、ポッドのフ
ランジをポートプレートに向けて付勢する手段として、
磁気吸引力もしくは当該磁気吸引力と電磁吸引力を利用
する構成としたことにより、所要のシール材挟圧力を容
易に得ることができるので、シール材の波打ち等があっ
ても、確実にシール材全周に亘って所要のシール性を確
保することができ、信頼性を向上することができる。
ランジをポートプレートに向けて付勢する手段として、
磁気吸引力もしくは当該磁気吸引力と電磁吸引力を利用
する構成としたことにより、所要のシール材挟圧力を容
易に得ることができるので、シール材の波打ち等があっ
ても、確実にシール材全周に亘って所要のシール性を確
保することができ、信頼性を向上することができる。
【００３１】また、永久磁石や電磁石はポートプレート
に埋設状に設けることができ、本体ケースのポートまわ
りに部材を配設する必要がないので、前記ロック機構等
を設ける場合に比して、ポートまわりを著しく簡素化す
ることができる利点がある。
に埋設状に設けることができ、本体ケースのポートまわ
りに部材を配設する必要がないので、前記ロック機構等
を設ける場合に比して、ポートまわりを著しく簡素化す
ることができる利点がある。
【図１】本発明の実施例を示す縦断面図である。
【図２】上記実施例におけるポートプレートの平面図で
ある。
ある。
【図３】上記実施例における永久磁石と電磁石の関係を
示す図である。
示す図である。
【図４】上記実施例における電磁石制御装置の回路図で
ある。
ある。
【図５】本発明の実施例における電磁石制御装置の回路
図である。
図である。
【図６】従来の機械式インターフェース装置の概略を示
す図である。
す図である。
１ 本体ケース ３ ポートプレート ３Ａ 給気口 ３Ｂ 排気口 ４ ポート １０ ポッドＰＯＤ １１ ポッドＰＯＤの開口 １２ ポッドＰＯＤのフランジ １２Ａ 延長フランジ １２ｂ 環状部 １３、１４、１５ シール材 ２０ ウエハカセット ２１ ポッドドア ３１ ポートドア ３１Ａ ポートドアのフランジ ３２ 昇降軸 ５０ 永久磁石 ５１ 電磁石 ５１Ａ 電磁石の継鉄 ５１Ｂ 電磁コイル ５２ 励磁電源 ５３ 励磁電流制御回路 ５４ 極性切換回路 ５６ 磁束センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 林 満弘 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 山下 哲平 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 村田 正直 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 田中 幹 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 森田 日也 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内
Claims (6)
- 【請求項１】 本体ケースに設けられ搬入・搬出用ポー
トを形成するポートプレート上に載置されて前記ポート
を覆う開口フランジ付ポッド、このポッドの開口を閉鎖
可能なポッドドア、前記本体ケース内に昇降可能に支持
され最上昇時に上記ポートプレートに係合して前記ポー
トを閉鎖するポートドア、および上記ポッドのフランジ
を上記ポートプレートとに向けて付勢する手段とを備
え、このポートドアが上記ポッドドアを上記ポッド内か
ら本体ケースへまたその逆へ搬送する機械式インターフ
ェース装置において、 上記付勢する手段が、上記ポートプレートと上記ポッド
のフランジとの対向面間に磁気吸引力を作用させる手段
であり、この磁気吸引力を打ち消し可能な付勢解除手段
を備えていることを特徴とする機械式インターフェース
装置。 - 【請求項２】 付勢解除手段が、電磁石であることを特
徴とする請求項１記載の機械式インターフェース装置。 - 【請求項３】 付勢する手段が、磁気吸引力を作用させ
る第１の手段と電磁吸引力を作用させる第２の手段から
なり、この第２の手段は、付勢解除機能を備えているこ
とを特徴とする請求項１記載の機械式インターフェース
装置。 - 【請求項４】 付勢する手段は永久磁石であり、上記ポ
ッドのフランジと上記ポートプレートの互いに面対向す
る部分のいずれか一方の部材に設けられて周方向に並
び、他方の部材が磁性体であるかもしくは上記永久磁石
列と対向して周方向に延びる磁性体部材を有し、付勢解
除手段は、対をなすＮ極およびＳ極永久磁石にわたって
設けられた継鉄と当該継鉄に巻回された電磁コイルを有
する電磁石を備えていることを特徴とする請求項１〜３
記載の機械式インターフェース装置。 - 【請求項５】 永久磁石と電磁石の発生磁束総和を検出
する磁束センサと、この磁束センサの検出値と磁束指令
値との偏差を入力される励磁電流制御回路と、励磁電源
と、この励磁電源の出力極性を切り換える極性切換回路
を備え、上記励磁電流制御回路は励磁電流指令を上記励
磁電源に与えるとともに励磁方向切換指令を上記極性切
換回路に送出することを特徴とする請求項３または４記
載の機械式インターフェース装置。 - 【請求項６】 付勢解除手段は、ホッドのポートプレー
ト上への搬入・搬出時に駆動されることを特徴とするす
る請求項１〜６記載の機械式インターフェース装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26977891A JPH05109864A (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | 機械式インターフエース装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26977891A JPH05109864A (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | 機械式インターフエース装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05109864A true JPH05109864A (ja) | 1993-04-30 |
Family
ID=17477029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26977891A Pending JPH05109864A (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | 機械式インターフエース装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05109864A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011155355A1 (ja) * | 2010-06-08 | 2011-12-15 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 連結システム |
| WO2011155356A1 (ja) * | 2010-06-08 | 2011-12-15 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 連結搬送システム |
| CN103299916A (zh) * | 2013-06-20 | 2013-09-18 | 苏州大学 | 隔离器的封闭传递装置 |
-
1991
- 1991-10-17 JP JP26977891A patent/JPH05109864A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011155355A1 (ja) * | 2010-06-08 | 2011-12-15 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 連結システム |
| WO2011155356A1 (ja) * | 2010-06-08 | 2011-12-15 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 連結搬送システム |
| JP2011258721A (ja) * | 2010-06-08 | 2011-12-22 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 連結システム |
| JP2011258722A (ja) * | 2010-06-08 | 2011-12-22 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 連結搬送システム |
| CN103038873A (zh) * | 2010-06-08 | 2013-04-10 | 独立行政法人产业技术综合研究所 | 连结搬运系统 |
| US9016501B2 (en) | 2010-06-08 | 2015-04-28 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Coupling transfer system |
| US9281223B2 (en) | 2010-06-08 | 2016-03-08 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Coupling system |
| CN102934212B (zh) * | 2010-06-08 | 2016-08-03 | 独立行政法人产业技术综合研究所 | 连结系统 |
| CN103038873B (zh) * | 2010-06-08 | 2017-11-10 | 独立行政法人产业技术综合研究所 | 连结搬运系统 |
| US10115619B2 (en) | 2010-06-08 | 2018-10-30 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology (Aist) | Coupling transfer system |
| CN103299916A (zh) * | 2013-06-20 | 2013-09-18 | 苏州大学 | 隔离器的封闭传递装置 |
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