JPH05109822A - 紫外線硬化樹脂による素子接続方法 - Google Patents

紫外線硬化樹脂による素子接続方法

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JPH05109822A
JPH05109822A JP26758991A JP26758991A JPH05109822A JP H05109822 A JPH05109822 A JP H05109822A JP 26758991 A JP26758991 A JP 26758991A JP 26758991 A JP26758991 A JP 26758991A JP H05109822 A JPH05109822 A JP H05109822A
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JP
Japan
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curable resin
ultraviolet
ultraviolet curable
chip
glass substrate
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Withdrawn
Application number
JP26758991A
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English (en)
Inventor
Takehiko Makita
毅彦 槇田
Wataru Takahashi
渉 高橋
Masao Ikehata
昌夫 池端
Yuuko Kitayama
憂子 北山
Yasuo Iguchi
泰男 井口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ICチップと基板の接続部のみ、紫外線硬化
樹脂を硬化させることにより、紫外線硬化樹脂の熱膨張
を抑える。 【構成】 まず、紫外線5を透過するガラス基板3とI
Cチップ2のそれぞれの接続電極4が所定の位置で重な
り合うように配置し、ガラス基板3とICチップ2の間
に紫外線硬化樹脂6を流し込む。次に、紫外線を透過す
る透光部7aを有するマスク7を紫外線5が接続電極4
の部分のみ透過するようにガラス基板3にかぶせ、上方
からマスク7、ガラス基板3、ICチップ2に加圧しつ
つ、マスク7及びガラス基板3を通して紫外線5を照射
する。このようにすると、接続電極4のみに紫外線5が
照射され、その部分の紫外線硬化樹脂6のみが硬化す
る。その結果、紫外線硬化樹脂6の熱膨張が抑えられ、
ガラス基板3とICチップ2間の剥離が抑えられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ICチップやチップ部
品等の素子を紫外線硬化樹脂により接続する方法に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来、紫外線硬化樹脂による素子と基板
の接続に用いる紫外線照射装置としては、加藤清視『紫
外線硬化システム』(株)総合技術センター 平成元年
2月28日発行 p.409〜p.411に開示される
ものがあった。以下、この紫外線照射装置を用いた従来
の紫外線硬化樹脂による素子接続方法を図6を参照しな
がら説明する。
【0003】まず、紫外線45を透過するガラス基板4
3とICチップ42のそれぞれの接続電極44が所定の
位置で重なり合うように配置し、ガラス基板43とIC
チップ42の間に紫外線硬化樹脂46を流し込む。次
に、上方からガラス基板43に加圧しつつ、ガラス基板
43を通して紫外線照射装置(図示せず)により紫外線
45を照射して、流し込んだ紫外線硬化樹脂46を全て
硬化させる。そして、紫外線硬化樹脂46の硬化終了
後、加圧を解除して接続を完了する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上に
述べた従来の紫外線硬化樹脂による素子接続方法では、
次に述べるような問題点があった。 (1)紫外線硬化樹脂がICチップ全面を覆うと、外部
の温度変化によりICチップ周辺部の紫外線硬化樹脂が
ガラス基板から剥がれてしまうという現象が見られた。
これは紫外線硬化樹脂の熱膨張によるものと考えられる
が、これがガラス基板とICチップ間の接続不良の原因
となり得る。そのため、硬化する紫外線硬化樹脂の量を
接続電極周辺部のみに制限しなければならない。 (2)基板はガラス基板のような透明な基板に限られ、
不透明な基板を用いることが不可能であった。
【0005】本発明は、前記問題点を解決して、紫外線
硬化樹脂の熱膨張をより小さくするため、ICチップと
基板の接続電極部分のみ、紫外線硬化樹脂を硬化させる
ことのできる紫外線硬化樹脂による素子接続方法を提供
することを目的とする。また、本発明は、不透明基板の
使用が可能な紫外線硬化樹脂による素子接続方法を提供
することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記問題点を解決するた
めに、本発明は、ICやチップ部品等の素子の接続電極
と透明基板の接続電極が所定の位置で重なるように配置
した後、紫外線硬化樹脂を用いて接続する方法におい
て、マスクを通して接続電極部分のみに紫外線を照射す
る、または、あらかじめスクリーン印刷またはスタンプ
印刷により素子または透明基板の接続電極部分のみに紫
外線硬化樹脂を供給することにより、接続電極部分の
み、紫外線硬化樹脂を硬化させるように構成したもので
ある。
【0007】また、本発明は、ICやチップ部品等の素
子の接続電極と不透明基板の接続電極が所定の位置に重
なるように配置した後、紫外線硬化樹脂を用いて接続す
る方法において、不透明基板と素子の間に紫外線硬化樹
脂を供給し、不透明基板と素子の間に複数方向から紫外
線を照射し、紫外線の交差した部分のみ、紫外線硬化樹
脂を硬化させるように構成したものである。
【0008】
【作用】本発明によれば、以上のように紫外線硬化樹脂
による素子接続方法を構成したので、ICやチップ部品
等の素子の接続電極と透明基板の接続電極が所定の位置
に重なるように配置した後、透明基板上に紫外線が接続
電極部分のみ透過するようにマスクを配置し、マスクと
透明基板を通して紫外線を照射したり、あらかじめスク
リーン印刷またはスタンプ印刷により素子または基板の
接続電極部分のみに紫外線硬化樹脂を供給しておき、素
子の接続電極と透明基板の接続電極が所定の位置に重な
るように配置した後、透明基板を通して紫外線を照射し
たりすることにより、接続電極部分のみ、紫外線硬化樹
脂を硬化させる。
【0009】したがって、硬化する紫外線硬化樹脂の範
囲を所望の部分のみに抑えることができるので、紫外線
硬化樹脂の熱膨張が抑えられ、その結果、基板と素子間
の剥離が抑えられる。また、本発明によれば、ICやチ
ップ部品等の素子の接続電極と不透明基板の接続電極が
所定の位置に重なるように配置した後、不透明基板と素
子の間に紫外線硬化樹脂を供給し、不透明基板と素子の
間に複数方向からそれぞれ紫外線硬化樹脂を硬化させな
い程度の強度を有する紫外線を照射し、その交差した部
分のみ、紫外線硬化樹脂を硬化させる。
【0010】したがって、硬化する紫外線硬化樹脂の範
囲を所望の部分のみに抑えることができるので、紫外線
硬化樹脂の熱膨張が抑えられ、その結果、基板と素子間
の剥離が抑えられる。また、不透明基板を用いることが
できる。
【0011】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。 (第1実施例)図1は本発明の第1実施例に係る紫外線
硬化樹脂による素子接続方法の説明図である。
【0012】本実施例においては、まず、紫外線を透過
するガラス基板3とICチップ2のそれぞれの接続電極
4が所定の位置に重なり合うようにステージ1上に配置
し、ガラス基板3とICチップ2の間に紫外線硬化樹脂
6を流し込む。次に、紫外線を透過する透光部7aを有
するマスク7を紫外線が接続電極4の部分のみ透過する
ようにガラス基板3にかぶせ、上方からマスク7、ガラ
ス基板3、ICチップ2に加圧しつつ、マスク7及びガ
ラス基板3を通して従来と同様の紫外線照射装置(図示
せず)から紫外線5を照射する。
【0013】このようにすると、接続電極4のみに紫外
線5が照射され、その部分の紫外線硬化樹脂6のみが硬
化する。紫外線硬化樹脂6の硬化終了後、加圧を解除し
て接続を完了する。未硬化の紫外線硬化樹脂6は必要に
応じて、注射器等で吸い出したり、溶剤等で洗い流した
りして取り除いてもよい。なお、図1では説明の便宜
上、ガラス基板3とマスク7を離してあるが、実際は接
している。
【0014】(第2実施例)図2は本発明の第2実施例
に係る紫外線硬化樹脂による素子接続方法の説明図であ
る。本実施例は、ガラス基板とICチップの接続電極を
重ね合わせる前に、スクリーン印刷によってガラス基板
またはICチップの接続電極に紫外線硬化樹脂を選択的
に供給するもので、スクリーンマスク13上に紫外線硬
化樹脂12をのせ、スキージ11からスクリーンマスク
13に圧力をかけてスクリーンマスク13の開口13a
を通してガラス基板あるいはICチップ14の接続電極
15上に樹脂16を供給する。そして、このガラス基板
あるいはICチップ14の接続電極15が互いに所定の
位置で重なり合うように配置し、紫外線を照射して接続
を行う。
【0015】このようにすると、ガラス基板とICチッ
プの接続電極が所定の位置に重なり合うように配置した
後には紫外線硬化樹脂を新たに流し込む必要はなくな
る。また、紫外線の照射の際には第1実施例のようなマ
スクも必要なく、紫外線を全面に照射して紫外線硬化樹
脂を硬化させればよい。 (第3実施例)図3は本発明の第3実施例に係る紫外線
硬化樹脂による素子接続方法の説明図である。
【0016】本実施例は、ガラス基板とICチップの接
続電極を重ね合わせる前に、スタンプ印刷によってガラ
ス基板またはICチップの接続電極に紫外線硬化樹脂を
選択的に供給するもので、まず、(a),(b)に示す
ように、ICチップやガラス基板25の接続電極26の
位置と同様な位置に突起24を有する治具21を準備す
る。そして、この治具21に対して、ガラス板のような
平らなステージ23上に紫外線硬化樹脂22を一定の厚
さになるように載せる。次に、その上から治具21を押
し付け突起24のみに樹脂を供給する。次に、(c),
(d)に示すように、治具21の突起24をガラス基板
またはICチップ25の接続電極26が一致するように
重ねて、紫外線硬化樹脂22のついた治具21の突起2
4からそれぞれの接続電極26へ選択的に紫外線硬化樹
脂22を供給する。この後の工程はスクリーン印刷の場
合と同様になる。
【0017】本実施例においても、第2実施例と同様
に、ガラス基板とICチップの接続電極が所定の位置に
重なり合うように配置した後には紫外線硬化樹脂を新た
に流し込む必要はなく、かつ、紫外線の照射の際には第
1実施例のようなマスクも必要ない。 (第4実施例)図4は本発明の第4実施例に係る紫外線
硬化樹脂による素子接続方法を説明する上面図、図5は
その側面図である。
【0018】本実施例では、図5に示すように、紫外線
硬化樹脂36を部分的に硬化させるために複数の紫外線
光源35を用意する。また、ステージ31には不透明基
板32上に接続電極34が所定の位置となるようにIC
チップ33を重ね合わせ、ICチップ33と不透明基板
32の間に紫外線硬化樹脂36を供給したユニットを載
せる。そして、複数の紫外線光源35を用いて硬化させ
たい接続電極37の部分で紫外線光源35より照射した
紫外線が交差するように紫外線を照射する。この時、1
つの紫外線光源35からは紫外線硬化樹脂36が硬化し
ない程度の強度の紫外線を照射する。また、紫外線の進
行方向はステージ面に対して平行で、不透明基板32と
ICチップ33の隙間を進むようにする。このようにす
ると、接続電極34中、複数の紫外線光源35からの紫
外線が交差した接続電極37の部分のみ紫外線照射量が
増すので、その部分の紫外線硬化樹脂36を選択的に硬
化させることが可能となる。未硬化の紫外線硬化樹脂
は、第1実施例と同様、必要に応じて、注射器等で吸い
出したり、溶剤等で洗い流したりして取り除いてもよ
い。
【0019】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能で
あり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【0020】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、接続電極部のみ、紫外線硬化樹脂を硬化させる
ようにしたので、硬化する紫外線硬化樹脂の範囲を所望
の部分のみに抑えることができる。したがって、紫外線
硬化樹脂の熱膨張が抑えられ、基板と素子間の剥離を抑
えることができる。
【0021】また、本発明によれば、基板と素子の間に
複数方向から紫外線を照射し、その交差させた箇所のみ
が硬化するようにしたので、硬化する紫外線硬化樹脂の
範囲を所望の部分のみに抑えることができ、かつ、不透
明基板を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例に係る紫外線硬化樹脂によ
る素子接続方法の説明図である。
【図2】本発明の第2実施例に係る紫外線硬化樹脂によ
る素子接続方法の説明図である。
【図3】本発明の第2実施例に係る紫外線硬化樹脂によ
る素子接続方法の説明図である。
【図4】本発明の第4実施例に係る紫外線硬化樹脂によ
る素子接続方法を説明する上面図である。
【図5】本発明の第4実施例に係る紫外線硬化樹脂によ
る素子接続方法を説明する側面図である。
【図6】従来の紫外線硬化樹脂による素子接続方法の説
明図である。
【符号の説明】
1 ステージ 2 ICチップ 3 ガラス基板 4 接続電極 5 紫外線 6 紫外線硬化樹脂 7 マスク 11 スキージ 13 スクリーンマスク 21 治具 35 紫外線光源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 北山 憂子 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号 沖電気 工業株式会社内 (72)発明者 井口 泰男 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号 沖電気 工業株式会社内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ICやチップ部品等の素子の接続電極と
    透明基板の接続電極が所定の位置で重なるように配置し
    た後、紫外線硬化樹脂を用いて接続する方法において、 接続電極部分のみ、紫外線硬化樹脂を硬化させることを
    特徴とする紫外線硬化樹脂による素子接続方法。
  2. 【請求項2】 (a)透明基板と素子の間に紫外線硬化
    樹脂を供給し、 (b)紫外線が接続電極部分のみ透過するように該透明
    基板上にマスクを配置し、 (c)該マスク及び前記透明基板を通して該接続電極部
    分のみに紫外線を照射することを特徴とする請求項1記
    載の紫外線硬化樹脂による素子接続方法。
  3. 【請求項3】 (a)透明基板またはICチップの接続
    電極に紫外線硬化樹脂をスクリーン印刷あるいは治具に
    よるスタンプ印刷によって選択的に供給し、 (b)該透明基板の接続電極と素子の接続電極が所定の
    位置に重なるように配置し、 (c)前記透明基板を通して紫外線を照射することを特
    徴とする請求項1記載の紫外線硬化樹脂による素子接続
    方法。
  4. 【請求項4】 ICやチップ部品等の素子の接続電極と
    不透明基板の接続電極が所定の位置に重なるように配置
    した後、紫外線硬化樹脂を用いて接続する方法におい
    て、 (a)不透明基板と素子の間に紫外線硬化樹脂を供給
    し、 (b)該不透明基板と素子の間に複数方向から紫外線を
    照射し、該紫外線の交差した部分のみ、前記紫外線硬化
    樹脂を硬化させることを特徴とする紫外線硬化樹脂によ
    る素子接続方法。
JP26758991A 1991-10-16 1991-10-16 紫外線硬化樹脂による素子接続方法 Withdrawn JPH05109822A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105388641A (zh) * 2014-08-20 2016-03-09 松下知识产权经营株式会社 元件压接装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105388641A (zh) * 2014-08-20 2016-03-09 松下知识产权经营株式会社 元件压接装置
CN105388641B (zh) * 2014-08-20 2020-10-27 松下知识产权经营株式会社 元件压接装置

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Effective date: 19990107