JPH05104261A - 接合方法及び装置 - Google Patents
接合方法及び装置Info
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- JPH05104261A JPH05104261A JP27121091A JP27121091A JPH05104261A JP H05104261 A JPH05104261 A JP H05104261A JP 27121091 A JP27121091 A JP 27121091A JP 27121091 A JP27121091 A JP 27121091A JP H05104261 A JPH05104261 A JP H05104261A
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Abstract
に合わせ、接合ヘッド搭載テ−ブル14を移動位置決め
後、クランプ装置42a,42bによりクランプし、接
合部分を加熱コイル4により加熱する。表面加熱温度、
クランプ装置42a,42bの変位量、シリンダ5の加
圧力をそれぞれ検出し、設定値により加圧力を任意の速
度で付加することにより圧接完了する。次に接合部分の
バリを、バリ除去型32,33により二方向から剪断に
よりカットした後、表面の鋭いバリ、段差等を平坦化す
る。 【効果】 安定した接合強度を確保でき、またライン上
で被加工物の位置を決め、加熱、接合、バリ除去、平坦
化の一連の工程が自動的に行える。更に粉塵等の問題が
ない。
Description
部分のバリ除去、バリ除去部分の平坦化の、一連した接
合工程を連続的に行える接合方法及び装置に関する。
9号公報に記載のように、加熱コイルで加熱する場合、
接触式の温度測定器を取付けて実施するのは特にライン
上では困難であるため、加熱温度の検出は被加工物の基
準点間寸法を測定し、それに基づいて接合する方法であ
った。また、特開昭57−1591号公報は、冷間接合
に関するものであり、被加工物を自動的に突き出し部分
の確保を図ることにより接合する方法であった。また、
バリ除去方法及び、バリ除去部の平坦化に関しては言及
されていない。また、特開昭60−210381号公報
では、接合部が高温状態にある時、靭性の高い方の金属
棒から靭性の低い金属棒に向けて衝撃力を加えて、接合
部分の引っ張り強度向上を図ることを目的とした方法で
あり、また、型を固定として被加工物を一方向から移動
させてバリ除去する方法である。
号公報に記載のように、型をアンクランプ後、被加工物
の突き出し長さを確保し、接合、押し込み量が不足の場
合は、再度繰り返す方法がとられている。この場合、接
合後にバリを完全に除去することは、被加工物の押し込
み力に対抗する反力をクランプ力で行っているため、バ
リを除去するためには大きな力が必要であり、完全なバ
リ除去も困難であった。更に、型の寿命も短くライン化
作業には問題があった。また、特開昭60−21038
1号公報のように、一方からのバリ除去では、バリ除去
する際の反力を被加工物に与える必要があり、また、バ
リ除去時の応力状態も異なるため問題があった。更に、
剪断によりバリ除去を行う限り、鋭いバリが残る現状で
は、機械加工もしくは、研削により行っており、粉塵等
の制限が厳しい場所では問題があった。
での接合に関する装置及び方法、また、接合技術とその
接合部分のバリ除去方法及び装置に関するものはない。
ライン上で、しかも無限に長い被加工物を送り、停止さ
せた後、被加工物の端面と加熱コイルとの位置決めを確
実にしないと、突合せ部分の加熱温度上昇が異なり、接
合不能となる。また、加熱の再現性も低下し、接合性の
良否に大きく影響する。また、ライン上で接合する際、
被加工物に高精度な接触式の温度測定器を取り付け、終
了後に取り除くといった工程では問題であった。仮に、
非接触式の温度測定器により温度管理を考えた場合に
は、信頼性に欠け再現性に問題があった。
加工物とを接合、バリ除去、バリ除去部分の平坦化をラ
イン上で自動的にかつ短時間に行え、更にカットしたバ
リを複数に分割し被加工物より切り離せることのできる
バリ除去方法及び装置を提供することである。
突合せ、接合面の位置を検出、被加工物と加熱コイルと
の相対位置決め、加熱、加圧力付加による接合、接合完
了後のバリ除去を自動的に行えることを可能とし、接合
条件の検出により、信頼性の高い接合方法及び装置を提
供することである。
加工物を突合せ、接合面の位置検出、被加工物との相対
位置決め、加熱、加圧力による接合完了後のバリ除去を
行う過程において、被加工物をクランプ、拘束の目的で
使用している型の寿命を向上できる接合方法及び装置を
提供することである。
に本発明は、ライン上で一対の被加工物の端面同士を軸
を共通にして突き合わせる工程と、前記突き合せ部分を
加熱手段により加熱して一体に接合する工程と、前記接
合部分の周囲にできたバリを複数に分割して除去する工
程と、を含む接合方法である。
の端面同士を軸を共通にして突き合わせる工程と、前記
突き合せ部分を加熱手段により加熱して一体に接合する
工程と、前記接合部分の周囲にできたバリを複数に分割
して除去する工程と、前記バリを除去された接合部分に
ローラを押し付けて平坦化する工程と、を含む接合方法
である。ここで、前記突き合せ部分と加熱手段との相対
位置を検出して、前記一対の被加工物が互いに同様に温
度上昇するように制御する工程を含むものがよい。
の端面同士を軸を共通にして突き合わせる手段と、前記
突き合せ部分を加熱して一体に接合する加熱手段と、前
記接合部分の周囲にできたバリを複数に分割して除去す
るバリ分割除去手段と、を備えた接合装置である。
の端面同士を軸を共通にして突き合わせる手段と、前記
突き合せ部分を加熱して一体に接合する加熱手段と、前
記接合部分の周囲にできたバリを複数に分割して除去す
るバリ分割除去手段と、前記バリを除去された接合部分
にローラを押し付けて平坦化する表面仕上げ手段と、を
備えた接合装置である。
の位置決め機構を有し被加工物の外周を拘束し軸方向に
移動可能な金型と、被加工物をクランプする型を備え、
軸方向に移動可能で位置制御可能な同一直線上に配列さ
れ両クランプ装置の中間位置に軸方向とその直角方向に
移動可能な加熱コイルと、上下に移動可能で被加工物の
突合せ位置を検出できる測定器と、前記クランプ装置の
位置移動量を検出できる変位測定器と、被加工物の加熱
温度を非接触式で検出できる温度測定器と、軸方向の押
し付け力を検出可能な荷重検出器を具備し、軸方向に移
動可能な接合ヘッドと、被加工物の位置決めとクランプ
機能を有した被加工物拘束装置を具備し、軸方向と直角
方向に移動可能な接合ヘッド搭載テ−ブルと、接合部分
のバリを除去しかつ被加工物の表面を平坦にするバリ除
去装置を有するものがよい。
れ、その加熱中常に一定の力で加圧するよう制御され、
設定温度までの間クランプ装置の位置移動量を検出する
位置検出器により被加工物の変形量を算出し、変形量が
同一になるように、加熱コイルを軸方向に微調整移動さ
せ、クランプ装置の移動量から変形加速度を求め、その
値が設定値に達した時に接合力を加えて接合するものが
よい。また、被加工物の温度とクランプ装置の軸方向の
押し付け力とクランプ装置の移動量から、押し付け速度
を求める機能を有するものがよい。また、接合された被
加工物を外周拘束する下型と、開閉移動可能な上型とを
組み合わせ、対向させた一対のバリカット型と、バリカ
ット型の外側に配置したガイド用タイロッドを摺動させ
て軸方向移動可能なバリカットヘッドと、前記バリカッ
トヘッドを自在ロ−ラに搭載し四方からバネ等により求
心構造にした支持フレ−ムと、前記支持フレ−ムとバリ
カット型との相対位置をずらすシリンダと、前記対向さ
せた一対のバリカット型の中間位置に配置し被加工物の
バリカット部分を四方からロ−ラ又はプレス型により変
形可能なプレス装置と、前記支持フレ−ム上に被加工物
をクランプ可能なクランプ装置と、を有するものがよ
い。また、対向させた一対のバリカット型の先端形状
は、対向した上下面の型と90度回転した左右面の型の
寸法を替えて形成されたものがよい。
能を設けることにより、ライン上で被加工物をくりだし
た後、クランプ型内にセットすることが可能となる、ま
た、被加工物拘束装置によりクランプしクランプ型をア
ンクランプした状態で被加工物の端面を検出する測定器
を任意の位置に移動、検出後、被加工物の端面の位置に
合わせて接合ヘッドを軸方向に移動することにより、接
合ヘッドに具備された加熱コイルとの位置を自動的に決
定することが可能となる。また、被加工物の加熱状態を
監視する非接触式の温度測定器と、被加工物の軸方向押
し付け力を検出する荷重検出器と被加工物の位置移動量
を検出する変位測定器により、加熱中の状態をリアルタ
イムで測定することにより、被加工物の任意位置の温
度、軸方向変位量、加熱幅、をリアルタイムで演算可能
となり、接合する際の軸方向の押し付け力を最適なタイ
ミングで制御することが可能となる。また、各検出デ−
タより加熱コイルの電流電圧出力の制御も可能となる。
また、上下移動可能で被加工物をクランプする型内をガ
イドとして、接合近傍の外周を拘束可能な金型をクラン
プ型と分離構造にすることにより、接合後、直ちに互い
に対向して配置された金型のみを軸方向に移動させ、対
向する金型を接近もしくはラップさせることにより、接
合部分が軟化している状態でバリ除去が可能となる。
な場合、もしくは、除去後、接合ヘッド搭載テ−ブルを
軸方向と直角方向に移動させた後、被加工物下方待機位
置より上昇し、互いに対向させて配置したバリカット型
内に受け入れ後、上型を閉じ、一対の型先端部分を段違
い形状にしたバリカット型をバリ部分を両側から押し込
むように接近させ、互いにラップさせた後、一対のバリ
カット型を被加工物に対して相対的に移動させることに
より、被加工物よりバリをカットし排除することが可能
となる。また、一対のバリカット型内に被加工物を受け
入れる際、バリカットヘッドを自在ロ−ラで受け入れる
構造にすることにより、容易に受け入れ可能となる。ま
た、互いに対向したバリカット型の間に配置したロ−ラ
もしくはプレス型により、バリカット後の鋭角な小バリ
を全周に渡って塑性変形させることにより表面の平坦化
が可能となる。
接合装置を図1乃至図13により説明する。図1、図2
において、本実施例の接合装置は、被加工物19a,1
9bの幅方向の位置決め機能44a,44bを有し、被
加工物19a,19bの任意の外周を拘束し、軸方向に
移動可能な分割金型3a,3b,3c,3dと被加工物
19a,19bを上部に設けた油圧シリンダ2a,2b
によりクランプ可能なクランプ型1a,1bを備え、軸
方向にリニアガイド9a,9b上を移動可能で位置制御
可能なクランプ装置42a,42bを同一軸上に対向さ
せて配列し、両クランプ装置42a,42bの中間位置
に、軸方向と直角方向にリニアガイドを有したフレ−ム
8上に固定された加熱コイル4と、クランプ装置42b
側面に取付けた上下移動可能で被加工物19a,19b
の突合せ位置を検出できる測定器17と、クランプ装置
42a,42bの軸方向押し付け力を検出可能な荷重検
出器22a,22bと、加熱コイル4に固定され被加工
物19a,19bの加熱温度を非接触式で検出できる温
度測定器43a,43bと、クランプ装置42a,42
bの位置移動量を検出できる変位測定器21a,21b
と同一軸上に対向するように配置されたクランプ装置4
2a,42bの両側に設けた反力板20a,20bに固
定された油圧サ−ボシリンダ5a,5bを具備し、軸方
向にリニアガイド10a,10b上をNC制御可能なモ
−トル11により回転するスクリュ−軸12により移動
可能な接合ヘッド13と、被加工物19a,19bの軸
方向の固定及び幅方向の位置決めをクランプ型16で油
圧シリンダ15により行い、クランプ装置42bの手前
側に配置した被加工物拘束装置を具備し、前記接合ヘッ
ド搭載テ−ブル14は、リニアガイド17によりベ−ス
18上を軸方向と直角方向に移動可能なものとする。
い被加工物19a,19bをライン上の任意の位置で停
止させる。接合ヘッド搭載テ−ブル14を移動させ被加
工物19a,19bをクランプ装置42a,42bの中
に受け入れた後、幅方向の位置決め機能44a,44b
を駆動させて幅方向の位置決めを行いクランプ型1a,
1bにより被加工物19a,19bを上下方向よりクラ
ンプする。その後、測定器17により被加工物19a,
19bの端面の位置を検出し、型3a,3b,3c,3
d先端からの突き出し長さに対しズレがある場合、クラ
ンプ型16により被加工物19bをクランプ、クランプ
型1bをアンクランプにして接合ヘッド13を移動させ
て位置を決定した後、クランプ型1bでクランプし、次
に被加工物19aを被加工物19bの端面を基準に一定
の押し付け力で接触させて位置を決定する。
を突き合わせた状態でコの字型をした加熱コイル4を移
動させ、被加工物19a,19bをはさみ込んだ後、電
流電圧出力をONし加熱する。接合方法として、図7に
示すように加熱コイル4に具備した非接触式温度測定器
43a,43bにより、被加工物19a,19bの表面
温度をリアルタイムで測定し、設定温度までの加熱状態
を監視する。両者の温度に差がある場合、加熱コイル4
の電流電圧出力をON,OFF繰り返すことにより設定
温度までの到達時間を同一にする。同時にクランプ装置
42a,42bの位置移動量を検出する位置検出器21
a,21bにより、変形速度V1,V2を算出し、加熱コ
イル4を軸方向に微調整移動させることにより変形速度
を設定値にあわせる。被加工物19a,19bの変形量
L1,L2、表面温度T1,T2を設定値と比較した後、最
大設定変形量まで軸力2を確保するように荷重付加速度
を制御する。
a,3b,3c,3dを軸方向に移動させることによ
り、被加工物19a,19bがまだ冷えない状態で接合
により発生したバリを剪断によりカットする。図3〜図
6にその工程を示す。
下部に待機可能でかつ油圧シリンダ41によりリニアガ
イド27をガイドに上下移動できるバリ除去装置を配置
している。クランプ装置42a,42bの内部構造とし
て、クランプ可能なクランプ型1a,1bの内部に溝を
有し、その溝をガイドとして摺動可能な分割金型3a,
3b,3c,3dはクランプ型1a,1bの端面に設置
した油圧シリンダ6a,6b,6c,6dにより軸方向
に移動可能であり、かつ被加工物19a,19bの外周
を拘束できる構造となっている。また、対向させて配置
した分割金型3a,3b,3c,3dの先端形状は、図
12及び図13に示すようにバリ除去を行うため接近さ
せた際、互いに向かいあう上下と左右の寸法を替え、段
違いにすることにより被加工物19a,19bから完全
にバリを複数の4分割に剪断できるものとした。
は、無限長さの被加工物19a,19bを接合下後の接
合部分のバリを除去するものである。被加工物19a,
19bを図14に示すように外周拘束できるL字型形状
をした下型32a,32bと、軸方向と直角方向に油圧
シリンダ34a,34bにより開閉可能な上型33a,
33bと、ガイドフレ−ム31a,31bに取付、対向
させた一対のバリカット型を、バリカット型の外側に配
置したガイド用タイロッド23a,23bの外周をガイ
ドとして軸方向に摺動可能なバリカットヘッド21,2
2に固定し、バリカットヘッド21,22の間に配置し
た油圧シリンダ20により軸方向リニアガイド29をガ
イドに移動可能な構造であり、また、油圧シリンダ20
を含め全体的にタイロッド23a,23bをガイドとし
て摺動可能である。バリカットヘッド21,22を搭載
しているベ−ス23を自在ロ−ラ24上に搭載し、支持
ブロック26の四方向からバネ25により求心構造とし
た。また、被加工物19aの任意の位置をクランプ装置
35a,35bによりクランプ後、前記支持ブロック
と、バリカット型との相対位置に配置し、図15に示す
ように被加工物19a,19bのバリカット部分を前記
タイロッド23a,b,c,dの軸方向に摺動可能な構
造とし、被加工物19a,19bの側面を油圧シリンダ
40により反力型42を押し付け位置決めし、反対側の
側面から上下方向にバネ43を介して支持された上下ロ
−ラ38と、反力型42を有したコの字型フレ−ム36
を油圧シリンダ37で移動できるような構造である。
る。前記接合方法において、バリ除去不可能な場合につ
いて行うものであり、更にバリ除去後の被加工物19
a,19bの表面の平坦化を連続的に行うものである。
図9に示すように、被加工物19a,19bを接合後、
図14に示したL字型形状をした下型32a,32bの
中に受け入れ、その後上型33a,33bを油圧シリン
ダにより閉じて被加工物19a,19bの外周を任意の
ギャップをもって拘束し、バリカット型の外側に配置し
たガイド用タイロッド23a,23bの外周をガイドと
して軸方向接合面に向けて油圧シリンダ34a,34b
により摺動させ、バリを両側から剪断によりカットす
る。最終的に対向させた金型の先端が接触する前に停止
させる。バリカット型の上型33a,33b、下型32
a,32bの先端形状として、図12及び図13に示し
た如く段違い寸法になっているため、バリは輪形状を複
数の4分割にされ、被加工物19a,19bに付いた形
状となる。図9(b)の状態から被加工物19a,19
bをバリカット型の後方に配置したクランプ装置35
a,35bによりクランプし、油圧シリンダ28により
バリカット型全体を右から左側へ移動させることによ
り、バリは被加工物19a,19bから完全に剪断され
カットされる。
如く、バリカット型と被加工物19a,19bの間に微
小なギャップを有するため、段付き形状となる。図15
に示す如く被加工物19a,19bの側面は外側フレ−
ム39内をガイドとして移動可能な型42によりプレス
成形を行う。また上下面はバネ43を介して取付けられ
たロ−ラ38により、一定の力で圧延することにより表
面の平坦化を行い完了する。
て記載したが、AlとAl,CuとCu,Fe系材の接
合にも適用できる。また、被加工物の断面形状において
も、丸形、角形、パイプ等に適用できる。
態でバリ除去、平坦化の一連した工程を自動的に行える
効果がある。被加工物の端面の位置を検出し、その位置
に合わせて加熱コイルを被加工物の移動経路方向に移動
可能としたため、被加工物の端面位置にズレが発生して
も常に加熱コイルを同様な位置に移動可能であり安定し
た接合が容易にできる。また被加工物の材質が変わった
場合、あるいは、被加工物の先端形状が変化した場合に
おいても、常に加熱温度を設定温度に保持し、接合面に
負荷される面圧と変形速度を制御することにより接合強
度を安定的に確保できる。更に、接合後直ちに、バリを
剪断によりカット可能となり、比較的小さな荷重で剪断
可能となり、互いに対向するバリカット型の先端形状を
段違いにしてラップさせることによりバリカット型を最
大に接近させた状態で全周に渡って四分割され、容易に
被加工物からバリを除去可能となる。また、クランプ型
の中間に配置したプレス型と圧延ロ−ラで被加工物の表
面を塑性変形により平坦化することにより、従来技術で
行っていた研磨作業、機械作業で問題となっていた粉塵
に対する心配がなくなり、環境の改善が図られるととも
に、本発明により、被加工物を固定した状態でバリ除
去、平坦化の一連した工程を自動的に行える効果があ
る。更に、被加工物クランプ用型とバリ除去用型を分離
することによりバリ除去用型の寿命が向上する。
動経路方向と直角方向に逃げ、待機位置の下からバリ除
去装置が上昇し、接合によって発生したバリを除去、平
坦化することにより接合、バリ除去、平坦化の一連した
工程を自動的に行える。そのバリ除去方法においては、
バリをはさんで両側からクランプ型によりカットする構
造であり、更にクランプ全体を、タイロッドをガイドと
して軸方向に摺動可能としているため、バリの位置にあ
わせ自動的にならう機構となっているため、剪断力とし
て接合面に対し圧縮の力が付加され接合強度が強化され
る効果がある。更に、バリ除去の際、上記機構になって
いるため、無理な力が装置にかからず、コンパクトな装
置ができる。また、バリカット型を接近させた後、クラ
ンプ型先端形状の寸法を段違いにしクランプ型と被加工
物との相対位置をずらすことにより、完全にバリを除去
できる。
正面図である。
去、表面平坦化一連の加工工程を示す図である。
Claims (10)
- 【請求項1】 ライン上で一対の被加工物の端面同士を
軸を共通にして突き合わせる工程と、前記突き合せ部分
を加熱手段により加熱して一体に接合する工程と、前記
接合部分の周囲にできたバリを複数に分割して除去する
工程と、を含む接合方法。 - 【請求項2】 ライン上で一対の被加工物の端面同士を
軸を共通にして突き合わせる工程と、前記突き合せ部分
を加熱手段により加熱して一体に接合する工程と、前記
接合部分の周囲にできたバリを複数に分割して除去する
工程と、前記バリを除去された接合部分にローラを押し
付けて平坦化する工程と、を含む接合方法。 - 【請求項3】 請求項1又は2において、前記突き合せ
部分と加熱手段との相対位置を検出して前記一対の被加
工物が互いに同様に温度上昇するように制御する工程を
含む接合方法。 - 【請求項4】 ライン上で一対の被加工物の端面同士を
軸を共通にして突き合わせる手段と、前記突き合せ部分
を加熱して一体に接合する加熱手段と、前記接合部分の
周囲にできたバリを複数に分割して除去するバリ分割除
去手段と、を備えた接合装置。 - 【請求項5】 ライン上で一対の被加工物の端面同士を
軸を共通にして突き合わせる手段と、前記突き合せ部分
を加熱して一体に接合する加熱手段と、前記接合部分の
周囲にできたバリを複数に分割して除去するバリ分割除
去手段と、前記バリを除去された接合部分にローラを押
し付けて平坦化する表面仕上げ手段と、を備えた接合装
置。 - 【請求項6】 請求項4又は5において、被加工物の幅
方向の位置決め機構を有し被加工物の外周を拘束し軸方
向に移動可能な金型と、被加工物をクランプする型を備
え、軸方向に移動可能で位置制御可能な同一直線上に配
列され両クランプ装置の中間位置に軸方向とその直角方
向に移動可能な加熱コイルと、上下に移動可能で被加工
物の突合せ位置を検出できる測定器と、前記クランプ装
置の位置移動量を検出できる変位測定器と、被加工物の
加熱温度を非接触式で検出できる温度測定器と、軸方向
の押し付け力を検出可能な荷重検出器を具備し、軸方向
に移動可能な接合ヘッドと、被加工物の位置決めとクラ
ンプ機能を有した被加工物拘束装置を具備し、軸方向と
直角方向に移動可能な接合ヘッド搭載テ−ブルと、接合
部分のバリを除去しかつ被加工物の表面を平坦にするバ
リ除去装置を有することを特徴とする接合装置。 - 【請求項7】 請求項4〜6のいずれかにおいて、被加
工物は一定の力で突き合され、その加熱中常に一定の力
で加圧するよう制御され、設定温度までの間クランプ装
置の位置移動量を検出する位置検出器により被加工物の
変形量を算出し、変形量が同一になるように、加熱コイ
ルを軸方向に微調整移動させ、クランプ装置の移動量か
ら変形加速度を求め、その値が設定値に達した時に接合
力を加えて接合することを特徴とする接合装置。 - 【請求項8】 請求項4〜7のいずれかにおいて、被加
工物の温度とクランプ装置の軸方向の押し付け力とクラ
ンプ装置の移動量から、押し付け速度を求める機能を有
することを特徴とする接合装置。 - 【請求項9】 請求項4〜8のいずれかにおいて、接合
された被加工物を外周拘束する下型と、開閉移動可能な
上型とを組み合わせ、対向させた一対のバリカット型
と、バリカット型の外側に配置したガイド用タイロッド
を摺動させて軸方向移動可能なバリカットヘッドと、前
記バリカットヘッドを自在ロ−ラに搭載し四方からバネ
等により求心構造にした支持フレ−ムと、前記支持フレ
−ムとバリカット型との相対位置をずらすシリンダと、
前記対向させた一対のバリカット型の中間位置に配置し
被加工物のバリカット部分を四方からロ−ラ又はプレス
型により変形可能なプレス装置と、前記支持フレ−ム上
に被加工物をクランプ可能なクランプ装置と、を有する
ことを特徴とする接合装置。 - 【請求項10】 請求項4〜9のいずれかにおいて、対
向させた一対のバリカット型の先端形状は、対向した上
下面の型と90度回転した左右面の型の寸法を替えて形
成されたことを特徴とする接合装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3271210A JP2598632B2 (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 接合方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3271210A JP2598632B2 (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 接合方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH05104261A true JPH05104261A (ja) | 1993-04-27 |
JP2598632B2 JP2598632B2 (ja) | 1997-04-09 |
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ID=17496885
Family Applications (1)
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JP3271210A Expired - Fee Related JP2598632B2 (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 接合方法及び装置 |
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