JPH051000U - 真空圧発生器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空圧発生器における弁ユニットの複数の通
路構成を簡素化する。 【構成】 弁ユニット１の本体５に、エゼクタユニット
２における流体の流れ方向と略直交する方向でかつその
上流側から、圧力流体の供給通路６、吸引通路７及び排
出通路８を順次配設し、供給通路６をエゼクタユニット
２の圧力室１８に、吸引通路７を吸引室１９ａ，１９ｂ
に、排出通路８を排気室２０にそれぞれ連通させ、供給
通路６に供給弁９を設ける。 【効果】 弁ユニットにおける各通路の構成が簡素化さ
れ、かつ各通路とエゼクタの対応する各室との接続が容
易である。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、吸着搬送装置に好適な真空圧発生器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

真空圧を発生させるためのエゼクタユニットと、弁ユニットとを備えた真空圧 発生器は、例えば実公昭６１ー１５２８０号公報によって既に知られており、こ の弁ユニットには、エゼクタユニットの圧力室に圧力流体を供給する供給通路、 エゼクタユニットの吸引室と吸引ポートを連通させる吸引通路、及びエゼクタユ ニットの排気室を外部に連通させる排出通路が設けられている。

【０００３】 しかしながら、上記公知の真空圧発生器は、これらの通路の配置ついての配慮 に欠けるため、弁ユニットにおけるこれらの通路構成が複雑である。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

本考案が解決しようとする課題は、弁ユニットにおける複数の通路構成が簡素 化された真空圧発生器を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するため、本考案は、真空圧を発生させるエゼクタユニットと 、その一側に取付けた弁ユニットとを備え、上記弁ユニットが、圧力流体を上記 エゼクタユニットの圧力室に供給する供給通路と、吸引ポートをエゼクタユニッ トの吸引室に連通させる吸引通路と、エゼクタユニットの排気室を排気口に連通 させる排出通路とを有する真空圧発生器において、上記弁ユニットにおけるこれ らの通路を、エゼクタユニットにおける流体の流れ方向と略直交する方向に、そ の上流側から順次配設し、弁ユニットに、上記供給通路を開閉する供給弁とその 駆動部を設けたことを特徴としている。

【０００６】 また、同様の課題を解決するため、吸引通路の真空圧を検出するための真空圧 検出ユニットを設けるとよい。

【０００７】 さらに、供給弁が、供給通路と駆動部の間をシールする、供給通路の流体圧に より拡径するシール部材、ダイヤフラム状の環状のシール部材、または断面扁平 な環状シール部材を備えているとよい。

【０００８】 また、供給弁が、供給通路の一次側に連通する圧力室と、ばねを縮設したパイ ロット室とを備え、パイロット室に給排されるパイロット流体によって供給通路 を開閉するものとするとよい。

【０００９】

【作用】

弁ユニットの圧力流体の供給通路、吸引通路及び排出通路を、エゼクタユニッ トにおける流体の流れ方向と略直交する方向で、かつその上流側から順次配設し たので、弁ユニットにおけるこれらの通路を簡素化することができ、かつエゼク タユニットの各室への連通が容易である。

【００１０】 また、真空圧検出ユニットによって、吸引通路の真空圧を検出することができ る。

【００１１】 さらに、供給弁に設けたシール部材によって、供給通路と駆動部との間をシー ルできるばかりでなく、特にダイヤフラム状の環状シール部材によって、流体中 への潤滑材の混入を防止することができる。

【００１２】

【実施例】

図１及び図２は本考案の実施例を示し、この真空圧発生器は、弁ユニット１、 その一側に取付けたエゼクタユニット２、及びさらにその一側に取付けた真空圧 検出ユニット３を備え、弁ユニット１の本体５に、エゼクタユニット２における 流体の流れ方向と略直交する方向の供給通路６、吸引通路７及び排出通路８が、 上記流れ方向に向けて順次形成され、供給通路６に供給弁９と破壊弁１０が、吸 引通路７にフィルタ１１が、排出通路８にサイレンサ１２が、それぞれ設置され ている。

【００１３】 エゼクタユニット２の本体１４には、ディフューザ１５ａと１５ｂが一体に形 成され、プッシャピン１６で本体１４に固定されたノズル１７は、先端がディフ ューザ１５ａに向けて開口し、ノズル１７の背後に圧力室１８が、ノズル１７と ディフューザ１５ａ間及びディフューザ１５ａ，１５ｂ間に吸気室１９ａと１９ ｂが、ディフューザ１５ｂの先端に排気室２０がそれぞれ形成されている。そし て、供給通路６は、本体５の図１における左側面に開設した圧力流体の供給ポー ト２２と圧力室１８に、吸引通路７は、本体５の左側面及び下面に開設した吸引 ポート２３ａ，２３ｂと吸気室１９ａ，１９ｂに、排出通路８は、排気室２０と サイレンサ１２にそれぞれ連通している。また、弁ユニット１には、破壊弁１０ の二次側を吸引通路７に連通させる破壊通路２４が形成され、該通路２４に流量 調整弁２５が設置されている。

【００１４】 上記本体５の上面には、バルブカバー２７、インタフェイスプレート２８及び アダプタプレート２９が順次設置され、アダプタプレート２９上に、供給弁９と 破壊弁１０の駆動部を構成するパイロット電磁弁３０と３１が設置されている。 しかしながら、上記駆動部はパイロット電磁弁に限定されるものではなく、直動 形のソレノイド、または機械的操作手段等にすることができる。

【００１５】 上記真空圧検出ユニット３は、吸引通路７に連通する検出通路３３、真空圧を 検出する圧力センサ３４、及び該圧力センサ３４の出力によって動作する真空圧 スイッチ３５を備え、検出通路３３に、圧力センサ３４等を流体中の水分から保 護するための阻水性フィルタ３６が設置されている。

【００１６】 図２に詳細を示す上記供給弁９と破壊弁１０は、本体５とバルブカバー２７に わたって設置されている。 上記供給弁９は、スリーブ４０ａと４０ｂ、及びスリーブ４０ａのスリーブ４ ０ｂとの対向端に形設した弁座４１を備え、これらのスリーブの内径と弁座４１ のシール径は略同径にされている。弁棒４２は、弁座４１を開閉するポペット形 の弁体４３と、スリーブ４０ａ，４０ｂに沿って摺動するピストン４２ａ，４２ ｂを備え、ピストン４２ａ，４２ｂに、供給通路６の流体圧で拡径してスリーブ ４０ａ，４０ｂとの間をシールするシール部材４４，４４が装着されている。ま た、弁棒４２の両端側にパイロット室４５と復帰室４６を有し、弁棒４２は復帰 室４６に縮設した復帰ばね４７によって弁座４１を閉鎖する方向に付勢され、パ イロット室４５に後記するパイロット通路が開口し、復帰室４６は図示を省略し ている呼吸孔に連通する通路４８に開口している。 なお、供給弁は、図示の常閉形に代えて、常開形にすることもできる。

【００１７】 一方破壊弁１０は、スリーブ５０、弁座５３を有する弁座体５１及びリティナ を備え、弁座５３を開閉するポペット形の弁体５４は、スリーブ５０に沿って摺 動するピストン５５ａを有する弁棒５５に装着されており、ピストン５５ａ上方 のパイロット室５６に後記するパイロット通路が開口し、二次側は上記破壊通路 ２４に連通している。

【００１８】 上記パイロット電磁弁３０と３１は、供給通路６から分岐した通路６０に連通 する入口ポート、パイロット通路６１と６２に連通する出口ポート、及び排気通 路６３に連通する排気ポートを備え、ソレノイドの励磁、励磁解除により出口ポ ートを入口ポートと排気ポートとに切換えて連通させる周知の３ポート電磁弁と して構成されており、パイロット通路６１と６２はパイロット室４５と５６にそ れぞれ連通し（図２参照）、排気通路６３は上記通路４８に連通している。 なお、図１においては説明の便のために省略しているが、これらの通路６０〜 ６３は、主としてインタフェイスプレート２８のバルブカバー２７との対向面に 形成されている。

【００１９】 吸引空気中の異物を除去する上記フィルタ１１は、フィルタカバー６６に設け た取付ねじ６７によって本体５に取外し可能に取付けられており、該フィルタ１ １内を吸気室１９ｂに連通させる吸引通路中に、吸気室１９ｂ側への空気の流出 のみを許容するチェック弁６８が装着されている。またサイレンサ１２は、本体 ５に取外し可能に装着されたケース７０内に筒状の吸音エレメント７１を設けた ものとして構成され、吸音エレメント７１の中空部は排出通路８に連通し、外周 部はケース７０の一部に開設した排気口７２によって外部に連通している。

【００２０】 そして、上記弁ユニット１及びエゼクタユニット２の本体５及び１４、真空圧 検出ユニット３の本体、バルブカバー２７、インタフェイスプレート２８並びに フィルタカバー６６等は、適宜の金属または合成樹脂によって成形されている。

【００２１】 上記実施例は、供給ポート２２を圧縮空気源に、吸引ポート２３ａ，２３ｂの いずれか一方を、チューブ７６を介して吸着パッド７７に接続して使用される。 この場合、設置姿勢等に応じて吸引ポート２３ａ，２３ｂのいずれかを使用でき る。

【００２２】 供給通路６に圧縮空気を供給した状態でパイロット電磁弁３０のソレノイドを 励磁すると、パイロット室４５にパイロット流体が供給されて弁体４３が弁座４ １を開放し、圧力室１８に圧縮空気が供給される。この場合、スリーブ４０ａ， ４０ｂの内径と弁座４１のシール径を略同径にして弁棒４２に作用する力が略平 衡することと、シール部材４４，４４の摺動抵抗が小さいこととによって、低い パイロット流体圧で弁棒４２を駆動することができる。

【００２３】 供給通路６の開放によってノズル１７から圧縮空気が噴出すると、吸気室１９ ａ，１９ｂに負圧が生じ、これによって吸着パッド７７がワーク（図示省略）を 吸着して保持し、排気室２０に排出された空気は、サイレンサ１２で消音されて 排気口７２から外部に排出される。この場合、真空圧が比較的低い（大気圧に近 い）ときは、吸気室１９ａと１９ｂの両方に負圧が生じて空気の吸込み量が大き いので、所望の真空圧に到達する時間を早くすることができ、真空圧が上昇する とチェック弁６８によって吸引通路７と吸気室１９ｂの連通が遮断されるので、 吸気室１９ａのみから空気が吸引されて真空圧がさらに高くなる。

【００２４】 パイロット電磁弁３０のソレノイドの励磁を解除するとともにパイロット電磁 弁３１のソレノイドを励磁すると、ノズル１７からの圧縮空気の噴出が停止する とともに、破壊弁１０の弁体５４が弁座５３を開放して、破壊通路２４を介して 吸引通路７に圧縮空気が供給されるので、吸着パッド７７がワークを解放する。 この場合、破壊通路２４を流れる空気量は、流量調整弁２５によって調節するこ とができる。

【００２５】 上記実施例は、弁ユニット１に、エゼクタユニット２における空気の流れ方向 と略直交する方向でかつその上流側から、供給通路６、吸引通路７及び排出通路 ８を順次配設したので、これらの通路の構成が簡素化されるばかりでなく、これ らの通路のエゼクタユニットの圧力室１８、吸気室１９ａ，１９ｂ及び排気室２ ０への連通が容易である。

【００２６】 図３は供給弁の他の実施例を示し、この供給弁８０は、弁座４１を有するスリ ーブ８１ａとその径方向内方のスリーブ８１ｂとを備え、これらのスリーブ間の 溝と弁棒８２のピストン８２ａに設けた周溝との間に、ダイヤフラム状のシール 部材８３が装着されている。供給弁８０の他の構成は供給弁９と同じであるから 、図の主要な箇所に同一の符号を付して詳細な説明は省略する。 上記供給弁８０のシール部材８３は、固定ダイヤフラムと後記する断面扁平な 環状シール部材の両方の機能を有するもので、摺動シールと違ってグリース等の 潤滑材を施す必要がないため、流体中への潤滑材の混入によるノズル１７や吸音 エレメント７１の目詰まりがなく、しかも固定ダイヤフラムに比べてストローク を大きくすることができる。したがって、真空圧発生器をクリーンルーム等で使 用する場合に好適である。

【００２７】 図４は供給弁の他の実施例を示し、この供給弁８５は、弁棒８６のピストン８ ６ａの周溝に、断面扁平の環状のシール部材８７が取付けられている。供給弁８ ５の他の構成は供給弁９と同じであるから、図の主要な箇所に同一の符号を付し て詳細な説明は省略する。

【００２８】 図５は供給弁の他の実施例を示し、この供給弁９０は、復帰室に代る圧力室９ １を備え、弁棒９２に供給通路６の一次側と圧力室９１とを連通させる通路９３ が形成されており、パイロット室９４に縮設したばね９５は、パイロット室９４ に給排するパイロット流体圧によって供給通路６を開放または閉鎖する付勢力を 有している。供給弁９０の他の構成及び作用は供給弁９と同じであるから、図の 主要な箇所に同一の符号を付して詳細な説明は省略する。

【００２９】 図６は供給弁のさらに他の実施例を示し、この供給弁９７は、供給通路６の一 次側と圧力室９１とを連通させる通路９３が、本体５に形成されている。供給弁 ９７の他の構成及び作用は供給弁９０と同じであるから、図の主要な箇所に同一 の符号を付して詳細な説明は省略する。

【００３０】

【考案の効果】

本考案の真空圧発生器は、弁ユニットに、エゼクタユニットにおける空気の流 れ方向と略直交する方向でかつその上流側から、供給通路、吸引通路及び排出通 路を順次配設したことにより、これらの通路構成が簡素化されるばかりでなく、 これらの通路とエゼクタユニットの対応する各室との接続が容易である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例の要部縦断面図である。

【図２】図１の要部拡大断面図である。

【図３】供給弁の他の実施例の拡大断面図である。

【図４】供給弁の他の実施例の拡大断面図である。

【図５】供給弁の他の実施例の拡大断面図である。

【図６】供給弁のさらに他の実施例の拡大断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 弁ユニット ２ エゼクタユニット ３ 真空圧検出ユニット ６ 供給通路 ７ 吸引通路 ８ 排出通路 ９，８０，８５，９０，９７ 供給弁 １８ 圧力室 １９ａ，１９ｂ 吸引室 ２０ 排気室 ２３ａ，２３ｂ 吸引ポート ４４，８３，８７ シール部材 ７２ 排気口 ９１ 圧力室 ９４ パイロット室 ９５ ばね

Claims (6)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空圧を発生させるエゼクタユニット
   と、その一側に取付けた弁ユニットとを備え、上記弁ユ
   ニットが、圧力流体を上記エゼクタユニットの圧力室に
   供給する供給通路と、吸引ポートをエゼクタユニットの
   吸引室に連通させる吸引通路と、エゼクタユニットの排
   気室を排気口に連通させる排出通路とを有する真空圧発
   生器において、上記弁ユニットにおけるこれらの通路
   を、エゼクタユニットにおける流体の流れ方向と略直交
   する方向に、その上流側から順次配設し、弁ユニット
   に、上記供給通路を開閉する供給弁とその駆動部を設け
   た、ことを特徴とする真空圧発生器。
2. 【請求項２】 吸引通路の真空圧を検出するための真空
   圧検出ユニットを備えている、ことを特徴とする請求項
   １に記載した真空圧発生器。
3. 【請求項３】 供給弁が、供給通路の流体圧により拡径
   して供給通路と駆動部の間をシールするシール部材を備
   えている、ことを特徴とする請求項１または請求項２に
   記載した真空圧発生器。
4. 【請求項４】 供給弁が、供給通路と駆動部の間をシー
   ルするダイヤフラム状の環状シール部材を備えている、
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載した真
   空圧発生器。
5. 【請求項５】 供給弁が、供給通路と駆動部の間をシー
   ルする断面扁平な環状シール部材を備えている、ことを
   特徴とする請求項１または請求項２に記載した真空圧発
   生器。
6. 【請求項６】 供給弁が、供給通路の一次側に連通する
   圧力室と、ばねを縮設したパイロット室とを備え、パイ
   ロット室に給排されるパイロット流体によって供給通路
   を開閉する、ことを特徴とする請求項１または請求項２
   に記載した真空圧発生器。