JPH049656A - 測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、超音波、電磁波その他の波動を用いた検査
装置に関するものである。

特に、パルス圧縮方式を用いた超音波Ｊ＋破壊検査装百
などの検査装置に関？”るものである。

［従来の技術−１ 従来のこの枠の検査装置Ｃ１”、ついては　例えば、次
に掲げる文献Ａ、］３及び（−゛に示されている。

文献Ａ　　：　Ｅ−、ト、リ−どイー、ニス５フアーカ
万　「高速デジタル・ゴーレイーフ・〜ド探傷システム
ｊ　→・了イトりむイ超音波己シボジウムの議事録１９
８］、、Ｑ’、、第８８８頁・第８９１頁。

（Ｂ、Ｂ、１．ｅｅ　ａｎｄ　Ｅ、Ｓ、Ｆｕｒｇａｑｏ
ｎ、　　”Ｈｉｇｈ−ＳｐｅｅｄＤｉｇｉｔａｌ　Ｇｏ
ｌａｙ　Ｃｏｄｅ　Ｆｉａｗ！Ｄｅｔ、ｅｃｔｉｏｎ　
５ｙｓｔｅｏ＋、Ｊｉｎ　［”ｒｏｅｅ、ｃｄｉＢｓ　
ｏｆ　ｔｈｅ　ＩＥＥＥ　ＬｌｌｔｒａｓｏｎｉｃｓＳ
ｙｍｐｏｓｉｕｍ、　１９８１．　ｐｐ、８８８−８９
１）文献１３：Ｅ−、Ｅ　　りとイ　ニス４フアーＩ！
′）″Ｊ＋’超音波工又チー、イー相関探傷シスデムの
評価」　音波及び超音波のアイトリプルイー会報　ｖｏ
ｌ、ｓＵ　　２９、　ｎｏ、６．　１１月　、　　１９
８２３４第３５９頁〜第３６９頁。

（Ｂ、Ｂ、ＬｅＣａｎｄ　Ｅ、Ｓ、Ｆｕｒｇａｓｏｎ、
　　ｒ＾ｎ　Ｅｖａｌｕａｔｉｏｎｏｆ　Ｕｌｔｒａｓ
ｏｕｎｄ　ＮＤＥ　Ｃｏｒｒｅｌａｔｉｏｎ　Ｆｌａｗ
　Ｄｅｔｅｅｔｉ。

ｎｓｙｓｔｅｍｓ、、１　　　ｒＥＥＥ　　Ｔｒａｎｓ
ａｃｔｉｏｎｓ　　ｏｎ　　５ｏｎｉｅｓ　　ａ、＋１
ｄＬｌｌｔ、ｒａｓｏｎｉｃｓ、　ｖｏｌ、５１１−２
９．　ｎｏ、６．　Ｎｏｖｅｍｂｅｒ、　１９８２ｐｐ
、３５９　−　３６９） 文献ｃ　：　Ｅ−、Ｅ−、りとイーニス、′７．・がソ
；・　１′高速デ２、・タル・ゴー・レイコード探傷ジ
スープム」　超音波、７月　１９８３年、第１５２（頁
　〜第１６１「Ｌ（Ｂ、Ｂ、Ｌ、ｅｅ　ａｎｄ　Ｅ、Ｓ
、Ｆｕｒ）（ａｓｏｎ、　　”ｌ］１ＨｈＳｐｅｃ司Ｄ
ｉｇｉｔａｌ　Ｇｏｌａｙ　Ｃｏｄｐ　Ｆｌａｗ　Ｄｅ
ｔｐｅｔｉＯ＋＋　Ｓｙｓｔｐｍ、　３旧ｔｒａｓｏｎ
ｉｃ９．　Ｊｕｌｙ、　１９８３．　ｌ）＋１．１５３
　１６１）従来例の構成を第３８図を参照しながら説明
−σる。

第３８図は、文献（：に示された従来の超−）〕波を・
用いた検査装置を小づ１０７７図“こ゛ある。

第３８図において、従来の検査装置は、（Ｚ号洲１（］
）と。１：の信号源（１）ｉ、、、”接続され！、・デ
ジタル遅延線（２）と、信号源（１）及びデジタルＨ延
ｔ（２）に接続されたバイポー゛う変１＠器（３）と、
このバイポーラ変換器（３）ｔご接続されたトランスミ
ッタ（４）と、同じく信号源（１）及びデジタル遅延線
（２）に接続されたバイポーラ変換器（５）と、超音波
探触子（６）と、この超音波探触子（６）、　トランス
ミッタ（４）及びバイポーラ変換器（５）に接続された
アナログ相関器（７）と、このアナログ相関器（７）に
接続された表示器（８）と、システムコントロール（０
）とから構成されている。

なお、超音波探触子（６）は、水槽の水中に設置され、
超音波探触子（６）の対向する位置に真ぢゆ・）のター
ゲットＳが配置されている。また、アナログ相関器く７
）は、超音波探触子（６）及びバイポーラ変換器〈５）
に接続された掛ｐ器（７ａ＞、この掛算器（７ａ）に接
続された積分器（７ｂ）とから構成さｈている。さらに
、信号源（１）とデジタル遅延線（２）との間、信号源
（１）とバイポーラ変換器（３）及び（５）との間、デ
ジタル遅延線（２）とバイポ・−ラ変換器（３）及び（
５）との間にはＡＮＤゲート等の論理回路が挿入されて
いる。システムコントロール〈９）は、制御するために
上述した各機器、回路に接続されている。

つぎに、上述した従来例の動作を第３９図及び第４０図
を参照しながら説明する。

第３９図及び第４０図は、文献■３に示された従来の検
査装置の送信信号及び１′＋、縮パルスを示す波形図で
ある。

第３９図において、横軸はピッＩ・（ＢＴＴＳ）の単位
で表されているが、栄位のピッ１−に単位の時間を対応
させれば横軸の単位は時間として読み替えることができ
る。文献Ｂでは、嚇位のビットに対応させる単位の時間
を記号δ°ζ表している。Ｌ、／Ｊが−）で、第３９図
に示す送信信号のパルス幅は、６３Ｘδである。

この送信ａ号は。振幅が特殊な系列により符号化された
、周波数帯がベースバンドの信号である６振幅の符号化
については、後述することとし７１、まず、使用されて
いる系列について説明する。

使用されている系列は、長さか６３ビツトの有限長系列
であり、周期長が６３ピツＩ・の周期系列であるｍ系列
（ｍａｘｉｍａｌ　ｌｅｎｇｔｂ　５ｅｑｕｅｎｃｅ）
を、−周期で打ち切って作られている６ ｍ系列については、例えば（符号理論」宮用洋、岩垂好
裕、今井英樹共舊、昭和５４１６月２９［Ｉ昭晃堂ｆｉ
ｌ、第４７４．ｉ′１−−−第４９９負（以下、文献Ｉ
）と略称する６、）に詳しく述べられている。

＋１’ｌ系列は、長さが無限長の周期系列であり、系列
をなす成分が２つの要素からなる２値系列である。２つ
の要素には、符号→−と符号−が割り当てられる場合も
あるし７数値→−１と数値−１、あるいは、数値１と数
値０とが割り当てられる場合もある。第３９図の例では
、周期長が６３ピツ）・て、長さが無限長のｍ系列をも
とにして、その−周期を取り出して有限長系列を作って
いる。

次に、この有限長系列を用いた振幅の符号化について説
明する。

有限長系列をなす一方の要素に振幅→−１を、他方の要
素に振幅−］、を対応させて、系列の２つの要素の表れ
る順番にしたがって、単位時間δ毎に振幅を相対値で３
−１に変調［１，ている。このような信号は、振幅を符
号化された波形を有する信号と呼ばれる。

第４０図において、第３９図と同様に、横軸はビットの
単位で表示されているが、中、位のピッ１−に単位の時
間δを対応させ１１ば、横軸の即位は時間として読み替
えることができる。

この圧縮パルスは、長き６４ビットの有限長系列により
振幅看す化１．た送イ５．信号を用いた場合の例である
。この系列は、第３９図の送信１１１１号を牛成り”る
ときに用い！ご長さ６３ｔ゛ツトの有限長系列に、１ピ
ッｌ−を付加し５て作られたものである。したがって、
この送信信号のパルス幅は、６・１×δである。エコー
のパルス幅もこれとほぼ同等の長さである。

し、かじながら、第４０図で示すよ・うに、圧縮パルス
のエネルギーの大半は、図中、中央の時間幅内（数ビッ
ト×δ）に集中している。この中央の振幅の大きい信号
部分は、圧縮パルスの主ローブと呼ばれる。主ローブの
パルス幅は短い。これは、送信信号のパルス幅と同等に
長い時間にわたー）でほぼ−・様に分布していたエコー
のエネルギーが、時間軸上のほぼ一点に圧縮されたこと
を意味り、ている。主ローブの両側にお番ツる振幅の小
さい信号部分は、ＢＥ圧縮パルス１２ンジサイドローブ
と呼ばれる。

さ′ζ、１′５号源（１）及びデジタル遅延線（２）ｈ
’う、バイポーラ変換器（３）及びｌ・ランスミッタ（
・４）を介して、第３９図で示したような、送信信号が
生成される。この送信信号により超音波探触Ｆ　（６）
が駆動される。

超音波探触子（０）がら水中に放射された超音波は、タ
ーゲットＳにより反射され、再び超音波探触ｔ’　（６
）　Ｇ：より受信される。超音波探触子（６）により受
信されたエコーは、アナログ相関器（７ンの掛算器（７
ａ）に伝達される。

上述したエコーのパルス幅は、送信信号と同等に長い。

すなわち、エコーのエネルギーは、送信信号のパルス幅
にほぼ相当する長い時間く第３９図の場合では、はぼ６
３×δ、第４０図の場合では、はぼ６４×δ）にわたっ
て、はぼ−様に分布している。

一方、直配送信信号と同じ信号が、デジタル遅延線（２
）及びバイポーラ変換器く５）を介し゛乙アナログ相関
器（７）の掛算器（７ａ）に伝達される。

アナログ相関器（７）は、エコーど送信信号との間の相
関演算を実行する。この相関演算により、送信信号と同
等に長い時間にわな−）て、時間軸上にほぼ一様に広が
って分布していた工：１−のエネルギーは、時間軸上の
ほぼ一点に圧縮される。圧縮されて得られたパルスは、
圧縮パルスと呼ばれる。

アナログ相関器（７）により得られた圧縮パルスは、表
示Ｂ（８）に伝達され、最終結果と１７、て表示される
。

上述し、た従来の検査装置の距離分解能は、圧縮パルス
の主ローブのパルス幅（以下、圧縮パルスのパルス幅と
略称する。）により決まる。送信信号のパルス幅が長い
にもかかわらず、圧縮パルスのパルス幅は上述したよう
に知い。１．たがって、もともとパルス幅の短い送信信
号を用いたパルスエコー法による検査装置の場合と同等
の分解能が得られる。

一方、Ｓ／Ｎ比（ｆ、１号対雑音比）は、送信信号の平
均送信エネルＶ−・が大きいほど高くなる。平均送信ゴ
°ネルギー・は、送信ｂ；　”５のパルス幅が長いほど
大きい。［１、たがって、従来の検査装置は、もどもと
パルス幅の短い送信（３号を用いたへ′ルスコ、ツー法
に比べ、高い８／′Ｎ比が得られる。

以トのよつり、’：　、従来の検査装置は、分解能も優
れ、Ｓ／Ｎ比も高くとれる。

ところで、上ｍＶ−と送信信号との相関器ｐとは、エコ
ー及び送信イ＾号をｒ（ｔ、）及び５（ｔ）とすると、 Ｓ　　ｓ　　（ｔ　　　τ）　　ｒ　　（ｔ　）　　ｃ
ｌ　ｔ。

１積分範囲ニーω・〜ω」　・・・　式■で表わされる
演算を、τを変数とし７た新たな関数を求める演算であ
る。この新たな関数は相関関数と呼ばれ、上記圧縮パル
スに相当イる。もちろん、エコーｒ（ｔ＞又は送信信号
５（ｔ）のどちらか一方が有限の時間範囲内でのみ零以
外の値をとり、その時間範囲以外では零となる関数なら
ば、Ｊ記積分範囲は有限となる。

従来の検査装置では４十述［７たようＣ：１、］、凡゛
２−。−と送信信号との相関器（資）はアナログ相関器
（７）を用いて行−）でいる。しかし１、アナログ相関
器（７）は、掛算器（７ａ）と積分器（７ｂ）とだ（う
で構成されている。このため、式■における変数τを変
える操作は外部かｔ）行う必要がある。つまり、送信（
３号ｓ（ｔ、）をτだけ遅らせる操作は、デジタル遅延
線（２）とシステムコントロール（（９）とにより行わ
れ、掛算器（７ａ）にはｓ（ｔτ）が入力される。これ
は、つぎのごとを意味している。

まず、アナログ相関器（７）のみでは、式■における変
数τを変える操作は行われていないので、アナログ相関
器（７）は正確には相関器ではない。

さらに、１回の送信だけでは圧縮パルス（相関関数）の
時間波形は求まらない。つまり、１回の送信から求まる
のは、変数τをある値に固定１７なときの、その値にお
ける圧縮パルスの値のみである。

圧縮パルスの時間波形を求めるには、変数τを逐次変え
ながら何回か送信を繰り返す必要がある。

し５たか−）で、最終結果が得られるまでにかなりの時
間を必要どづ”る。

式０）て示される相関演算を行うための他の相関器につ
いて第４１図を参照［７ながら説明づる。

第４１図は、この発明と関連する特願平１〜４５３１６
号に示された他の相関器を示すブロック図である。

第４１図において、相関器（１０）は、タップ付遅延線
（１０ａ）と、このタップ付遅延線（１０ａ）の各出力
タップに接続された複数の掛算器（ｌｏｂ）と、これら
複数の掛算器（１０ｂ）に接続された加算器（］Ｏｃ）
とから構成されている。

この相関器（１０）は、式■がつぎのように変形できる
ことを利用して、相関演算を実現している、すなわち、
式■は−）ぎのように変形できる。

Ｓ　　Ｓ　　（ｔ−−ｒ）　　ｒ　　（ｔ）　　ｄｉ［
ＩＩ分範囲ニー艶〜・ｏＯ］ Ｓ　ｒ　（ｔ＋ｚ；）　ｓ　（ｔ）　ｄｔ［積分範囲ニ
ーω〜・Ｉ：ｉｏ］ −・１１−（↑、十τ）ｓ（ｔ、）ｄｔ［積分範囲：０
〜Ｔコ “・；Σｒ（ｋΔｔ、＋１Δｔ、）ｓ（ｋΔ１．）［ｋ
＝１〜Ｋ］　・・　式■ ただし、送信信号ｓ　（ｔ）は、０〜、Ｔの時間範囲以
外では零をとるものとしている。また、ｋ、１は整数、
Δｔはサンプリング間隔、Ｋは定数であり　ｔ　＝にΔ
ｔ、τ＝ｌΔｔ、、Ｔ＝−に△、ｔ、である。

相関器（１０）では、△ｔ２はタップ付遅延線（１０ａ
）の遅延時間、Ｋはタップ総数である。

エコーｒ（ｔ）がタップ付遅延線（１０ａ＞に入力され
ると、例えば、ｋ番目のタップの出力は、あらかじめ用
意された重みｓ（ｋΔ１）が掛算器（１０ｂ）により掛
算される。その後、加算器（１０ｅ）は、すべてのタッ
プの出力を加算し７、その結果は上述し、た式■に等し
い。

この相関器（１０）では、変数τを変える操作は、エコ
ーｒ（ｔ）をタップ付遅延線（１０ａ）に時間的に逐次
入力することに相当する。エコーｒ（ｔ）は、当然のこ
とながら、超音波探触子（６）から時間的に逐次入力さ
れてくる。シ、／ごがって、変数τを変える操作は自動
的にｔ″１わｔ１″ζいる。すなわち、第４１図に示づ
相関器（１０）では、１回の送信だけで圧縮へ′ルスの
時間波形を得ることができる。

し５かし、送信信号の継続時間が長くなると、つまり、
上述の］゛が大きくなるにし、だが）て、タップ数にの
多いタップ付遅延線（１０ａ）が要求される。これに伴
い、掛算器（］、、　Ｏｂ　）の個数も多く必要となる
。さらに、加算器（１ｏ（・）も、入力端子数の多いも
のが要求される。このように、掛算器（１０ｂ）の個数
が多くなるほど、また、加算器（１０ｅ）の入力端子数
が多くなるほど、実現できる相関器（１０）の動作スピ
ードは遅くなってくる。また、装置の価格も高くなる。

さらに、従来の装置においては、第４０図で示したよう
に、圧縮パルスのサイドローブレベルが大きい欠点もあ
る。

［発明が解決しようとする課題］ 上述したような従来の検査装置では、最終結果である圧
縮パルスを得るのに時間がかかり２．、＝、　ｉ、を短
くして実時間性を実現１．よ・）とプると動作スピード
が遅くなるという問題点があった。１また、圧縮パルス
のサイドロ−ブレベルが大きいという問題点がぁ−）だ
。

この発明は、」７述［、た問題点を解法するためになさ
れたもので、低価格て動作スじ一ドを速くすることがで
き、低サイドローブレベルの１土縮バハ。

スを得ることができる検査装置を得ることを特徴とする 特に、原理的に零Ｉ７・ンジサイＦローブが実現できる
検査装置を祠ることを［１的とする。

［課題を解決するための手段］ この発明に係る検査装置は、次に掲げる手段を備えたも
のである。

〔１〕　第１及び第２の系列にそれぞノ１基づいて第１
及び第２の基本単位信号を生成し、前記第１の基本単位
信号並びに第３の系列に基づいて第１の送信信号、前記
第１の基本単位信号並びに第４の系列に基づいて第２の
送信信号、前記第２の基本単位信号並びに前記第３の系
列に基づいて第３の送信信号、並びに前記第２の基本Ｗ
位信号並びに前記第４の系列に基づいて第４の送信信号
を発生する送信信号発生手段。

〔２〕　前記第１、第２、第３並ひに第４の送信信号に
より励振されて波動を対象物に送信する送信１段。

〔３〕　前記第１、第２、第３並びに第４の送信信号に
それぞれ対応する前記対象物に反射さｔ７た第〕、第２
、第３並びに第４のエコーを受信する受信手段。

〔４〕　前記第１の系列に基づいて生成される第１の参
照信号を用いて、前記第］並びに第２のエコーを相関処
理イるとともに、前記第２の系列に基づいて生成される
第２の参照信号を用いて、前記第３並びに第４のエコー
を相関処理する第１の相関手段。

〔５〕　前記第３の系列に基づいて生成される第３の参
照信号を用いて、前記第１並びに第３のエコーに対応す
る前記第１の相関手段の出力を相関処理するとともに、
前記第４の系列に基づいて生成される第４の参照信号を
用い°Ｃ１萌記第２並びに第４のエコーに対応する前記
第１の相関手段の出力を相関処理する第２の相関子−段
。

〔６〕　前記第１、第２、第３並びに第４のエコーに対
応する前記第２の相関手段のそれぞｉｌの出力を加算す
る別口゛手段。

［作用コ この発明においては、送信信号発生手段によ−）で、第
１及び第２の系列にそれぞれ基づいて第１及び第２の基
本部位信号が生成され、前記第１の基本単位信号並びに
第３の系列に基づいて第１の送信信号、前記第１の基本
単位１４号並びに第４の系列に基づいて第２の送信信号
、前記第２の基本単位信号並びに前記第３の系列に基づ
い′ζ第３の送信信号、並びじ前記第２の基本単位信号
並びに前記第４の系列に基づいて第４の送信信号が発生
される。

また、送信手段によって、前記第〕、第２、第３並びに
第４の送信イ、１号により励振されて波動が対象物に送
信され、受信１段に゛よ・−）で、前記第１、第２、第
３並びに第４の送信信号に％；ｈぞれ対応する前記対象
物に反射されｔｒ第１、第２、第３並びに第４のエコー
が受信さノ′する。

さらに、第１の相関丁−段ζ、゛よって、前記第１−の
系列に基づいて生成される第１の参照信号を用いて、前
記第１並びに第２のエコで−が相関処理されるとともに
、前記第２の系列に〃２づいて生成される第２の参照信
号を用いて、前記第３並びに第４のエコーが相関処理さ
れる。

さらに、第２の相関手段によって、前記第３の系列に基
づいて生成される第３の参照信号を用いて、前記第１並
びに第３のエコーに対応する前記第１の相関手段の出力
が相関処理されるとともに、前記第４の系列に基づいて
生成される第４の参照信号を用いて、前記第２並びに第
４のエコーに対応づる前記第１の相関手段の出力が相関
処理される。

そして、加算手段によって、前記第１、第２、第３並び
に第４の工′：ｌ−に対応する前記第２０相関ｆ段のそ
ｉぞれの出力が加算さｉる。

１］実施例］ これから、この発明の６つの実施例を順次説明する。

まず　この発明の第１実施例の構成を第１図を参照しな
がら説明する。

第１−図は、この発明の第１実施例を示１ブロック図で
あり、超音波探触？′（０）及び表示器〈８）は第３８
図で示した上記従来装置のものと全く同一である。

第１図において、この発明の第１実施例は、」二連した
従来装置のものと全く同一のものと、振幅符号化送信信
号発生器（ＩＡ）と、この振幅符号化送信信号発生器（
ＩＡ）及び超音波探触子（６）に接続された第１の相関
器（１１）と、この第１の相関器（１１）及び振幅符号
化送信信号発生器（ＩＡ）に接続された第２の相関器（
〕２）と、この第２の相関器く１２）に入力側が接続さ
れかつ表示器（８）に出力側が接続されたメモリ機能を
含む加算器く１５）とから構成されている。

なお、超音波探触子（６）は振幅杓号化送信（ｍ号発生
器（１Ａ）にも接続され、試験体Ｓに接触している。

つぎに、」二連した第１実施例の動作を第２図から第７
図までを参照（−ながら説明゛する。

第２図及び第３図はこの発明の第１実施例における第１
及び第２の基本即位信号を示す波形図、第４図、第５図
、第６図及び第７図はこの発明の第１実施例における第
１、第２、第３及び第４の送信信号を示す波形図である
。

振幅符号化送信信号発生器（ＩＡ）は、第１の系列Ｃａ
　！　　第２の系列＋ｂ＋、第３の系列（■））及び第
４の系列（Ｑ＋を発生し、第１の系列（ａ、　１及び第
２の系列（ｂ）によりそれぞれ規定される第１及び第２
の基本単位信号を発生づる。第１及び第２の基本単位信
号をそれぞれｇａ（ｔ；）及びｇｂ（ｔｉで表わす。た
だし、ｔは時間である。

また、振幅符号化送信信号発生器（ＩＡ）は、第３の系
列（ｐｉ及び第１の基本即位信号ｇａ（＋、　）により
第１の送信信号を発生ずる。第４の系列（ｑ　）及び第
１の基本即位信”ｉ　ｇ　ａ　（ｔ　）により規定され
る第２の送信信号を発生する。

第３の系列ｆｐｌ及び第２の基本単位信号ｇｂ（ｔ２）
により第３の送信信号を発生ずる。さらに、第４の系列
ｆｑ！及び第２の基本単位信号ｇｂ（１）により第４の
送信信号を発生ずる。第１、第２、第３及び第４の送イ
３信号を、それぞれ、５ａｐ（＋、）＝　５ａｑ（ｔ）
、５ｂｐ（＋−）及び５ｂｑ（＋、）で表わす。

そして、上記第１、第２、第３及び第４の送信信号をあ
る一定の送信繰り返し２周期Ｔｒで、逐次、超音波探触
子（６）に伝達する。

第１の基本単位信号ｇａ（ｔ）は、第２図に示すように
４第１の系列（ａ、　）として、長さＭが８である、 （ａｌ　　ニー　（ａ、＋　ａ２．　ａ　コ、　ａ４、
ａｓ、　ａｓ、ａ〕、　ａ　ｓ！ ＝（＋、＋、ｔ、−２＋、士、−１＋）を採用し、従来
と同様に、振幅を符号化した波形を有する信号である。

第１の系列（ａ）と振幅符号化との間の関係をわかりや
ｔ　＜　するために、この系列の符号＜」−）を図中に
あわせて記入しである。また、図中、δは固定時間であ
る１、第２の基本単位信号ｇｂ（ｔ）は、第３図にノＦ
すように、第２の系列Ｊ、　ｂ　）とし、ζ、長さＭが
８である、 （ｂｌ＝（ｂ、、１ｊ２、ｂｌ、ｂ４、［）９、ｂ５、
ｂｌ、ｂ、） ；；（＋、−・−１」−１士、→−２〜−１−２）を採
用し、従来と同様に、振幅を符号化した波形を有する信
号である。第２の系列（ｂ）と振幅符号化との間の関係
をわがりゃすくするために、この系列の符号（±）を図
中にあわせて記入し、である。

第１の送信信号５ａｐ（ｔ）は、第４図に示づように、
第３の系列（ｐ）として、長さＮが４である、 （ｐｉ＝（ｐ＋、ｐ２、ｐ３、ｐ　４　Ｉ（峠、十、１
−５−） を採用し、この系列と第２図に示し、た第１の基本！’
−（’Ｏイａ　号ｇ　ａ　（ｊ　）とから、次Ｃ５″述
べる１順（：：、　１．−たがって発生した伝号である
。づなオ〕も、第一）の系列（ｒ：＋　）の杓号」−に
は第１の〃゛本早旬（Ａ―号￥：Ｊｉ（１）を割り当゛
（、符号−には第］の基本単位信号ｇａ（ｆ、〉に−１
−を掛けで得らｉする仁］号　ｇａ（ｉ、）をｖＪり当
て゛ぐ′、第３の系列（ｐ　）の符号の現れる順序にし
、たがって、→−ｇａＣ土、）が時間軸」に配列されて
いる。第３の系列（１））の相号（±）と、信号叶：ｇ
ａ（ｔ）との間の関係をわかりや１くするため、図中、
第３の系列（１：１　）の系列の符号をあわヤて記入し
である。Ｔｐは固定時間である。

第２の送信信号ｓａｇ（ｔ、）は、第５図に示すように
、第４の系列（ｑ　）として、長さＮが４である、 ｆｑ）＝　　（ｑ＋、Ｑ２、ｑコ、ｑ、　４　）＝（＋
、−・、士、→　） を採用し、この系列と第２図に示した第１の基本単位信
号ｇａ（ｔ）とから、上記第］、の送信信号の発生平原
と同様の手順にしたがって発生した信号である。すなわ
ち、第４の系列（（１）の符号トには第１の基本単位信
号ｇａ（ｔ）を割り当て、符号−には第１の基本単位信
号ｇａ（ｔ＞に〜１を掛けて得られる信号−ｇａ（ｔ）
を割り当でて、第４の系列（ｑ）の符号の現れる順序に
し、たがって、±ｇ　ａ、　（ｔ　）が時間軸上に配列
されている。

第４の系列（（１）の符号（±）と、信号＋ｇｇＣｔ　
＞どの間の関係をわがりやすく゛するため、図中、第４
の系列ｆｑｌの系列の符号をあわせて記入しである。

第３の送信信号５ｂｐ（ｔ）は、第６図に示ずように、
第３の系列ｉｐ）と第３図に承した第２の基本単位信号
ｇｂ（ｔ）とがら、上記第１の送信信号の発生手順と同
様の手順にしたがって発生した信号である。すなわち、
第３の系列ｆｐ）の右号十には第２の基本単位信号ｇｂ
（ｔ）を割り当て、符号−には第２の基本単位信号ｇｂ
（ｔ）に１を掛けて得られる信号−ｇ　ｂ　（ｔ）を割
り当てて、第３の系列ｉｐ）の符号上の現れる順序にし
たがって、±ｇｂ（ｔ）が時間軸上に配列されている。

第３の系列（■））の符号上−と、信号コーｇｂ（ｔ）
との間の関係をわかりゃずくするために、図中、第３の
系列（Ｙ））の符号上をあわせて記入しである。

第４の送信信号ｓ　ｂｑ　（ｔ　）　ｉｊ、第７図に示
すように、第４の系列（ｑ）と第３図に示した第２の基
本単位信号ｇｂ（ｔ）とから、上記第１の送ｆ３信号の
発生手順と同様の手順にし、たがって発生１゜た信号で
ある。すなわち、第４の系列（く１）の符号１には第２
の基本単位信号ｇｂ（ｔ）を割り当て、符号−には第２
の基本単位信号ｇｂ（ｔ、）に１を掛けて得られる信号
−ｇｂ（ｔ、）を割り当てて、第４の系列（ｑ）の符号
上の現れる順序にしたがって、−＋−ｇ　ｂ　（ｔ　）
が時間軸上に配列されている。第４の系列（ｑ）の符号
」二と、信号３コｇｂ（ｔ）との間の関係をわかりやす
くするために、図中、第４の系列（ｑｌの符号上をあわ
せて記入しである。

超音波探触子（６）は、」二記第１、第２、第３及び第
４の送信信号により駆動されて、超音波を試験体Ｓ内へ
送信する。そして、超音波探触子（６）は、試験体Ｓ内
の欠陥などの反射体により反射されたエコーを受信する
。第１、第２、第３及び第４の送信信号にそれぞれ対応
するエコーを、第１、第２、第３及び第４のエコーと呼
ぶこととする。第１、第２、第３及び第４のエコーをそ
れぞれ、ｒａｐ（ｔ）　、ｒａｑ（ｔ）、ｒｂｐ（ｔ）
及びｒｂｑ（ｔ）で表わす。

受信された第１、第２、第３及び第４のエコーは、第１
の相関器（１１）に伝達される。

一方、第１のエコーｒａｐ（ｔ）及び第２のエコーｒａ
ｑ（ｔ）の相関処理に用いられる第１の参照信号が、振
幅符号化送信信号発生器（ＩＡ）により発生され、同じ
く第１の相関器（１１）に伝達される。第１の参照信号
は第１の系列（ａｔに関連した信号である。この第１の
参照信号をｕａ（１）で表わす、また、第３のエコーｒ
ｂｐ（ｔ）及び第４のエコーｒｂｑ（ｔ）の相関処理に
用いられる第２の参照信号が、振幅符号化送信信号発生
器（ＩＡ）により発生され、同じく第１の相関器（１１
）に伝達される。上記第２の参照信号は、第２の系列（
ｂ）に関連した信号である。この第２の参照信号をｕｂ
（ｔ）で表わす。

第１の相関器（１１）では、第１のエコーｊａｐ（１）
と第１の参照信号ｕａ（ｔ）との間で相関演算を実行す
る。この相関演算結果をＣａａｐ（ｔ）で表し、第１の
相関器（１１〉の第１の相関演算結果と呼ぶ。また、第
１の相関器（１１）では、第２のエコーｒａｑ（ｔ）と
第１の参照信号ｕａ（ｔ）との間で相関演算を実行する
。この相関演算結果をＣａａｑ（ｔ）で表し、第１の相
関器（１１）の第２の相関演算結果と呼ぶ。さらに、第
１の相関器（１１）では、第３のエコーｒｂｐ（ｔ＞と
第２の参照信号ｕｂ（ｔ）との間で相関演算を実行する
。この相関演算結果をＣｂｂｐ（ｔ）で表し、第１の相
関器（１１）の第３の相関演算結果と呼ぶ。また、第１
の相関器（１１）では、第４のエコーｒｂｑ（ｔ）と第
２の参照信号ｕｂ（ｔ）との間で相関演算を実行する。

この相関演算結果をＣｂｂｑ　＜　ｔ　＞で表し、第１
の相関器（１１）の第４の相関演算結果Ｃｂｂｑ（ｔ）
と呼ぶ。

第１の相関器（１１）の第１、第２、第３及び第４の相
関演算結果は、第２の相関器（１２）に伝達される。

一方、第２の相関器（１２）における相関処理に用いら
れる第３の参照信号が、振幅符号化送信信号発生器（Ｉ
Ａ）により発生され、第２の相関器（１２）に伝達され
る。この第３の参照信号は、第３の系列（Ｐ）に関連し
た信号である。第３の参照信号をｕｐ（ｔ）で表わす。

また、第２の相関器（１２）における相関処理に用いら
れる第４の参照信号が、振幅符号化送信信号発生器（Ｉ
Ａ）により発生され、第２の相関器（１２）に伝達され
る。この第４の参照信号は、第４の系列（ｑｌに関連し
た信号である。第４の参照信号をｕｑ（１）で表わす。

第２の相関器（１２）では、上述した第１の相関演算結
果Ｃａａｐ（ｔ）と第３の参照信号ｕｐ（ｔ）との間、
第２の相関演算結果Ｃａａｑ　（ｔ　）と第４の参照信
号ｕｑ（ｔ）との間、第３の相関演算結果Ｃｂｂｐ（ｔ
）と第３の参照信号ｕｐ（ｔ）との間、及び第４の相関
演算結果Ｃｂｂｑ（ｔ）と第４の参照信号ｕｑ（ｔ）と
の間で相関演算を実行する。

これらの相関演算結果を、Ｃａａｐｐ　（ｔ　）　、Ｃ
ａａｑｑ（ｔ　）　、Ｃｂｂｐｐ（ｔ　）及びＣｂｂｑ
ｑ　（ｔ　）で表し、それぞれ第１、第２、第３及び第
４の圧縮パルスと呼ぶ。

前記第１、第２、第３及び第４の圧縮パルスは、加算器
（１５）に伝達され、記憶される。加算器（１５）では
、前記第１、第２、第３及び第４の圧縮パルスを加算す
る。すなわち、 Ｃａａｐｐ（ｔ）　＋Ｃａａ、ｑｑ（ｔ）　十Ｃｂｂｐ
ｐ（ｔ）　＋Ｃｂｂｑｑ　（ｔ　）の演算を行う、この
加算結果を合成圧縮パルスと呼ぶ。

前記合成圧縮パルスは、加算器（１５）がら表示器（８
）に伝達され、従来と同様に表示される。

つぎに、上述したこの発明の第１実施例の動作原理及び
効果を第８図から第２１図までを参照しながら説明する
。

第８図及び第９図はこの発明の第１実施例の第１及び第
２の基本単位圧縮パルスを示づ波形図、第１０図、第１
１図、第１２図及び第１３図はそれぞれ第１の相関器（
１１）の第１、第２、第３及び第４の相関油力結果を示
す波形図、第１４図及び第１５図はそれぞれ第３及び第
４の参照ｆ、；号を示す波形図、第１（ン図、第１７図
、第１８図及び第１９図はそれぞれ第１、第２、第３及
び第４の圧縮パルスを示す波形図、第２０図は合成圧縮
パルスを示す波形図、第２］図は合成基本単位圧縮パル
スを示す波形図である。

第４図で示した第コの送信信号５ａｐ（ｔ）は、次の式
で表わされる。

５ａｐ（ｔ）；−Σｌ）　＋ｇａ　［ｔ　　（１−１）
　Ｔｐｌ（和はｉについて１〜、Ｎまでとる。）ｐ＋ｇ
ａ（ｔ）→ｐ　２　ｇ　ａ　（ｔ　−Ｔ　ｐ　）十Ｐｚ
ｇａ（ｔ、−２Ｔ　ｐ　＞ 十Ｐ＜ｇａ（ｔ、−３Ｔｐ）　　　・・　式■ここで、
ｐ　１（１＝　ｉ、２、・・・、Ｎ）の符号は土１（複
合同順）と同一とみなして掛算している（以下同様）。

第５図に示した第２の述（ｍ　Ｉ’Ｓ号５ａｑ（ｔ、）
は、式■の右辺において、第１の系列の要素ｌ：）、を
第２の系列１４．ζ置き換えた式で表わされる。第６図
に示し、た第３の送信信号ｓＬ＋ｐ（ｔ）は７式■の右
辺において７第１の基本ψ位信号ｇａ（ｔ）を第２の基
本部イ）γイ１４号ｇｂ（ｔ）”ζ置き換え、た・式”
で表わされる。また、第４の送信信号ｓ　ｂｑ　（ｔ、
　）は、式■の右辺において、第１の系列の要素ｐ　、
を第２の系列ｑ、で貢き換えるとともに　第１の基本単
位信号ｇａ（ｔ）を第２の基本即位信号ｇｂ（ｔ）で置
き換えた式で表わされる。ただｌｌ、時間原点は、第２
、第′う及び第４の送信信号が発生されｔ：時間に取り
直［、Ｃいる。

第１のエコーｒａｐ（ｔ、）は、次の式で表わされる。

ｒａｐ（ｔ）ニー（”ｏ× Ｓ　５ａｐ（ｔ、＋　）　　ｈ　　（ｔ　−ｔ　ｏ　　
−ｔ　＋　）　　ａ　ｔ［積分範囲：　ω・−ω］　・
・・　式■ここで、ｃｏは定数を表わす。また、ｈ（ｔ
）は、振幅符号化送信信号発生器＜１．　Ａ　）の出力
端から、超音波探触子（６）、試験体Ｓの反射体、再び
超音波探触イー（６）を経由して、第１の相関器（１１
）の入力端に至るまでの信号伝搬好路における周波数応
答特性の逆フーリエ変換を表わす。

すなわち、前記１３号伝搬経路のインパルス応答を表わ
す。また、ｔ、ａは試験体Ｓ内の反射体まで超音波が往
復″４るのに要する時間である。

Ｃｏ＝１どしても一般性を失わないので、以１・Ｃ，＝
］とし５て説明する。

第２のエコーｒａｑ（ｔ、）、第３のエコーｒｂｐ（１
）及び第４のエコーｒｂｑ（ｔ、）は、式■の右辺にお
いて第１の送信信号５ａｐ（ｔ、）を、それぞれ、第２
の送信信号５ａｑ（ｔ）、第３の送信信号ｓ、ｂｐ（ｔ
）及び第４の送信信号５ｂｑ（ｔ）て置き換えた式で表
せる。

第１の相関器く１１）の第１の相関演口、結果Ｃａａｐ
　（ｔ、）は、次の式で表わされる。

Ｃａａｐ　（ｔ、　）　＝ ５ｕａ（ｔ、、、−ｔ）ｒａｐ（＋２）ｄｆ、２［積分
範囲、〜ωへ■〕　・・・　式■なお、この相関演算結
果は、 Ａａ（ｔ）＝Ｎ　Ｎｕａ（＋２−ｔ）ｇａ（ｔｌ）ｈ　
（ｔ　ｒ−ｔ　ｌ）　ｄ　ｔｌ　ｄ、　ｆ、、　２し積
分範囲：〜ω−，ＣＸ）　１　　・・・　式■とおけば
、式０〜式■から次式に等し、い。

（ｆ　ａａｐ　（ｔ　）　　−１Σ　ｐ　　、　Ａ　　
ａ　　［ｔ　　　〜−士、、　　＋１−　　　（ｉ　　
−１）　Ｔ　　ｐ　］（和はｉについて］−Ｎまでとる
。） Ｈ）、　Ａ、　ａ　（ｔ　−ｔ　ｏ　）→＝　ｐ　２　
Ａ　　ａ　　（ｔ−ｔ　　ｏ　−Ｔ　　ｐ　＞＋　Ｐ　
：ｌ　Ａ　ａ　（ｔ　−ｔ　ｏ　　２　Ｔ　ｐ　）＋　
ｐ　４　Ａ　ａ　（ｔ−−土、ｏ　　３Ｔｐ）　　−式
■この弐〇において、Ａａ、（ｔ　　ｔｏ）は、第１の
基本即位信号ｇａ（ｔ）により超音波探触子（６）を駆
動し、このとき得られるエコーを、参照信号として上記
第１の参照信号ｕａ（ｔ）を用いて相関処理して得られ
る圧縮パルスに対応している。

この圧縮パルスを、第１の基本単位圧縮パルスと呼ぶ。

また、式■より、Ｃａａｐ（ｔ）は、上記第１の基本単
位圧縮パルスＡａ（ｉ−ｔｏ）を４個、時間軸上に０、
”１”　Ｐ　、、　２　Ｔｐ、３Ｔｐだけずらして配置
ｉＬ２、それぞれ、第３の系列（ｌ））の成分１）１）
コ・、■）ｓ、ｒ’＋を掛けで別置ｌたものＣに等しい
ことがわかる、 第１の相関器（１１）の第２の相関演算結果（′ａａｑ
　（１：、　）は、式■の右辺において　第１のエコー
　ｒａｐ　（ｔ、、　）を第２のユニ：ｙ−ｒ　ａｑ　
（ｔ、　）で置き換えた式て表ゼる。ま人・、１：ねは
、式■の右辺Ｃ５′：おいて、■）、をｃＩ、て置き換
えた式に等しい。同様に、第３の相関演算結果Ｃ：　ｈ
ｂｐ　（ｔ　）は、式■の右辺において、第１のエコ２
−　ｒ　ａｐ　（ｔ、　）を第２の工：７−　ｒａｑ　
（ｔ、　）で置き換えるとともに、第１の参照信号ｕ　
ａ　（ｔ、、　）を第２の参照信号ｕ　ｂ　（ｔ　）で
置き換えた式で表せる。また、これは、 Ａｂ（ｔ　　）　　＝＝　　Ｓ　　Ｓ　　ｕｂ　　（ｔ
２　−　ｔ　　）　　ｇｂ（ｔ、＋）ｈ　（ｔ２−ｔ、
、）　ｄｔ、ｄ、ｔ、２Ｉｍ分範囲ニーω〜、０１）ｌ
　　・・・　式■とおけば、式■の右辺において、Ａａ
（ｔ）をＡ、ｂ（１）で１き換えた式に等しい。なお、
Ａｂ（ｔｔｏ＞は、第２の基本単位信号ｇｂ（（、）に
より超音波探触子（６）を駆動し１、このとき得られる
エコーを、参照１３号とＬ５て上記第２の参照信号１１
ｂ　（ｔ、　）を用いマ、相関処理して得られるＬ（−
縮バルスに対応している。この圧縮パルスを第２．の基
本中、位圧縮パルスと呼ぶ。才な、第４の相関演算結果
Ｃｂｂｑ（ｔ）は、式■の右辺（６゛おいて　第１のコ
”ニーｒａｐ（ｔ、）を第４のユニーｒ　ｂｑ　（ｔ、
、　）で置き換えるとともに、第１の参照信号１．１　
ａ、　（ｔ、）を第２の参照信号ｕｂ（ｔ）で置き換え
た式で表せる。

第］の圧縮パルスＣａａｐｐ　（ｔ　）は次の式で表わ
される。

Ｃａａｐｐ　（ｔ　）　＝ Ｓ　ｕｐ（ｔ、　３−　ｔ）Ｃａａｐ（ｔ、　５）ｄｔ
：ｉ［積分範囲ニーω〜ｏＱ］　　・・・　式■第２の
圧縮パルスＣａａｑｑ　（ｔ　）は、式■の右辺におい
て、第１の相関演算結果Ｃａａｐ（ｔ）を第２の相関演
算結果Ｃａａｑ（ｔ）で置き換えるとともに、第３の参
照信号ｕｐ（ｔ）を第４の参照信号ｕ、　ｑ　（ｔ　）
で置き換えた式で表せる。第３の圧縮パルスＣｂｂｐｐ
（ｔ）は、式■の右辺において、第１の相関演算結果Ｃ
ａａ、ｐ（ｔ、）を第３の相関演算結果ｃｂｂ、（ｔ）
で置き換えた式で表せる。第４の相関演算結果ｃｂｂｑ
（ｔ）は、式■の右辺において、第１の相関演算結果Ｃ
ａａｐ（ｔ）を第４の相関演算結果Ｃｂｂｑ（ｔ、）で
置き換えるとともに、第１の参照信号ｕａ（ｔ）を第４
の参照信号ｕ　ｑ　（ｔ、　）て置き換えた式で表せる
。

第８図に示す第１の基本単位圧縮パルスＡ、　ａ　（ｔ
ｔｏ）は、第１の基本単位信号ｇａ（ｔ）として第２図
に示し、た信号を用い、また、第１の参照信号ｕａ（↑
）として第１の基本単位信号ｇａ（＋、）自体を用い、
さらに、ｈ（ｔ）はデルタ関数とした場合の式■による
計算結果である。

第９図に示す第２の基本単位信号パルスＡｂ（ｔ。

１、）は、第２の基本単位信号ｇｂ（ｔ、）として第３
図に示した信号を用い、また、第２の参照信号ｕ　ｂ　
（ｔ　）として第２の基本単位信号ｇｂ（ｔ）自体を用
い、さらに、ｈ、（ｔ）はデルタ関数とした場合の式■
による計算結果である。

第１０図に示す第１の相関器（］１）の第１の相関演算
結果Ｃａａｐ（ｔ）は、第８図に示した第１の基本単位
圧縮パルスＡａ（ｔ、”−ｔ　ｏ　）と式■とからの計
算結果である。第１１図に示す第１の相関器（１１）の
第２の相関演口。結果Ｃａａｑ（ｔ）は、第８図に示し
た第１の基本準位圧縮パルスＡａ（ｔ−ｔ、）を用いた
ときの同様の＝ｔ　Ｘ結果である。第１２図に示１第１
の相関器（１１）の第３の相関演算結果Ｃｂｂｐ、（ｔ
）は、第９図に示した第２の基本即位圧縮パルスＡｂ（
ｔ−ｔ、）を用いたときの同様の計算結果である。第１
３図に示す第１の相関器（１１）の第４の相関演算結果
ＣｂｂＱ　（ｔ　）は、第９図に示した第２の基本単位
圧縮パルスＡｂ（１−ｔ。）を用いたときの同様の計算
結果である。なお、これらの計算において、”ｒｐは８
δとした。

第１０図、第１１図、第１２図及び第１３図に示すよう
に、第１の相関器（１１）の第１、第２、第３及び第４
の相関演算結果とも、エネルギーが時間軸上に分散し７
ていることがわかる９このように、エネルギーが肋間軸
」、に分散づることは、′ｒｐを８δから変化さゼても
変オ）らない。

しかし１、第１の相関器（１１）の第１、第２、第３及
び第４の相関演算結果を第２の相関器（１２）により相
関処理することにより、そｔｒｌぞれ、圧縮することが
てきる。

これについて、第３及び第４の参照（ｒ’ｒ号として、
それぞれ、第３の系列（１））及び第４の系列（ｑ）を
用いて発生し、／ご、第１４図及び第１５図に示１信号
について説明Ｊる。

第１４図に示す信号は、第３の系列（■））を用いて振
幅を相号化した波形を有する信号である。

この信号と第３の系列（ｐ）の符号上との間の関係をわ
かりやすくするため、図中、第３の系列（ｐ）の符号上
をあわせて記入し、である。

第１５図に示す信号は、第４の系列（ｑ）を用いて振幅
を符号化［５，た波形を有する信号である。

この信号と第４の系列（（１）の符号］−との間の関係
をわかりやすくするため、図中、第４の系列１　（１，
ｌの符号上をあわせて記入しである。

第１４図に示す第３の参照信号ｕ　ｐ　（ｔ、　）を用
いた場合、第１の圧縮パルスＣａａｐｐ　（ｔ　）は式
０％式％： ］ （和は１に・ついて］−Ｎまでとる。）ｐ　ＩＣａａｐ
　（ｔ、　） ＋　　ｐ　　、、（”：ａａｐ（ｆ　　÷−′丁１））
→−ｐ　、、、Ｃａ月〕（ｔ　＋　２Ｔｐ）千■）江ａ
ａｐ　（↑５七３Ｔｐ）　　−式［相］さらに、第３の
系列（ｐ）の自己相関関数を、ａａｐ（ｉ　）　、＜ｉ
＝ｏ、口、１２１、±（Ｎ−１））と表わすと、第１の
圧縮パルスＣａａｐｐ　（ｔ　）は式■及びｑΦからつ
ぎのようになる。

Ｃａａｐｐ（ｔ）＝ρｐｐ（０）Ａａ（ｔ−４ａ）＋Σ
ρｐｐ　（ｉ　）　　［Ａａ（ｔ−ｔｏ−ｉＴｐ）□Ａ
ａ（ｔ−ｔｏ＋１Ｔｐ）］（和はｉについて］〜Ｎまで
とる） ａａｐ（０）Ａａ（ｔ−ｔｏ） ＋　ρ　ｐｐ　　（１）　　　［Ａａ（ｔ−ｔｏ−４ｐ
）→□　Ａ　ａ　（ｔ　−ｔ　ｏ÷Ｔ１１）］＋’１）
ｐｐ　　（２＞　　［Ａａ（ｔ−ｔｏ−２Ｔｐ）＋Ａａ
（ｔ−ｔｏｉ４Ｔｐ）］→　ａａｐ　（３）　　［Ａａ
（ｔ−ｔｏ−３７ｐ）＋Ａａ（ｔ、−ｔｏ→３Ｔｐ）コ
・・　式■ 第２の圧縮パルスＣａ、ａｑｑ　（ｔ　）は、式■の右
辺において、Ｃａａｐ（＋、）をＣａ、ａｑ（ｔ）で置
き換えるとともに、１）、をｑ工で置き換えた式で表せ
る。

また、この式は、式０の右辺において、第３の系列（ｒ
〕）の自己相関関数ｉ）ｔ′ｊｐ　（ｉ　）を第４の系
列（ｑ）の自己相関関数ρｑｑ　（ｉ　）で置き換えた
式に等しい。第３の圧縮パルスＣｂｔ＋ｐｐ　（ｔ　）
は、式■の右辺において、Ｃａａｐ（ｔ）をｃ　ｂｂｐ
、　（ｔ、　）で置き換えた式で表せる。また、この式
は、式■の右辺において、Ａａ（ｔ）をＡｂ（ｔ）に置
き換えた式に等しい。第４の圧縮パルスＣｂｂｑｑ　（
ｔ　）は、式［相］の右辺において、Ｃａ、ａｐ（ｔ）
をＣｂｂｑ（ｔ）で置き換えるとともに、Ｐ、をｑ、で
１き換ノた式で表せる。また、この式は、式■の右辺に
おいて、自己相関関数ρｐａ（ｊ）を自己相関関数ρｑ
ｑ　（ｉ　＞で置き換えるとともに、Ａａ（ｔ）をＡｂ
（ｔ）に１き換えた式に等しい。

第１６図は、式■から計算により求めた第１の圧縮パル
スＣａａｐｐ　（ｔ　）を示す。

第１６図ては、第１の基本単位圧縮パルスＡａ（１−１
６）として第８図に示したものを用い、また、第３の系
列の自己相関関数ｐｐｐ（ｉ）において、ａａｐ（０）
＝４、ａａｐ（１）　＝１、ａａｐ（２）・”０、ρａ
ｔ＋（３）＝−１であることを用いた。また、″丁ｐ＝
８δとシ、また６ 第１７図、第１８図及び第１　ｇ図は、それぞれ、同様
の計算ζこより求めた第２の圧縮パルスＣａａｑｑ（ｔ
）、第３の圧縮パルスＣｂｂｐｐ　（＋、）及び第４の
圧縮パルスＣｂｂｑｑ（ｔ）である９、第２の基本単位
圧縮パルスＡ　ｂ　（ｔ−ｔ　ｏ　）は第９図に示し、
たちのを用いた。また、第４の系列（ｑ）の自己相関関
数ρＱＱ　（ｉ　）において、ρＱＱ（０）＝４、ρＱ
Ｑ（１）＝−１，ρｑｑ（２＞＝０、ρｑｑ（３）＝１
であることを用いた。また、Ｔｐ＝８δとした。

第１６図、第１７図、第１８図及び第１９図において、
第１、第２、第３及び第４の圧縮パルスとも、信号のエ
ネルギーの大半は、１　＝：　１゜近傍に集中している
。すなわち、１＝１．近傍にのみ大きな振幅（主ローブ
）を有し、１．≠ｔ０における振幅（サイドし７−グ１
／ベル）がある程瓜小さい圧縮パルスが得られているこ
とがわかる。しか１１、まだかなりレベルの大きいサイ
ドロー・ブが時間１がｔ。からかなり離れたところまで
残−）でいる。

し、かじ、第２０図に示すように、第１、第２、第３及
び第４の圧縮パルスを加算し、５て得らｔまた合成圧縮
パルスでは、主ローブは強めあい、サイドローブは相殺
されて、サイドローブレベルは零になっている。

すなわち、この発明の第１、実施例において、ｔｔｏ近
傍にのみ大きな振幅（Ｊ：ローブ）を有し、ｔ＃ｔＯに
おける振幅くサイドローブレベル）が零の圧縮パルスが
得られる作用、効果があることがわかった。

なお、上記第１実施例で用いた第１及び第２の基本単位
圧縮パルスを加算すると、第２１２図に示すよ・うに、
１　＝　１：、。近傍にのみ大きな振幅（主ローブ）を
看し、ｔ≠ｔｏにおける振幅（づイドローブレベル）が
零となる。このような関係は相補関係にあると呼ばれる
。これは、第１の系列ｔａｒの自己相関関数をρａａ　
（ｉ　＞で表し１、第２の系列（１））の自己相関関数
をｐｂｂ（ｊ、）で表わ′すと、ρａａ（Ｏ）　＝ｐＨ
ｈ（０）　、ρａａ（ｉ　）　＝−ｐｂｂ（ｉ）、（ｉ
　＝　、１．　、２、・・・、Ｍ−１）が成り立−）こ
とから生じた結果である。また、第３及び第４の系列に
おいても、ρｐｐ　（０）　　・ρＱＱ　（０）、ρｐ
ｐ（ｉ）＝−ｆンｑｑ　（ｉ　）、〈１７−１．２、・
・Ｎ　−１，）が成り立つ。つまり、手記第１実施例で
は、第１及び第２の系列が相補関係にあり、第３及び第
４の系列が相補関係にある、 つぎに、この発明の第１実施例の別の効果について説明
する。

この種の検査装置はおいて、Ｓ／Ｎ比の改＠奮は送信信
号のパルス幅が長くなるにし５たかって大きくなる。送
信信号のパルス幅を長くするには、系列長の長い系列が
必要である。

この発明の第１実施例においては、送信信号のパルス幅
は、第４図〜第７図かられかるように、第］の系列（ａ
）及び第２の系列（ｂｌの長さＭのみでなく、第３の系
列（１））及び第４の系列（（１）の長さＮにも依存し
ている。ずなわぢ、第３及び第４の系列の長さＮの長い
ものを用いれば、その長さに比例して送信信号のパルス
幅を長くできる。

相補の関係にある系列は、任意の系列長について存在す
るのではなく限られた系列長についてし。

か存在しない。しかし、この発明の第１実施例において
は、２種類の系列長Ｍ及びＮのものを組み合わせて使用
している。このため、実質的な系列長は、ＭＸＮとなる
。

したがって、送信信号のパルス幅を長くできるのでＳ／
Ｎ比改普量を大きくできる効果がある。

さらに、長さＭとＮの組み合わせ方により、送信信号の
パルス幅の選択の自由度が大きくなる効果もある。

さらに、この発明の第１実施例の他の効果について第２
２図、第２３図及び第２４図を参照しながら説明する。

第２２図はこの発明の第１実施例のＴｐ＝８δとした場
合の他の第１の送信信号を示す波形図、第２３図は第１
の相関器（］１）の構成を示すブロック図、第２４図は
第２の相関器（１２）の構成を示すブロック図である。

第１の送信信号は、第２２図に示すように、系列として
、 （」−１１−１」−５−１１−１＋、−、ト１、士、１
、　、＋、十、−、ト ＋、斗、」−１−、」、士、−、］− １＋　、　−−−〜−１→−２−） を用いて振幅をｒｉ号化した波形を有する信号に等し、
　い　。

なお、上記系列は、第１の系列（ａ、　）と第３の系列
（ｐｌとから、次式にしたがって生成した長さ３２の系
列に等しい。

（ａ＋Ｐ＋、　　ａ２Ｐ＋　　　ａ３ｐ　＋、　　ａ４
ＰａｓＰ＋　＋　ａａＰｉ　　　ａ　７ｐ　＋、　ａ　
、、ｐ　　１．。

ａ＋　ｐ　ｚ、　ａｚＰ　　２、　ａ３ｐ２、　ａ　４
Ｐｚ、ａｓｐ２、　ａｒｉｐｚ、　ａｔｐｚ、　ａ　＠
ｐ　２゜ａ１ｐ３、　ａ　２ｐａ、　ａ　３１’　　：
１．　　ａ　４Ｐ　：ｉ、ａｓｐ、、　ａ、ｐ３、　ａ
ｔｐ　３、　ａ＠Ｐ　３、ａ　１　ｐ　４、　ａ　　２
　Ｐ　　４、　ａ　　３　Ｐ　　＜、　ａ＜Ｐ＜、；１
．５　Ｆ’　４、ａ　ｂ　ｒ’　４、ａ　７１）４、ａ
６！：’　４１ここで、符号（±）は＋７１と同等とみ
なして掛算している。

さて、Ｓ／Ｎ比を改＠することを目的として、パルス幅
の長い、第２２図ζご示した第１の送信信号を、従来装
置の送信信号として用いた場合について考えてみる。

送信信号の継続時間′１゛は第２２図より３２δである
。Ｌ、たがって、単位時間δ当りに１個のサンプリング
を行い、式■にしたがって第４１図に示す相関器（１０
）を構成すると、Ｋ＝３２ＸＫ。

となるから、タップ数３２ＸＫ１個のタップ付遅延線（
１，０ａ　）と、このタップ付遅延線（］、　Ｏａ　＞
の各出力タップに接続された３２ＸＫ、個の掛算器（１
０ｂ）と、入力端子数３２ｘＫ＋個の加算器（１０ｅ）
とが必要である。

一方、この発明の第１実施例に係る検査装置では、第］
−の参照信号として第１の基本岸位信号ｇ　ａ　（ｔ、
、　）を用いている。第１の基本ψ位信号ｇａ（１）の
継続時間は　第２図より８×δである。

したがって、式■を式■と同様に変形し、甲佐時間δ当
りに１個のサンプリングを行うものとして、第１の相関
器（１１）を構成ずれば、第２３図に示すようになる。

第２３図１．ごおいて、第１の相関器（１１）は、タッ
プ数８×に１個のタップ付遅延線（１１ａ　）と、この
タップ付遅延線（１１，ａ　）の各出力タップに接続さ
れた８×に４個の掛算器（１ｌ　ｂ　）と、入力端子数
８×に９個の加算器（１１（・）とから構成さｉする６ つぎに、この発明の第１実施例に係る検査装置の第２の
相関器（１２）について考えてみる。

第２の相関器（１２）は、第１の相関器く１１）の第１
の相関演算結果Ｃａａｐ（ｔ）から、式（Φの右辺の演
算を行う機能を鳴していれば良い６式［相］の右辺は、
時間ｔにおけるＣａａｐ（ｔ）の値にｐを掛け、時間（
ｔ＋Ｔｐ）におけるＣａａｐ（＋、）の値にｐ２を掛け
、時間（ｔ＋２Ｔｐ）におけるＣａａｐ（＋、）の値に
ｐ、を掛け、時間（ｔ＋３Ｔｐ）におけるＣａａｇ（ｔ
）の値にｐ　、を掛けて、これらを加算゛づることを意
味Ｌ７ている。［１、たが・−）て、単位時間δ当りに
、個のサンプリングを行うものとすれば、Ｔｐ＝８δで
あるので、第２の相関器（１２）は第２４図に示すよう
に構成すれば良い。

すなわち、第２４図において、第２の相関器（１２）は
、夕・ンブ数２４×に１個のタップイ（遅延＊　（１，
、２ａ　）と、このタップ付遅延線（１，２ａ　＞の出
力タップにおいて８×に３個（時間Ｔ　ｐに相当する。

）おきに接続されｔ′：４個の掛算器（］、　２　ｂ　
）と、入力端子数４個の加算器（１２ｃ）とから構成さ
ｔ′ビこいる。

さで、この発明の第１実施例に係る検査装置の第１の相
関器く１１）と第２の相関器（１２）とにおいて要求さ
れる掛算器（ｌｌｂ）及び（１２ｂ）の総個数を、従来
の検査装置の相関器（１０）において要求される掛算器
（１０ｂ）の個数と比較してみる。この発明の第１実施
例においては、総数（８ｘＫ＋＋４）個、従来装置にお
いては、３２・・、Ｉ＜１個である。すなわぢ、この発
明の第１実施例においては、掛算器の個数が大幅に少な
くて済む。このように、掛算器の個数が少なくなること
は、装置の動作スピードの向−１−や低価格化につなが
る効果がある。

さらに、第２の相関器（１２）において要求さ・れる掛
算器（１２＋１１１１＋　）への重み付トフは、上述の
第１実施例ては、１１のいずれかである。重み付けが＋
１であることは、掛算器（１２ｂ）は不要であることを
意味しζいる。また、重み付けが−１であることは、掛
ｒ１．器（１，２ｂ　）をインバータで置き換えられる
ことを意味している。し７、たが−）°ζ、この発明の
第１実施例は、動作スピードや価格の面で益々有利であ
る。

一方、同様に、加算器について比較してみる。

この発明の第１実施例においては、入力端子数８ＸＫ、
個の加算器（１，Ｉ　Ｃ）と、入力端子数４個の加算器
（１２ｅ）とで済む。これに対し、従来装置においては
、入力端子数３２　Ｘ　Ｋ１個の加算器（１０ｃ）が必
要である。加算器は、ねずみ算式に加算していくので、
入力端子数が少なくなれば、こｉｌも動作スピードの向
１−や低価格化につながる効果がある。

なお、第２のエコーの相関処理においては、第］の相関
器（１］）は、第２３図に示；０、たちのと同一・のら
のを使用できる。第２の相関器（１２）は、第２４図に
示し、たものにおいて、掛算器（１２ｂ）への重み付１
’ｔ’　ｐ　ｒを（］１に置き換えて用いればよい。第
３のエコーの相関処理においては、第１の相関器（１１
）は、第２３図に示したものにおいて、掛算器（１，’
＋ｂ）への重み付りｕａ（ｋΔｔ）をｕ　ｂ（ｋ△ｔ）
に置き換えて用いればよい。第２の相関器（１２）は、
第２４図に示し７たものと同一のものを使用できる。第
４のエコーの相関処理においては、第１の相関器（１］
）は、第２３図に示したものにおいて、掛算器（１、ｌ
ｂ）への重み付けｕａ（ｋΔｔ、）をｕｂ（ｋΔｔ）に
置き換えて用いればよい。第２の相関器く］２）は、第
２４図に示したものと同一のものにおいて、掛算器（］
、　２　ｔ））への重み付けＰ、をｑ、に置き換えて用
いればよい。あるいは、第１及び第２の相関器とも、第
２、第３及び第４のエコーの相関処理用として、それぞ
れ、個別に独立に設Ｇすでもよい。

また、１記第１実施例では、第２図及び第３図に示した
ように、第１及び第２の基本単位信号において、第１の
系列（ａ）及び第２の系列（ｌ〕）の各要素（＋）に対
応させる即位波形が矩形の場合について説明し、たが、
上記各要素に対応する単位波形を、例えば、第２５図（
ａ、　）及び（ｂ　）　に示すように、矩形に近い波形
とした場合についても、上記第１実施例と同様の作用、
効果がある。

この発明の第２実施例の構成を第２６図を参照しながら
説明する。

第２６図は、この発明の第２実施例を示すブロック図で
あり、振幅符号化送信信号発生器（ＩＡ）、第１の相関
器（１１）、第２の相関器（１２）、加算器（１５）、
超音波探触子（６）及び表示器（８）は上記第１実施例
のものと全く同一である。

第２６図において、この発明の第２実施例は、上述した
第１実施例のものと全く同一のものと、振幅符号化送信
信号発生器（１，Ａ　）に入力側か接続されかつ第１の
相関器（１］）に出力側が接続された第１の参照信号発
生器（］、　３　Ａ　）及び第２の参照信号発生器（１
３Ｂ）と、振幅符号化送信信号発生器（ＩＡ）に入力側
が接続されかつ第２の相関器（１２）に出力側が接続さ
れた第３の参照信号発生器（１４Ａ）及び第４の参照信
号発生器（１，４Ｂ　）とから構成されている。

第１の参照信号発生器（１，３Ａ　）は、」−述した第
１実施例における第１の基本単位信号ｇａ（ｔ、）によ
り超音波探触子く６）を駆動したときに得られるエコー
の波形と類似あるいは同一の波形を有する信号を発生し
、これを第１の参照信号として第１の相関器く１１）に
伝達する。

第２の参照信号発生器（１３Ｂ）は、上述した第１実施
例における第２の基本単位信号ｇｂ（ｔ）により超音波
探触子（６）を駆動したときに得られるエコーの波形と
類似あるいは同一の波形を有する信号を発生し、これを
第２の参照信号として第１の相関器（１１）に伝達する
。

第３の参照信号発生器（１，４Ａ　）は、上記第］実施
例における第３の参照信号と類似あるいは同一の波形を
有する信号を発生し、これを第３の参照信号として第２
の相関器（１２）に伝達する。

第４の参照信号発生器（１，４Ｂ　’）は、上記第１実
施例における第４の参照信号と類似あるいは同一の波形
を有する信号を発生し、これを第４の参照信号として第
２の相関器（１２）に伝達する。

上記第１の参照信号の波形は、弐〇の右辺において５ａ
ｐ（ｔ）をｇ　ａ　（ｔ、　）で置き換えたときに得ら
れる信号の波形と同−又は類似である。し、たがって、
第１の参照信号発生器（１３Ａ）は、超音波探触子（６
）が送受総合で有する周波数応答特性と、試験体Ｓの周
波数応答特性と、欠陥などの反射体の超音波反射に関す
る周波数応答特性とをあわせもった周波数応答特性を有
するフィルタとして働く。

同様に、上記第２の参照信号の波形は、式Φの右辺にお
いて５ａｐ（ｔ）をｇｂ（ｔ）で置き換えたときに得ら
れる信号の波形と同−又は類似である。したがって、第
２の参照信号発生器（１，３８）は、超音波探触ヂ＜０
）が送受総合で有する周波数応答特性と、試験体Ｓの周
波数応答特性と、欠陥などの反射体の超音波反射に関す
る周波数応答特性とをあわせも一゛）だ周波数応答特性
を有Ａるフィルタとして働く。

上記第１及び第２の参照信号のように、工ｊ−と同−又
は類似の波形を有憚る信号を参照（ａ　”Ｅとして用い
て、エコーを相関処理することは、エコーを整合フィル
タ又は近似的整合フィルタに通す信号処理を行）でいる
ことに相当づる。整合フィルタは雑音に埋もれた信号を
最大のＳ／Ｎ比で受信する効果をもっている。

したがって、この発明の第２実施例は、第１及び第２の
参照信号として、それぞれ、第１及び第２の基本即位信
号自身を用いる第１実施例に比べ、Ｓ／Ｎ比をさらに改
善できる効果が、第１実施例の作用、効果に相乗する。

なお、第１の参照信号発生器（１３Ａ））及び第２の参
照信号発生器（１３Ｂ）は、次のような第１及び第２の
参照信号を発生させる機能を有したものでもよい。

まず、第１の基本単位信号により超音波探触子（６）を
励振りまたときに試験体Ｓの表面又は底面から反射され
て超音波探触子（６）により受信される表面エコー又は
底面エコーが大きいＳ／・′Ｎ比゛Ｃ得られる場合には
、表面工：１−又は底面エコーを測定し、これらのエコ
ーと同一・又は類似の波形を有する信号を上記第１の参
照仁ぢと１．て発仕させてもよい。同様に第２の参照信
号につい°ζも、第２の基本単位信号により超音波探触
ｆ　（６）を励振し５なときの表面エコー又は底面エコ
ーを測定し、これらのエコーと同−又は類似の波形を４
１する信号を上記第２の参照信号とし２て発ノ１さゼて
もよい。

また、試験体Ｓの表面また底面からの反射エコーが］−
分なＳ／′Ｎ比で得られない場合には、検査対象として
いる試験体Ｓとは別の試験体Ｓ１を用意する。第１の基
本単位信号により超音波探触ｆ（６）を励振し、」配賦
験体Ｓ、から反射されたエコーを超音波探触子（６）に
より受信する。この工：１−と同−又は類似の波形を有
づる信号を１記第１の参照信号として発生させてもよい
。第２の参照信号に−）いても、同様に、第２の基本即
位信号により超音波探触ｆ（６）を励振したときの上記
試験体Ｓ１からの反射エコーと同〜・又は類似の波形を
有する信号を上記第２の参照信号とＬ７て発生させても
よい。

また、第１の参照信号発生器（１３Ａ、　）は、第１の
基本即位信号により超音波探触Ｔ−（６）を励振し、！
、＝とき、振幅符号化送信信号発生器（ＩＡ）の出力端
から超音波探触子（６）、試験体Ｓ、再び超音波探触子
（６）を介して、第１の相関器く１１）の入力端にいた
る信号伝搬経路の周波数応答特性と、第１の基本単位信
号とに基づいて算出された波形を有する信号を第１の参
照信号として発生１１．”ξもよい。同様に、第２の参
照信号発生器（１３Ｂ）についても、上記信号伝搬経路
の周波数応答特性と第２の基本単位信号とに基づいて算
出された波形を看する信号を第２の参照信号としで発生
してもよい。これらの場合、上記信号伝搬経路の周波数
応答特性に、試験体Ｓの反射体の反射に関する周波数応
答特性を含ませれば、〜・層のＳ／Ｎ比向上が図れる。

また、試験体Ｓの反射体の反射に関づる周波数応答特性
を種々変えた第１及び第２の参照信号を複数個用意゛す
れば、本発明と関連する特願平１８６３８３号かられか
るように、反射体の類別を行う機能を付加できる効果も
ある。

−力、第３の参照信号発生器（１４Ａ）及び第４の参照
信号発生器（１４Ｂ）は、時間’１”　＋１ごとに振幅
が→＝１から少しづつずれた信号をそれぞれ第３及び第
４の参照信号として発生してもよい。

第１から第４の圧縮パルスが高いＳ／Ｎ比で得られる波
形を有する信号を第３及び第４の参照信号どして発生さ
せればよい。あるいは、合成圧縮パルスが高いＳ／Ｎ比
で得られる波形を有する信号を第３及び第４の参照信号
として発生させてもよい。

ところで、この発明の第２実施例では、第１又は第２の
参照信号の継続時間内にに５個のす；／′ブリング点が
あり、時間Ｔρの間ＣＬ　Ｋ　２個のサンプリング点が
あるものとすると、第１の相関器（」１）は　弐〇を式
■と同様に変形するばわかるよう（、、゛、タップ数に
３個のタップ付遅延線と、このタップ付遅延線の各出力
タップに接続ｔトれブ、・Ｋ１個の掛算器と、入力端Ｙ
数に１個の加ｐ器とから、第２３図と同様に構成号”れ
ばよい。また、第２の相関器（１２）は、タップ数（Ｎ
−１）　＞（Ｋ　２個のタップ付遅延線と、このタップ
付遅延線の各出力タップにおいて、Ｋ２個おきに接続さ
れたＮ個の掛η器と、入力端ｆ−数Ｎ個の加鳶器とから
、第２４図と同様に構成すればよい。ただし、Ｎ個の掛
ｐ器への重み付（プＰｉ及び（（１、（ｉ　＝　１．　
、２．３、・・・Ｎ）は、±１とし、でもよいし１、」
−述のように、第１から第４のＢ縮パルス、あるいは合
成圧縮パルスが高いＳ／Ｎ比で得られるように、ｉごと
に、それぞれ±１から値をすらし７てもよい。

この発明の第３実施例の構成を第２７図を参照し、なか
ら説明する。

第２７図は、この発明の第３実施例を小すブロック図で
あり、位相符号化送信信号発生器（］、　Ｂ　’）以外
は、」−記第１実施例のむのと全く同・である。

つぎに、上述り、た第３実施例の動作を第２８図かｔ）
第３４図までを参照し２なから説明する。

第２８図及び第２９図はこの発明の第３実旅例における
第１及び第２の基本単位信号を示イ波形図、第３０図（
ａ＞及び（１１）は基本単位信号を構成する他の皇位波
形を示１波形図。第３１図、第３２図、第３３図及び第
３４図はそれぞれ第１、第２、第３及び第４の送信信号
を示す波形図である。

第２８図におい°ζ、第１の基本単位信号ｇａ（ｔ）は
、上述した第１実施例の場合と同一の第１の系列＋ａ＋
を用い°ζ発生させた信号である。図中、δ。は固定時
間である。第１の系列（ａ）と第１の基本単位信号ｇａ
（ｔ）との関係をわかりやすくするため、第１の系列（
ａ）の符号（±）をあわせて記入しである。

第２９図において、第２の基本単位信号ｇｂ（ｔ）は、
上述した第１実施例の場合と同一の第２の系列（ｌ〕）
を用いて発生させた信号である。第２の系列（ｂ　）と
第２の基本単位信号ｇｂ（ｔ、）との関係をわかりやす
くするため、第２の系列（１））の符号（±）をあわゼ
て記入し、である。

第２８図及び第２９図では、第１の系列！ａｔ又は第２
の系列ｔｂ＋の各要素り一土、）に対応する単位波形が
正弦波形の場合を示し７ているが、ト記即位波形は、第
３０図（ａ、　）又は（１ｌｌ）　）　４こ示すように
、滑らかな曲線部を有する波形や、振幅や零クロス点の
間隔が一定でない振動波形であ・）てもよい。

なお、第２８図及び第２９図において、固定時間δが固
定時間δ。に等しい場合には、第１及び第２の基本単位
信号は位相を符号化した波形を有する信号となる。位相
符号化の方法については、この発明と関連する特願平１
−４５３１６号に詳細に述べられている。

第３１図において、第１の送信信号は、上述した第１実
施例の場合と同一の第３の系列（ｐｌと、第２８図に示
した第１の基本単位信号ｇａ（ｔ、）とから、第１実施
例の場合と同一の手順にしたがって発生した信号である
。すなわち、第３の系列（ｐｌの符号］−には第］の基
本単位信号ｇａ（ｉ＞を割り当て、符号−には第１の基
本即位信号ｇａ（１）に−１を掛けて得られる信号−ｇ
　ａ　（ｔ　）を割り当°Ｃて、第３の系列ｉｐ）の符
号の現れる順序にしたがって、±ｇａ（ｔ、）が時間軸
上に配列されている。第３の系列（ｐ）の符号」と、信
号ｉ：ｇｌｌ（１，）との関係をわかりやすくするため
、図中、第３の系列（ｐｉの符号上をあわせて記入しで
ある。

第３２図におい°ζ、第２の送信信号は、上述し。

な第１実施例の場合と同一の第４の系列（９）と、第２
８図に示した第１の基本単位信号ｇａ（ｔ＞とから、第
１実施例の場合と同一の手順にしたがって発生した信号
である。第４の系列（ｑｌの符号上と、信号上ｇａ（ｔ
＞との関係をわかりやすくするため、図中、第４の系列
（ｑ、　）の符号上をあわせて記入しである。

第３３図において、第３の送信信号は、」二連した第１
実施例の場合と同・の第３の系列（■））と、第２９図
に示し２を第２の基本即位信号ｇｂ（ｔ）とから、第１
実施例の場合と同一・のＪ順にしたがって発生した信号
である。第３の系列（１））の符号±と、信号±ｇｂ（
ｔ）との関係をわかりやすくするため、図中、第３の系
列（■））の符号４−をあわせて記入し１である。

第３４図において、第４の送信信号は、」、述ｌた第］
実施例の場合と同〜の第４の系列ｆｑ）と、第２９図に
示した第２の基本単位信号ｇ　ｂ　（ｔ　）とから、第
］実施例の場合と同一の手順（、こしたがって発住し７
た信号である。第４の系列（ｑｌの符号±と、信号ま−
ｇｂ（ｔ）との関係をわかりやすくするため、図中、第
４の系列（ｑｌの符号士をあわせて記入しである。

この発明の第３実施例では、第４図から第７図までに示
した第１実施例の第１、第２、第３及び第４の送信信号
を、それぞれ、第３１図から第３４図までに示した第１
、第２、第３及び第４の送信信号で置き換えて超音波探
触子（６）を駆動する。ユ＝１−の信号処理は１、第１
実施例と同様テ、′ある。すなオ）ち、第１の参照信号
と１゜、て、第２８図に示し７た第１、の基本即位信号
を用い、第２の参照信号として、第２９図に示した第２
の基本ｍイｊ″ｆイエ号を用い、第３及び第４の参照イ
Ｂ　’％と１．ては、第１実施例のものと全く同一・の
ものを用いる。

この発明の第３実施例においても、式■−・・７σｐが
第１の基本単位４１１号ｇ　ａ　（ｔ、、　）の波形の
形状にかかわらず成立すること、並びに、第２８図及び
第２９図に示した第１及び第２の基本１１−０信すを、
それぞれ、式０及び■に代入して求まる第１及び第２の
基本単位圧縮パルスの加算結果〈合成基本単位圧縮パル
ス）が、１＝１．近傍にのみ大きな振幅を有し、ｔ≠１
１．における振幅が零になること、並びに、第３の系列
（ｐ　）と第４の系列！ｑ）とが相補の関係にあること
から、第１実施例と同様の作用がある。第１及び第２の
基本単位Ｈ−縮パルスの間の上述した相補の関係は、第
３０図（ａ）及び（ｂ）に示した単位波形を用いた場合
にも成り立つので、この場合も第１実施例と同様の作用
がある。

つづいて、上述し５た第３実施例の効果について説明す
る。

この発明の第３実施例では、第１実施例の場合と同様の
作用、効果が得られるとともに、この発明と関連する特
願平１４５３１６号及び特願平１−８６３８３号かられ
かるように、信号の周波数特性を、超音波探触ｆ（６）
の送受総合での周波数特性と、試験体Ｓの周波数特性と
、試験体Ｓ内の反射体の超音波反射に関する周波数特性
とを合成した周波数特性に近付けることができる。

したか−〕で、信号エネルギーの利用効率を高くするこ
とが期待できる。逆に、第１の系列（ａｌ及び第２の系
列（ｂ）の要素（±）に対応する甲７位波形を１．Ｅ記
合成周波数特性に近い周波数特性を有するように選定す
れば、益々、信号エネルギーの利用効率が高くなり、Ｓ
／Ｎ比が向上することが期待できる。

なお、第１の相関器（１１）及び第２の相関器（１２）
を、タップ付遅延線、掛算器及び加算器から構成する場
合は、その構成法は上述１７か第１実施例の場合と同様
である。

この発明の第４実施例の構成を第３５図を参照しながら
説明する。

第３５図は５この発明の第４実施例を示すブロック図で
あり、位相符号化送信信号発生器（Ｉ　Ｉ：３　）以外
は、上述した第２実施例のものど全く同一である。

第１の参照信号発生器（１，３Ａ　）は、上述した第３
実施例における第１の基本即位信号を用いて超音波探触
Ｆ（６）を駆動したときに得ｔ、れるエコーの波形と同
−又は類似の波形を有する信号を発生し１、これを第１
の参照信号として第１の相関器（１１）に伝達する。

第２の参照信号発生器（１３Ｂ　）は、上述１．た第３
実施例における第２の基本単位信号を用いて超音波探触
子（６）を駆動し２なときに得られるエコーの波形と同
−又は類似の波形を有する信号を発生し、これを第２の
参照信号として第１の相関器（１１）に伝達する。

第３の参照信号発生器（１４Ａ　＞は、■−述した第３
実施例における第３の参”可信号の波形と同−又は類似
の波形を不する信号を発生し、これを第３の参照ｆハ号
どして第２の相関器（１２）に伝達する。

第４の参照信号発生器（１，４Ｂ　＞は、」述１８．ん
・第３実施例にお（〕る第４の参照信号の波形と同−又
は類似の波形を有す゛る信号を発生し、これを第４の参
照信号として第２の相関器（］２）に伝達する。

つづいて、」−１述し、た第４実施例の効果について説
明する。

、１．記第４実施例においても、第１及び第２の参照信
号は、式■の右辺において５ａｐ（ｔ）を、それぞれ、
第３実施例における第１の基本単位信号ｇａ（ｔ）及び
第２の基本中、位信号ｇｂ（ｔ＞で置き換えたときに得
られる信号の波形と同一・又は類似である。し、たがっ
て、上述した第２実施例と同様の効果が、」−述し、た
第３実施例の作用、効果に相乗することが期待できる。

なお、第１及び第２の参照信号として、第２実施例に関
連して説明しまたものと同様の信号を発生させてもよい
。

また、第４実施例におい°Ｃも、第３の参照信号発生器
（１４Ａ）及び第４の参照信号発生器（１４Ｂ）は４時
間Ｔ′ｐごとに振幅が±１から少し、ずれた信号をそれ
ぞれ第３及び第４の参照信号として発生してもよい。第
１から第４の圧縮パルス、あるいは、合成圧縮パルスが
高いＳ／Ｎ比で得られるような波形を存する第３及び第
４の参照信号を発生させればよい。

また、第１の相関器く１１）及び第２の相関器（１２）
を、タップイ４遅延線、掛算器及び加算器から構成する
場合は、その構成法は上述した第２実施例の場合と同様
である。

この発明の第５実施例の構成を第３６図を参照しながら
説明する。

第３６図は、この発明の第５実施例を示すブロック図で
あり、送信用の超音波探触子（６Ａ）及び受信用のく６
Ｂ）以外は、上述した第４実施例のものど全く同〜であ
る。

この第５実施例は、第４実施例の場合と同様の作用、効
果を奏する。

もちろん、送信用の超音波探触子（６Ａ　）及び受信用
の超音波探触子（６Ｂ）を、この発明の第１、第２及び
第３実施例に適用してもよい。

この発明の第６実施例の構成を第３７図を参照しながら
説明する。

第３７図は、この発明の第６実施例を示すブロック図で
あり、第３の相関器（１６）、第５の参照信号発生器（
１，７Ａ　）及び第６の参照信号発４器（１７Ｂ）以外
は、上述した第５実施例のものと全く同一・である。

第５の参照信号発生器（１，７Ａ　）及び第６の参照信
号発生器（１，７Ｂ　＞は位相符号化送信信号発生器（
ＩＢ）に接続され、第３の相関器（１６）は第２の相関
器（１２）、第５の参照信号発生器（１７Ａ、　）及び
第６の参照信号発生器（１７Ｂ）に入力側が接続されか
つ加算器（１５）に出力側が接続されている。

この第６実施例では、位相符号化送信信号発生器（ＩＢ
）は、新たに第５の系列（Ｖ）及び第６の系列＋Ｗ＋を
発生し、一方、第５実施例で発生させた第１から第４の
送信信号を、それぞれ、新たに第１から第４の基本即位
信号（ｇ＋（ｔ）、ｇｚ＜ｔ）、ｇ＋ｉ（ｔ＞、ｇ４＜
±、〉で表わす。）とみなして、上７記第５の系列＋ｖ
＋と上記第１の基本即位信号ｇ＋（ｔ）とを用いて第１
の送信信号を発生させる。この第１の送信信号の発生手
順は、上述の第５実施例において、第１の基本単位信号
ｇａｉｔ）と第３の系列（ｐ）とを用いた第１８の送信
信号発生手順と同じ手順にしたがう。

すなわち、第５の系列＋ｖ＋の符号子には第１の基本単
位信号ｇｔ（ｔ）を割り当て、符号−には第１の基本単
位信号ｇ１（ｔ）に−１を掛けて得られる信号−ｇ　ｒ
　（ｔ　）を割り当てて、第５の系列＋ｖ＋の符号上の
現れる順序にしたがって、信号上ｇｉ（ｔ）を配列する
。このときの配列間隔をＴｐｐとする。さらに、第５の
系列（Ｖｌと第２の基本単位信号ｇ２（ｔ＞、第５の系
列（ｖ）と第３の基本部位信号ｇ　３　（ｔ　）　、並
びに、第５の系列（Ｖ）と第４の基本単位信号ｇ＜（ｔ
）とを用いて同様に第２、第３並びに第４の送信信号を
発生させる。さらに、第６の系列＋ｆｆと第１゜の基本
単位信号ｇ＋（ｔ）、第６の系列！　ｗ　）と第２の基
本部位信号ｇｚ（ｔ）、第６の系列＋ｆｆと第３の基本
部位信号ｇ：１（ｔ）、並びに、第６の系列（ｗ）と第
４の基本単位信号ｇ４（ｔ）とを用いて第５、第６、第
７並びに第８の送信信号を発生させる。

そして、これらの第１から第８の送信信号を超音波探触
子（６Ａ）に−・定の繰りｉ　Ｌ周期で伝達する。

第５の参照信号発生器＜１７Ａ＞及び第６の参照信号発
生器（１７Ｂ）は、それぞれ、上記第５及び第６の系列
を用いて位相が符号化した波形と同−又は類似の波形を
有する第５及び第６の参照信号を発生し、第３の相関器
（１６）に伝達する。

第３の相関器（１６）は、上記第５の参照１５号を用い
て、第２の相関器（Ｊ２）の第コから第４の送ｆ３信号
ε１．」■る出力の相関処理を実行する。

さらに、第６の参照信号を用いζ、第２の相関器（１２
）の第５から第８の送信信号に関′ヴる出力の相関処理
を実行する。そして　これらの結宋を、加算器（１５）
に伝達する６ 加鴛器（１５）−ζは、第１から第８の送ｔｚ　ｒｚ号
に関する第３の相関器（１６）の出力を記憶イ゛るとと
もに、加算して合成圧縮パルスを９８、これを表示器（
８）に伝達′４る。

この場合も、第５の系列（ｖ　）と第（“）の系列＋Ｗ
＋とが相補の量体にあれば、零Ｉ・ンジャイトローブの
合成圧縮パルスが得られる。

なお、第３の相関器（１６）を、タップ付遅延線、掛算
器及び加（資）１゛器から構成する場合、その構成法は
上述した第２の相関器（１２）と同様である。ただし、
第５の系列（Ｖ）及び第６の系列＋Ｗｌの長さをＬとす
ると、掛算器は、上記時間間隔’Ｉ’ｐｐに相当する出
力タップおきに総数１、個設ける。また、加鳶器は、入
力端子数Ｉ、個のものを用いる。

この第６実施例では、送信信号の継続時間を１−述（ま
た第５実施例に比べて長くすることができる。

このように、送信信号の継続時間が長くなればなるはと
、従来装置と比較して、掛η器の個数、及び加算器の入
力端子数のｙ：が大きくなり、ま′１ます、動作スピー
ドや価格の面で有利になる。

さらに、第６実施例における送信信号発生手順を繰り返
し用いて、すなわち、送信信号が有する波形を繰り返し
新たに単位波形とみなし、で、これに対応して、第７、
第８、第９、第１０、・・・の参照信号発生器と、第４
、第５、・・・の相関器とを設ければ、送信信号の継続
時間がますまり長くなるので、従来装置と比較して、掛
算器の個数、及び加算器の入力端子数の差がますます大
きくなり、動作スピードや価格の面でますます有利にな
る。

また、第６実施例と同様の構成を上述した第１から第４
実施例までに適用してもよい。

次に、各種の応用例等について説明する。

上述した各実施例においては、第１の系列（ａ）及び第
２の系列（ｂ・）とし２て長さＭが８のものを用い、第
３の系列（■））及び第７２の系列（ｑ）とし２て長さ
Ｎが４のものを用いた場合に９い°ζ説明したが、長さ
Ｍ及びＮについ”ではこれに限らない。

長さＭ及びＮが任意の自然数の場合にも適用できる。

例えば、第１の参照信号として第１の基本単位信号を用
い、時間δの間にに１個のサンプリング点がある場合に
ついて、長さＭ及びＮを任意の自然数として考えてみる
。

Ｔｐ＝Ｍδとした場合には、第１の相関器（１１）は、
タップ数Ｍ×に１個のタップ付遅延線＜　１．１　ａ　
）と、タップ付遅延線（ｌｌａ）の各出力タップに接続
されたＭｘＫ＋個の掛算器（ｌｌｂ）と、入力端子数Ｍ
ＸＫ１個の加算器（ｌｌｃ）とから第２３図と同様に構
成すればよい。

また、第２の相関器（１２）は、タップ数（Ｎ−１）Ｘ
ＭｘＫ１個のタップ付遅延線（１２ａ＞と、このタップ
付遅延線（１，２ａ　＞の出力タップにおいて、ＭＸＫ
、個おきに接続されたＮ個の掛算器（］、　２　ｂ　）
と、入力端子数Ｎ個の加算器（１２ｃ）とから、第２４
図と同様に構成ずればよい、。

この場合も、従来装置ごは、タップ数ＭＸＮＸＫ１個の
タップ付遅延線（１０ａ）と、このタップ付遅延線（１
，０ａ　）の各出力タップに接続されなＭ　Ｘ　Ｎ　Ｘ
　Ｋ　＋個の１３１器（１０［））と、入力端子数Ｍ＼
ＮＸＫ１個の加算器＜　１．、　ＯＣ）とが要求される
から、１−４述した実施例の場合と同様の効果がある。

′）ぎに、Ｔ　ｐ　＞　Ｍδ又は’Ｉ”　ｐ　＜　Ｍδ
の場合（、ン′シいて考えてみる。これらの場合には、
時間Ｔｐの間（、こ、Ｋ３個のカ〉・〕″りン・グがあ
るものとすると、第１の相関器（１］）は、タップ数Ｍ
ＸＫ２個のタップ付遅延線（ｌｌａ）と、タップ付遅延
線（ｌｌａ）の各出力タップに接続されたＭＸＫ２個の
掛算器（ｌｌｂ）と、入力端子数ＭＸＫ２個の加算器（
１］、　ｃ　）とから第２３図と同様に構成し、また、
第２の相関器（１２）は、タップ数（Ｎｘ）ｘＫｚ個の
タップ付遅延線（１２ａ）と、このタップ付遅延線＜　
１．２　ａ　）の出力タップにおいて、Ｋ２個おきに接
続さｔｌなＮ個の掛口器（１２ｂ）と、入力端子数Ｎ個
の加ｊＥｉ（］、２Ｃ）とから、第２４［４と同様に構
成すればよい。この場合も、上述し、た実施例の場合と
同様の作用、効果がある。

また、一般に、第１の参照信号の継続時間内（５こに５
個の号ンブリング点があり、時間′１゛ｐの間に、Ｋ２
個のサンプリング点があるものとすイ）と、第１の相関
器（］Ｉ）は、タップ数に３個の夕・・ノブ付遅延線（
１１ａ、　）と、タップイ」遅延線（１］、　ａ　）の
各出力タッグ心Ｊ接続されたに１個の掛算器（ｌｌｂ）
と、入力端子数に１個の加算器（１１Ｃ）とから第２３
図と同様に構成し、丈な、第２の相関器（１２）は、タ
ップ数（Ｎ−１）ＸＫ２個のタップ付遅延線＜１２ａ）
と、このタップ（＝１遅延線（１２ａ、）の出力タップ
において、Ｋ２個おきに接続されたＮ個の掛算器（］、
　２　ｂ　）ど、入力端子数Ｎ個の加算器（１２ｃ）と
から、第２４図と同様に構成すればよい。この場合も、
−１・述した実施例の場合と同様の作用、効果がある。

さらＣ１二、」−述した各実施例では、ｈ　（ｆ：、　
）がデルタ関数の場合に一ついて説明し、たが、ｌ′ｉ
　（ｔ　）が振動成分などを含む任意の波形を有する関
数の場合に−“）いても、上述した実施例の場合と同様
の作用、効果がある。

さらに、上述した各実施例では、第１の系列と第２の系
列とが相補の関係にある場合について説明したが、この
発明はこれに限らず、第１及び第２の基本単位圧縮パル
スが相補の関係にあれば上述し、た実施例の場合と同様
の作用、効果がある。

さらに、ト述しプｓ各実施例では、第３及び第４の系列
が相補の関係にある系列の場合について説明し、たが、
この発明はこれに限らず、第１及び第２の基本単位圧縮
パルスが相補の関係にあるという前提のもとでは、第１
の圧縮パルスと第３の圧縮パルスの加算結果と、第２及
び第４の圧縮パルスの加算結果とが相補の関係にあれば
、１述した実施例の場合と同様の作用、効果がある。

この発明の実施例は、上述し、たように、相関器の構成
が従来に比べて簡星になり、こねにより動作スピードを
向」−７でき、また、低価格化が図れるという効果を奏
するとともに、原理的にサイドローブレベルの無い圧縮
パルスが得られ、第１及び第２の系列の要素く士）に対
応させる単位波形として、超音波探触子、試験体及びそ
の反射体の周波数応答特性を考慮して選定した波形を用
いれば、信号エネルギーの利用効率を向上でき、より大
きいＳ／Ｎ比で検査できるという効果を奏し、超音波探
触子、試験体及びその反射体かも−）ている総合周波数
応答特性を有する参照信号発生器に第１及び第２の基本
単位信号を通し、た場合には、より大きいＳ／Ｎ比で検
査できるという効果を奏する。

ところで、上記説明では、超音波探傷装置に利用する場
合について述べたが、その他の例えば超音波計断装置な
どにも利用できることはいうまでもない。

また、上記説明では、超音波探触子を試験体に接触させ
ている場合について述べたが、超音波探触子は接触させ
なくてもよい。この場合、超音波探触子と試験体との間
の超音波の送受信は、水などのカップリンク媒体を介し
て行えはよい。

さらに、この発明は、超音波アレイ探触子を構成する個
別の素ｒの超音波の送受信回路系Ｇ′：適用してもよい
。

さらに、上記説明では、波動どして超音波を用いる場合
に一ついて述べたが、超音波以外の波動、例えば５電磁
波を用いるシステムの送受信回路系に適用し、でも構わ
ない。

［発明の効果コ この発明は、以上説明し、たとおり、第１及び第２の系
列にそれぞれ万づいて第１及び第２の基本単位信号を生
成し１、前記第１の基本単位信号並びに第３の系列に基
づいて第１の送信信ぢ、前記第１の基本単位信号並びに
第４の系列に基づいて第２の送信信号、前記第２の基本
単位信号並びに前記第３の系列に基づいて第３の送信信
号、並びに前記第２の基本ｍ位信号並びに前記第４の系
列に基づいて第４の送信信号を発生する送信信号発生手
段と、前記第１、第２、第３並びに第４の送信信号によ
り励振されて波動を対象物に送信−４る送信手段と、前
記第１゜第２、第３並びに第４の送信１３号にイれぞれ
文・１応″４る前記対象物じ反射された第１、第２、第
３並びに第４のＪ：１−を受信ザる受信手段と、前言）
１第１の系列Ｃ：基づいて生成される第１の参照信号を
用いて、前記第１並びに第２の丁：２−を相関処理する
とともに、前記第２の系列に基づいて生成される第２の
参照信号を用いて、前記第３並びＧ、”第４の工：′１
−を相関処理づる第１の相関手段と、前記第３の系列Ｃ
Ｓ基づいて生成される第３の参照信号を用いて、前記第
１並びに第３のエコーに対応する前記第１の相関１段の
出力を相関処理するとともに、前記第４の系列に基づい
て生成される第４の参照信号を用いて、前記第２並びに
第４のエコー（ご対応１′る前記第１の相関手段の出力
を相関処理する第２の相関手段と、前記第１、第２、第
３並びに第４のエコーに対応する前記第２の相関手段の
それぞれの出力を加算する加算手段とを備えたので、低
価格で動作スピードを向上でき、サイドローブレベルが
零の圧縮パルスを得ることができるという効果を奏する
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の第１実施例を示すブロック図、第２
図及び第３図はこの発明の第１実施例の第１及び第２の
基本単位信号を示す波形図、第４図、第５図、第６図及
び第７図はこの発明の第１実施例の第１、第２、第３及
び第４の送信信号を示す波形図、第８図及び第９図はこ
の発明の第１実施例の第１及び第２の基本単位圧縮パル
スを示す波形図、第１０図、第１１図、第１２図及び第
１３図はこの発明の第１実施例の第１の相関器の第１、
第２、第３及び第４の相関演算結果を示す波形図、第１
４図及び第１５図はこの発明の第１゜実施例の第３及び
第４の参照信号を示す波形図、第１６図、第１７図、第
１８図及び第１９図この発明の第１実施例の第１、第２
、第３及び第４の圧縮パルスを示す波形図、第２０図は
この発明の第１実施例の合成圧縮パルスを示す波形図、
第２１図はこの発明の第１実施例の合成基本単位圧縮パ
ルスを示す波形図、第２２図はこの発明の第１実施例の
他の第１の送信信号を示す波形図、第２３図はこの発明
の第１実施例の第１の相関器を示すブロック図、第シと
４図はこの発明の第１実施例の第２の相関器を５゛りす
ブロック図、第２５図はこの発明の第１実施例の他の晰
位波形を示す波形図、第２６図はこの発明の第２実施例
を示すブロック図、 第２７図はこの発明の第３実施例を示すブロック図、第
２８図及び第２９図はこの発明の第３実施例の第１及び
第２の基本単位信号を示す波形図、第３０図はこの発明
の第３実施例の他の単位波形を示す波形図、第３１図、
第３２［：Ａ、第３３図及び第３４図はこの発明の第３
実施例の第１、第２、第３及び第４の送信信号を示す波
形図、第３５図はこの発明の第４実施例を示すブロック
図、 第３６図はこの発明の第５実施例を示すブロック図、 第３７図はこの発明の第６実施例を示すブロック図、 第３８図は従来の検査装置を示すブロック図、第３９図
は従来の検査装置の送信信号を示す波形図、第４０図は
従来の検査、装置の圧縮パルスを示す波形図、第４１図
は従来の検査装置の他の相関器を示すブロック図である
。 図において、 （ＩＡ）　・・・ （ＩＢ）　・・・ （６）　・・・ （６Ａ）　・・・ （６Ｂ）　・・・ （８）　・・・ （１，１）　　・・・ （１２）　・・・ （１３Ａ）　　・・・ （１３Ｂ）　　・・・ （１４Ａ）　　・・・ （１４Ｂ）　　　　　・・・ （１５）　・・・ （１６）　・・・ 振幅符号化送信信号発生器、 位相符号化送信信号発生器、 超音波探触子、 送信用の超音波探触子、 受信用の超音波探触子、 表示器、 第１の相関器、 第２の相関器、 第１の参照信号発生器、 第２の参照信号発生器、 第３の参照信号発生器、 第４の参照信号発生器、 加算器、 第３の相関器、 （１７Ａ）　　・・・　第５の参照信号発生器、（１７
Ｂ）　　・・・　第６の参照信号発生器である。 なお、各図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）第１及び第２の系列にそれぞれ基づいて第１及び
   第２の基本単位信号を生成し、前記第１の基本単位信号
   並びに第３の系列に基づいて第１の送信信号、前記第１
   の基本単位信号並びに第４の系列に基づいて第２の送信
   信号、前記第２の基本単位信号並びに前記第３の系列に
   基づいて第３の送信信号、並びに前記第２の基本単位信
   号並びに前記第４の系列に基づいて第４の送信信号を発
   生する送信信号発生手段、 前記第１、第２、第３並びに第４の送信信号により励振
   されて波動を対象物に送信する送信手段、前記第１、第
   ２、第３並びに第４の送信信号にそれぞれ対応する前記
   対象物に反射された第１、第２、第３並びに第４のエコ
   ーを受信する受信手段、 前記第１の系列に基づいて生成される第１の参照信号を
   用いて、前記第１並びに第２のエコーを相関処理すると
   ともに、前記第２の系列に基づいて生成される第２の参
   照信号を用いて、前記第３並びに第４のエコーを相関処
   理する第１の相関手段、 前記第３の系列に基づいて生成される第３の参照信号を
   用いて、前記第１並びに第３のエコーに対応する前記第
   １の相関手段の出力を相関処理するとともに、前記第４
   の系列に基づいて生成される第４の参照信号を用いて、
   前記第２並びに第４のエコーに対応する前記第１の相関
   手段の出力を相関処理する第２の相関手段、 並びに 前記第１、第２、第３並びに第４のエコーに対応する前
   記第２の相関手段のそれぞれの出力を加算する加算手段 を備えたことを特徴とする検査装置。
2. （２）前記第１及び第２の系列は相補関係にあり、かつ
   、前記第３及び第４の系列は相補関係にあることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の検査装置。
3. （３）前記第１並びに第２の基本単位信号は、それぞれ
   前記第１及び第２の系列を用いて振幅若しくは位相符号
   化された波形を有している信号、又は 前記第１の基本単位信号は、前記第１の系列の正符号若
   しくは負符号に単位波形若しくは前記単位波形に−１を
   掛算して得られる波形を割り当てた信号であり、かつ、 前記第２の基本単位信号は、前記第２の系列の正符号若
   しくは負符号に単位波形若しくは前記単位波形に−１を
   掛算して得られる波形を割り当てた信号、 前記第１の基本単位信号は、前記第１の系列の正符号若
   しくは負符号に矩形波形若しくは前記矩形波形に−１を
   掛算して得られる波形を割り当てた信号であり、かつ、 前記第２の基本単位信号は、前記第２の系列の正符号若
   しくは負符号に矩形波形若しくは前記矩形波形に−１を
   掛算して得られる波形を割り当てた信号、 若しくは 前記第１の基本単位信号は、前記第１の系列の正符号若
   しくは負符号に波動波形若しくは前記波動波形に−１を
   掛算して得られる波形を割り当てた信号であり、かつ、 前記第２の基本単位信号は、前記第２の系列の正符号若
   しくは負符号に波動波形若しくは前記波動波形に−１を
   掛算して得られる波形を割り当てた信号 であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の検
   査装置。
4. （４）前記第１の送信信号は、前記第３の系列の正符号
   若しくは負符号に前記第１の基本単位信号が有する波形
   若しくは前記第１の基本単位信号が有する波形に−１を
   掛算して得られる波形を割り当てた信号であり、 前記第２の送信信号は、前記第４の系列の正符号若しく
   は負符号に前記第１の基本単位信号が有する波形若しく
   は前記第１の基本単位信号が有する波形に−１を掛算し
   て得られる波形を割り当てた信号であり、 前記第３の送信信号は、前記第３の系列の正符号若しく
   は負符号に前記第２の基本単位信号が有する波形若しく
   は前記第２の基本単位信号が有する波形に−１を掛算し
   て得られる波形を割り当てた信号であり、 前記第４の送信信号は、前記第４の系列の正符号若しく
   は負符号に前記第２の基本単位信号が有する波形若しく
   は前記第２の基本単位信号が有する波形に−１を掛算し
   て得られる波形を割り当てた信号 であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の検
   査装置。
5. （５）前記第１の参照信号は、前記第１の基本単位信号
   が有する波形を有する信号 又は 前記第１の基本単位信号により前記送信手段を励振した
   とき前記受信手段により得られる前記対象物からのエコ
   ーの波形と同一若しくは類似の波形を有する信号であり
   、 前記第２の参照信号は、前記第２の基本単位信号が有す
   る波形を有する信号 又は 前記第２の基本単位信号により前記送信手段を励振した
   とき前記受信手段により得られる前記対象物からのエコ
   ーの波形と同一若しくは類似の波形を有する信号であり
   、 前記第３の参照信号は、前記第３の系列を用いて振幅符
   号化された波形と同一若しくは類似の波形を有する信号
   であり、 前記第４の参照信号は、前記第４の系列を用いて振幅符
   号化された波形と同一若しくは類似の波形を有する信号 であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の検
   査装置。