JPH0494322A - 真空中磁気浮上搬送装置の浮上体冷却装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、真空室内に於いて成膜等の処理が施されるワ
ークを搬送する磁気浮上搬送装置の浮上体の冷却装置に
関する。

（従来の技術） 従来より、例えば成膜処理されるワークを真空室内に設
けた磁気固定子により磁気浮上して移動する磁気浮上体
で搬送することが行われている。こうした磁気浮上式の
搬送装置は機械的摺動部がないので、ダストの発生がな
く、真空室内がクリーンに保てる有利さがある。

磁気浮上体は、それ自体の温度が例えば６０℃を越える
と安定浮上性が損なわれるので、該真空室内に熱源があ
る場合、第１図示のように、真空室ａ内を往復移動する
磁気浮上体すの移動端に冷却板Ｃを設け、該磁気浮上体
すがその移動端へ移動したときに該冷却板Ｃに接触して
該浮上体すの温度を熱伝導により下げるようにしている
。

（発明が解決しようとする課題） 上記のように冷却板Ｃに磁気浮上体すを接触させるとダ
ストが発生し、磁気浮上で非接触式に搬送することの意
義が失われる不都合がある。

本発明は、こうした不都合を解決し、非接触式で磁気浮
上体を冷却することを目的とするものである。

（課題を解決するための手段） 本発明では、内部に熱源を有する真空室内に、磁気によ
り浮上してワークを搬送する浮上体を設けるようにした
装置に於いて、該浮上体の周囲に接近して表面が黒色化
され且つ冷却水の循環で冷却される冷却板を設けること
により、上記目的を達成するようにした。

本発明の好ましい形態では、前記浮上体を略直方体に形
成し、前記冷却板は該浮上体の周面の一部を囲むコ字状
の板で形成され、該板の表面には水冷バイブが取付けら
れる。

（作　用） 真空室内の熱源からの輻射熱や反射熱で磁気浮上体が加
熱されるが、磁気浮上体に接近して設けた冷却板の表面
が黒色であるために多くの熱量が該磁気浮上体から冷却
板へと輻射によって移動し、しかも該冷却板は冷却水の
循環によって低温になっているために放射冷却の能力も
高く、非接触式で効率の良い冷却を行える。

（実施例） 本発明の実施例を図面第２図乃至第５図に基づき説明す
る。

第２図及び第３図に於いて、符号（１）は真空室、（３
）は該真空室（１）の内部に固定された磁気固定子（４
）との間に発生する磁気力により浮上して例えば成膜処
理されるシリコンウニ／Ｘからなるワーク（５）を搬送
する略直方体状の磁気浮上体を示す。該ワーク（５）は
磁気浮上体（３）に取付けたワークホルダ（８）の上に
載せられ、該浮上体（３）と共に矢印方向へ往復移動す
る。

該真空室（１）内には例えば該ワーク（５）を加熱する
ための熱源（７）が設けられ、該浮上体（３）が一方へ
移動したとき適当な受渡し手段によりワーク（５）をワ
ークホルダ（６）上に載せ、その逆方向へ移動したとき
に該ワーク（５）が熱源（７）により加熱される。

該熱源（７）からの熱の一部はワーク（５）を外れて磁
気浮上体（３）に達し、その温度が上昇することになる
が、該磁気浮上体（３）の周囲に接近して設けた冷却板
（８）が該浮上体（３）から非接触状態で熱を奪い、安
定浮上温度以上に該浮上体（３）の温度が高まることが
ない。該冷却板（８）は、第４図示のように、直方体状
の磁気浮上体（３）の両側面及び底面に広い面積で対面
し且つ接近するようにコ字状断面を有するチャンネル形
のアルミ材で形成され、その表面は５０μｍの厚さで陽
極酸化処理によって黒色化される。更に、該冷却板（８
）の表面の一部例えばコ字状の溝部の裏面（９）に、第
５図示のようにＣＵ製の水冷バイブ（１０）を固定し、
これに冷却水を循環させることにより該冷却板（８）を
例えば１０℃に保つようにした。

図示実施例の場合、一方のワークホルダ（６）にワーク
（５）が載ると、磁気浮上体（３）が該ワーク（５）を
熱源（７）の下方へ搬送し、もう一方のワークホルダ（
６）に載せられていた加熱済みのワーク（５）が取り外
される。該磁気浮上体（３）は熱源（７）からの輻射熱
や反射熱で加熱されるが、その熱量は該磁気浮上体（３
）に接近して設けた表面が黒色の冷却板（８〉へ輻射に
より移動し、更に水冷バイブ（１０）を循環する冷却水
により真空室（１）の外部へ排熱される。該冷却板（８
）を水冷により１０℃に保った場合、水冷板（８）を設
けない時に比べて該浮上体（３）の飽和温度が約７℃も
低くなった。

該冷却板（８）の形状は任意であり、その配置も磁気浮
上体（３）に接触することがなければ任意の位置に配置
可能である。

（発明の効果） 以上のように本発明では、内部に熱源を有する真空室内
に設けられる磁気浮上体に接近して表面が黒色化され且
つ冷却水の循環で冷却される冷却板を設けたので、該磁
気浮上体に接触することなく効率の良い放射冷却を行え
、ダストの発生のない搬送が可能になる等の効果がある
。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例の裁断側面線図、第２図は本発明の実施
例の裁断側面図、第３図は第２図の■−■線截線面断面
図４図は冷却板の斜視図、第５図は冷却板の裏面図であ
る。 （１）・・・真空室　　（３）・・・磁気浮上体（５）
・・・ワーク　　（７）・・・熱　源（８）・・・冷却
板　　（１ｏ）・・・水冷パイプ特　許　出　願　人　
　日本真空技術株式会社代　　　　　理　　　　　人　
　　北　　　村　　　歌舞３名 第１ 第４図 第３図 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、内部に熱源を有する真空室内に、磁気により浮上し
   てワークを搬送する浮上体を設けるようにした装置に於
   いて、該浮上体の周囲に接近して表面が黒色化され且つ
   冷却水の循環で冷却される冷却板を設けたことを特徴と
   する真空中磁気浮上搬送装置の浮上体冷却装置。 ２、前記浮上体を略直方体に形成し、前記冷却板を該浮
   上体の周面の一部を囲むコ字状の板で形成して該板の表
   面に水冷パイプを取付けたことを特徴とする請求項１に
   記載の真空中磁気浮上搬送装置の浮上体冷却装置。