JPH0494208A

JPH0494208A - Ｓａｗ共振器フィルタ

Info

Publication number: JPH0494208A
Application number: JP21246690A
Authority: JP
Inventors: Arata Doi; 新土井; Katsuhiko Gunji; 勝彦郡司; Naganori Ebara; 江原　永典; Tomokazu Komazaki; 友和駒崎
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd; Kyocera Crystal Device Corp
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd; Kyocera Crystal Device Corp
Priority date: 1990-08-09
Filing date: 1990-08-09
Publication date: 1992-03-26

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野〉本発明は、弾性表面波（Ｓｕｒｆａｃｅ　　Ａｃｏｕｓ
ｔｉｃ　　Ｗａｖｅ；５ＡＷ）を用いたＳＡＷ共振器フ
ィルタの構造に関するものである。

（従来の技術）従来、高周波領域に使用するＳＡＷフィルタとして、例
えばＵＨＦ／ＶＨＦ帯の無線機等の通信装置に使用され
帯域幅が広帯域のフィルタについては、トランスバーサ
ル型が主に用いられている。

近年、通信装置等の小型化に伴い、フィルタの小型化が
更に要求され、特に狭帯域で安定かつ低挿入損失を有す
るＳＡＷ共振器フィルタが注目されている。そのＳＡＷ
共振器フィルタの一構成例を第２図（ａ＞、（ｂ）に示
す。

第２図（ａ＞、（ｂ）は、従来の無極型のＳＡＷ共振器
フィルタを説明するための図であり、同図（ａ）は従来
の２重モードＳＡＷ共振器フィルタの構成図、同図（ｂ
）は同図（ａ）における変位分布図である。

このＳＡＷ共振器フィルタ、即ち２重モードＳＡＷ共振
器フィルタは、圧電基板１を有し、その圧電基板１上に
は、ＳＡＷ共振器２，３が形成されている。ＳＡＷ共振
器２は、電極指２ａ−１を有するインターディジタルト
ランスジューサ（以下、ＩＤＴという＞２ａと反射器２
ｂ、２ｃとで構成され、ＳＡＷ共振器３は、ＳＡＷ共振
器２と同一の構成でしかもＳＡＷ共振器２に対して並列
に近接配置されるものであり、電極指３ａ−１を有する
ＩＤＴ３ａと反射器３ｂ、３ｃとで構成されている。さ
らに、ＳＡＷ共振器２のＩＤＴ２ａには、電気信号を入
力する入力端子４ａ、４ｂが接続され、ＳＡＷ共振器３
のＩＤＴ３ａには、電気信号を出力する出力端子５ａ、
５ｂが接続されている。

ここで、入力端子４ｂ及び出力端子５ｂはグランド（以
下、ＧＮＤという）に接地されている。

次に、以上のように構成されるＳＡＷ共振器フィルタの
動作を、第３図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を参照しつつ説
明する。

第３図（ａ＞、（ｂ）、（ｃ）は、第２図中のＳＡＷ共
振器の特性を説明するための図であり、同図（ａ）は第
２図中のＳＡＷ共振器の電極構成図、同図（ｂ）は伝搬
方向の変位分布図、同図（Ｃ）は伝搬方向に直交する方
向の変位分布図である。なお、図中、ψは変位を示すパ
ラメータであるスカラーポテンシャルを表わしている。

このＳＡＷ共振器フィルタでは、入力端子４ａ。

４ｂを介してＩＤＴ２ａに電気信号が入力されると、Ｉ
ＤＴ２ａの電極指２ａ−１間に電界が生じて電極指２ａ
−１下の圧電基板１に弾性表面波（以下、ＳＡＷという
）が励振される。そのＳＡＷは、電極指２ａ−１と垂直
に圧電基板１を左右に伝搬し、反射器２ｂ、２ｃで反射
されて、その２つの反射器２ｂ及び２ａ間で反射を繰り
返して定在波となり、そのエネルギーが反射器２ｂ及び
２０間に閉じ込められる。

この時、ＳＡＷ共振器２の伝搬方向（縦方向）、即ち第
２図中に示したＸ方向には、キャビティが構成され、第
３図（ｂ）において（ｉ＞、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）で示
すような１次、２次、３次の変位を有する共振モードが
励起される。また、伝搬方向に対して直交する方向（横
方向）、即ち第２図中に図示した２方向には、第３図（
ｃ）において（Ｉ）（ＩＩ）、（ＩＩＩ）で示すような
１次、２次、３次の変位を有するモードが励起される。

この２方向では、電極指２ａ−１が互いに交差する領域
Ａとその両側の領域ＢとでＳＡＷの伝搬速度が異なり、
領域Ａで電極指２ａ−１による反射と摂動によりＳＡＷ
の伝搬速度がその両側の領域Ｂより低下し、いわゆる弾
性波導波路を構成する。

ＳＡＷ共振器２の反射器２ｂ及び２ａ間にＳＡＷのエネ
ルギーが閉じ込められると、ＳＡＷ共振器２及び３はそ
の間の間隔が十分に小さい場合にいわゆる２重モードＳ
ＡＷ共振器として機能し、ＳＡＷ共振器２及び３間に音
響結合が生じて、第２図（ｂ）に示すような２つの共振
モード、即ち対称モードと反対称モードが励起される。

一方の対称モードは、２つのＳＡＷ共振器２゜３がその
中心に対して対称な変位分布を持つものであり、他方の
反対称モードは、２つのＳＡＷ共振器２，３がその中心
に対して点対称な変位分布を持つものである。ＳＡＷ共
振器２及び３間に音響結合が生じると、その音響結合に
より、ＩＤＴ３ａの電極指３ａ−１間に所望の中心周波
数ｆｏを含む周波数帯域（通過帯域）の周波数を有する
電気信号が励起されて出力端子５ａ、５ｂに出力される
。

次に、以上のように動作するＳＡＷ共振器フィルタの特
性について解析を行う。

このＳＡＷ共振器フィルタについて、第２図（ａ＞に示
すような５つの領域工〜■からなる弾性表面波導波路モ
デルを用いて解析すると、領域ＩＩ、　ＩＶＧｉ低速度
領域、領域１．ＩＩＩ、Ｖは高速度領域であることが分
かる。また、領域ＩＩＩは２つのＳＡＷ共振器２，３の
音響結合領域である。さらに、第２図中、各領域Ｉ、Ｖ
の幅をＢ、領域ＩＩ。

ＩＶの幅をＷ、領域ＩＩＩの幅をＧとし、ＳＡＷの伝搬
方向をＸ方向、これと直交する方向を２方向として、圧
電基板１を均一な等方向性物質と仮定すると、ＳＡＷの
伝搬は、低速度領域におけるスカラーポテンシャルψ５
、高速度領域におけるスカラーポテンシャルψｆを用い
て次式（１）、（２）のように表わされる。

ｋ、Ｗ＝・・・（１）ｋｆＷ＝二二で、■８、■ｆは、各々低速度領域、高速度領域に
おけるＳＡＷの伝搬速度、ωは共振角周波数である。

（１〉、（２）式での境界条件を、各境界において変位
及び応力が連続であること、及び最外端で力が加わらな
いこととし、外側の高速領域の幅Ｂが十分に広いと仮定
して、（１〉、（２）式を解くと次式（３）、（４＞が
得られる。

但し、である。

ここで、（３）式は、領域ＩＩ、　ＩＶの変位を同一方
向とした場合、即ち対称モードに対応し、（４）式は、
領域ＩＩ、　ＩＶの変位を逆方向とした場合、即ち反対
称モードに対応する。また、各式（３）。

（４）中の■は各モードにおけるＳＡＷの伝搬速度であ
る。

以上のように解析される２重モードＳＡＷ共振器フィル
タの等価回路を第４図に示す。ここで、第４図は、第２
図の２重モードＳＡＷ共振器フィルタの等価回路の回路
図である。

この等価回路は、入力端子４ａ、４ｂと出力端子Ｅ５ａ
、５ｂの間に等価的に設定される、対称共振モードにお
ける共振周波数ｆＳ、等価インダクタンスＬＳ、等価キ
ャパシタンスＣ３、及び等価抵抗Ｒ３と、反対称共振モ
ードにおける共振周波数ｆａ、等価インダクタンスＬａ
　、等価キャパシタンスＣａ、及び等価抵抗Ｒａとで表
わされる。

ここで、Ｌｆ　ＴｈＬａであり、Ｒａ　＝Ｒ３である。

また、Ｃｏは各ＳＡＷ共振器２，３の並列キャパシタン
スである。この等価回路は、回路理論により第５図に示
すように等価変換される。

第５図は、第４図の等価回路から等価変換されたラダー
回路の回路図である。

このラダー回路は、入力端子４ａ、４ｂと出力端子５ａ
、５ｂとの間に等価的に設定されるもので、第５図中の
インダクタンス成分Ｌ１はＬ１＝ＬＳ　＝Ｌａの関係を
満たし、抵抗成分Ｒ１は、Ｒ１＝ＲＳ＝Ｒａの関係を、
キャパシタンス成分Ｃｍは、１／Ｃｍ　＝１／Ｃａ−１
／Ｃｓの関係をそれぞれ満たすものである。このラダー
回路では、無極型のフィルタ特性が得られる。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、上記構成のＳＡＷ共振器フィルタでは、
次のような課題があった。

従来のＳＡＷ共振器フィルタでは、第５図に示したラダ
ー回路から得られる無極形のフィルタ特性、即ちバンド
パスフィルタの中心周波数ｆｏに対して減衰特性が周波
数の変化に対して単調に増加するフィルタ特性のみしか
実現できず、急峻なフィルタ特性を実現するなめには、
ＳＡＷ共振器２及び３からなる２重モードＳＡＷ共振器
フィルタを複数段設ける構成にしなければならない。そ
のため、ＳＡＷ共振器２．３等の数が増加し、圧電基板
１の面積が広くなってしまい、ＳＡＷ共振器フィルタ全
体が大型化すると共に、製造プロセス及び製造時間が増
加したり、製造材料等の増加により製造コストが高くな
るなどしてＳ’ＡＷ共振器フィルタの製造性が厳しくな
るなどの問題が生じてしまう。

本発明は、前記従来技術が持っていた課題として、急峻
なフィルタ特性を実現する場合に大型化すると共に製造
性が厳しくなる点について解決したＳＡＷ共振器フィル
タを提供するものである。

（課題を解決するための手段）本発明は、前記課題を解決するなめに、電気信号及びＳ
ＡＷ間の変換を行うインターディジタルトランスジュー
サと、該インターディジタルトランスジューサからのＳ
ＡＷを反射して該ＳＡＷのエネルギーの閉じ込めを行う
反射器とを有する複数のＳＡＷ共振器を、音響結合可能
な状態で入力端子及び出力端子に接続し、前記入力端子
からの入力信号の特定の周波数帯域をろ波して前記出力
端子から出力するＳＡＷ共振器フィルタにおいて、イン
ターディジタルトランスジューサ及び反射器を有し、前
記周波数帯域の遮断周波数近傍の周波数で共振する減衰
極実現用のＳＡＷ共振器を、前記出力端子に並列接続し
たものである。

（作用）本発明によれば、以上のようにＳＡＷ共振器フィルタを
構成したので、前記減衰極実現用のＳＡＷ共振器は、前
記周波数帯域の遮断周波数近傍の周波数を有する電気信
号をＳＡＷに変換してそのエネルギーを吸収し、前記出
力端子から出力される電気信号の周波数に減衰量無限大
点（減衰極）を実現するように働く。即ち、前記減衰極
実現用のＳＡＷ共振器は、有限の周波数軸上に任意の周
波数で減衰量無限大点、即ち減衰極周波数を実現するが
、その減衰量無限大点を、前記遮断周波数近傍の周波数
に設定することにより、遮断周波数近傍に伝送ゼロ点が
実現される。

従って、前記課題を解決できるのである。

（実施例）第１図は、本発明の実施例を示す有極型のＳＡＷ共振器
フィルタの平面図である。

このＳＡＷ共振器フィルタは、例えば通信装置において
狭帯域のバンドパスフィルタとして使用され、例えば水
晶からなる一枚の圧電基板１１を有している。圧電基板
１１上には、蒸着あるいはスパッタ等により形成される
金属膜からなる入力用のＳＡＷ共振器１２と、ＳＡＷ共
振器１２に対してギャップＧ１隔てた出力用のＳＡＷ共
振器１３とが近接して並列配置されている。

ＳＡＷ共振器１２は、電極指１２ａ−１を有するＩＤＴ
１２ａと、その両側に配置された反射器１２ｂ、１２ｃ
とで構成され、ＳＡＷ共振器１３は、電極指１３ａ−１
を有するＩＤＴ１３ａと、その両側に配置された反射器
１３ｂ、１３ｃとで構成されている。このＳＡＷ共振器
１２及び１３は、ギャップＧ１の間隔を十分に小さく設
定することにより、２重モードフィルタを構成している
。

ＳＡＷ共振器１２のＩＤＴ１２ａは、入力端子１４ａ、
１４ｂにワイヤボンディングされ、ＳＡＷ共振器１３の
ＩＤＴ１３ａは、出力端子１５ａ１５ｂにワイヤボンデ
ィングさｉｚている。なお、入力端子１４ｂ及び出力端
子１５ｂはＧＮＤに接地されている。

さらに、圧電基板１１上には、ＳＡＷ共振器１２．１３
から所定間隔隔てて、本実施例の特徴である減衰極実現
用のＳＡＷ共振器１６が配置形成されている。このＳＡ
Ｗ共振器１６は、減衰極を実現する機能を有し、電極指
１６　ａ−１を有するＩＤＴ１６ａと、その両側に配置
された反射器１６ｂ、１６ｃとで構成され、出力端子１
５ａ、１５ｂに並列接続されている。即ち、ＳＡＷ共振
器１６のＩＤＴ１６ａは、その一端が出力端子１５ａに
接続され、他端がＧＮＤ？″ニー接地されている。

なお、各ＳＡＷ共振器１２，１３．１６のＩＤＴ１２ｂ
、１２ｃ、１３ｂ、１３ｃ、１６ｂ、１６ｃは、図示し
ないが例えばＧＮＤに接地されている。

次に、第１図のＳＡＷ共振器フィルタの構造についての
解析を、第６図を参照しつつ行う。

第６図は、第１図のＳＡＷ共振器フィルタの電気的な等
価回路の回路図である。

この等価回路は、入力端子１４ａ、１４ｂと出力端子１
５ａ、１５ｂとの間に設定されるＬｌ及びＣ１からなる
２組の直列共振回路と、ＣＩ２からなる結合容量と、出
力端子１５ａ、１５ｂに並列接続されなＫ２及びＣ２か
らなる共振回路とで構成されている。ここで、各直列共
振回路は、それぞれＳＡＷ共振器１２．１３に対応し、
結合容量Ｃ１２は、ギャップＧ１に対応し、Ｋ２及びＣ
２からなる共振回路は、本実施例の特徴であるＳＡＷ共
振器１６に対応している。

また、−船釣に水晶素板上にＳＡＷ共振器を構成すると
、ＩＤＴの周期り丁、即ち電極指間のピッチ（ＩＤＴ幅
）は、Ｖｔ／ｆＯで表わされる。

ここで、Ｖｔは、水晶素板上を伝搬する横波の伝搬速度
、ｆＯはフィルタの中心周波数である。−方反射器の周
期ＬＲは、次式（５）で表わされる。

ＴＲ０，７ｑＴ　２＋０．５６ｑＴ　＋０．４３１−に１１・・・（５）但し、ｑＴ＝πに１２ＮＫ１１＝である。ここで、ＨはＩＤＴ及び反射器の膜厚、Ｌは横
波の波長、ＮはＩＤＴ対数である。

従って、直列共振回路を構成するＳＡＷ共振器１２．１
３のＩＤＴ幅及び反射器幅は、ＳＡＷ共振器１６のＩＤ
Ｔ幅及び反射器幅と違う値に設定される。即ち、ＩＤＴ
１６ａの電極指１６ａ−１間ピッチ及び反射器１６ｂ、
１６ｃのピッチは、■ＤＴ１２ａ、１３ａの電極指１２
ａ−１間ピッチ及び電極指１３ｂ−１間ピッチと、反射
器１２ｂ、１２ｃ、１３ｂ、１３ｃのピッチとそれぞれ
異なっている。ＳＡＷ共振器１２．１３については、そ
のＩＤＴ幅及び反射器幅が、所望の中心周波数ｆＯを含
む周波数帯域を通過させるように設定される。ＳＡＷ共
振器１６については、そのＩＤＴ幅及び反射器幅が、例
えばる渡された電気信号の周波数帯域の高域側の遮断周
波数近傍の周波数で共振するように設定され、その周波
数がＳＡＷ共振器１６の共振周波数となっている。

次に、以上のように構成されるＳＡＷ共振器フィルタの
動作を説明する。

入力端子１４ａ、１４ｂを介してＳＡＷ共振器フィルタ
に入力される電気信号が、ＳＡＷ共振器１２のＩＤＴ１
２ａに入力信号として入力される。

すると、その入力信号は、ＩＤＴ１２ａの電極指１２ａ
−１間に電界を生じさせ、ＩＤＴ１２ａ下の圧電基板１
１に励起されるＳＡＷに変換される。

このＳＡＷは、両方向性であるため、ＩＤＴ１２ａの左
右を電極指１２ａ−１と直交する伝搬方向に沿って伝搬
し、反射器１２ｂ、１２ｃへ到達する。

反射器１２ｂ、１２ｃへ到達したＳＡＷは、圧電基板１
１を水晶等の圧電材料で構成したための摂動により、反
射器１２ｂ、１２ｃにより反射されて、反射器１２ｂ、
ＩＤＴ１２ａ、及び反射器１２ｃの間に閉じ込められる
。

ＳＡＷ共振器１２にＳＡＷのエネルギーが閉じ込められ
ると、そのＳＡＷはギャップＧ１を介して隣り合ったＳ
ＡＷ共振器１３と音響結合をする。

この音響結合により、ＳＡＷ共振器１３のＩＤＴ１３ａ
の電極指１３ａ−１間に、出力信号として所定の中心周
波数ｆＯを含む通過帯域の周波数を有する電気信号が励
起される。この電気信号がＩＤＴ１３ａに励起されると
、その電気信号のうち、ＳＡＷ共振器１６の共振周波数
を有する電気信号については、ＳＡＷ共振器１６によっ
てＳＡＷに変換されそのエネルギーが吸収され、出力端
子１５ａ、１５ｂへは伝搬しないが、それ以外の周波数
を有する電気信号については、出力端子１５ａ。

１５ｂから出力される。これは、ＳＡＷ共振器１６が出
力端子１５ａ、１５ｂに並列接続されているためである
。即ちＳＡＷ共振器１６の一端が出力端子１５ａに接続
され、他端が接地された構造にしたので、このＳＡＷ共
振器１６の共振周波数では低インピーダンスとなり、エ
ネルギーが負荷に伝達しないためである。従って、出力
端子１５ａ、１５ｂから出力される電気信号は、遮断周
波数近傍に伝送ゼロ点を有する。

本実施例では、次のような利点を有している。

（Ａ）本実施例のＳＡＷ共振器フィルタは、出力端子１
５ａ、１５ｂにＳＡＷ共振器１６を並列接続することに
より、直列共振回路を構成するＳＡＷ共振器１２．１３
に対して並列アーム（ａ　ｒ　ｍ　＞にＳＡＷ共振器１
６を設けた。そのため、伝送ゼロ点を実現でき、ＳＡＷ
共振器１６や圧電基板１１等の構造の設定により、任意
の周波数に減衰量無限大点を構成できて、その減衰量無
限大点をフィルタの通過帯域の遮断周波数近傍に設定す
ることにより急峻な遮断特性が得られる。従って、本実
施例のＳＡＷ共振器フィルタでは、減衰特性がバンドパ
スフィルタの中心周波数ｆｏに対して急峻に増加するフ
ィルタ特性が得られる。その様子を第７図に示す。ここ
で、第７図は、第１図のＳＡＷ共振器フィルタのフィル
タ特性図である。

（Ｂ）第７図から分かるように、本実施例のＳＡＷ共振
器フィルタでは、中心周波数ｆＯに対して高域側周波数
に減衰極が生じているので、厳しいスカート（ｓｋｉｒ
ｔ）特性を有するフィルタの実現においては、無極型と
比較して共振器の数を少なくして同等のフィルタ特性を
実現できる。そのなめ、圧電基板１１の面積を狭くでき
てＳＡＷ共振器フィルタ全体の小型化を図ることができ
ると共に、それに応じて製造プロセスの削減、製造時間
の短縮、及び製造コストの削減が図れるなどの製造性の
向上を達成できる。

なお、本発明は、上記実施例に限定されず、種々の変形
が可能である。その変形例としては、例えば次のような
ものがある。

（Ｉ＞第１図のＳＡＷ共振器フィルタは、その構成の変
形が可能である。その−例としては、次のようなことが
挙げられる。

■　圧電基板１１は、水晶以外の圧電材料、例えばニオ
ブ酸リチウム（Ｌ　１ＮｂＯ３）やタンタル酸リチウム
（Ｌ　ｉＴ　ａ　Ｏ３＞等で構成してもよい。

■　ＳＡＷ共振器１２．１３は、ＩＤＴ１２ａ。

１３ａや反射器１２ｂ、１２ｃ、１３ｂ、１３ｃの構成
を変更することが可能である。例えば電極指１２ａ−１
及び１３ａ−１の平面形状等は適宜変更が可能である。

■　ＳＡＷ共振器１６は、ＩＤＴ１６ａや反射器１６ｂ
、１６ｃの構成、または共振周波数等を変更することが
可能である。上記実施例では、通過帯域の高域側の遮断
周波数近傍にＳＡＷ共振器１６の共振周波数の設定を行
ったが、低域側の遮断周波数近傍にその共振周波数を設
定するようにしてもよい。

■　上記実施例のＳＡＷ共振器フィルタでは、減衰極実
現用のＳＡＷ共振器１６のみを設ける構成にしたが、他
の減衰極実現用のＳＡＷ共振器を設けて構成してもよい
。この場合、例えば２つの減衰極実現用のＳＡＷ共振器
の共振周波数を、各々高域側の遮断周波数の近傍、低域
側の遮断周波数の近傍に設定することにより、双方の遮
断周波数に伝送ゼロ点を実現でき、遮断特性の一層の向
上を図れる。また、上記実施例において、遮断周波数近
傍の周波数を有する信号を除去する減衰極実現用のＳＡ
Ｗ共振器１６等に加えて、“必要に応じて遮断周波数近
傍以外の周波数に減衰無限大点を実現するＳＡＷ共振器
を付加して構成することも可能である。さらには、同一
の遮断周波数近傍に接近した複数の減衰量無限大点を実
現するような複数のＳＡＷ共振器１６等を設ける構成に
してもよい。

■　上記実施例では、各配線をワイヤボンディングで行
うようにしたが、これを金属薄膜による配線パターンに
よって行ってもよい。

（ＩＩ）上記実施例のＳＡＷ共振器フィルタは、通信装
置を含む種々の装置に幅広く適用が可能である。

（発明の効果）以上詳細に説明したように、本発明によれば、前記出力
端子に並列接続された前記ＳＡＷ共振器を設けてＳＡＷ
共振器フィルタを構成したので、前記出力端子から出力
される電気信号において伝送ゼロ点を実現でき、所定の
遮断周波数近傍に減衰量無限大点を実現できる。そのた
め、前記ＳＡＷ共振器フィルタでは、少ない共振器数で
急峻な遮断特性が得られる。

従って、小型で、製造性に優れ、急峻なフィルタ特性を
有するＳＡＷ共振器フィルタを実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す有極型のＳＡＷ共振器フ
ィルタの平面図、第２図（ａ）、（ｂ）は従来の無極型
のＳＡＷ共振器フィルタを説明するための図であり、同
図（ａ＞は従来の２重モードＳＡＷ共振器フィルタの構
成図、同図（ｂ）は同図（ａ）における変位分布図、第
３図（ａ）（ｂ）、（ｃ）は第２図中のＳＡＷ共振器の
特性を説明するための図であり、同図（ａ＞は第２図中
のＳＡＷ共振器の電極構成図、同図（ｂ）は伝搬方向の
変位分布図、同図（Ｃ）は伝搬方向に直交する方向の変
位分布図、第４図は第２図の２重モードＳＡＷ共振器フ
ィルタの等価回路の回路図、第５図は第４図の等価回路
から等価変換されたラダー回路の回路図、第６図は第１
図のＳＡＷ共振器フィルタの等価回路の回路図、第７図
は第１図のＳＡＷ共振器フィルタでのフィルタ特性図で
ある。１１・・・圧電基板、１２，１３．１６・・・ＳＡＷ共
振器、１２ａ、１３ａ、　　１６ａ−ＩＤＴ、１２ｂ。１２ｃ、１３ｂ、１３ｃ、１６ｂ、１６ｃｍ・・反射器
、１４ａ、１４ｂ−入力端子、１５ａ、　　１５ｂ・・
出力端子。

Claims

【特許請求の範囲】　電気信号及びＳＡＷ間の変換を行うインターディジタ
ルトランスジューサと、該インターディジタルトランス
ジューサからのＳＡＷを反射して該ＳＡＷのエネルギー
の閉じ込めを行う反射器とを有する複数のＳＡＷ共振器
を、音響結合可能な状態で入力端子及び出力端子に接続
し、前記入力端子からの入力信号の特定の周波数帯域をろ波
して前記出力端子から出力するＳＡＷ共振器フィルタに
おいて、インターディジタルトランスジューサ及び反射器を有し
、前記周波数帯域の遮断周波数近傍の周波数で共振する
ＳＡＷ共振器を、前記出力端子に並列接続したことを特
徴とするＳＡＷ共振器フィルタ。