JPH0490871A - Bar coating method - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野〕
本発明は写真用フィルム、印画紙等の写真感光材料や写
真製版材料、磁気録音テープ等の磁気記録材料、感圧記
録紙、感熱記録紙等、記録材料の製造において連続走行
する長尺可とう性支持体く以下、ウェブと称する)及び
半導体ウェハ、プリント基板、ガラス基板等の非連続基
板などに液状塗布組成物を塗布する、改良されたバー塗
布方法に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention is applicable to photographic materials such as photographic film and photographic paper, photolithographic materials, magnetic recording materials such as magnetic recording tape, pressure-sensitive recording paper, and heat-sensitive recording paper. It is an improved method for applying a liquid coating composition to a continuously running long flexible support (hereinafter referred to as a web) and discontinuous substrates such as semiconductor wafers, printed circuit boards, glass substrates, etc. in the production of recording materials. The present invention relates to a bar coating method.
回転するバーと接触しながら走行している支持体の接触
部の直前に液溜りが形成される様に塗布液を供給し、該
バーにより前記支持体に塗布液を塗布するバー塗布方法
において、塗布幅を支持体幅より狭くする必要がときど
き生じる。例えばウェブ状支持体において、塗布された
液がウェブの側面から広がり、塗布後にタッチするパス
ロールを汚すことを防いだり、非連続性基板において塗
布後の基板撮部のだ約基板の一部を保持するた約などで
ある。この目的に対して、バーの両端部でのバー径を中
央部のそれより細くシ(段付きバーと呼ぶ)、バーが支
持体幅の内側でのみ支持体と接触することによって、支
持体の両サイドに未塗布部分を設けることが可能である
。A bar coating method in which a coating liquid is supplied so that a liquid pool is formed just before a contact portion of a support that is traveling while being in contact with a rotating bar, and the coating liquid is applied to the support by the bar, Sometimes it is necessary to make the coating width narrower than the support width. For example, in a web-like support, it prevents the applied liquid from spreading from the side of the web and contaminating the pass roll that is touched after application, and in the case of a discontinuous substrate, it holds a part of the substrate in the substrate imaging section after application. It is a contract to do so. For this purpose, the bar diameter at both ends of the bar is made narrower than that in the middle (called a stepped bar), so that the bar contacts the support only on the inside of the support width. It is possible to provide uncoated portions on both sides.
しかしながらこのような方法で塗布を行った場合、塗布
面の幅方向両端部に塗布厚膜部が発生し、乾燥遅れを生
じたり、製品の有効幅が狭くなったりする問題がある。However, when coating is carried out by such a method, there are problems in that thick coating parts occur at both ends of the coated surface in the width direction, resulting in delayed drying and a narrowing of the effective width of the product.
この問題の改善方法として、特開昭60−225669
号公報及び実開昭63−63158号公報には、塗工ロ
ールの両側面についた塗液を削るためのブレードを設け
ることが開示されている。これらの方法はいずれも塗布
幅両端部の厚塗り改善に一定の効果を示すものの、必ず
しも十分ではなかった。一方特開昭62−7467号公
報には、塗布バーの端面に沿って余剰液を吸引する手段
が設けられる二とが開示されており、この方法は厚塗り
防止に対して前二者に優るものの、吸引口はバ一端面の
極近傍になければ効果が少ないため、設置に困難が生じ
たり、液の性質に依っては長時間使用時、吸引口が乾燥
した塗布液によって目詰まりを起こし易いという問題が
あった。As a method to improve this problem, Japanese Patent Laid-Open No. 60-225669
No. 63-63158 and Japanese Utility Model Publication No. 63-63158 disclose the provision of blades for scraping the coating liquid adhering to both sides of the coating roll. Although these methods all showed a certain effect in improving the thick coating at both ends of the coating width, they were not necessarily sufficient. On the other hand, JP-A-62-7467 discloses a second method in which a means for sucking excess liquid is provided along the end surface of the coating bar, and this method is superior to the first two in terms of preventing thick coating. However, since the suction port is not effective unless it is located very close to the end face of the bar, installation may be difficult, and depending on the nature of the liquid, the suction port may become clogged with dried coating liquid when used for a long time. The problem was that it was easy.
支持体の両サイドに未塗布部分を設けるバー塗布方法に
おいて、幅方向両端部に発生する塗布厚膜部の改善が比
較的容易で、かつ効果が長時間持続する方法を提供する
ことを目的とする。The purpose of the present invention is to provide a bar coating method in which uncoated areas are provided on both sides of a support, in which it is relatively easy to improve thick coated areas that occur at both ends in the width direction, and the effect lasts for a long time. do.
上記問題の発生する理由を解析した結果、バーと支持体
との接触部の直前(−次側)において形成される液だま
りの液の一部がバ一端部から外にはみ出し、バ一端面と
支持体表面でつくられるコーナーを渡って二次側にバイ
パスしてしまうことが原因であることが判った。そして
、この問題はバ一端部または端面におけるバーと支持体
の接触部に向かって、風を吹き付けることによって解決
できることが判った。本発明は上記知見に基づいてなさ
れたのである。As a result of analyzing the reason for the occurrence of the above problem, it was found that a part of the liquid in the liquid pool formed just before the contact part between the bar and the support body (-next side) overflowed from the one end of the bar, and the liquid pooled against the one end surface of the bar. It was found that the cause was bypassing to the secondary side by crossing the corner formed on the support surface. It has been found that this problem can be solved by blowing air toward the contact area between the bar and the support at one end or end face of the bar. The present invention has been made based on the above findings.
すなわち、本発明は、回転するバーよ接触しながら走行
している支持体の接触部の直前に液溜りが形成される様
に塗布液を供給し、該バーにより前記支持体に塗布液を
塗布するバー塗布方法において、該バーの両端部のバー
径を中央部のそれより細くすることによって、支持体の
両サイドに未塗布部分を設け、かつ塗布部におけるバー
と支持体との接触部の端部に風を吹き付けることを特徴
とするバー塗布方法を提供する。That is, in the present invention, a rotating bar supplies a coating liquid so that a liquid pool is formed just before the contact portion of a supporting body that is traveling while in contact with the rotating bar, and the coating liquid is applied to the supporting body by the bar. In the bar coating method, by making the bar diameter at both ends of the bar smaller than that at the center, uncoated parts are provided on both sides of the support, and the contact area between the bar and the support in the application area is reduced. To provide a bar coating method characterized by blowing wind at the end.
次に、本発明の実施態様について図面を用いて説明する
。Next, embodiments of the present invention will be described using the drawings.
第1図は本発明のバー塗布方法を示す概略図であって、
非連続基板に塗布する場合を示す図であり、第2図は第
1図のバー塗布装置の拡大断面図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing the bar coating method of the present invention,
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the bar coating device of FIG. 1; FIG.
バー2は、その全長または一部にわたりバー支持部材6
によって水平かつ回転可能に支持され、バー2の一端に
は図示されていない回転駆動手段が接続されている。The bar 2 has a bar support member 6 over its entire length or a part thereof.
The bar 2 is horizontally and rotatably supported by the bar 2, and a rotation drive means (not shown) is connected to one end of the bar 2.
バー支持部材6は、堰部材5及び5′によって囲まれ、
該堰部材5の一部に設けられた給液口4より供給された
塗布液3が、バー支持部材6と堰部材5との間に液貯蔵
部8を形成するように構成する。また、塗布部における
バーと支持体との接触部の端部に向けて空気を吹き出す
ためのエアー吹き出しノズル21が設けられている。こ
こから空気や窒素などを吹き出して風を送り出す。The bar support member 6 is surrounded by weir members 5 and 5';
The coating liquid 3 supplied from the liquid supply port 4 provided in a part of the weir member 5 forms a liquid storage portion 8 between the bar support member 6 and the weir member 5. Further, an air blowing nozzle 21 is provided for blowing air toward the end of the contact portion between the bar and the support in the application section. From here, air, nitrogen, etc. are blown out to create a wind.
塗布されるべき基板1は、バスロール14と抑圧ロール
15によりバー2の回転方向に向かって基板1の下面が
バー2の頂点に接するように水平に搬送される。The substrate 1 to be coated is conveyed horizontally by a bath roll 14 and a suppression roll 15 in the direction of rotation of the bar 2 so that the lower surface of the substrate 1 contacts the top of the bar 2.
第2図は、回転するバー2が液貯蔵部8から塗布液3を
汲み上げ、基板1の下面との接触点に形成された液溜り
9を介して塗布液3を基板1の下面に転移させ、同時に
計量掻き落しを行い(バー2の作用による)所定膜厚の
塗膜7を形成させる様子を示している。In FIG. 2, a rotating bar 2 draws up a coating liquid 3 from a liquid reservoir 8 and transfers the coating liquid 3 to the lower surface of the substrate 1 through a liquid pool 9 formed at the point of contact with the lower surface of the substrate 1. , shows how a coating film 7 of a predetermined thickness is formed by simultaneously performing measured scraping (by the action of the bar 2).
本発明において塗布を均一に行うためには、基板1とバ
ー2とを全幅に渡って密着させることが重要である。第
1図の方法の場合、バスロール14と押圧ロール15に
より基板1を搬送する方式を示している。この方式では
、バスロール14は基板1の下面にできるだけ接触しな
いようにエッヂロールを用いることが望ましい。抑えロ
ール15は表面にゴムのような弾性体を設けたものを用
いると、全幅に渡って基板1と段付き/<−16とを密
着させる上で好適である。In the present invention, in order to uniformly apply the coating, it is important to bring the substrate 1 and the bar 2 into close contact over the entire width. In the case of the method shown in FIG. 1, a system is shown in which the substrate 1 is transported by a bath roll 14 and a pressure roll 15. In this method, it is desirable to use an edge roll as the bus roll 14 so as to avoid contact with the lower surface of the substrate 1 as much as possible. It is preferable to use a pressure roll 15 having an elastic material such as rubber on its surface in order to bring the substrate 1 into close contact with the step/<-16 over the entire width.
本発明では第3図に示すように、バーの両端部のバー径
を中央部のそれよりも細くしたバーを使用する。このよ
うにすることによって、塗布ノく−の塗工面の幅が支持
体の幅よりも狭くなっているのである。本発明ではバー
の両端部に未塗布部が形成される限り、バー両端部と中
央部とのバー径の差を任意とすることができるが、1.
5 mm以上細くするのが好ましい。In the present invention, as shown in FIG. 3, a bar is used in which the bar diameter at both ends of the bar is smaller than that at the center. By doing this, the width of the coated surface of the coater is narrower than the width of the support. In the present invention, as long as uncoated parts are formed at both ends of the bar, the difference in bar diameter between both ends of the bar and the center can be made arbitrary.1.
It is preferable to make it thinner than 5 mm.
本発明では、このような塗布バーを用いるとともに、エ
アー吹き出しノズルを用いて支持体の幅方向両端部に形
成される塗布厚膜部を改善する。In the present invention, such a coating bar is used and an air blowing nozzle is used to improve the coating thick film portions formed at both widthwise ends of the support.
この態様を第4図により詳しく説明する。This aspect will be explained in detail with reference to FIG.
第4図中、ノズル21から吹き出した風はバー端面にお
けるバーと支持体の接触部に向かって吹き付けられる。In FIG. 4, the wind blown from the nozzle 21 is blown toward the contact portion between the bar and the support at the end face of the bar.
本発明における空気吹きつけ作用は■1次側液だまりの
液がバ一端部に広がるのを抑える、■1次側バ一端部か
ら外にはみ出して来る液を押しとどめる、■はみ出した
液を2次側へバイパスさせず、バ一端面の方へ逃す、の
3つである。第4図に示す態様における作用は、■■で
あり、特に■の効果を高めることと、塗布後の膜面を風
によって乱さないために、空気をバ一端面に向かって直
角に吹きつけるよりも2次側から1次側に向かって多少
傾けた方がよい。傾ける角度は0〜60°、望ましくは
、15〜45°とするのがよい。また吹き出しノズルは
細い方がよく、内径2 mm1J内、望ましくは1mm
以内がよい。ノズルの先端は塗布液がノズルに付着しな
い範囲でできるだけバ一端面から近い方がよく、実際的
には1.5〜20mm、望ましくは2〜10mmがよい
。これら(細い内径とノズル位置)は少ない風量で効果
的に風の作用を引き出すと共に、風が広がって液の飛散
や塗布面乱れを引き起こさないので好ましい。風速は塗
布条件(塗布液粘度、塗布速度等)によって適切に調整
する必要があるが、5〜30m/secの範囲とするの
がよい。本発明における吹き畠しノズルとしてパイプを
用いることはもちろん可能であるが、操作性、位置設定
再現性をよくするた約第5図に示すように内部に風穴を
開けたブロック22を用い、コータの所定の位置に再現
よく設定できるようにすることが望ましい。本発明の効
果を高めるため、バーの端面は略同心円状の窪みを有す
ることが望ましい。これは風に吹かれた液がバ一端面に
逃げ易くする(即ち作用■の効果を高める)ためである
。この方法によれば、ノズルの中を液が通らなし)ため
、ノズルの目詰まりを生ずることがなく、また風の吹き
出し口もバ一端面と密接させる必要はないので、ノズル
の設置に自由度がある。The air blowing action in the present invention is: (1) suppressing the liquid in the primary side liquid pool from spreading to one end of the bar, (2) holding back the liquid that overflows from the one end of the primary side, and (2) suppressing the liquid that has overflowed from the one end of the primary side. There are three ways to do so: not bypass it to the next side, and let it escape toward one end of the bar. The effect of the embodiment shown in Fig. 4 is ■■. In particular, in order to enhance the effect of It is also better to tilt it somewhat from the secondary side towards the primary side. The angle of inclination is preferably 0 to 60 degrees, preferably 15 to 45 degrees. Also, the smaller the blowing nozzle, the better, with an inner diameter of 2 mm or less, preferably 1 mm.
It is better to be within The tip of the nozzle should be as close to the end surface of the bar as possible without the coating liquid adhering to the nozzle, and in practice it should be 1.5 to 20 mm, preferably 2 to 10 mm. These (small inner diameter and nozzle position) are preferable because they effectively bring out the effect of the wind with a small air volume and do not spread the wind and cause liquid scattering or disturbance of the coated surface. Although the wind speed needs to be appropriately adjusted depending on the coating conditions (coating liquid viscosity, coating speed, etc.), it is preferably in the range of 5 to 30 m/sec. It is of course possible to use a pipe as the blowhole nozzle in the present invention, but in order to improve operability and position setting reproducibility, a block 22 with an air hole bored inside as shown in FIG. It is desirable to be able to set it at a predetermined position with good reproducibility. In order to enhance the effects of the present invention, it is desirable that the end face of the bar has a substantially concentric depression. This is to make it easier for the liquid blown by the wind to escape to the end face of the bar (that is, to enhance the effect of action (2)). With this method, there is no need for the nozzle to become clogged (because no liquid passes through the nozzle), and there is no need for the air outlet to be in close contact with the end surface of the bar, giving you greater flexibility in installing the nozzle. There is.
第6図には本発明の別の実施態様を示す。図中、バーの
端部には特開昭60−225669に開示されているよ
うにバーの表面の一邪に接触するブレード23が設けで
ある他、バ一端部において一定幅(望ましくは2〜15
mm)にわたってワイヤ−の溝をつぶしである。これは
ブレードによるバー表面の液のかき落とし効果を高め、
バーの1次側に液だまりが出来ることを抑制する働きを
する。FIG. 6 shows another embodiment of the invention. In the figure, the end of the bar is provided with a blade 23 that contacts the entire surface of the bar as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-225669. 15
The groove of the wire is flattened over a length of mm). This increases the effect of scraping liquid off the bar surface with the blade,
It works to suppress the formation of liquid pools on the primary side of the bar.
ワイヤの溝をつぶす方法としては、みぞを半田で詰める
方法、あらかじめ所定の部分のロッド径をワイヤー巻の
部分のロッド径よりワイヤー径の2倍分だけ大きくして
おく方法、ワイヤーバーのかわりに溝切りバーを用いて
所定部分だけ溝を切らない方法など公知の方法を用いる
こきができる。Methods of crushing the wire groove include filling the groove with solder, making the rod diameter of a predetermined part twice the wire diameter larger than the rod diameter of the wire-wrapped part, and using a wire bar instead. Plowing can be done using a known method, such as using a grooving bar and not cutting the grooving in a predetermined portion.
本発明にもとづく第6図の実施態様においてはさらにバ
ーの端部においてノズル21が設置されバーと支持体の
接触部に向けて空気を吹きかれている。本図において風
の吹き付けがない場合バ一端部のブレード設置部分は支
持体の塗布開始直後は1次側液だまりがなく非常に薄型
になるかまたは全く塗布されないが、しばらくたつとバ
ー中央部1次側の液だまりより毛管現象によってバ一端
部にまで塗布液が押し寄せ、結局その液がバ一端面に回
り厚塗りを発生させてしまう。本図における風の作用は
バー中央部における1次側液だまりの液がバ一端部に広
がるのを防ぐ効果であり、前述の作用■に相当する。本
方式において風の作用を高めるためには、風は外側から
内側に向かって吹くことが良いように考えられるが、実
際そのような方向に風を吹くと1次側液だまりの液を乱
し、塗布面の乱れを引き起こし易いことが判った。よっ
て風の方向はバーに直角方向より多少外向きの方が望ま
しい。具体的には10°〜70°、より具体的には30
°〜60°が望ましい。また吹き出しノズルは第4図同
様細い方がよく、内径2mm以内、望ましくは1mm以
内がよい。ノズルの先端の位置も同様、塗布液がノズル
に付着しない範囲でできるだけバ一端面から近い方がよ
く、実際的には1〜10mm、望ましくは1.5〜5m
mがよい。In the embodiment according to the invention shown in FIG. 6, a nozzle 21 is further installed at the end of the bar to blow air towards the contact between the bar and the support. In this figure, when there is no wind blowing, the part where the blade is installed at one end of the bar has no primary liquid pool immediately after the coating of the support starts, and becomes very thin or no coating is applied at all, but after a while, the central part of the bar 1 The coating liquid from the liquid pool on the next side pushes up to one end of the bar due to capillary action, and eventually the liquid wraps around the one end of the bar, causing thick coating. The effect of the wind in this figure is the effect of preventing the liquid in the primary liquid pool in the center of the bar from spreading to one end of the bar, and corresponds to the effect (2) described above. In order to increase the effect of the wind in this method, it is thought that it is better for the wind to blow from the outside to the inside, but in reality, blowing in that direction disturbs the liquid in the primary liquid pool. It was found that this tends to cause disturbances on the coated surface. Therefore, it is preferable for the wind direction to be slightly outward rather than perpendicular to the bar. Specifically 10° to 70°, more specifically 30°
°~60° is desirable. Further, as in FIG. 4, the blowing nozzle is preferably thinner, with an inner diameter of 2 mm or less, preferably 1 mm or less. Similarly, the position of the tip of the nozzle should be as close as possible to the end surface of the bar without the coating liquid adhering to the nozzle; in practice, it should be 1 to 10 mm, preferably 1.5 to 5 m.
m is good.
風速も第4図同様塗布条件によって適正に調整される必
要があるが、5〜30 m/ secの範囲が好ましい
。As in FIG. 4, the wind speed also needs to be appropriately adjusted depending on the coating conditions, but is preferably in the range of 5 to 30 m/sec.
本発明に用いられるバー2の材質は、強度および耐薬品
性の面で金属(特にステンレス8)が多くの場合望まし
いが、それに限定されることなくナイロン等のプラスチ
ックファイバーを巻いたワイヤーバーや、ゴム製やプラ
スチック製の溝付きバーも用いられる。The material of the bar 2 used in the present invention is often preferably metal (particularly stainless steel 8) in terms of strength and chemical resistance, but is not limited thereto, and may be a wire bar wrapped with plastic fiber such as nylon, Grooved bars made of rubber or plastic are also used.
ワイヤーバーとしては、この他に巻かれたワイヤーの外
周表面を平に研磨して基板工との接触面積を増したラッ
ピングバーも用いることができる。As the wire bar, it is also possible to use a lapping bar in which the outer circumferential surface of a wound wire is polished flat to increase the contact area with the substrate processing.
バー2の径は6.0〜30.0 mm、更に好ましくは
6.0〜20.0 mmの範囲が良く、これ以上では塗
膜に縦スジ状の不均一を生じやすく、これ以下では制作
が困難になる。The diameter of the bar 2 is preferably in the range of 6.0 to 30.0 mm, more preferably 6.0 to 20.0 mm; if it is larger than this, it is likely to cause vertical streak-like unevenness in the coating film, and if it is smaller than this, it will be difficult to make it. becomes difficult.
バー2がワイヤーバーの場合、良好な塗布面状を得るた
於には、ワイヤー径の範囲は好ましくは0、 C15〜
1.0mm、更に好ましくは0.05〜0.7 mmの
範囲がよい。When the bar 2 is a wire bar, in order to obtain a good coated surface, the wire diameter preferably ranges from 0 to C15.
The thickness is preferably 1.0 mm, more preferably in the range of 0.05 to 0.7 mm.
これらの知見を基にしたバー形状の選択により、湿潤塗
布量が4 cc / m’の薄層塗布から約70cc/
m2程度の厚膜塗布まで安定に塗布することができる。By selecting the bar shape based on these findings, the wet coating volume can be reduced from a thin layer coating of 4 cc/m' to approximately 70 cc/m'.
Stable coating is possible up to a thickness of about m2.
本発明において塗布されるウェブ又は基板は特に限定さ
れず、例えば、紙、プラスチックフィルム、レジンコー
ト紙、金属板、硝子板などがあげられ、その厚さも限定
されないが、0.1〜10mm程度のものが好適に使用
される。The web or substrate coated in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include paper, plastic film, resin coated paper, metal plate, glass plate, etc., and the thickness is also not limited, but is about 0.1 to 10 mm. are preferably used.
本発明における基板1のサイズは特に限定されない。一
般にガラス基板の場合はサイズが大きくなると表面の平
面性が悪くなりがちであるが、第1図に示した抑えロー
ル15の表面に弾性体を設けたものを用いることにより
、1mx1m(厚さ2mm)の方形ガラス板でも充分に
均一に塗布できることが確認されている。尚、基板1の
形状は方形、円形いずれの形状でも良好に塗布可能であ
り、形状は特に限定されるものではない。The size of the substrate 1 in the present invention is not particularly limited. Generally, in the case of glass substrates, the surface flatness tends to deteriorate as the size increases, but by using a pressure roll 15 with an elastic material on the surface shown in FIG. ) It has been confirmed that the coating can be applied sufficiently evenly to a rectangular glass plate. Note that the substrate 1 can be well coated with either a rectangular or circular shape, and the shape is not particularly limited.
本発明の方法により種々の液を連続基板又は非連続性基
板に塗布できる。塗布液の組成及び物性は特に限定され
ないが、粘度100 cpJU下、特に50cp以下の
ものが好適に塗布される。The method of the present invention allows a variety of liquids to be applied to continuous or discontinuous substrates. Although the composition and physical properties of the coating liquid are not particularly limited, those with a viscosity of 100 cpJU or less, particularly 50 cp or less, are suitably applied.
本発明の方法により好適にカラーフィルターを製造する
ことができる。通常、撮像装置や表示装置においてカラ
ー画像を扱う場合は、通常可視光線の波長を分割して取
り出し、光電変換し、増幅、搬送、増幅の工程を経て電
気エネルギーを光に、変換し、対応する色光に戻し、色
光を組み立てて表示する方法が行なわれている。一般に
は、画像濃度を表わす最小単位である絵素毎にB(青)
、G(縁)、R(赤)の3つの波長に分割して扱ってお
り、自己発光しない撮像装置や液晶テレビのような表示
装置はそのためのフィルターを必要とし、これをカラー
フィルターと呼んでいる。Color filters can be suitably manufactured by the method of the present invention. Normally, when handling color images in an imaging device or display device, the wavelength of visible light is usually divided and extracted, photoelectrically converted, and the electrical energy is converted into light through the steps of amplification, transportation, and amplification. A method of returning to colored light and assembling and displaying colored light is being used. In general, each pixel, which is the smallest unit representing image density, is colored B (blue).
The wavelengths are divided into three wavelengths: , G (edge), and R (red). Imaging devices that do not emit light themselves and display devices such as LCD TVs require filters for this purpose, and these are called color filters. There is.
カラーフィルターの製造に使用される、顔料によって着
色された感光性組成物は、米国特許第3、549.36
7号明細書等に開示されている付加重合性不飽和モノマ
ー、光重合開始剤およびバインダーからなる光重合性感
光性組成物およびポリマーの主鎖または側鎖に不飽和二
重結合残基を持つ光架橋型フォトポリマーが有用である
。Pigment-colored photosensitive compositions used in the production of color filters are disclosed in U.S. Pat. No. 3,549.36.
A photopolymerizable photosensitive composition comprising an addition-polymerizable unsaturated monomer, a photopolymerization initiator, and a binder, and a polymer having an unsaturated double bond residue in the main chain or side chain disclosed in Specification No. 7 etc. Photocrosslinkable photopolymers are useful.
該光重合性感光性組成物中の付加重合性不飽和千ツマ−
は、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和
基をもち、沸点が常圧で100℃以上の化合物である。Addition polymerizable unsaturated polymer in the photopolymerizable photosensitive composition
is a compound having at least one addition-polymerizable ethylenically unsaturated group and a boiling point of 100° C. or higher at normal pressure.
例えば、ポリエチレングリコールモノ (メタ)アクリ
レート、ポリプロピレングリコールモノ (メタ)アク
リレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、等
の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリプロ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロー
ルエタントリ (メタ)アクリレート、ネオベンチルグ
リコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトー
ルトリ (メタ)アクリレート、ペンタエリスリトール
テトラ (メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトー
ルヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メ
タ)アクリレート、メリメチロールプロパントリ (ア
クリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ (アクリ
ロイロキシエチル)インシアヌレート、グリセリンやト
リメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオ
キサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ
)アクリレート化したもの、特公昭4841708号、
特公昭50−6034号、特開昭51−37193号各
公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、
特開昭48−64183号、特公昭49−43191号
、特公昭5230490号各公報に記載されているポリ
エステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アク
リル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の
多官能のアクリレートやメタアクリレートをあげること
が出来る。更に、日本接着協会誌Vow、 20、Nn
7.300〜308頁に光硬化性モノマー及びオリゴマ
ーとして紹介されているものも使用できる。使用量は、
5〜50wt%(以下%と省略する)好ましくは、10
〜40%である。For example, monofunctional acrylates and methacrylates such as polyethylene glycol mono (meth)acrylate, polypropylene glycol mono (meth)acrylate, phenoxyethyl (meth)acrylate; polyprolene glycol di(meth)acrylate, trimethylolethane tri(meth)acrylate, etc. ) acrylate, neobentyl glycol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, hexanediol(meth)acrylate, melimethylolpropane tri( Acryloyloxypropyl) ether, tri(acryloyloxyethyl)in cyanurate, polyfunctional alcohols such as glycerin and trimethylolethane added with ethylene oxide or propylene oxide and then converted into (meth)acrylates, Japanese Patent Publication No. 4841708 ,
Urethane acrylates as described in Japanese Patent Publication No. 50-6034 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 51-37193,
Polyester acrylates, epoxy acrylates which are reaction products of epoxy resin and (meth)acrylic acid, etc., which are described in JP-A No. 48-64183, JP-B No. 49-43191, and JP-B No. 5230490, etc. Functional acrylates and methacrylates can be mentioned. Furthermore, Japan Adhesive Association Journal Vow, 20, Nn
7. Those introduced as photocurable monomers and oligomers on pages 300 to 308 can also be used. The amount used is
5 to 50 wt% (hereinafter abbreviated as %), preferably 10
~40%.
光重合開始剤としては、米国特許第2.367、660
号明細書に開示されているビシナールポリケトアルドニ
ル化合物、米国特許第2.367.661号および第2
.367.670号明細書に開示されているαカルボニ
ル化合物、米国特許第2.448.828号明細書に開
示されているアシロインエーテル、米国特許第2,72
2.512号明細書に開示されているα−炭化水素で置
換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3.04
6.127号および第2.951.758号明細書に開
示されている多核キノン化合物、米国特許第3.549
.367号明細書に開示されているトリアリルイミダゾ
ールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特
公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチ
アゾール系化合物/トリハロメチ−ルーS−トリアジン
系化合物、特願昭61−186238号公報に記載され
ている感光性5−)IJアジン化合物、米国特許第4,
239,850号明細書に開示されているトリハロメチ
ル=S−)リアジン系化合物、米国特許第4.212.
976号明細書に記載されているオキサジアゾール化合
物等があげられる。使用量は固形分比で約0.2〜20
%、好ましくは0.5〜15%である。As a photopolymerization initiator, U.S. Patent No. 2.367, 660
Vicinal polyketaldonyl compounds disclosed in U.S. Pat.
.. 367.670, the acilloin ethers disclosed in U.S. Pat. No. 2,448.828, U.S. Pat. No. 2,72
α-hydrocarbon substituted aromatic acyloin compounds disclosed in US Pat. No. 2.512, U.S. Patent No. 3.04
6.127 and 2.951.758, U.S. Pat. No. 3.549
.. Combination of triallylimidazole dimer/p-aminophenyl ketone disclosed in No. 367, benzothiazole compound/trihalomethyl-S-triazine compound disclosed in Japanese Patent Publication No. 51-48516, patent application Photosensitive 5-)IJ azine compound described in Publication No. 186238/1986, U.S. Patent No. 4,
Trihalomethyl=S-)riazine compounds disclosed in US Pat. No. 239,850, US Pat. No. 4,212.
Examples include the oxadiazole compounds described in No. 976. The amount used is approximately 0.2 to 20 in solid content ratio.
%, preferably 0.5-15%.
バインダーは、モノマーに対して相溶性のある線状有機
高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液
で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分
子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー
、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−3
4327号、特公昭58−12577号、特公昭54−
25957、号、特開昭59−53836号、特開昭5
9−71048号明細書に記載されているようなメ゛タ
クリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共
重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部
分エステル化マレイン酸共重合体等があり、また同様に
側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体がある
。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加さ
せたものなども有用である。特にこれらのなかでベンジ
ル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体
やベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸
/および他の千ツマ−との多元共重合体が好適である。The binder is preferably a linear organic polymer that is compatible with the monomer, is soluble in an organic solvent, and can be developed with a weak alkaline aqueous solution. Examples of such linear organic polymers include polymers having carboxylic acid in the side chain, such as JP-A-59-44615 and JP-B-Sho 54-3.
No. 4327, Special Publication No. 12577, Special Publication No. 1977-
No. 25957, JP-A No. 59-53836, JP-A-Sho 5
Methacrylic acid copolymers, acrylic acid copolymers, itaconic acid copolymers, crotonic acid copolymers, maleic acid copolymers, partially esterified maleic acid as described in No. 9-71048 There are copolymers, etc., and similarly there are acidic cellulose derivatives having carboxylic acid in the side chain. In addition, polymers having hydroxyl groups to which acid anhydrides are added are also useful. Among these, benzyl (meth)acrylate/(meth)acrylic acid copolymers, benzyl (meth)acrylate/(meth)acrylic acid/and multicomponent copolymers with other polymers are particularly preferred.
この他に水溶性ポリマーとじて、ポリビニールピロリド
ンやポリエチレンオキサイド、ポリビニールアルコール
等も有用である。また硬化皮膜の強度をあげるためにア
ルコール可溶性ナイロンや2,2−ビス−(4−ヒドロ
キシフェニル)−フロパンとエピクロルヒドリンのポリ
エーテルなども有用である。これらのポリマーは任意な
量を混合させることができるが、90%を越えることは
形成される画像強度等の点で好ましい結果を与えない。Other useful water-soluble polymers include polyvinyl pyrrolidone, polyethylene oxide, and polyvinyl alcohol. Alcohol-soluble nylon and polyether of 2,2-bis-(4-hydroxyphenyl)-furopane and epichlorohydrin are also useful in order to increase the strength of the cured film. These polymers can be mixed in any amount, but if it exceeds 90%, it will not give favorable results in terms of the strength of the image formed.
好ましくは30〜85%である。Preferably it is 30-85%.
以上の他に、更に、熱重合防止剤を加えておくことが好
ましく、例えば、ハイドロキノン、p −メトキシフェ
ノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロー
ル、t−ブチルカテコール、ベンゾ牛ノン、4.4’
−チオビス(3−メチル6−t−ブチルフェノール)、
2.2’ −メチレンビス(4−メチル−6−t−プチ
ルフエノル)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が
有用である。In addition to the above, it is preferable to further add a thermal polymerization inhibitor, such as hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzogynon, .4'
-thiobis(3-methyl 6-t-butylphenol),
2.2'-methylenebis(4-methyl-6-t-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole, and the like are useful.
通常市販の千ツマー中には、適量の熱重合防止剤が添加
されている。A suitable amount of thermal polymerization inhibitor is usually added to the commercially available Sentsumar.
光架橋型フォトポリマーとしては、例えば、特開昭51
−96696号に開示されているポリエステル化合物、
英国特許第1.112.277号、同第1.313.3
90号、同第1.341.004号、同第1,377.
747号、特開昭55−23941号等の各明細書に記
載のポリビニールシンナメート系感光性ポリマーなどが
含まれる。As a photocrosslinkable photopolymer, for example, JP-A-51
- the polyester compound disclosed in No. 96696,
British Patent No. 1.112.277, British Patent No. 1.313.3
No. 90, No. 1.341.004, No. 1,377.
They include polyvinyl cinnamate-based photosensitive polymers described in specifications such as No. 747 and JP-A No. 55-23941.
該感光性組成物の有用な有機溶剤は、グリコールエーテ
ル系のメチルセロソルブ、エチルセロソルブ、プロピル
セロソルブ、プロピレングリコールメチルエーテル、プ
ロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコ
ールプロピルエーテルおよびそのアセテート系、すなわ
ち、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブア
セテート、プロピルセロソルブアセテート、プロピレン
グリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリ
コールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコー
ルプロビルエーテルアセテートが有用である。また酢酸
エステル系では、アミルアセテート、ブチルアセテート
、プロピルアセテート、エチルアセテートが、ケトン系
では、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン、
アセトン、シクロヘキサノンが、その他ジメチルホルム
アミド、ジメチルスルホオキサイド、メチルピロリドン
、T−ブチロラクトン、乳酸エチル等が有用であり、そ
れぞれのアルキル基は、直鎖でも枝分かれの異性体でも
よい。Useful organic solvents for the photosensitive composition include glycol ether-based methyl cellosolve, ethyl cellosolve, propyl cellosolve, propylene glycol methyl ether, propylene glycol ethyl ether, propylene glycol propyl ether and their acetates, i.e., methyl cellosolve acetate; Ethyl cellosolve acetate, propyl cellosolve acetate, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol probyl ether acetate are useful. Acetate esters include amyl acetate, butyl acetate, propyl acetate, and ethyl acetate, and ketones include methyl isobutyl ketone, methyl ethyl ketone,
Acetone, cyclohexanone, dimethylformamide, dimethylsulfoxide, methylpyrrolidone, T-butyrolactone, ethyl lactate, and the like are useful, and each alkyl group may be a linear or branched isomer.
溶液濃度は、3〜70%の範囲で利用できるが、より好
ましい範囲は、15〜50%である。The solution concentration can range from 3% to 70%, with a more preferred range being 15% to 50%.
また色材は、例えば、アゾ系、アンスラキノン系、キサ
ンチン系、キナクリドン系、インジゴ系、ジオキサジン
系、インダンスロン系、イソインドリノン系、フタロシ
アニン系、トリフェニルメタン系、ニトロソ系、ペリレ
ン系、イソインドリン系の顔料が有用であり、例えば、
フタロシアニンブルー(C,I、ピグメントブルー15
:6またはC,I、ピグメントブルー15:3:例えば
、東洋インキ製造■製のリオノールブルーES、チバガ
イギー 社mのクロモブルーA3R)、フタロシアニン
グリーン(C,I。ピグメントグリーン7.36、また
は[,1,ピグメントグリーン37:例えば、東洋イン
キ製造■製のリオノールグリーン2YS)、ペリレン系
顔料(c、1.ピグメントレッド155、アントラキノ
ン系U料(C,I、ピグメントレッド177:例えば、
東洋インキ製造■製のリオノーゲンレッドGD、チバガ
イギー社製のクロモフタルレッドBRN)等が有用であ
り、更に色補正のためにC1I、ピグメントエロー83
、C61,ピグメントエロ−154:例えば、東洋イン
キ製造■製のりオノーゲンエロー30SC,1,ピグメ
ントバイオレット23:例えば、東洋インキ製造■製の
りオノーゲンバイオレッ)RL等が特に好ましい。該色
材は、上記光硬化型感光性組成物に分散して着色感光性
組成物を製造する。The coloring materials include, for example, azo, anthraquinone, xanthine, quinacridone, indigo, dioxazine, indanthrone, isoindolinone, phthalocyanine, triphenylmethane, nitroso, perylene, Isoindoline pigments are useful, e.g.
Phthalocyanine blue (C, I, pigment blue 15
:6 or C, I, Pigment Blue 15:3: For example, Lionor Blue ES manufactured by Toyo Ink Manufacturing ■, Chromo Blue A3R manufactured by Ciba Geigy Co., Ltd.), Phthalocyanine Green (C, I. Pigment Green 7.36, or [ , 1. Pigment Green 37: For example, Lionol Green 2YS manufactured by Toyo Ink Manufacturing ■), perylene pigment (c, 1. Pigment Red 155, anthraquinone U material (C, I, Pigment Red 177: for example,
Lionogen Red GD (manufactured by Toyo Ink Mfg. ■, Chromophthal Red BRN (manufactured by Ciba Geigy)) are useful, and C1I and Pigment Yellow 83 are also useful for color correction.
, C61, Pigment Ero-154: For example, Glue Onogen Yellow 30SC, 1, manufactured by Toyo Ink Manufacturing ■, Pigment Violet 23: For example, Glue Onogen Violet) RL, manufactured by Toyo Ink Manufacturing ■, etc. are particularly preferred. The coloring material is dispersed in the photocurable photosensitive composition to produce a colored photosensitive composition.
感光層中に占める該顔料の比率は、固形分比で5〜90
%であり、より好ましくは10〜60%である。The proportion of the pigment in the photosensitive layer is 5 to 90 in terms of solid content.
%, more preferably 10 to 60%.
本発明の塗布方法によれば、支持体の幅方向両端部に発
生する塗布厚膜部の厚みを薄くでき、塗布膜の厚みを均
一化することができる。従って、本発明の方法によれば
極めて効率的に塗布ウェブ又は基板を生産することがで
きる。According to the coating method of the present invention, it is possible to reduce the thickness of the thick coated film portions that occur at both ends in the width direction of the support, and to make the thickness of the coated film uniform. Therefore, according to the method of the present invention, coated webs or substrates can be produced very efficiently.
よって、本発明は写真用フィルム、印画紙等の写真感光
材料や写真製版材料、磁気録音テープ等の磁気記録材料
、感圧記録紙、感熱記録紙等を効率的に製造できる。ま
た、半導体ウェハあるいはその製造に用いられるフォト
マスク用フォトレジスト塗布、プリント基板用ソルダー
レジスト塗布あるいはガラス基板塗布等において、大サ
イズ基板、あるいは任意形状の基板に対しても均一塗布
が可能であり、また、塗布液のロスが少ない経済的にも
優れた塗布方法が提供される。Therefore, the present invention can efficiently produce photosensitive materials such as photographic film and photographic paper, photolithographic materials, magnetic recording materials such as magnetic recording tape, pressure-sensitive recording paper, heat-sensitive recording paper, and the like. In addition, when coating semiconductor wafers or photoresists for photomasks used in their manufacturing, solder resist coating for printed circuit boards, glass substrate coating, etc., it is possible to uniformly coat large-sized substrates or substrates of arbitrary shapes. Furthermore, an economically superior coating method with less loss of coating liquid is provided.
又、本発明の方法をカラーフィルターの製造方法に適用
すると、着色された感光性組成物の溶液を大きな面積に
ムラ無く塗布することができる。Further, when the method of the present invention is applied to a method for manufacturing a color filter, a solution of a colored photosensitive composition can be evenly applied over a large area.
従って、本発明の方法によって、液晶カラーデイスプレ
ー、液晶カラーテレビ、カラー撮像管、カラーイメージ
センサ−などが安価に且つ容易に製造できる。Therefore, by the method of the present invention, liquid crystal color displays, liquid crystal color televisions, color image pickup tubes, color image sensors, etc. can be manufactured easily and at low cost.
次に実施例により本発明を説明する。Next, the present invention will be explained with reference to Examples.
実施例1
第1図に示すバー塗布装置を用い、大きさ45cm X
45 cms厚さ1.1 mmのガラス基板上にフォ
トレジスト液を塗布した。バー2は12I[1I11径
のステンレス鋼に0.175mmの径のステンレスワイ
ヤーを巻き、端面は第5図に示すように同心円状のくぼ
みを45°の角度で設けたものを選んだ。尚、段の高さ
を2闘とした。基板の搬送速度およびワイヤーバーの回
転速度はいずれも3m/分とした。Example 1 Using the bar coating device shown in FIG.
A photoresist solution was applied onto a glass substrate of 45 cm and a thickness of 1.1 mm. The bar 2 was made of 12I [1I11 diameter stainless steel wire wrapped with 0.175 mm diameter stainless steel wire, and the end face was provided with concentric depressions at an angle of 45° as shown in FIG. In addition, the height of the steps was set to 2. The conveyance speed of the substrate and the rotation speed of the wire bar were both 3 m/min.
この際、第4図に示すようにバ一端面におけるバーとガ
ラス板の接触部に向かってノズルより風を吹き付けた。At this time, as shown in FIG. 4, air was blown from a nozzle toward the contact area between the bar and the glass plate at one end surface of the bar.
吹き出しノズルは内径0.9 mのパイプ、吹き出し方
向は2次側から1次側に向かって45°傾け、ノズルの
先端はバ一端面から約5ル離れるように設定した。風速
はノズル出口で15m/secとなるように風量を設定
した。塗布面の幅方向両端部はやはり第8図に示すよう
な厚塗りが発生したが、塗布エツジ部分の最大膜厚すは
中央部平均膜厚aの約3倍、平均膜厚の5%以内にはい
るための距n1は約10闘と改善された。The blowing nozzle was a pipe with an inner diameter of 0.9 m, the blowing direction was inclined at 45° from the secondary side toward the primary side, and the tip of the nozzle was set to be approximately 5 l apart from the end surface of the bar. The air volume was set so that the wind speed was 15 m/sec at the nozzle exit. Thick coating occurred at both widthwise ends of the coated surface as shown in Figure 8, but the maximum film thickness at the coating edge was about 3 times the average film thickness a at the center, and within 5% of the average film thickness. The distance n1 to enter the ball has been improved to about 10 fights.
実施例2
エツジ部分5田山の幅でワイヤー溝を半田でつぶしたバ
ーを用い、第6図に示すように、パーエツジ品分10乱
にわたってブレードを接触させながら、バーの端部にお
いてバーとガラス板の接触部に向かってノズルより風を
吹きつけた。吹き出しノズルは内径0.9 mmのバイ
ブ、吹き出し方向は45°外向き、ノズルの先端はバー
表面から約2、5 mm離れるように設定した。風速は
ノズル出口で15 m/secとなるように風量を設定
した。尚、これ以外の条件は実施例1と同様である。こ
のようにして塗布を行った結果塗布面の幅方向両端部に
はやはり第8図に示すような厚塗りが発生したが、塗布
エツジ部分の最大膜厚すは中央部平均膜厚aの約2倍、
平均膜厚の5%以内にはいるだめの距離1は約5m+n
と改善された。Example 2 Using a bar with a wire groove crushed with solder to the width of the edge part 5, as shown in Figure 6, while touching the blade over 10 parts of the edge part, the bar and the glass plate were connected at the end of the bar. Air was blown from a nozzle toward the contact area. The blowing nozzle was a vibrator with an inner diameter of 0.9 mm, the blowing direction was 45° outward, and the tip of the nozzle was set to be approximately 2.5 mm away from the bar surface. The air volume was set so that the wind speed was 15 m/sec at the nozzle exit. Note that the other conditions are the same as in Example 1. As a result of coating in this manner, thick coating as shown in Fig. 8 occurred at both ends of the coated surface in the width direction, but the maximum film thickness at the coating edge portion was approximately equal to the average film thickness a at the center. twice,
The distance 1 to be within 5% of the average film thickness is approximately 5m+n
and improved.
比較例1
第7図に示すようにエツジ部分になんらの対策も施さな
い方式を採用しない以外は実施例1と同様にして塗布を
おこなったところ、塗布面の幅方向両端部に第8図に示
すような厚塗りが発生し、塗布エツジ部分の最大膜厚す
は中央部平均膜厚aの約5倍、平均膜厚の5%以内には
いるための距離1は約25mmとなった。Comparative Example 1 As shown in Figure 7, coating was carried out in the same manner as in Example 1, except that no measures were taken at the edges. Thick coating as shown occurred, and the maximum film thickness at the coating edge portion was about 5 times the average film thickness a at the center, and the distance 1 required to be within 5% of the average film thickness was about 25 mm.
比較例2
エツジ部分5mmの幅でワイヤー溝を半田でつぶしたバ
ーを用い、第9図に示すように、バーエツジ部分10m
mにわたってブレードを接触させる方式を採用した以外
は実施例1と同様にして塗布を行ったところ、ブレード
によるバー表面液かきおとし効果により基板先端から約
30闘は塗布面の幅方向両端部には厚塗りが発生しない
が、それ以降徐々に厚塗りが発生し基板先端から50m
m以降では塗布エツジ部分での最大膜厚すは中央部平均
膜厚aの約4倍、平均膜厚の5%以内にはいるための距
離1は約15mmとなった。Comparative Example 2 Using a bar with a wire groove crushed with solder with a width of 5 mm at the edge part, as shown in Fig. 9, the bar edge part was 10 m wide.
Coating was carried out in the same manner as in Example 1, except that the blade was brought into contact with the blade over a distance of approximately 30 mm. Due to the effect of the blade to scrape off liquid on the bar surface, there was a thick layer on both ends of the coated surface in the width direction from the tip of the substrate for approximately 30 mm. No coating occurs, but after that, a thick coating gradually occurs until 50m from the tip of the board.
After m, the maximum film thickness at the coating edge portion was about 4 times the center average film thickness a, and the distance 1 required to be within 5% of the average film thickness was about 15 mm.
第1図は本発明のバー塗布方法の概略図、第2図は第1
図の塗布装置の一部拡大断面図、第3図は段付きバーの
斜視図、第4rl!Jは別の形態の段付きバーの断面図
、第5図及び第6図は本発明の塗布方法を示す概略図、
第7図及び第9図は比較用の塗布方法を示す図、第8図
は塗布によって形成される膜厚分布を示す。
1・・・・基板、 2・・・・バー3・・・・
塗布液、 4・・・・給液孔、5・・・・堰部材
、 6・・・・バー支持部材、7・・・・塗膜
、 8・・・・液貯蔵部、9・・・・液溜り
、 10・・・・バー塗布装置、14・・・・バス
ロール、 15・・・・押圧ロール、16・・・・段
付きバー
21・・・・風吹き出しノズル、
22・・・・風吹き出しブロック、
23・・・・ブレード。
第4図
第6図
第7図
第9図
第5図
(A)
(B)
第8図
(A)
手
続
補
正
書
(方式)
3、補正をする者
事件との関係
出
願
人
名
称
冨士写真フィルム株式会社
4、代
理
人
5、補正命令の日付
平成2年10月30日Fig. 1 is a schematic diagram of the bar coating method of the present invention, and Fig. 2 is a schematic diagram of the bar coating method of the present invention.
FIG. 3 is a perspective view of the stepped bar, and No. 4 rl! J is a sectional view of another form of stepped bar, FIGS. 5 and 6 are schematic diagrams showing the coating method of the present invention,
7 and 9 are diagrams showing comparative coating methods, and FIG. 8 is a diagram showing the film thickness distribution formed by coating. 1... Board, 2... Bar 3...
Coating liquid, 4...Liquid supply hole, 5...Weir member, 6...Bar support member, 7...Coating film, 8...Liquid storage part, 9... -Liquid pool, 10...Bar coating device, 14...Bath roll, 15...Press roll, 16...Stepped bar 21...Wind blowing nozzle, 22...・Wind blow block, 23...Blade. Figure 4 Figure 6 Figure 7 Figure 9 Figure 5 (A) (B) Figure 8 (A) Procedural amendment (method) 3. Person making the amendment Relationship to the case Applicant name Fuji Photo Film Co., Ltd. Company 4, Agent 5, Date of amendment order: October 30, 1990
Claims (3)
の接触部の直前に液溜りが形成される様に塗布液を供給
し、該バーにより前記支持体に塗布液を塗布するバー塗
布方法において、該バーの両端部のバー径を中央部のそ
れより細くすることによって、支持体の両サイドに未塗
布部分を設け、かつ塗布部におけるバーと支持体との接
触部の端部に風を吹き付けることを特徴とするバー塗布
方法。(1) Bar coating in which a coating liquid is supplied so that a liquid pool is formed just before the contact part of a support that is traveling while being in contact with a rotating bar, and the coating liquid is applied to the support using the bar. In the method, by making the bar diameter at both ends of the bar smaller than that at the center part, uncoated parts are provided on both sides of the support, and at the ends of the contact part between the bar and the support in the application part. A bar application method characterized by blowing with wind.
1部に接触するブレードを設けて、両端部におけるバー
と支持体の接触部の直前の液溜り量を中央部のそれより
減らすことを特徴とする請求項(1)記載のバー塗布方
法。(2) At both ends of the effective application width of the application bar, a blade is provided that contacts a part of the surface of the bar, so that the amount of liquid accumulated just before the contact area between the bar and the support at both ends is lower than that at the center. The bar coating method according to claim 1, characterized in that the bar coating method comprises:
とを特徴とする請求項(1)記載のバー塗布方法。(3) The bar coating method according to claim 1, wherein both end surfaces of the coating bar have substantially concentric depressions.
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012238529A (en) * | 2011-05-13 | 2012-12-06 | Toyota Motor Corp | Coating method and roller for coating liquid |
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WO2022029861A1 (en) * | 2020-08-04 | 2022-02-10 | 株式会社 東芝 | Application apparatus and application method |
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-
1990
- 1990-08-02 JP JP20582490A patent/JP2622895B2/en not_active Expired - Fee Related
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WO2022054673A3 (en) * | 2020-09-14 | 2022-05-05 | 正文 松永 | Application method, fuel cell manufacturing method or fuel cell, secondary battery manufacturing method or secondary battery, and all-solid-state battery manufacturing method or all-solid-state battery |
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