JP2002148792A - Method for manufacturing resin layered body and color filter - Google Patents

Method for manufacturing resin layered body and color filter

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JP2002148792A
JP2002148792A JP2000348393A JP2000348393A JP2002148792A JP 2002148792 A JP2002148792 A JP 2002148792A JP 2000348393 A JP2000348393 A JP 2000348393A JP 2000348393 A JP2000348393 A JP 2000348393A JP 2002148792 A JP2002148792 A JP 2002148792A
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photosensitive resin
resin layer
substrate
free energy
lamination
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Junichi Yoneda
純一 米田
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Fuji Photo Film Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a resin layered body by which production of air bubbles during transfer by a lamination method can be suppressed and a resin layered body with no defect, high accuracy and low cost can be fast and stably formed by laminating. SOLUTION: In the method for manufacturing a resin layered body includes processes of removing a protective film from a photosensitive resin material having a photosensitive resin layer and the protective film on a supporting body, adhering the photosensitive resin layer of the photosensitive resin material to the surface of a substrate to laminate, and peeling the supporting body after lamination to transfer the photosensitive resin layer onto the substrate, at least the surface subjected to the transfer process of the substrate is controlled to have <=35 dyne/cm surface free energy in the polar component in the laminating (transferring) process. The dispersion component of the surface free energy is preferably <=40 dyne/cm.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂積層体の製造
方法及びカラーフィルタに関し、詳しくは、液晶表示装
置用に用いられるカラーフィルタ、スペーサ、配向制御
用構造体の製造に好適な樹脂積層体の製造方法、及び該
製造方法により得られるカラーフィルタに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a resin laminate and a color filter, and more particularly, to a resin laminate suitable for producing a color filter, a spacer and an alignment control structure used for a liquid crystal display device. And a color filter obtained by the method.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示装置に用いられる樹脂積層体と
しては、カラーフィルタ、スペーサ、配向制御用構造体
等がある。一般に、カラー画像を表示する液晶表示装置
は、液晶表示装置に備えられた2枚の透明基板の一方の
面にカラーフィルタを設けた構成からなる。カラーフィ
ルタは、透明基板の上に微小の間隙を介して縦横両方向
に整然と展開配列された多数の着色層からなる着色画素
が設けられた構成を有するものである。多数の着色画素
は、通常、R(赤色)、G(緑色)、B(青色)の三色
のいずれかに着色され、RGBの各着色画素が一定のパ
ターンで組合わせ配置されている。
2. Description of the Related Art As a resin laminate used for a liquid crystal display device, there are a color filter, a spacer, an alignment controlling structure and the like. Generally, a liquid crystal display device for displaying a color image has a configuration in which a color filter is provided on one surface of two transparent substrates provided in the liquid crystal display device. The color filter has a configuration in which colored pixels composed of a large number of colored layers are arranged on both sides of a transparent substrate in a vertical and horizontal direction with a minute gap therebetween. A large number of colored pixels are usually colored in any one of three colors of R (red), G (green), and B (blue), and each colored pixel of RGB is arranged in combination in a fixed pattern.

【0003】上記のカラーフィルタ等の樹脂積層体の製
造方法としては、各種の方法が知られているが、近年、
感光性樹脂シート(感光性樹脂材料)を用いた転写法
(ラミネート法)が、精度の高いカラーフィルタ等を簡
便に製造することができるなどの理由で注目を浴びてい
る。例えば、カラーフィルタの製造方法において、この
感光性樹脂シートを用いる転写法では、まず、所定の色
の着色材料(顔料または染料)と感光性樹脂とを含む感
光性着色樹脂層(感光性樹脂層)を可撓性の支持体シー
トの上に設けた感光性樹脂シートを所定の数(通常、
R、G、Bの三種)製造する。次いで、三種のうちのいず
れかの感光性樹脂シートを、その感光性樹脂層の表面が
転写しようとする透明基板(ガラス板など)の表面と対
向するように配置して重ね合わせ、重ね合わせた状態で
加熱ロールを通して加熱しながら基板上にラミネート法
により貼り合わせた後、支持体シートを剥がして透明基
板上に感光性着色層を転写することによって、カラーフ
ィルタを作製することができる。
[0003] Various methods are known as a method for producing the above resin laminate such as a color filter.
2. Description of the Related Art A transfer method (laminate method) using a photosensitive resin sheet (photosensitive resin material) has attracted attention because a high-precision color filter or the like can be easily manufactured. For example, in a method of manufacturing a color filter, in a transfer method using this photosensitive resin sheet, first, a photosensitive colored resin layer (photosensitive resin layer) containing a colored material (pigment or dye) of a predetermined color and a photosensitive resin is used. ) Is provided on a flexible support sheet by a predetermined number of photosensitive resin sheets (usually,
R, G, B). Next, one of the three types of photosensitive resin sheets was placed and overlapped so that the surface of the photosensitive resin layer was opposed to the surface of a transparent substrate (such as a glass plate) to be transferred. A color filter can be prepared by laminating the support sheet on a substrate by heating while passing through a heating roll and laminating the support sheet, and transferring the photosensitive coloring layer onto a transparent substrate.

【0004】続いて、その状態で感光性樹脂層の表面
に、画素パターン部分が開口されたシート状のフォトマ
スクを介して光照射して感光性樹脂層をパターン状に露
光し、更に現像して、透明基板上に1色の着色画素パタ
ーンを形成する。着色画素パターンが形成された基板表
面に、別の色の感光性樹脂層を有する感光性樹脂シート
を用いて、同様の操作を行って転写、露光、現像を順次
行うことによって、多色の着色画素パターンを形成する
ことができる。そして、RGB等の多色の着色画素間の
色分離を向上させるために、間隙を設けて形成された各
画素間には、感光性黒色樹脂が埋め込まれ、いわゆるブ
ラックマトリックスが一般に形成される。
Subsequently, in this state, the surface of the photosensitive resin layer is irradiated with light through a sheet-shaped photomask having a pixel pattern portion opened to expose the photosensitive resin layer in a pattern and further developed. Thus, a colored pixel pattern of one color is formed on the transparent substrate. By using a photosensitive resin sheet having a photosensitive resin layer of another color on the surface of the substrate on which the colored pixel pattern is formed, the same operation is performed to sequentially perform transfer, exposure, and development, so that multicolor coloring is performed. A pixel pattern can be formed. Then, in order to improve the color separation between the multicolored pixels such as RGB, a photosensitive black resin is buried between the pixels formed with gaps, and a so-called black matrix is generally formed.

【0005】近年、カラーフィルタ等の需要は益々高ま
る状況にあり、該状況の下、カラーフィルタ等の諸性能
の向上及び低価格化が要求されている。したがって、高
精度のカラーフィルタ等を低コストで製造する技術の確
立が強く望まれている。カラーフィルタ等の樹脂積層体
を低コストに製造する方法の一つの手段としては、製造
に要する時間の短縮が挙げられる。また、COA(カラ
ーフィルタオンアレイ)、プラスチックセルなど、新し
い層構成のデバイスの開発に伴い、多用な構成の積層物
が求められるようになり、転写法を用いた製造方法によ
って、様々な種類の基材(SiN膜、プラスチック材な
ど)上にラミネートを行うケースも多くなってきた。
[0005] In recent years, demand for color filters and the like has been increasing more and more, and under such circumstances, improvements in various performances of the color filters and the like and lower prices have been demanded. Therefore, it is strongly desired to establish a technique for manufacturing a high-precision color filter or the like at low cost. One method of manufacturing a resin laminate such as a color filter at low cost is to reduce the time required for manufacturing. In addition, with the development of devices having a new layer structure such as a COA (color filter on array) and a plastic cell, a laminate having a versatile structure has been required, and various types of manufacturing methods using a transfer method have been required. In many cases, lamination is performed on a substrate (SiN film, plastic material, etc.).

【0006】上述の転写法を利用した樹脂積層体の製造
方法は、高精度のカラーフィルタ等の製造には有利であ
るが、感光性樹脂シート(感光性樹脂材料)を透明基板
上に貼り合わせる(ラミネートする)際に空気の残留に
より気泡を巻き込みやすいという問題がある。即ち、最
近では、液晶表示装置の高精細化に伴って一定の面積
に形成すべき画素の数が増加する傾向にあることから、
各画素間の間隙がより狭くなっており、転写速度を速め
ると一層気泡が発生しやすい状況にある。この気泡の発
生した領域では、当然所定の画素が形成されないので、
画素欠陥(いわゆる白抜け)等が生じてしまい、カラー
フィルタの表示精度や品質の低下を招来する。また、ス
ペーサの製造においても、気泡の発生した領域ではスペ
ーサが欠けてしまう結果を招き、同様に、配向制御用構
造体においても、気泡の発生した領域では欠けが生じて
しまう結果を招く。
The method of manufacturing a resin laminate using the above-described transfer method is advantageous for manufacturing a high-precision color filter or the like, but a photosensitive resin sheet (photosensitive resin material) is bonded on a transparent substrate. At the time of (lamination), there is a problem that air bubbles are easily entrained due to residual air. That is, recently, the number of pixels to be formed in a certain area tends to increase with the high definition of the liquid crystal display device.
Since the gap between the pixels is narrower, the bubbles are more likely to be generated when the transfer speed is increased. Since predetermined pixels are not formed in the region where the bubbles are generated,
Pixel defects (so-called white spots) and the like are generated, which causes deterioration in display accuracy and quality of the color filter. In the manufacture of the spacer, the spacer is chipped in the region where the bubble is generated, and similarly, in the alignment control structure, the chip is generated in the region where the bubble is generated.

【0007】また、生産性を向上させるためには、ラ
ミネート速度を上げる必要があるが、速度を上げると気
泡が発生しやすい状況を生ずる。更に、応用されるデ
バイスが多様化する状況下では、ガラス以外の基材(基
板)や表面に凹凸を有する基材(基板)の表面にラミネ
ートを行う必要性が多くなる傾向にあり、気泡を巻き込
みやすい状況が増加している。
In order to improve the productivity, it is necessary to increase the laminating speed. However, when the laminating speed is increased, air bubbles are likely to be generated. Furthermore, under the circumstance where applied devices are diversified, there is a tendency that the necessity of laminating on the surface of a substrate (substrate) other than glass or a substrate (substrate) having irregularities on the surface tends to increase, and bubbles are generated. The situation where it is easy to get involved is increasing.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】以上のように、転写法
によりカラーフィルタ等の樹脂積層体を製造する場合に
おいて、ラミネートの際の気泡の発生が抑制され、ラミ
ネート速度(高速化)や形成画素の高精細化、並びにラ
ミネートがされる基材(基板)の多様化に依存すること
なく、高精度の樹脂積層体を高速でラミネート形成する
ことのできる製造方法は、未だ提供されていないのが現
状である。
As described above, when a resin laminate such as a color filter is manufactured by the transfer method, the generation of bubbles during lamination is suppressed, and the laminating speed (higher speed) and the number of pixels formed are reduced. There has not yet been provided a manufacturing method capable of laminating a high-precision resin laminate at a high speed without depending on high definition of the resin and diversification of a substrate (substrate) to be laminated. It is the current situation.

【0009】本発明は、前記従来における諸問題を解決
し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本
発明は、ラミネート法による転写の際の気泡の発生を抑
制し、欠陥がなく高精度で低コストの樹脂積層体を高速
かつ安定にラミネート形成することのできる樹脂積層体
の製造方法を提供することを目的とする。また、本発明
は、本発明の樹脂積層体の製造方法により低コストに得
られ、画素欠陥(白抜け)がなく高精細のカラーフィル
タを提供することを目的とする。
An object of the present invention is to solve the above conventional problems and achieve the following objects. That is, the present invention suppresses the generation of bubbles during transfer by the lamination method, and provides a method of manufacturing a resin laminate capable of forming a high-precision, low-cost resin laminate without defects at high speed and in a stable manner. The purpose is to provide. Another object of the present invention is to provide a high-definition color filter which can be obtained at low cost by the method for producing a resin laminate of the present invention and has no pixel defects (white spots).

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の手段は、以下の通りである。即ち、 <1> 支持体上に感光性樹脂層と保護フィルムとを有
する感光性樹脂材料から前記保護フィルムを除去し、感
光性樹脂材料の感光性樹脂層を基板の表面に重ね合わせ
てラミネートし、ラミネート後の支持体を剥離して前記
基板上に感光性樹脂層を転写する工程を含む樹脂積層体
の製造方法において、前記基板の少なくとも転写される
側の表面の、ラミネート時における表面自由エネルギー
の極性成分が35dyne/cm以下であることを特徴
とする樹脂積層体の製造方法である。
Means for solving the above problems are as follows. That is, <1> the protective film is removed from a photosensitive resin material having a photosensitive resin layer and a protective film on a support, and the photosensitive resin layer of the photosensitive resin material is laminated on the surface of the substrate. A method of manufacturing a resin laminate including a step of transferring a photosensitive resin layer onto the substrate by peeling the support after lamination, wherein the surface free energy at the time of lamination of at least the surface of the substrate to be transferred is Wherein the polar component is 35 dyne / cm or less.

【0011】<2> 基板の少なくとも転写される側の
表面の、ラミネート時における表面自由エネルギーの極
性成分が30dyne/cm以下である前記<1>に記
載の樹脂積層体の製造方法である。 <3> 基板の少なくとも転写される側の表面の、ラミ
ネート時における表面自由エネルギーの極性成分が25
dyne/cm以下である前記<1>に記載の樹脂積層
体の製造方法である。 <4> 基板の少なくとも転写される側の表面の、ラミ
ネート時における表面自由エネルギーの極性成分が20
dyne/cm以下である前記<1>に記載の樹脂積層
体の製造方法である。 <5> 基板の少なくとも転写される側の表面の、ラミ
ネート時における表面自由エネルギーの極性成分が15
dyne/cm以下である前記<1>に記載の樹脂積層
体の製造方法である。
<2> The method for producing a resin laminate according to <1>, wherein a polar component of surface free energy at the time of lamination of at least the surface of the substrate to be transferred is 30 dyne / cm or less. <3> The polar component of the surface free energy at the time of lamination of at least the surface to be transferred of the substrate is 25.
The method for producing a resin laminate according to <1>, wherein the dyne / cm is not more than dyne / cm. <4> The polar component of the surface free energy at the time of lamination of at least the surface to be transferred of the substrate is 20
The method for producing a resin laminate according to <1>, wherein the dyne / cm is not more than dyne / cm. <5> The polar component of the surface free energy at the time of lamination of at least the surface to be transferred of the substrate is 15
The method for producing a resin laminate according to <1>, wherein the dyne / cm is not more than dyne / cm.

【0012】<6> 支持体上に感光性樹脂層と保護フ
ィルムとを有する感光性樹脂材料から前記保護フィルム
を除去し、感光性樹脂材料の感光性樹脂層を基板の表面
に重ね合わせてラミネートし、ラミネート後の支持体を
剥離して前記基板上に感光性樹脂層を転写する工程を含
む樹脂積層体の製造方法において、基板の少なくとも転
写される側の表面の、ラミネート時における表面自由エ
ネルギーの極性成分を35dyne/cm以下に調整し
た後、該表面に感光性樹脂層を重ね合わせてラミネート
することを特徴とする樹脂積層体の製造方法である。
<6> The protective film is removed from a photosensitive resin material having a photosensitive resin layer and a protective film on a support, and the photosensitive resin layer of the photosensitive resin material is laminated on the surface of the substrate. Then, in a method for producing a resin laminate including a step of transferring a photosensitive resin layer onto the substrate by peeling off the support after lamination, the surface free energy at the time of lamination of at least the surface to be transferred of the substrate After adjusting the polar component to 35 dyne / cm or less, and laminating and laminating a photosensitive resin layer on the surface.

【0013】<7> ラミネート時における、表面自由
エネルギーの極性成分が35dyne/cm以下でかつ
表面自由エネルギーの分散成分が40dyne/cm以
下である前記<1>〜<6>のいずれかに記載の樹脂積
層体の製造方法である。 <8> 表面自由エネルギーの分散成分が30dyne
/cm以下である前記<7>に記載の樹脂積層体の製造
方法である。 <9> 表面自由エネルギーの分散成分が20dyne
/cm以下である前記<7>に記載の樹脂積層体の製造
方法である。
<7> The method according to any one of <1> to <6>, wherein the polar component of the surface free energy is 35 dyne / cm or less and the surface free energy dispersion component is 40 dyne / cm or less at the time of lamination. This is a method for producing a resin laminate. <8> The dispersion component of surface free energy is 30 dyne
/ Cm or less, which is the method for producing a resin laminate according to <7>. <9> Dispersion component of surface free energy is 20 dyne
/ Cm or less, which is the method for producing a resin laminate according to <7>.

【0014】<10> 感光性樹脂材料の感光性樹脂層
の表面の、ラミネート時における表面自由エネルギーが
50dyne/cm以下である前記<1>〜<9>のい
ずれかに記載の樹脂積層体の製造方法である。 <11> 前記<1>〜<10>のいずれかに記載の樹
脂積層体の製造方法により得られることを特徴とするカ
ラーフィルタである。
<10> The resin laminate according to any one of <1> to <9>, wherein the surface free energy of the surface of the photosensitive resin layer of the photosensitive resin material at the time of lamination is 50 dyne / cm or less. It is a manufacturing method. <11> A color filter obtained by the method for producing a resin laminate according to any one of <1> to <10>.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】本発明の樹脂積層体の製造方法に
おいては、表面自由エネルギーの極性成分を35dyn
e/cm以下とした基板の表面に、感光性樹脂材料の感
光性樹脂層をラミネート法により転写する。また、本発
明のカラーフィルタは、本発明の樹脂積層体の製造方法
により製造される。以下、本発明の樹脂積層体の製造方
法及び該製造方法により得られるカラーフィルタについ
て詳細に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the method for producing a resin laminate of the present invention, the polar component of surface free energy is 35 dyn.
A photosensitive resin layer of a photosensitive resin material is transferred to the surface of the substrate having a thickness of e / cm or less by a lamination method. The color filter of the present invention is manufactured by the method for manufacturing a resin laminate of the present invention. Hereinafter, a method for producing a resin laminate of the present invention and a color filter obtained by the method will be described in detail.

【0016】<樹脂積層体の製造方法>本発明の樹脂積
層体の製造方法は、支持体上に感光性樹脂層と保護フィ
ルムとを有する感光性樹脂材料を用い、該感光性樹脂材
料から保護フィルムを除去した後、感光性樹脂材料の感
光性樹脂層を被転写体である基板の表面に重ね合わせて
ラミネートし、ラミネートの後の感光性樹脂材料の支持
体を剥離して前記基板上に感光性樹脂層を転写すること
により、基板上に少なくとも感光性樹脂層を有する樹脂
積層体を製造する。ここで、本発明の第一の態様におい
ては、少なくとも転写される側の表面の、ラミネート
(転写)時における表面自由エネルギーの極性成分が3
5dyne/cm以下である基板を被転写体として用
い、本発明の第二の態様においては、基板の少なくとも
転写される側の表面の、ラミネート(転写)時における
表面自由エネルギーの極性成分を35dyne/cm以
下に調整した後、該表面に感光性樹脂層を重ね合わせて
ラミネートを行う。
<Production Method of Resin Laminate> The method for producing a resin laminate of the present invention uses a photosensitive resin material having a photosensitive resin layer and a protective film on a support, and protects the photosensitive resin material from the photosensitive resin material. After removing the film, the photosensitive resin layer of the photosensitive resin material is laminated on the surface of the substrate which is the object to be transferred and laminated, and the support of the photosensitive resin material after the lamination is peeled off on the substrate. The resin laminate having at least the photosensitive resin layer on the substrate is manufactured by transferring the photosensitive resin layer. Here, in the first aspect of the present invention, the polar component of the surface free energy at the time of lamination (transfer) of at least the surface to be transferred is 3
In the second embodiment of the present invention, the polar component of the surface free energy of at least the surface of the substrate to be transferred at the time of lamination (transfer) is 35 dyne / cm. cm or less, and a photosensitive resin layer is overlaid on the surface to perform lamination.

【0017】ラミネート時における表面自由エネルギー
とは、基板の表面に感光性樹脂材料を重ね合わせ、基板
面に感光性樹脂層をラミネートし転写する時の加熱温度
下における表面自由エネルギーをいう。前記表面自由エ
ネルギーは、後述する測定例により測定し求められる。
被転写面の表面自由エネルギーを上記範囲とすることに
より、例えば図1−(A)に示すように、ラミネート時の
加熱により溶融した感光性樹脂層2を基板1の表面に均
一にラミネートしていくことができる。即ち、図1−
(B)に示すように、基板の被転写面の表面エネルギーが
大きい場合には、感光性樹脂層2と基板1の表面との親
和性が良化して濡れ性が高まる反面、ラミネート時の加
熱により溶融した感光性樹脂層2が基板側に回り込む結
果、空気が樹脂中に取り込まれ易くなるものと推測され
る。
The surface free energy at the time of lamination means the surface free energy at a heating temperature when a photosensitive resin material is superposed on a substrate surface, and a photosensitive resin layer is laminated and transferred onto the substrate surface. The surface free energy is determined by measurement according to a measurement example described later.
By setting the surface free energy of the surface to be transferred within the above range, the photosensitive resin layer 2 melted by heating during laminating is uniformly laminated on the surface of the substrate 1 as shown in FIG. I can go. That is, FIG.
As shown in (B), when the surface energy of the transfer surface of the substrate is large, the affinity between the photosensitive resin layer 2 and the surface of the substrate 1 is improved, and the wettability is increased. It is presumed that as a result, the photosensitive resin layer 2 that has been melted goes around the substrate side, so that air is easily taken into the resin.

【0018】ここで、既述の通り、感光性樹脂材料の感
光性樹脂層が転写される側の表面(以下、「被転写面」
ということがある。)における、ラミネート(転写)時
の表面自由エネルギーの極性成分を35dyne/cm
以下とするが、該極性成分は泡混入の回避効果の点で小
さい方が好ましく、中でも特に30dyne/cm以下
が好ましく、25dyne/cm以下がより好ましく、
20dyne/cm以下が特に好ましく、15dyne
/cm以下が最も好ましい。
Here, as described above, the surface of the photosensitive resin material to which the photosensitive resin layer is transferred (hereinafter referred to as the “transfer surface”).
There is that. ), The polar component of the surface free energy at the time of lamination (transfer) is 35 dyne / cm
The polar component is preferably as small as possible in view of the effect of avoiding the incorporation of bubbles, particularly preferably 30 dyne / cm or less, more preferably 25 dyne / cm or less,
Particularly preferred is 20 dyne / cm or less, and 15 dyne / cm or less.
/ Cm or less is most preferred.

【0019】また、ラミネート時の泡混入をより効果的
に防止する点からは、ラミネート(転写)時における表
面自由エネルギーの極性成分を35dyne/cm以下
とすると共に、該表面自由エネルギーの分散成分を40
dyne/cm以下とすることが好ましい。該分散成分
についても、泡混入の回避効果の点では小さい方が好ま
しく、中でも特に30dyne/cm以下がより好まし
く、20dyne/cm以下が特に好ましい。ここで、
ラミネート(転写)時における前記表面自由エネルギー
としては、その極性成分の値と分散成分の値とを、上記
の極性成分及び分散成分の範囲(好ましい範囲を含
む。)から任意に適宜組合せることができる。例えば、
極性成分が35以下の範囲であり分散成分が20以下の
範囲であってもよく、極性成分が30以下の範囲であり
分散成分が30以下の範囲であってもよく、極性成分が
15以下の範囲であり分散成分が40以下の範囲であっ
てもよい。
In order to more effectively prevent the mixing of bubbles during lamination, the polar component of the surface free energy during lamination (transfer) is set to 35 dyne / cm or less, and the dispersion component of the surface free energy is reduced. 40
It is preferable to be dyne / cm or less. The dispersing component is also preferably smaller in view of the effect of avoiding the incorporation of bubbles, particularly preferably 30 dyne / cm or less, particularly preferably 20 dyne / cm or less. here,
As the surface free energy at the time of lamination (transfer), the value of the polar component and the value of the dispersive component may be arbitrarily combined as appropriate from the range of the polar component and the dispersive component (including the preferable range). it can. For example,
The polar component may be in a range of 35 or less and the dispersed component may be in a range of 20 or less, the polar component may be in a range of 30 or less and the dispersed component may be in a range of 30 or less, and the polar component may be in a range of 30 or less. The dispersion component may be in the range of 40 or less.

【0020】ラミネート時に溶融した感光性樹脂層の基
板面に対する、泡混入に対する特性は、被転写面におけ
る表面自由エネルギーの極性成分と分散成分とのバラン
スに左右され易く、両成分を各々前記範囲とすることで
気泡(泡)発生を効果的に防止することができる。
The characteristics of the photosensitive resin layer melted during lamination to the substrate surface with respect to the incorporation of bubbles are easily affected by the balance between the polar component and the dispersed component of the surface free energy on the surface to be transferred. By doing so, the generation of air bubbles (bubbles) can be effectively prevented.

【0021】本発明の樹脂積層体の製造方法において
は、被転写体として、感光性樹脂材料の感光性樹脂層が
転写される被転写面の表面自由エネルギーの極性成分
が、ラミネート(転写)時において35dyne/cm
以下である基板(第一の態様)、あるいは被転写面にお
ける表面自由エネルギーの極性成分が35dyne/c
mを超える基板に対して、該被転写面に処理を施し、ラ
ミネート(転写)時における表面自由エネルギーの極性
成分を35dyne/cm以下にコントロール(調整)
した処理面を有する基板(第二の態様)を用いて、基板
の、ラミネート(転写)時における前記極性成分が35
dyne/cm以下の表面に感光性樹脂層を重ね合わせ
てラミネートを行う。前記第二の態様においては、下記
方法を利用した、基板の被転写面の表面自由エネルギー
を上記範囲に下げる(コントロールする)工程を含み、
該工程はラミネート前であればいずれの段階に設けても
よい。
In the method for producing a resin laminate of the present invention, the polar component of the surface free energy of the surface to be transferred onto which the photosensitive resin layer of the photosensitive resin material is to be transferred is used as the member to be transferred. At 35 dyne / cm
The following substrate (first embodiment) or the surface free energy of the transfer surface has a polar component of 35 dyne / c.
m, the surface to be transferred is subjected to treatment, and the polar component of surface free energy during lamination (transfer) is controlled (adjusted) to 35 dyne / cm or less.
Using a substrate having a treated surface (second embodiment), the polarity component of the substrate at the time of lamination (transfer) is 35%.
Laminating is performed by superposing a photosensitive resin layer on the surface of dyne / cm or less. In the second embodiment, the method includes a step of lowering (controlling) the surface free energy of the transfer surface of the substrate to the above range, using the following method,
This step may be provided at any stage before lamination.

【0022】基板の被転写面の表面自由エネルギーを上
記範囲に下げる(コントロールする)方法としては、被
転写面に対して、例えば、物理蒸着(PVD:真空蒸
着、イオンプレーティング、スパッタ)、化学蒸着(C
VD)などのコーティング法、グロー放電、コロナ放
電、高周波放電、マイクロ波放電によるプラズマ処理
法、界面活性剤、シランカップリング剤、チタネートカ
ップリング剤等の表面処理剤等によるコーティング法
等、公知の多くの表面処理方法が適用可能である。ま
た、表面処理剤のコーティング後に加熱処理などを施す
こともある。更に、これらの表面処理を実施した後、表
面自由エネルギーが所望の範囲に変化するまで経時させ
てもよい。但し、本発明においては、これらに制限され
るものではない。
As a method of lowering (controlling) the surface free energy of the transfer surface of the substrate to the above range, for example, physical vapor deposition (PVD: vacuum deposition, ion plating, sputtering), chemical Deposition (C
VD), a plasma treatment method using glow discharge, corona discharge, high frequency discharge, microwave discharge, a coating method using a surface treatment agent such as a surfactant, a silane coupling agent, a titanate coupling agent, and the like. Many surface treatment methods are applicable. Further, a heat treatment or the like may be performed after the coating of the surface treatment agent. Furthermore, after performing these surface treatments, it may be aged until the surface free energy changes to a desired range. However, the present invention is not limited to these.

【0023】前記スパッタ法としては、例えば、二極ス
パッタ、三極スパッタ、四極スパッタ、マグネトロンス
パッタ、高周波スパッタ、リアクティブスパッタ、バイ
アススパッタ、非対称スパッタ、ゲッタスパッタ等が挙
げられる。
Examples of the sputtering method include bipolar sputtering, tripolar sputtering, quadrupolar sputtering, magnetron sputtering, high frequency sputtering, reactive sputtering, bias sputtering, asymmetric sputtering, getter sputtering and the like.

【0024】本発明の目的に適した前記表面処理剤とし
ては、前記界面活性剤として、例えば、カルボン酸塩、
スルホン酸塩、硫酸エステル塩、リン酸エステル塩、ホ
ルマリン縮合系スルホン酸塩などのアニオン系界面活性
剤;脂肪族アミン塩及びその四級アンモニウム塩、芳香
族四級アンモニウム塩、ピリジニウム塩、イミダゾリニ
ウム塩などのカチオン性界面活性剤;ベタイン、アミノ
カルボン酸塩、イミダゾリン誘導体などの両性界面活性
剤;エーテル、エーテルエステル、エステル含窒素型脂
肪族アルカノールアミドなどの非イオン性界面活性剤;
フッ素系界面活性剤;ポリペプチド誘導体、天然界面活
性剤等が挙げられる。
The surface treating agent suitable for the purpose of the present invention includes, as the surfactant, for example, carboxylate,
Anionic surfactants such as sulfonates, sulfates, phosphates, and formalin condensation sulfonates; aliphatic amine salts and their quaternary ammonium salts, aromatic quaternary ammonium salts, pyridinium salts, imidazoli Cationic surfactants such as ammonium salts; amphoteric surfactants such as betaines, aminocarboxylates and imidazoline derivatives; nonionic surfactants such as ethers, ether esters and ester nitrogen-containing aliphatic alkanolamides;
Fluorinated surfactants; polypeptide derivatives, natural surfactants and the like.

【0025】また、前記カップリング剤として、例え
ば、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メ
トキシエトキシ)シラン、3−メタクリロキシプロピル
トリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメ
トキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシ
ル)エチルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチ
ル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2
−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメト
キシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、
N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラ
ン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−
クロロプロピルトリメトキシシラン等のシランカップリ
ング剤、チタン系カップリング剤等が挙げられる。
Further, as the coupling agent, for example, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 2- (3 , 4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, N-2
-(Aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane,
N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-
Examples thereof include silane coupling agents such as chloropropyltrimethoxysilane, and titanium-based coupling agents.

【0026】上記のほか、被転写面の表面自由エネルギ
ーをコントロールする方法としては、被転写面の表面
に、有機顔料、各種ワックス、金属石鹸、バインダー、
溶剤、潤滑剤等、あるいは後述の感光性樹脂層に含有さ
れる全て若しくは一部の成分を、ラミネート前に予めコ
ーティングしておく方法であってもよく、同様の効果を
得ることができる。
In addition to the above, as a method of controlling the surface free energy of the surface to be transferred, an organic pigment, various waxes, metal soap, a binder,
A method in which a solvent, a lubricant, or the like, or all or some of the components contained in the photosensitive resin layer described below are coated before lamination may be used, and the same effect can be obtained.

【0027】具体的には、前記有機顔料としては、例え
ば、酸化亜鉛、炭酸カルシウム、硫酸バリウム、酸化チ
タン、リトポン、タルク、蝋石、カオリン、水酸化アル
ミニウム、非晶質シリカ、スチレン樹脂、ホルマリン縮
合物、フッ化エチレン樹脂、尿素樹脂等が挙げられ、前
記金属石鹸としては、例えば、ステアリン酸カルシウ
ム、ステアリン酸アルミニウム等の高級脂肪酸金属塩の
エマルジョン等が挙げられ、前記ワックスとしては、例
えば、ステアリン酸、パラフィンワックス、マイクロク
リスタリンワックス、カルナバワックス、メチロールス
テアロアミド、ポリエチレンワックス、シリコーン及び
これらのエマルジョン等が挙げられる。
Specifically, the organic pigment includes, for example, zinc oxide, calcium carbonate, barium sulfate, titanium oxide, lithopone, talc, limestone, kaolin, aluminum hydroxide, amorphous silica, styrene resin, formalin condensation , A fluoroethylene resin, a urea resin, and the like. Examples of the metal soap include emulsions of higher fatty acid metal salts such as calcium stearate and aluminum stearate, and the wax includes, for example, stearic acid. , Paraffin wax, microcrystalline wax, carnauba wax, methylol stearamide, polyethylene wax, silicone, and emulsions thereof.

【0028】前記バインダーとしては、例えば、ポリエ
チレン、ポリプロピレン、ポリスチレン等のポリオレフ
ィン、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、カルボ
キシ編成ポリビニルアルコール等のビニル系樹脂、フェ
ノール樹脂、フッ素樹脂(例えば、フッ素コート剤
等)、ポリアミド、ポリイミド、ポリアセタール、(メ
タ)アクリル系樹脂、ポリカーボネート、飽和若しくは
不飽和のポリエステル、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、
エポキシ樹脂、シリコン樹脂等の各種樹脂;メチルセル
ロース、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシエチ
ルセルロース等の各種繊維質;澱粉類やゼラチン等の各
種のタンパク質等が挙げられる。
Examples of the binder include polyolefins such as polyethylene, polypropylene, and polystyrene; vinyl resins such as polyvinyl chloride, polyvinyl alcohol, and carboxy-organized polyvinyl alcohol; phenol resins; and fluororesins (for example, fluorine coating agents); Polyamide, polyimide, polyacetal, (meth) acrylic resin, polycarbonate, saturated or unsaturated polyester, urethane resin, alkyd resin,
Various resins such as epoxy resin and silicone resin; various fibers such as methylcellulose, carboxymethylcellulose and hydroxyethylcellulose; various proteins such as starches and gelatin.

【0029】前記溶剤としては、水と混和性の溶剤が好
ましく、例えば、メタノール、エタノール、2−プロパ
ノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンア
ルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エ
チレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコ
ールモノ−n−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、
アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε
−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホル
ムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホ
ルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタ
ム、N−メチルピロリドン等が挙げられる。水と混和性
の溶剤の濃度としては、0.1〜30質量%が一般的で
ある。
The solvent is preferably a water-miscible solvent, for example, methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol. Mono-n-butyl ether, benzyl alcohol,
Acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε
-Caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, N-methylpyrrolidone and the like. The concentration of the solvent miscible with water is generally 0.1 to 30% by mass.

【0030】上記の、感光性樹脂層に含有される全て若
しくは一部の成分としては、感光性樹脂組成物が挙げら
れ、該感光性樹脂組成物としては、例えば、特開平3−
282404号公報に記載のものを全て使用することが
できる。その例として、ネガ型ジアゾ樹脂とバインダー
からなる感光性樹脂組成物、光重合成組成物、アジド化
合物とバインダーからなる感光性樹脂組成物、桂皮酸型
感光性樹脂組成物等を挙げることができ、具体的には、
アルカリ可溶性バインダーポリマー、光の照射により付
加重合するエチレン性不飽和二重結合を有するモノマ
ー、光重合開始剤及び着色剤を含む感光性樹脂組成物か
らなる層が好適である。また、熱重合防止剤等の他の成
分を含んでいてもよい。
Examples of all or a part of the components contained in the photosensitive resin layer include a photosensitive resin composition.
All those described in JP-A-282404 can be used. Examples thereof include a photosensitive resin composition comprising a negative-type diazo resin and a binder, a photopolymer composition, a photosensitive resin composition comprising an azide compound and a binder, and a cinnamic acid-type photosensitive resin composition. ,In particular,
A layer made of a photosensitive resin composition containing an alkali-soluble binder polymer, a monomer having an ethylenically unsaturated double bond that undergoes addition polymerization upon irradiation with light, a photopolymerization initiator, and a colorant is preferable. Further, other components such as a thermal polymerization inhibitor may be contained.

【0031】前記アルカリ可溶性バインダーポリマーと
しては、例えば、側鎖にカルボン酸基を有するポリマ
ー、側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体、水
酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したもの等
が挙げられる。前記側鎖にカルボン酸基を有するポリマ
ーとしては、例えば、特開昭59−44615号公報、
特公昭54−34327号公報、特公昭58−1257
7号公報、特公昭54−25957号公報、特開昭59
−53836号公報、特開昭59−71048号公報に
記載のメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イ
タコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共
重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等が挙げら
れる。前記水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付
加したものとしては、特に、米国特許第4139391
号明細書に記載の、ベンジル(メタ)アクリレートと
(メタ)アクリル酸の共重合体やベンジル(メタ)アク
リレートと(メタ)アクリル酸と他のモノマーとの多元
共重合体等を挙げることができる。
Examples of the alkali-soluble binder polymer include a polymer having a carboxylic acid group in a side chain, a cellulose derivative having a carboxylic acid group in a side chain, and a polymer having a hydroxyl group and a cyclic acid anhydride added thereto. Can be Examples of the polymer having a carboxylic acid group in the side chain include, for example, JP-A-59-44615,
JP-B-54-34327, JP-B-58-1257
No. 7, JP-B-54-25957, JP-A-59
-53836, JP-A-59-71048, methacrylic acid copolymer, acrylic acid copolymer, itaconic acid copolymer, crotonic acid copolymer, maleic acid copolymer, partially esterified maleic acid Acid copolymers and the like can be mentioned. Examples of the polymer having a hydroxyl group to which a cyclic acid anhydride is added include, in particular, US Pat. No. 4,139,391.
And benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid, and a multi-component copolymer of benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid with other monomers. .

【0032】前記アルカリ可溶性バインダーポリマーの
中でも、50〜300mgKOH/gの範囲の酸価と1
000〜300000の範囲の質量平均分子量を有する
ものを選択して使用することが好ましい。
Among the alkali-soluble binder polymers, an acid value in the range of 50 to 300 mg KOH / g and 1
It is preferable to select and use those having a mass average molecular weight in the range of 000 to 300,000.

【0033】また、例えば硬化膜の強度等の種々の性能
を改良する目的で、現像性等に悪影響を与えない範囲
で、アルカリ不溶性のポリマーを添加することもでき
る。該ポリマーとしては、アルコール可溶性ナイロン、
エポキシ樹脂等が挙げられる。前記アルカリ可溶性バイ
ンダーポリマーの含有量としては、感光性樹脂層の全固
形分(質量)の10〜95質量%が好ましく、20〜9
0質量%がより好ましい。前記含有量が、10質量%未
満であると、感光性樹脂層の粘着性が高すぎることがあ
り、95質量%を超えると、光感度、及び形成される着
色層(着色画像)やブラックマトリクスの強度の点で劣
ることがある。
For the purpose of improving various properties such as the strength of the cured film, for example, an alkali-insoluble polymer can be added as long as it does not adversely affect the developability and the like. As the polymer, alcohol-soluble nylon,
Epoxy resins and the like can be mentioned. The content of the alkali-soluble binder polymer is preferably from 10 to 95% by mass of the total solid content (mass) of the photosensitive resin layer, and is preferably from 20 to 9%.
0 mass% is more preferable. When the content is less than 10% by mass, the adhesiveness of the photosensitive resin layer may be too high. When the content is more than 95% by mass, the photosensitivity and the color layer (colored image) or black matrix to be formed may be formed. May be inferior in strength.

【0034】前記光の照射により付加重合するエチレン
性不飽和二重結合を有するモノマーとしては、分子中に
少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を
有し、沸点が常圧で100以上の化合物が挙げられる。
例えば、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレ
ート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレ
ート及びフェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの
単官能アクリレートや単官能メタクリレート;ポリエチ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレ
ングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロール
エタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ
アクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレー
ト、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、
ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペ
ンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペン
タエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペン
タエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサ
ンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプ
ロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、
トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、
トリ(アクリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリ
セリントリ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロ
パンやグリセリン等の多官能アルコールにエチレンオキ
シドにプロピレンオキシドを付加した後(メタ)アクリ
レート化したもの等の多官能アクリレートや多官能メタ
クリレート等である。
The monomer having an ethylenically unsaturated double bond which undergoes addition polymerization upon irradiation with light has at least one addition-polymerizable ethylenically unsaturated group in the molecule and has a boiling point of 100 at normal pressure. These compounds are mentioned.
For example, monofunctional acrylates and monofunctional methacrylates such as polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate and phenoxyethyl (meth) acrylate; polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, Trimethylolethane triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane diacrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate,
Pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) )ether,
Tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate,
Tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, glycerin tri (meth) acrylate; polyfunctional acrylates and polyfunctional methacrylates such as those obtained by adding propylene oxide to ethylene oxide to polyfunctional alcohols such as trimethylolpropane and glycerin and then (meth) acrylated And so on.

【0035】更に、特公昭48−41708号公報、特
公昭50−6034号公報、特開昭51−37193号
公報に記載のウレタンアクリレート類;特開昭48−6
4183号公報、特公昭49−43191号公報、特公
昭52−30490号公報に記載のポリエステルアクリ
レート類;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応生
成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレ
ートやメタクリレート等も挙げられる。
Further, urethane acrylates described in JP-B-48-41708, JP-B-50-6034, and JP-A-51-37193;
No. 4183, JP-B-49-43191 and JP-B-52-30490; polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates which are reaction products of an epoxy resin and (meth) acrylic acid. And the like.

【0036】中でも、トリメチロールプロパントリ(メ
タ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メ
タ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メ
タ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メ
タ)アクリレートが好ましい。
Of these, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and dipentaerythritol penta (meth) acrylate are preferred.

【0037】前記重合性モノマーは、一種単独で用いて
もよいし、二種類以上を混合して用いてもよい。前記光
の照射によって付加重合するエチレン性不飽和二重結合
を有するモノマーの含有量としては、感光性樹脂層の全
固形分(質量)の5〜50質量%が一般的であり、中で
も10〜40質量%が好ましい。該含有量が、5質量%
未満であると、光感度や、着色層(着色画像)やブラッ
クマトリクスの強度が低下することがあり、50質量%
を超えると、感光性樹脂層の粘着性が過剰になり好まし
くない場合がある。
The polymerizable monomers may be used alone or as a mixture of two or more. The content of the monomer having an ethylenically unsaturated double bond that undergoes addition polymerization upon irradiation with the light is generally 5 to 50% by mass of the total solid content (mass) of the photosensitive resin layer, and is particularly preferably 10 to 50% by mass. 40% by mass is preferred. The content is 5% by mass.
If it is less than 50%, the photosensitivity and the strength of the colored layer (colored image) or the black matrix may be reduced, and the content may be reduced to 50% by mass.
If the ratio exceeds the above range, the adhesiveness of the photosensitive resin layer becomes excessive, which is not preferable.

【0038】前記光重合開始剤としては、例えば、米国
特許第2367660号明細書に記載のビシナルポリケ
タルドニル化合物、米国特許第2448828号明細書
に記載のアシロインエーテル化合物、米国特許第272
2512号明細書に記載の、α−炭化水素で置換された
芳香族アシロイン化合物、米国特許第3046127号
明細書及び同第2951758号明細書に記載の多核キ
ノン化合物、米国特許第3549367号明細書に記載
のトリアリールイミダゾール二量体とp−アミノケトン
の組合せ、特公昭51−48516号公報に記載のベン
ゾチアゾール化合物とトリハロメチル−s−トリアジン
化合物、米国特許第4239850号明細書に記載され
ているトリハロメチル−s−トリアジン化合物、米国特
許第4212976号明細書に記載のトリハロメチルオ
キサジアゾール化合物等が挙げられる。中でも特に、ト
リハロメチル−s−トリアジン、トリハロメチルオキサ
ジアゾール及びトリアリールイミダゾール二量体が好ま
しい。
Examples of the photopolymerization initiator include a vicinal polyketaldonyl compound described in US Pat. No. 2,367,660, an acyloin ether compound described in US Pat. No. 2,448,828, and US Pat.
No. 2512, an aromatic acyloin compound substituted with an α-hydrocarbon, a polynuclear quinone compound described in U.S. Pat. Nos. 3,046,127 and 2,951,758, and U.S. Pat. No. 3,549,367. Combinations of the described triarylimidazole dimer and p-aminoketone, the benzothiazole compounds and trihalomethyl-s-triazine compounds described in JP-B-51-48516, and the trihalides described in U.S. Pat. No. 4,239,850. Examples include a methyl-s-triazine compound and a trihalomethyloxadiazole compound described in U.S. Pat. No. 4,221,976. Among them, trihalomethyl-s-triazine, trihalomethyloxadiazole and triarylimidazole dimer are particularly preferred.

【0039】前記光重合開始剤の含有量としては、感光
性樹脂層の全固形分(質量)の0.5〜20質量%が一
般的であり、1〜15質量%が好ましい。該含有量が、
0.5質量%未満であると、光感度や、着色層(着色画
像)やブラックマトリクスの強度が低くなることがあ
り、また、20質量%を超えて添加しても、それ以上の
性能向上効果は認められない。
The content of the photopolymerization initiator is generally 0.5 to 20% by mass of the total solid content (mass) of the photosensitive resin layer, and preferably 1 to 15% by mass. The content is
If the amount is less than 0.5% by mass, the photosensitivity and the strength of the colored layer (colored image) or the black matrix may be reduced, and even if it exceeds 20% by mass, the performance is further improved. No effect is observed.

【0040】前記着色剤としては、カラーフィルタの構
成色である赤色、緑色、青色及び黒色の顔料が一般に用
いられ、例えば、カーミン6B(C.I.1249
0)、フタロシアニングリーン(C.I.7426
0)、フタロシアニンブルー(C.I.74160)、
カーボンブラック等を好適に挙げることができる。着色
剤の含有量としては、感光性樹脂層の全固形分(質量)
の1〜30質量%が好ましく、5〜20質量%が特に好
ましい。
As the colorant, red, green, blue and black pigments which are constituent colors of a color filter are generally used. For example, Carmine 6B (CI.1249)
0), phthalocyanine green (CI. 7426)
0), phthalocyanine blue (C.I. 74160),
Preferable examples include carbon black. As the content of the colorant, the total solid content (mass) of the photosensitive resin layer
Is preferably 1 to 30% by mass, and particularly preferably 5 to 20% by mass.

【0041】上記成分のほか、更に熱重合防止剤を含む
ことが好ましい。前記熱重合防止剤としては、例えば、
ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブ
チル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテ
コール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチ
ル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレン
ビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−
メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙
げられる。更に、公知の添加剤、例えば、可塑剤、界面
活性剤、溶剤等を添加することもできる。
It is preferable that the composition further contains a thermal polymerization inhibitor in addition to the above components. As the thermal polymerization inhibitor, for example,
Hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-thiobis (3-methyl-6-t-butylphenol), 2,2′-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2-
Mercaptobenzimidazole, phenothiazine and the like. Further, known additives such as a plasticizer, a surfactant, a solvent and the like can be added.

【0042】また更に、基板の被転写面の研磨やラッピ
ング処理により表面粗さをコントロールしたり、研磨材
料との摩擦により、メカノケミカル的に表面改質を行っ
てもよい。例えば、ガラスの表面研磨用の研磨剤とし
て、例えば、酸化アルミ、酸化クロム、酸化鉄、ダイヤ
モンド粉等が挙げられる。
Further, the surface roughness may be controlled by polishing or lapping the transferred surface of the substrate, or the surface may be mechanochemically modified by friction with the polishing material. For example, abrasives for polishing the surface of glass include, for example, aluminum oxide, chromium oxide, iron oxide, diamond powder, and the like.

【0043】前記表面処理方法は、基板の種類に応じて
単独で行ってもよいし、複数を組合せて行ってもよい。
また、カラーフィルタのように、同一基板上に複数回ラ
ミネートを繰り返す場合には、前記表面処理は必ずしも
最初のパターン形成前飲みとは限らず、例えば、第二、
第三のパターン形成前にも施すこともできる。即ち、本
発明においては、ラミネート時における表面自由エネル
ギーが前記範囲にあることが重要である。
The above surface treatment method may be performed alone or in combination of a plurality of types according to the type of the substrate.
In addition, when a laminate is repeated a plurality of times on the same substrate, such as a color filter, the surface treatment is not necessarily a drink before the first pattern formation.
It can also be applied before the formation of the third pattern. That is, in the present invention, it is important that the surface free energy at the time of lamination be in the above range.

【0044】表面自由エネルギーの測定方法としては、
特に制限はなく、一例として以下の方法が挙げられる。
表面自由エネルギーγSは、表面張力の分散成分γS d
表面張力の極性成分γS pとの和、γS=γS d+γS pで表
される。即ち、表面自由エネルギーは、液体と仮定した
時に、自ら収縮しようとする表面張力で表されるもので
ある。
As a method of measuring the surface free energy,
There is no particular limitation, and the following method is given as an example.
Surface free energy γSIs the dispersion component γ of the surface tensionS dWhen
Polar component γ of surface tensionS pAnd γS= ΓS d+ ΓS pIn table
Is done. That is, the surface free energy was assumed to be a liquid
Sometimes it is expressed by the surface tension that tries to contract by itself
is there.

【0045】ここで、ある2液の表面自由エネルギーを
γ1及びγ2、その表面張力の極性成分をγ1 d及びγ2 d
表面張力の極性成分をγ1 p及びγ2 p、表面自由エネルギ
ーを求めたい表面における前記2液の接触角をθ1及び
θ2とすると、下記式が成り立つ。
Here, the surface free energy of a certain two liquids is γ 1 and γ 2 , and the polar components of the surface tension are γ 1 d and γ 2 d ,
Assuming that the polar components of the surface tension are γ 1 p and γ 2 p and the contact angles of the two liquids on the surface for which the surface free energy is to be determined are θ 1 and θ 2 , the following equation is established.

【0046】[0046]

【数1】 (Equation 1)

【0047】従って、表面自由エネルギー(極性成分及
び分散成分)が判っている2液を、表面自由エネルギー
を測定したい表面(被測定表面)に載せ、それぞれの接
触角θ1及びθ2を測定すれば、前記式を用いて被測定表
面の表面張力の分散成分γS dと表面張力の極性成分γS p
を求めることができるので、その和から被測定表面の表
面自由エネルギーγSを求めることができる。例えば、
水の表面自由エネルギーは、表面張力の分散成分
(γd)が21.8dyne/cm、表面張力の極性成
分(γp)が51.0dyne/cmであり、ヨウ化メ
チレンの表面自由エネルギーは、表面張力の分散成分
(γd)が48.5dyne/cm、表面張力の極性成
分(γp)が2.3dyne/cmであるので、この2
液を用いて表面自由エネルギーを求めればよい。
Therefore, the two liquids whose surface free energies (polar component and dispersion component) are known are placed on the surface (surface to be measured) whose surface free energy is to be measured, and the respective contact angles θ 1 and θ 2 are measured. For example, using the above equation, the dispersion component γ S d of the surface tension of the surface to be measured and the polarity component γ S p of the surface tension are measured.
Can be obtained, and the surface free energy γ S of the surface to be measured can be obtained from the sum. For example,
The surface free energy of water has a dispersion component (γ d ) of surface tension of 21.8 dyne / cm and a polar component (γ p ) of surface tension of 51.0 dyne / cm, and the surface free energy of methylene iodide is The dispersion component (γ d ) of the surface tension is 48.5 dyne / cm, and the polarity component (γ p ) of the surface tension is 2.3 dyne / cm.
The surface free energy may be determined using a liquid.

【0048】また、表面自由エネルギーは、その表面に
おける温度上昇に伴い変化することもあるが、例えば常
温(25℃)での表面自由エネルギーを測定した場合、
該測定値が前述の表面自由エネルギー(極性成分及び/
又は分散成分)の範囲にあれば、ラミネート時(例え
ば、基板表面温度80℃(加熱温度130℃等))の気
泡混入を回避することができる。尚、ガラスは、加熱に
より多少表面自由エネルギーが上昇するため、ラミネー
トの瞬間の表面自由エネルギーが前記範囲に入っている
ことが必要である。
The surface free energy may change with the temperature rise on the surface. For example, when the surface free energy at room temperature (25 ° C.) is measured,
The measured value is the surface free energy (polar component and / or
Or a dispersion component), it is possible to avoid air bubbles during lamination (for example, at a substrate surface temperature of 80 ° C (heating temperature of 130 ° C or the like)). Since the surface free energy of glass is slightly increased by heating, it is necessary that the surface free energy at the moment of lamination falls within the above range.

【0049】以上のように、ラミネート(転写)時にお
ける被転写面(転写される側の基板面)の表面自由エネ
ルギーを、ラミネートの際に加熱され溶融状態にある感
光性樹脂層の基板面に対する濡れ性が向上するようにコ
ントロールすることによって、密着転写の際に生じやす
い気泡(泡)の混入を効果的に回避することができる。
即ち、例えば、低コスト化の目的でラミネート速度を高
速化した場合や、既に凹凸状となっている表面に転写す
る場合であっても、気泡(泡)の混入が抑制され、気泡
の存在で転写不良となり生ずる欠陥がなく、高精度の樹
脂積層体を低コストに、しかも安定にラミネート形成す
ることができる。
As described above, the surface free energy of the surface to be transferred (the substrate surface on the side to be transferred) at the time of lamination (transfer) is changed with respect to the substrate surface of the photosensitive resin layer which is heated and melted during lamination. By controlling the wettability to be improved, it is possible to effectively avoid the incorporation of air bubbles (bubbles) which are likely to occur during the close transfer.
That is, for example, even when the laminating speed is increased for the purpose of cost reduction, or when the image is transferred to an already uneven surface, mixing of bubbles (bubbles) is suppressed, and It is possible to stably form a high-precision resin laminate at low cost without defects that may cause transfer failure.

【0050】本発明において、基本的な製造方法は以下
の通りである。本発明に係る樹脂積層体の製造方法は、
基本的には、後述する感光性樹脂材料から保護フィルム
を除去した後、感光性樹脂材料の感光性樹脂層を基板の
表面に重ね合わせてラミネートし、ラミネート後の感光
性樹脂材料の支持体を剥離して基板上に前記感光性樹脂
層を転写する工程(以下、「転写工程」ということがあ
る。)を含んで構成され、必要に応じて、転写に際して
前記感光性樹脂材料を予備加熱する予備加熱工程、硬化
させるための熱処理工程等の他の工程を含んでいてもよ
く、最終的には、転写後の基板上に少なくとも感光性樹
脂層を有してなる積層体に対して、更に露光工程、現像
工程等を経ることによりパターン化された樹脂積層体
(例えばカラーフィルタ、スペーサ等)を製造すること
ができる。
In the present invention, the basic manufacturing method is as follows. The method for producing a resin laminate according to the present invention,
Basically, after removing the protective film from the photosensitive resin material described later, the photosensitive resin layer of the photosensitive resin material is overlaid on the surface of the substrate and laminated, and the support of the laminated photosensitive resin material is laminated. A step of transferring the photosensitive resin layer onto a substrate by peeling (hereinafter, also referred to as a “transfer step”), and preheating the photosensitive resin material at the time of transfer, if necessary. The preheating step may include other steps such as a heat treatment step for curing, and finally, the laminated body having at least the photosensitive resin layer on the transferred substrate, A patterned resin laminate (for example, a color filter, a spacer, etc.) can be manufactured through an exposure step, a development step, and the like.

【0051】[転写工程]前記転写工程においては、保
護フィルムが剥離除去された感光性樹脂材料の感光性樹
脂層の表面を転写しようとする基板の表面と対向配置
し、該基板の表面と感光性樹脂層とを接触させて重ね合
わせ、該重ね合わせた状態でラミネーションローラを通
して加圧加熱下で貼り合わせる(ラミネート)。このラ
ミネート前に、前処理として、感光性樹脂材料を予備加
熱する工程を設けておいてもよい。貼り合わせた後、得
られた積層体から支持体を剥離する。
[Transfer Step] In the transfer step, the surface of the photosensitive resin layer of the photosensitive resin material from which the protective film has been peeled off is disposed so as to face the surface of the substrate to be transferred, and the surface of the substrate is exposed to light. The laminate is brought into contact with the conductive resin layer and laminated, and the laminated state is pasted through a lamination roller under pressure and heat (lamination). Before the lamination, a step of preheating the photosensitive resin material may be provided as a pretreatment. After bonding, the support is peeled from the obtained laminate.

【0052】前記貼り合わせには、従来公知のラミネー
ト装置や真空ラミネート装置等を使用することができ
る。また、より生産性を高めるには、オートカットラミ
ネータ装置も好適である。前記貼り合わせ時の加熱温度
としては、感光性樹脂層を十分に軟化させることが必要
であり、基板表面の温度として25〜150℃が好まし
く、50〜140℃がより好ましく、該温度範囲でラミ
ネートした時の基板面(被転写面)の表面自由エネルギ
ー(極性成分及び/又は分散成分)が既述の範囲となる
ことが好ましい。前記ラミネートロールの温度、即ち前
記基板面の表面温度の範囲における、基板の表面自由エ
ネルギー(極性成分及び/又は分散成分)を既述の範囲
とすることにより、溶融した感光性樹脂層を基板の表面
に気泡(泡)を巻き込むこなく高速かつ均一にラミネー
ト、転写することができる。
For the lamination, a conventionally known laminating apparatus or vacuum laminating apparatus can be used. In order to further increase the productivity, an automatic cut laminator device is also suitable. As the heating temperature at the time of bonding, it is necessary to sufficiently soften the photosensitive resin layer, and the temperature of the substrate surface is preferably 25 to 150 ° C., more preferably 50 to 140 ° C., and the lamination is performed in this temperature range. It is preferable that the surface free energy (polar component and / or dispersion component) of the substrate surface (transferred surface) at this time be in the range described above. By setting the surface free energy (polar component and / or dispersion component) of the substrate in the range of the temperature of the laminating roll, that is, the surface temperature of the substrate surface as described above, the molten photosensitive resin layer Laminate and transfer can be performed at high speed and uniformly without involving air bubbles (bubbles) on the surface.

【0053】[露光工程]前記露光工程においては、基
板上の感光性樹脂層に所定のフォトマスク、及び場合に
より更に熱可塑性樹脂層、酸素遮断層を介して光照射す
る。感光性樹脂層にパターン状に光照射されると、感光
性樹脂層の露光部が硬化する。
[Exposure Step] In the exposure step, the photosensitive resin layer on the substrate is irradiated with light through a predetermined photomask and, if necessary, a thermoplastic resin layer and an oxygen barrier layer. When the photosensitive resin layer is irradiated with light in a pattern, the exposed portions of the photosensitive resin layer are cured.

【0054】前記光照射に使用可能な光源は、感光性樹
脂層の光感応性に応じて適宜選択されるが、例えば、超
高圧水銀灯、キセノン灯、カーボンアーク灯、アルゴン
レーザ等の公知の光源が挙げられる。特開平6−591
19号公報に記載のように、400nm以上の波長の光
透過率が2%以下である光学フィルター等を併用しても
よい。
The light source that can be used for the light irradiation is appropriately selected according to the photosensitivity of the photosensitive resin layer. For example, a known light source such as an ultrahigh pressure mercury lamp, a xenon lamp, a carbon arc lamp, and an argon laser is used. Is mentioned. JP-A-6-591
As described in JP-A No. 19, an optical filter having a light transmittance of 2% or less at a wavelength of 400 nm or more may be used in combination.

【0055】尚、カラーフィルタの作製において、複数
色の着色層を転写形成する場合には、二色目以降の感光
性樹脂材料のラミネート(転写)時において隣接する画
素間の間隙に空気が残留するのを防止する目的で、フォ
トマスクとして画素パターン部分の矩形の開口部が面取
りされたものを用いてもよい。面取りの位置および形状
については、特願平9−044644号に記載されてい
る。
When a plurality of colored layers are formed by transfer in the production of a color filter, air remains in the gap between adjacent pixels when laminating (transferring) photosensitive resin materials of the second color and thereafter. In order to prevent this, a photomask in which a rectangular opening in a pixel pattern portion is chamfered may be used. The position and shape of the chamfer are described in Japanese Patent Application No. 9-044644.

【0056】感光性樹脂材料が熱可塑性樹脂層を有して
なる場合は、該熱可塑性樹脂層は、前記支持体の剥離の
際に一緒に剥離されてもよいし、支持体の剥離とは別に
露光後に剥離してもよい。
When the photosensitive resin material has a thermoplastic resin layer, the thermoplastic resin layer may be peeled off together with the support, or may be peeled off when the support is peeled off. Separately, it may be peeled off after exposure.

【0057】[現像工程]前記現像工程においては、基
板上の露光後の感光性樹脂層を現像液を用いて現像処理
する。該処理により、感光性樹脂層の非露光部(未硬化
部分)、及び感光性樹脂材料が熱可塑性樹脂層及び酸素
遮断層を有してなる場合は、該熱可塑性樹脂層及び酸素
遮断層が除去され、パターン状の樹脂積層体(カラーフ
ィルタの場合は、多数の微小の着色層(着色画素))を
形成することができる。
[Developing Step] In the developing step, the exposed photosensitive resin layer on the substrate is developed using a developing solution. By the treatment, the non-exposed portion (uncured portion) of the photosensitive resin layer, and when the photosensitive resin material has a thermoplastic resin layer and an oxygen barrier layer, the thermoplastic resin layer and the oxygen barrier layer The removed resin laminate (in the case of a color filter, a large number of minute colored layers (colored pixels)) can be formed.

【0058】前記現像液としては、アルカリ性物質の希
薄水溶液が好適であり、更に水と混和性の有機溶剤を少
量添加したものを用いてもよい。前記アルカリ性物質と
しては、例えば、アルカリ金属水酸化物類(例えば、水
酸化ナトリウム、水酸化カリウム等)、アルカリ金属炭
酸塩類(例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等)、
アルカリ金属重炭酸塩類(例えば、炭酸水素ナトリウ
ム、炭酸水素カリウム等)、アルカリ金属ケイ酸塩類
(例えば、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム等)、ア
ルカリ金属メタケイ酸塩類(例えば、メタケイ酸ナトリ
ウム、メタケイ酸カリウム等)、トリエタノールアミ
ン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モル
ホリン、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド類
(例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド
等)、燐酸三ナトリウム等が挙げられる。前記アルカリ
性物質の濃度としては、0.01〜30質量%が好適で
あり、pHとしては、8〜14が好適である。
As the developing solution, a dilute aqueous solution of an alkaline substance is preferable, and a developing solution to which a small amount of an organic solvent miscible with water may be added may be used. Examples of the alkaline substance include alkali metal hydroxides (eg, sodium hydroxide, potassium hydroxide, etc.), alkali metal carbonates (eg, sodium carbonate, potassium carbonate, etc.),
Alkali metal bicarbonates (eg, sodium bicarbonate, potassium bicarbonate, etc.), alkali metal silicates (eg, sodium silicate, potassium silicate, etc.), alkali metal metasilicates (eg, sodium metasilicate, metasilicate) Potassium), triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, morpholine, tetraalkylammonium hydroxides (eg, tetramethylammonium hydroxide, etc.), and trisodium phosphate. The concentration of the alkaline substance is preferably from 0.01 to 30% by mass, and the pH is preferably from 8 to 14.

【0059】後述の遮光性の感光性黒色樹脂層以外を除
く、RGB等の感光性樹脂層の場合には、例えばpHの
比較的低い現像液を用いることにより、膜状脱離による
現像を好適に行うことができる。
In the case of a photosensitive resin layer of RGB or the like, excluding a light-shielding photosensitive black resin layer to be described later, for example, by using a developer having a relatively low pH, development by film detachment is preferable. Can be done.

【0060】水と混和性の有機溶剤としては、例えば、
メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロ
パノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレ
ングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコール
モノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブ
チルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチル
エチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクト
ン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメ
チルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸
エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチル
ピロリドン等が挙げられる。水と混和性の有機溶剤の濃
度としては、0.1〜30質量%が一般的である。ま
た、前記現像液には、更に公知の界面活性剤を添加して
もよく、該界面活性剤の濃度としては、0.01〜10
質量%が好ましい。
As the organic solvent miscible with water, for example,
Methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, benzyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, N-methylpyrrolidone and the like. The concentration of the organic solvent miscible with water is generally 0.1 to 30% by mass. Further, a known surfactant may be further added to the developer, and the concentration of the surfactant may be 0.01 to 10%.
% By mass is preferred.

【0061】前記現像液は、浴液として用いても、噴霧
液としても用いてもよい。また、感光性樹脂層の未硬化
部分を固形状(好ましくは膜状)に除去するには、現像
液中で回転ブラシで擦る、又は湿潤スポンジで擦る等の
方法、あるいは現像液を噴霧した際の噴霧圧を利用する
方法が好ましい。現像液の温度としては、通常室温付近
から40℃の範囲が好ましい。現像処理の後に水洗工程
を加えてもよい。
The developer may be used as a bath liquid or a spray liquid. In order to remove the uncured portion of the photosensitive resin layer in a solid form (preferably in a film form), a method such as rubbing with a rotating brush or a wet sponge in a developer or spraying the developer is used. The method using the spray pressure of the above is preferable. The temperature of the developer is usually preferably in the range of around room temperature to 40 ° C. A water washing step may be added after the development processing.

【0062】[他の工程]現像工程の後、形成されたパ
ターン状の樹脂積層体(カラーフィルタの場合、着色層
(着色画素))の硬化を十分に行い、耐薬品性を高める
目的で、更に加熱処理を施すことが好ましい。前記加熱
処理としては、パターン状の樹脂積層体を有する基板を
電気炉、乾燥器等の中で加熱するか、あるいは該パター
ン状の樹脂積層体に赤外線ランプを照射して加熱する、
等により行うことができる。この場合の加熱する温度、
時間としては、感光性樹脂層の組成や樹脂積層体の厚み
により左右されるが、一般に十分な耐溶剤性、耐アルカ
リ性を確保するためには、約120〜250℃の温度、
約10〜300分間が好適である。
[Other Steps] After the development step, the formed patterned resin laminate (colored layer (colored pixel) in the case of a color filter) is sufficiently cured to improve chemical resistance. Further, a heat treatment is preferably performed. As the heat treatment, a substrate having a patterned resin laminate is heated in an electric furnace, a drier, or the like, or heated by irradiating an infrared lamp to the patterned resin laminate,
And the like. Heating temperature in this case,
The time depends on the composition of the photosensitive resin layer and the thickness of the resin laminate, but in general, in order to secure sufficient solvent resistance and alkali resistance, a temperature of about 120 to 250 ° C.
About 10 to 300 minutes are preferred.

【0063】以上のようにして、樹脂積層体(カラーフ
ィルタの場合、1色の着色層(着色画素パターン))を
有する基板が得られる。カラーフィルタにおいては、該
基板に対して、更に他の色相の感光性樹脂層を有する感
光性樹脂材料を用い、上述の各工程を必要な色数だけ繰
り返すことにより、多色のカラーフィルタを得ることが
できる。
As described above, a substrate having a resin laminate (in the case of a color filter, a colored layer (colored pixel pattern) of one color) is obtained. In the color filter, a multicolor color filter is obtained by repeating the above-described steps by a necessary number of colors using a photosensitive resin material having a photosensitive resin layer of another hue on the substrate. be able to.

【0064】尚、カラーフィルタは、一色のみ(全て同
じ色)より構成されるものであってもよいし、二色以上
から構成されるものであってもよい。また、例えば赤、
緑、青の三色の画素を配置する場合に、ストライプ型、
モザイク型、トライアングル型、四画素配置型等のいず
れの配置としてもよい。更に、黒色の感光性樹脂層(感
光性黒色樹脂層)を有する、黒色層形成用の感光性樹脂
材料(ブラックマトリックス形成用感光性樹脂材料)を
用いて、上述と同様にして、既にRGB等の着色層(着
色画素)が形成された基板の該着色画素を有する側の表
面に、ブラックマトリックス形成用感光性樹脂材料の感
光性黒色樹脂層を転写し、続いて、基板の着色画素を有
しない側の表面から露光(背面露光)し、現像、加熱処
理することにより、各画素間の隙間を埋めるように黒色
樹脂層、即ちブラックマトリックス(遮光性画像)を形
成することもできる。これにより、ブラックマトリック
ス付きカラーフィルタが得られる。
The color filter may be composed of only one color (all the same color), or may be composed of two or more colors. Also, for example, red,
When arranging three color pixels of green and blue, stripe type,
Any arrangement of a mosaic type, a triangle type, a four-pixel arrangement type, or the like may be used. Further, using a photosensitive resin material for forming a black layer (a photosensitive resin material for forming a black matrix) having a black photosensitive resin layer (a photosensitive black resin layer), in the same manner as described above, RGB or the like is already used. The photosensitive black resin layer of the photosensitive resin material for forming a black matrix is transferred to the surface of the substrate on which the colored layer (colored pixel) is formed on the side having the colored pixel. A black resin layer, that is, a black matrix (light-shielding image) can be formed so as to fill gaps between pixels by performing exposure (backside exposure), development, and heat treatment from the surface on the non-use side. Thereby, a color filter with a black matrix is obtained.

【0065】前記背面露光は、一般に紫外線(UV)の
照射により行えるが、感光性黒色樹脂層の光感応性に応
じて光の種類は適宜選択される。また、形成されるブラ
ックマトリクスの厚みとしては、0.5〜3μmが好ま
しく、ブラックマトリクスが突起状に形成されず、形成
されたカラーフィルタの表面が良好な平坦性を示すため
には、転写される感光性黒色樹脂層(ブラックマトリク
ス)は、着色層(着色画素)と同じ厚みか、若しくはそ
れ以下であることが望ましい。
The back exposure can be generally performed by irradiation of ultraviolet rays (UV), but the type of light is appropriately selected according to the photosensitivity of the photosensitive black resin layer. In addition, the thickness of the black matrix to be formed is preferably 0.5 to 3 μm. In order that the black matrix is not formed in the shape of a protrusion and the surface of the formed color filter exhibits good flatness, the transfer is performed. The photosensitive black resin layer (black matrix) is preferably the same thickness as or less than the thickness of the colored layer (colored pixel).

【0066】他の工程として、感光性樹脂材料を転写前
に予め予備加熱する工程を設けてもよい。予め加熱して
おくことによって、感光性樹脂層の表面の凹凸を消失で
き、感光性樹脂層の表面をフラットにした状態で転写す
ることができるので、ラミネートの高速化時に生じやす
い気泡(泡)の混入をより効果的に抑制することができ
る。また、経時変化の生じた感光性樹脂材料を用いた場
合の気泡混入も回避でき、より安定的に高速でラミネー
トできる。但し、予備加熱は、保護フィルムが収縮し感
光性樹脂材料のシワの原因となり、表面の凹凸を増大さ
せない観点から、保護フィルムの除去後に行うことが好
適である。感光性樹脂材料を予備加熱する際の加熱温度
としては、40〜150℃が好ましく、50〜120℃
がより好ましい。
As another step, a step of preheating the photosensitive resin material before transfer may be provided. By heating in advance, irregularities on the surface of the photosensitive resin layer can be eliminated, and the image can be transferred while the surface of the photosensitive resin layer is flat, so that bubbles (bubbles) that are likely to be generated at the time of high-speed lamination Can be more effectively suppressed. In addition, when a photosensitive resin material that has undergone a temporal change is used, air bubbles can be prevented from being mixed, and lamination can be performed more stably at high speed. However, the preheating is preferably performed after the removal of the protective film, from the viewpoint that the protective film shrinks and causes wrinkles of the photosensitive resin material and does not increase surface irregularities. The heating temperature at the time of preheating the photosensitive resin material is preferably 40 to 150 ° C, and 50 to 120 ° C.
Is more preferred.

【0067】<感光性樹脂材料>次に、前記本発明の樹
脂積層体の製造方法に用いる感光性樹脂材料について詳
述する。該感光性樹脂材料は、フィルム状の感光性樹脂
材料が好ましいが、これに限定されるものではなく、例
えば、カラーフィルタ等の製造に使用可能な、長尺状の
感光性樹脂着色シートや、ブラックマトリックス形成用
の感光性黒色シート等が挙げられる。
<Photosensitive resin material> Next, the photosensitive resin material used in the method for producing a resin laminate of the present invention will be described in detail. The photosensitive resin material is preferably a film-shaped photosensitive resin material, but is not limited thereto.For example, a long photosensitive resin colored sheet that can be used for manufacturing a color filter, And a photosensitive black sheet for forming a black matrix.

【0068】前記感光性樹脂材料は、支持体上に少なく
とも感光性樹脂層と保護フィルムとをこの順に有してな
り、必要に応じて、熱可塑性樹脂層、酸素遮断層等の他
の層を有していてもよい。
The photosensitive resin material has at least a photosensitive resin layer and a protective film in this order on a support. If necessary, other layers such as a thermoplastic resin layer and an oxygen barrier layer may be used. You may have.

【0069】(支持体)前記支持体としては、可撓性を
備え、感光性樹脂層や熱可塑性樹脂層等に対して良好な
剥性を有し、化学的及び熱的に安定である材料が好まし
い。具体的には、テフロン(登録商標)、ポリエチレン
テレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポ
リプロピレン等のフィルム又はこれらの積層物が好まし
い。感光性樹脂層や熱可塑性樹脂層等からの良好な剥離
性を有するためには、グロー放電等の表面処理はせず、
またゼラチン等の下塗り層も設けないのが一般的であ
る。支持体の厚みとしては、5〜300μmが適当であ
り、特に20〜150μmが好ましい。
(Support) The support is made of a material which is flexible, has good peelability with respect to a photosensitive resin layer or a thermoplastic resin layer, and is chemically and thermally stable. Is preferred. Specifically, a film of Teflon (registered trademark), polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene or the like or a laminate thereof is preferable. To have good releasability from the photosensitive resin layer or thermoplastic resin layer, etc., without surface treatment such as glow discharge,
In general, no undercoat layer such as gelatin is provided. The thickness of the support is suitably from 5 to 300 μm, particularly preferably from 20 to 150 μm.

【0070】(感光性樹脂層)前記感光性樹脂層は、感
光性樹脂組成物と着色剤とを含んでなる層であり、15
0℃以上の温度で軟化若しくは粘着性を示し、熱可塑性
であることが好ましい。公知の光重合性組成物からなる
層の大部分はこの性質を有する。該層は、熱可塑性樹脂
の添加や、相溶性の可塑剤の添加によって更に改質が可
能である。前記感光性樹脂層の層厚としては、0.5〜
3μmが好ましく、通常は約2μmである。
(Photosensitive Resin Layer) The photosensitive resin layer is a layer containing a photosensitive resin composition and a coloring agent.
It shows softening or tackiness at a temperature of 0 ° C. or higher, and is preferably thermoplastic. Most layers of known photopolymerizable compositions have this property. The layer can be further modified by adding a thermoplastic resin or a compatible plasticizer. The layer thickness of the photosensitive resin layer is 0.5 to
3 μm is preferred, usually about 2 μm.

【0071】また、感光性樹脂層を基板の表面に対する
濡れ性を向上し、ラミネートして転写する際の気泡
(泡)の発生をより効果的に防止する観点から、感光性
樹脂層の表面のラミネート(転写)時における表面自由
エネルギーを50dyne/cm以下とすることが好ま
しい。これにより、既述の基板の表面に近い表面自由エ
ネルギーとでき、例えば図1−(A)に示すように、ラミ
ネート時の加熱により溶融した感光性樹脂層2を基板1
の表面により均一にラミネートすることができる。前記
表面自由エネルギーは、既述の測定例により測定し求め
られる。ここで、ラミネート(転写)時における表面自
由エネルギーとは、ラミネート時の加熱温度、即ち転写
される側の基板面の表面温度が40〜150℃にある時
の表面自由エネルギーをいう。
Further, from the viewpoint of improving the wettability of the photosensitive resin layer on the surface of the substrate and more effectively preventing the generation of bubbles when laminating and transferring, the surface of the photosensitive resin layer is The surface free energy at the time of lamination (transfer) is preferably set to 50 dyne / cm or less. As a result, the surface free energy close to the surface of the substrate described above can be obtained. For example, as shown in FIG.
Can be more uniformly laminated. The surface free energy is measured and obtained by the above-described measurement example. Here, the surface free energy at the time of lamination (transfer) means the heating temperature at the time of lamination, that is, the surface free energy when the surface temperature of the substrate surface to be transferred is 40 to 150 ° C.

【0072】感光性樹脂層の基板と接触する表面の表面
自由エネルギーを上記範囲に下げる(コントロールす
る)方法としては、感光性樹脂層の表面を、常温の空気
中等の通常の雰囲気で加熱することにより酸化し、表面
にCO基を導入する方法が挙げられる。
As a method of lowering (controlling) the surface free energy of the surface of the photosensitive resin layer which comes into contact with the substrate, the surface of the photosensitive resin layer is heated in a normal atmosphere such as air at normal temperature. To introduce a CO group on the surface.

【0073】前記感光性樹脂組成物としては、例えば、
特開平3−282404号公報に記載のものを全て使用
することができる。その例として、ネガ型ジアゾ樹脂と
バインダーからなる感光性樹脂組成物、光重合成組成
物、アジド化合物とバインダーからなる感光性樹脂組成
物、桂皮酸型感光性樹脂組成物等を挙げることができ、
具体的には、アルカリ可溶性バインダーポリマー、光の
照射により付加重合するエチレン性不飽和二重結合を有
するモノマー、光重合開始剤及び着色剤を含む感光性樹
脂組成物からなる層が好適である。また、熱重合防止剤
等の他の成分を含んでいてもよい。
As the photosensitive resin composition, for example,
All those described in JP-A-3-282404 can be used. Examples thereof include a photosensitive resin composition comprising a negative-type diazo resin and a binder, a photopolymer composition, a photosensitive resin composition comprising an azide compound and a binder, and a cinnamic acid-type photosensitive resin composition. ,
Specifically, a layer composed of a photosensitive resin composition containing an alkali-soluble binder polymer, a monomer having an ethylenically unsaturated double bond that undergoes addition polymerization upon irradiation with light, a photopolymerization initiator, and a colorant is suitable. Further, other components such as a thermal polymerization inhibitor may be contained.

【0074】前記アルカリ可溶性バインダーポリマーと
しては、例えば、側鎖にカルボン酸基を有するポリマ
ー、側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体、水
酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したもの等
が挙げられる。
Examples of the alkali-soluble binder polymer include a polymer having a carboxylic acid group in a side chain, a cellulose derivative having a carboxylic acid group in a side chain, and a polymer having a hydroxyl group added with a cyclic acid anhydride. Can be

【0075】前記側鎖にカルボン酸基を有するポリマー
としては、例えば、特開昭59−44615号公報、特
公昭54−34327号公報、特公昭58−12577
号公報、特公昭54−25957号公報、特開昭59−
53836号公報、特開昭59−71048号公報に記
載のメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタ
コン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重
合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等が挙げられ
る。
Examples of the polymer having a carboxylic acid group in the side chain include, for example, JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, and JP-B-58-12577.
JP, JP-B-54-25957 and JP-A-59-5957.
No. 53836, JP-A-59-71048, methacrylic acid copolymer, acrylic acid copolymer, itaconic acid copolymer, crotonic acid copolymer, maleic acid copolymer, partially esterified maleic acid And copolymers.

【0076】前記水酸基を有するポリマーに環状酸無水
物を付加したものとしては、特に、米国特許第4139
391号明細書に記載の、ベンジル(メタ)アクリレー
トと(メタ)アクリル酸の共重合体やベンジル(メタ)
アクリレートと(メタ)アクリル酸と他のモノマーとの
多元共重合体等を挙げることができる。
Examples of the above-mentioned polymer having a hydroxyl group to which a cyclic acid anhydride is added include, in particular, US Pat.
No. 391, a copolymer of benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid or benzyl (meth)
A multicomponent copolymer of acrylate, (meth) acrylic acid and another monomer can be exemplified.

【0077】前記アルカリ可溶性バインダーポリマーの
中でも、50〜300mgKOH/gの範囲の酸価と1
000〜300000の範囲の質量平均分子量を有する
ものを選択して使用することが好ましい。
Among the alkali-soluble binder polymers, an acid value in the range of 50 to 300 mg KOH / g and 1
It is preferable to select and use those having a mass average molecular weight in the range of 000 to 300,000.

【0078】また、例えば硬化膜の強度等の種々の性能
を改良する目的で、現像性等に悪影響を与えない範囲
で、アルカリ不溶性のポリマーを添加することもでき
る。該ポリマーとしては、アルコール可溶性ナイロン、
エポキシ樹脂等が挙げられる。
For the purpose of improving various properties such as the strength of the cured film, for example, an alkali-insoluble polymer can be added as long as it does not adversely affect the developability and the like. As the polymer, alcohol-soluble nylon,
Epoxy resins and the like can be mentioned.

【0079】前記アルカリ可溶性バインダーポリマーの
含有量としては、感光性樹脂層の全固形分(質量)の1
0〜95質量%が好ましく、20〜90質量%がより好
ましい。前記含有量が、10質量%未満であると、感光
性樹脂層の粘着性が高すぎることがあり、95質量%を
超えると、光感度、及び形成される着色層(着色画像)
やブラックマトリクスの強度の点で劣ることがある。
The content of the alkali-soluble binder polymer is 1% of the total solid content (mass) of the photosensitive resin layer.
0-95 mass% is preferred, and 20-90 mass% is more preferred. When the content is less than 10% by mass, the tackiness of the photosensitive resin layer may be too high, and when the content is more than 95% by mass, the photosensitivity and the colored layer (colored image) to be formed.
And the strength of the black matrix may be inferior.

【0080】前記光の照射により付加重合するエチレン
性不飽和二重結合を有するモノマー(以下、「重合性モ
ノマー」ということがある。)としては、分子中に少な
くとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有
し、沸点が常圧で100以上の化合物が挙げられる。例
えば、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレー
ト、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレー
ト及びフェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの単
官能アクリレートや単官能メタクリレート;ポリエチレ
ングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレン
グリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエ
タントリアクリレート、トリメチロールプロパントリア
クリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、
ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペン
タエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタ
エリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエ
リスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエ
リスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジ
オールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパ
ントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ
(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ
(アクリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリ
ントリ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパン
やグリセリン等の多官能アルコールにエチレンオキシド
にプロピレンオキシドを付加した後(メタ)アクリレー
ト化したもの等の多官能アクリレートや多官能メタクリ
レート等である。
The monomer having an ethylenically unsaturated double bond which is addition-polymerized by irradiation with light (hereinafter, may be referred to as “polymerizable monomer”) includes at least one polymerizable ethylene in the molecule. Compounds having an unsaturated group and having a boiling point of 100 or more at normal pressure. For example, monofunctional acrylates and monofunctional methacrylates such as polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate and phenoxyethyl (meth) acrylate; polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, Trimethylolethane triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane diacrylate,
Neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate , Trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, glycerin tri (meth) acrylate; Examples include polyfunctional acrylates and polyfunctional methacrylates such as those obtained by adding an oxide and then (meth) acrylated.

【0081】更に、特公昭48−41708号公報、特
公昭50−6034号公報、特開昭51−37193号
公報に記載のウレタンアクリレート類;特開昭48−6
4183号公報、特公昭49−43191号公報、特公
昭52−30490号公報に記載のポリエステルアクリ
レート類;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応生
成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレ
ートやメタクリレート等も挙げられる。
Further, urethane acrylates described in JP-B-48-41708, JP-B-50-6034 and JP-A-51-37193;
No. 4183, JP-B-49-43191 and JP-B-52-30490; polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates which are reaction products of an epoxy resin and (meth) acrylic acid. And the like.

【0082】中でも、トリメチロールプロパントリ(メ
タ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メ
タ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メ
タ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メ
タ)アクリレートが好ましい。
Among them, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and dipentaerythritol penta (meth) acrylate are preferred.

【0083】前記重合性モノマーは、一種単独で用いて
もよいし、二種類以上を混合して用いてもよい。前記光
の照射によって付加重合するエチレン性不飽和二重結合
を有するモノマーの含有量としては、感光性樹脂層の全
固形分(質量)の5〜50質量%が一般的であり、中で
も10〜40質量%が好ましい。該含有量が、5質量%
未満であると、光感度や、着色層(着色画像)やブラッ
クマトリクスの強度が低下することがあり、50質量%
を超えると、感光性樹脂層の粘着性が過剰になり好まし
くない場合がある。
The polymerizable monomers may be used alone or as a mixture of two or more. The content of the monomer having an ethylenically unsaturated double bond that undergoes addition polymerization upon irradiation with the light is generally 5 to 50% by mass of the total solid content (mass) of the photosensitive resin layer, and is particularly preferably 10 to 50% by mass. 40% by mass is preferred. The content is 5% by mass.
If it is less than 50%, the photosensitivity and the strength of the colored layer (colored image) or the black matrix may be reduced, and the content may be reduced to 50% by mass.
If the ratio exceeds the above range, the adhesiveness of the photosensitive resin layer becomes excessive, which is not preferable.

【0084】前記光重合開始剤としては、例えば、米国
特許第2367660号明細書に記載のビシナルポリケ
タルドニル化合物、米国特許第2448828号明細書
に記載のアシロインエーテル化合物、米国特許第272
2512号明細書に記載の、α−炭化水素で置換された
芳香族アシロイン化合物、米国特許第3046127号
明細書及び同第2951758号明細書に記載の多核キ
ノン化合物、米国特許第3549367号明細書に記載
のトリアリールイミダゾール二量体とp−アミノケトン
の組合せ、特公昭51−48516号公報に記載のベン
ゾチアゾール化合物とトリハロメチル−s−トリアジン
化合物、米国特許第4239850号明細書に記載され
ているトリハロメチル−s−トリアジン化合物、米国特
許第4212976号明細書に記載のトリハロメチルオ
キサジアゾール化合物等が挙げられる。中でも特に、ト
リハロメチル−s−トリアジン、トリハロメチルオキサ
ジアゾール及びトリアリールイミダゾール二量体が好ま
しい。
Examples of the photopolymerization initiator include a vicinal polyketaldonyl compound described in US Pat. No. 2,367,660, an acyloin ether compound described in US Pat. No. 2,448,828, and US Pat.
No. 2512, an aromatic acyloin compound substituted with an α-hydrocarbon, a polynuclear quinone compound described in U.S. Pat. Nos. 3,046,127 and 2,951,758, and U.S. Pat. No. 3,549,367. Combinations of the described triarylimidazole dimer and p-aminoketone, the benzothiazole compounds and trihalomethyl-s-triazine compounds described in JP-B-51-48516, and the trihalides described in U.S. Pat. No. 4,239,850. Examples include a methyl-s-triazine compound and a trihalomethyloxadiazole compound described in U.S. Pat. No. 4,221,976. Among them, trihalomethyl-s-triazine, trihalomethyloxadiazole and triarylimidazole dimer are particularly preferred.

【0085】前記光重合開始剤の含有量としては、感光
性樹脂層の全固形分(質量)の0.5〜20質量%が一
般的であり、1〜15質量%が好ましい。該含有量が、
0.5質量%未満であると、光感度や、着色層(着色画
像)やブラックマトリクスの強度が低くなることがあ
り、また、20質量%を超えて添加しても、それ以上の
性能向上効果は認められない。
The content of the photopolymerization initiator is generally from 0.5 to 20% by mass of the total solid content (mass) of the photosensitive resin layer, preferably from 1 to 15% by mass. The content is
If the amount is less than 0.5% by mass, the photosensitivity and the strength of the colored layer (colored image) or the black matrix may be reduced, and even if it exceeds 20% by mass, the performance is further improved. No effect is observed.

【0086】前記着色剤としては、カラーフィルタの構
成色である赤色、緑色、青色及び黒色の顔料が一般に用
いられ、例えば、カーミン6B(C.I.1249
0)、フタロシアニングリーン(C.I.7426
0)、フタロシアニンブルー(C.I.74160)、
カーボンブラック等を好適に挙げることができる。着色
剤の含有量としては、感光性樹脂層の全固形分(質量)
の1〜30質量%が好ましく、5〜20質量%が特に好
ましい。
As the colorant, red, green, blue and black pigments which are constituent colors of a color filter are generally used. For example, carmine 6B (CI.1249)
0), phthalocyanine green (CI. 7426)
0), phthalocyanine blue (C.I. 74160),
Preferable examples include carbon black. As the content of the colorant, the total solid content (mass) of the photosensitive resin layer
Is preferably 1 to 30% by mass, and particularly preferably 5 to 20% by mass.

【0087】上記成分のほか、更に熱重合防止剤を含む
ことが好ましい。前記熱重合防止剤としては、例えば、
ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブ
チル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテ
コール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチ
ル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレン
ビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−
メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙
げられる。更に、公知の添加剤、例えば、可塑剤、界面
活性剤、溶剤等を添加することもできる。
It is preferable that the composition further contains a thermal polymerization inhibitor in addition to the above components. As the thermal polymerization inhibitor, for example,
Hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-thiobis (3-methyl-6-t-butylphenol), 2,2′-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2-
Mercaptobenzimidazole, phenothiazine and the like. Further, known additives such as a plasticizer, a surfactant, a solvent and the like can be added.

【0088】(保護フィルム)前記保護フィルムは、上
記支持体と同様に可撓性であって、感光性樹脂層と良好
な剥離性を有し、化学的及び熱的に安定である材料が好
ましい。具体的には、ポリプロピレン、テフロン、ポリ
エチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチ
レン等のフィルム又はこれらの積層物が好ましい。前記
保護フィルムの厚みとしては、0.1〜20μmが適当
であり、特に5〜15μmが好ましい。
(Protective Film) The protective film is preferably a material which is flexible like the above-mentioned support, has good releasability from the photosensitive resin layer, and is chemically and thermally stable. . Specifically, a film of polypropylene, Teflon, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene or the like or a laminate thereof is preferable. The thickness of the protective film is suitably from 0.1 to 20 μm, and particularly preferably from 5 to 15 μm.

【0089】(その他)前記感光性樹脂材料には、必要
に応じて、熱可塑性樹脂層、酸素遮断層を設けることが
できる。 −熱可塑性樹脂層− 前記熱可塑性樹脂層は、被転写体である基板上に転写す
る際、基板に存在する凹凸に起因して生じうる転写不良
を防止するクッション材としての機能を発揮し、ラミネ
ート(転写)時の気泡混入を防止する目的で設けられ、
アルカリ可溶性熱可塑性樹脂を主成分に含有してなり、
他の成分を含んでいてもよい。
(Others) The above-mentioned photosensitive resin material may be provided with a thermoplastic resin layer and an oxygen blocking layer, if necessary. -Thermoplastic resin layer- When the thermoplastic resin layer is transferred onto a substrate that is an object to be transferred, it exhibits a function as a cushion material for preventing a transfer failure that may occur due to unevenness existing on the substrate, It is provided for the purpose of preventing air bubbles from entering during lamination (transfer),
Contains alkali-soluble thermoplastic resin as the main component,
Other components may be included.

【0090】前記熱可塑性樹脂層を構成する樹脂として
は、熱可塑性で加熱密着時に前記凹凸に応じて変形しう
る性質を有し、転写後のアルカリ現像、即ちアルカリ性
水溶液に可溶な樹脂が好適である。
The resin constituting the thermoplastic resin layer is preferably a resin which is thermoplastic and has a property of being deformed in accordance with the irregularities when heated and adhered, and is soluble in an alkaline aqueous solution after transfer, that is, an alkaline aqueous solution. It is.

【0091】前記アルカリ可溶性熱可塑性樹脂として
は、アルカリ可溶性であって、実質的な軟化点が80℃
以下の熱可塑性樹脂が挙げられ、例えば、エチレンとア
クリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと(メ
タ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ビニルト
ルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化
物、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリ
ル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステ
ル共重合体などのケン化物等が挙げられる。
The alkali-soluble thermoplastic resin is alkali-soluble and has a substantial softening point of 80 ° C.
The following thermoplastic resins are mentioned, for example, saponified products of ethylene and acrylate copolymer, saponified products of styrene and (meth) acrylate copolymer, vinyl toluene and (meth) acrylate copolymer And poly (meth) acrylates, and saponified products such as (meth) acrylate copolymers such as butyl (meth) acrylate and vinyl acetate.

【0092】また、「プラスチック性能便覧」(日本プ
ラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合
会編著、工業調査会発行、1968年10月25日発
行)に記載の、軟化点が約80℃以下の有機高分子のう
ち、アルカリ水溶液に可溶なものも挙げられる。熱可塑
性樹脂は、一種単独で用いてもよいし、二種以上を併用
してもよい。
Further, organic materials having a softening point of about 80 ° C. or lower described in “Plastic Performance Handbook” (edited by Japan Federation of Plastics Industries, All Japan Plastics Molding Industry Association, published by the Industrial Research Institute, issued on October 25, 1968). Among the polymers, those soluble in an aqueous alkali solution may also be mentioned. The thermoplastic resins may be used alone or in combination of two or more.

【0093】また、軟化点が80℃以上の有機高分子物
質であっても、その有機高分子物質中に該高分子物質と
相溶性の各種可塑剤を添加して実質的な軟化点を80℃
以下に下げて用いることも可能である。前記有機高分子
物質中には、支持体との接着力を調節する目的で、更に
実質的な軟化点が80℃を越えない範囲で各種ポリマー
や、過冷却物質、密着改良剤、界面活性剤、離型剤等を
添加することも可能である。
Further, even if the organic polymer substance has a softening point of 80 ° C. or higher, various plasticizers compatible with the polymer substance are added to the organic polymer substance to increase the substantial softening point to 80 ° C. ° C
It is also possible to use below. In the organic polymer substance, various polymers, a supercooled substance, an adhesion improver, a surfactant, and the like, for the purpose of controlling the adhesive force with the support, are further provided that the substantial softening point does not exceed 80 ° C. It is also possible to add a release agent or the like.

【0094】前記可塑剤としては、例えば、ポリプロピ
レングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチル
フタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレー
ト、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニル
フォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェート
等が好適に挙げられる。
The plasticizer preferably includes, for example, polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, biphenyl diphenyl phosphate, and the like.

【0095】前記熱可塑性樹脂層の層厚としては、6μ
m以上が好ましい。該層厚が5μm未満であると、基板
上に存在する1μm以上の凹凸を完全に吸収することが
困難なことがある。また、上限としては、現像性、製造
適性の点で、約100μm以下が一般的であり、約50
μm以下が好ましい。
The thickness of the thermoplastic resin layer is 6 μm.
m or more is preferable. If the thickness is less than 5 μm, it may be difficult to completely absorb irregularities of 1 μm or more existing on the substrate. The upper limit is generally about 100 μm or less in view of developability and manufacturing suitability, and is about 50 μm or less.
μm or less is preferred.

【0096】−酸素遮断層− 前記酸素遮断層は、像様にパターン露光する際感光性樹
脂層中での光硬化反応を阻害する空気中からの酸素の拡
散を防止(露光時の酸素遮断)する目的と、例えばRG
Bに対応する3層を積層する場合に、アルカリ可溶性熱
可塑性樹脂層と感光性熱硬化性樹脂層との間の混じり合
いを防止する目的で設けられる。酸素遮断層は、水又は
アルカリ水溶液に分散若しくは溶解し、酸素透過性の低
いものであればよく、公知のものを適用することができ
る。
-Oxygen Blocking Layer- The oxygen blocking layer prevents diffusion of oxygen from the air which inhibits a photocuring reaction in the photosensitive resin layer during imagewise pattern exposure (oxygen blocking during exposure). Purpose and, for example, RG
When three layers corresponding to B are laminated, the layer is provided for the purpose of preventing mixing between the alkali-soluble thermoplastic resin layer and the photosensitive thermosetting resin layer. The oxygen barrier layer may be any material as long as it is dispersed or dissolved in water or an aqueous alkali solution and has low oxygen permeability, and a known material may be used.

【0097】例えば、特開昭46−2121号公報や特
公昭56−40824号公報に記載の、ポリビニルエー
テル/無水マレイン酸重合体、カルボキシアルキルセル
ロースの水溶性塩、水溶性セルロースエーテル類、カル
ボキシアルキル澱粉の塩、水塩、ポリビニルアルコー
ル、ポリビニルピロリドン、各種のポリアクリルアミド
類、各種の水溶性ポリアミド、ポリアクリル酸の水溶性
塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重合体、各種の澱粉
及びその類似物からなる群の水溶性塩、スチレン/マレ
イン酸の共重合体、マレイネート樹脂等が挙げられる。
また、これら二種以上を組合わせたものであってもよ
い。
For example, polyvinyl ether / maleic anhydride polymers, water-soluble salts of carboxyalkyl cellulose, water-soluble cellulose ethers, carboxyalkyl, described in JP-A-46-2121 and JP-B-56-40824. A group consisting of starch salts, water salts, polyvinyl alcohol, polyvinyl pyrrolidone, various polyacrylamides, various water-soluble polyamides, water-soluble salts of polyacrylic acid, gelatin, ethylene oxide polymers, various starches and the like. And a styrene / maleic acid copolymer, a maleate resin, and the like.
Further, a combination of two or more of these may be used.

【0098】中でも特に、ポリビニルアルコールとポリ
ビニルピロリドンの組合わせが好ましい。前記ポリビニ
ルアルコールとしては、鹸化率が80モル%以上のもの
が好ましい。前記ポリビニルピロリドンの含有率として
は、酸素遮断層の固形分(質量)の1〜75質量%が一
般的であり、中でも1〜60質量%が好ましく、10〜
50質量%がより好ましい。前記含有率が、1質量%未
満であると、感光性熱硬化性樹脂層との十分な接着性が
得られないことがあり、75質量%を超えると、酸素遮
断能が低下することがある。
Among them, a combination of polyvinyl alcohol and polyvinyl pyrrolidone is particularly preferred. The polyvinyl alcohol preferably has a saponification rate of 80 mol% or more. The content of the polyvinylpyrrolidone is generally 1 to 75% by mass of the solid content (mass) of the oxygen barrier layer, preferably 1 to 60% by mass,
50 mass% is more preferable. If the content is less than 1% by mass, sufficient adhesiveness to the photosensitive thermosetting resin layer may not be obtained, and if it exceeds 75% by mass, the oxygen barrier ability may be reduced. .

【0099】酸素遮断層の層厚は、非常に薄層に設けら
れ、中でも約0.1〜5μmが好ましく、0.5〜2μ
mがより好ましい。前記層厚が、約0.1μm未満であ
ると、酸素の透過性が高すぎることがあり、約5μmを
越えると、現像時又は酸素遮断層除去時に、長時間を要
することがある。
The thickness of the oxygen barrier layer is very thin, preferably about 0.1 to 5 μm, more preferably 0.5 to 2 μm.
m is more preferred. If the layer thickness is less than about 0.1 μm, oxygen permeability may be too high, and if it exceeds about 5 μm, it may take a long time during development or when removing the oxygen barrier layer.

【0100】本発明に係る感光性樹脂材料は、支持体上
に、既述の感光性樹脂組成物と着色剤とを含む溶液若し
くは分散液(感光性樹脂層用塗布液)を塗布した後、乾
燥し、乾燥後さらに保護フィルムをラミネート等により
設け形成することができる。支持体及び感光性樹脂層の
間に熱可塑性樹脂層や酸素遮断層を設ける場合は、ま
ず、熱可塑性樹脂層形成用の塗布液(熱可塑性樹脂層用
塗布液)を支持体上に塗布、乾燥して熱可塑性樹脂層を
形成し、次いで該熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤を用
いて調製された酸素遮断層形成用の塗布液(酸素遮断層
用塗布液)を、前記熱可塑性樹脂層上に塗布、乾燥して
酸素遮断層を形成する。続いて、前記酸素遮断層を溶解
しない溶剤で調製された感光性樹脂層用塗布液を塗布、
乾燥して感光性樹脂層を形成する。これに更に、前記感
光性樹脂層の表面に保護フィルムを設けることにより作
製することができる。
The photosensitive resin material according to the present invention is prepared by applying a solution or dispersion containing the above-described photosensitive resin composition and a colorant (coating solution for a photosensitive resin layer) onto a support. After drying and drying, a protective film can be further formed by lamination or the like. When a thermoplastic resin layer or an oxygen barrier layer is provided between the support and the photosensitive resin layer, first, a coating liquid for forming a thermoplastic resin layer (a coating liquid for a thermoplastic resin layer) is applied on the support. Drying to form a thermoplastic resin layer, and then applying a coating liquid for forming an oxygen barrier layer (a coating liquid for an oxygen barrier layer) prepared using a solvent that does not dissolve the thermoplastic resin layer to the thermoplastic resin layer Coating on top and drying to form an oxygen barrier layer. Subsequently, a coating solution for a photosensitive resin layer prepared with a solvent that does not dissolve the oxygen barrier layer is applied,
Dry to form a photosensitive resin layer. Further, it can be produced by providing a protective film on the surface of the photosensitive resin layer.

【0101】<基板>本発明の樹脂積層体の製造方法に
用いる基板としては、透明基板が好ましく、例えば、表
面に酸化ケイ素被膜を有するソーダガラス板、低膨張ガ
ラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス板等の公知のガ
ラス板、あるいはプラスチックフィルム等が好適に挙げ
られる。
<Substrate> The substrate used in the method for producing a resin laminate of the present invention is preferably a transparent substrate, for example, a soda glass plate having a silicon oxide film on its surface, a low expansion glass, a non-alkali glass, a quartz glass plate A well-known glass plate or a plastic film is preferably used.

【0102】<カラーフィルタ>本発明のカラーフィル
タは、既述の本発明の樹脂積層体の製造方法によるラミ
ネート法により得られ、基板上に単一色若しくは複数色
の着色膜(着色画素)及び必要に応じてブラックマトリ
クスを有してなる。即ち、本発明のカラーフィルタは、
画素欠陥がなく高精細な着色画素を有してなり、低コス
トに製造される。
<Color Filter> The color filter of the present invention is obtained by the laminating method according to the above-described method for producing a resin laminate of the present invention, and a single-color or plural-color film (color pixels) and a necessary color film are formed on a substrate. And a black matrix according to That is, the color filter of the present invention is:
It has high-definition colored pixels without pixel defects and is manufactured at low cost.

【0103】[0103]

【実施例】以下、本発明の実施例について詳細に説明す
るが、本発明はこれに限定されるものではない。尚、以
下において、「部」は、特に断りがない限り「質量部」
を表す。 (実施例1) −基板の作製− Hコートガラス基板(日本板硝子(株)製)の表面に、
フッ素コート剤(FP−91、住友化学(株)製)をコ
ートして、該コート面の表面自由エネルギーの極性成分
が1dyne/cm(表面温度60℃)の基板を得た。
Embodiments of the present invention will be described below in detail, but the present invention is not limited to these embodiments. In the following, “parts” means “parts by mass” unless otherwise specified.
Represents (Example 1)-Preparation of substrate-The surface of an H-coated glass substrate (manufactured by Nippon Sheet Glass Co., Ltd.)
A fluorine coating agent (FP-91, manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) was applied to obtain a substrate having a surface free energy polar component of 1 dyne / cm (surface temperature 60 ° C.) on the coated surface.

【0104】−感光性樹脂材料の作製− 厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの
支持体上に、下記組成Aからなる塗布液を塗布し、乾燥
して、乾燥層厚が20μmの熱可塑性樹脂層を設けた。
—Preparation of Photosensitive Resin Material— A coating solution having the following composition A was applied on a 75 μm-thick polyethylene terephthalate film support and dried to form a thermoplastic resin layer having a dry layer thickness of 20 μm. Provided.

【0105】 〔熱可塑性樹脂層用塗布液の組成A〕 ・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタク リレート/メタクリル酸共重合体 … 4.5部 (共重合比(モル比)=55/11.7/4.5/28.8、 質量平均分子量=80000) ・スチレン/アクリル酸共重合体 …10.5部 (共重合組成比(モル比)=7/3、質量平均分子量=8000) ・BPE−500 … 7.0部 (多官能アクリレート、新中村化学(株)製) ・F177P … 0.26部 (フッ素系界面活性剤、大日本インキ(株)製) ・メタノール …30.6部 ・メチルエチルケトン …18.6部 ・1−メトキシ−2−プロパノール … 9.3部[Composition A of Coating Solution for Thermoplastic Resin Layer] Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer: 4.5 parts (copolymerization ratio (molar ratio) = 55/11. 7 / 4.5 / 28.8, mass average molecular weight = 80000) Styrene / acrylic acid copolymer: 10.5 parts (copolymer composition ratio (molar ratio) = 7/3, mass average molecular weight = 8000) BPE-500: 7.0 parts (polyfunctional acrylate, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) F177P: 0.26 parts (fluorinated surfactant, manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.) Methanol: 30.6 parts・ Methyl ethyl ketone: 18.6 parts ・ 1-Methoxy-2-propanol: 9.3 parts

【0106】次に、熱可塑性樹脂層上に下記組成Bから
なる塗布液を塗布し乾燥して、乾燥層厚が1.6μmの
酸素遮断層を設けた。 〔酸素遮断層用塗布液の組成B〕 ・ポリビニルアルコール (PVA205、鹸化度80%、(株)クラレ製) … 13部 ・ポリビニルピロリドン … 6部 (GAFコーポレーション社製のPVP、K−30) ・メタノール …173部 ・蒸留水 …211.4部
Next, a coating solution having the following composition B was applied on the thermoplastic resin layer and dried to form an oxygen barrier layer having a dry layer thickness of 1.6 μm. [Composition B of oxygen blocking layer coating solution] Polyvinyl alcohol (PVA205, 80% saponification degree, manufactured by Kuraray Co., Ltd.) 13 parts Polyvinylpyrrolidone 6 parts (PVP, K-30 manufactured by GAF Corporation) Methanol: 173 parts ・ Distilled water: 211.4 parts

【0107】以上のように、熱可塑性樹脂層及び酸素遮
断層が設けられた支持体を二枚用意し、それぞれの酸素
遮断層上に、下記表1に示す組成からなる赤色(R)及
び緑色(G)の各層(R層、G層)形成用の塗布液(感
光性樹脂層用塗布液)を塗布し乾燥して、乾燥層厚が2
μmの感光性樹脂層を形成した。更に、この感光性樹脂
層の上にポリプロピレンの保護フィルム(厚さ12μ
m)を圧着し、赤色(R)及び緑色(G)画素形成用の
2種の感光性樹脂材料を作製した。
As described above, two supports provided with a thermoplastic resin layer and an oxygen barrier layer are prepared, and red (R) and green having the compositions shown in Table 1 below are provided on each of the oxygen barrier layers. The coating solution (coating solution for the photosensitive resin layer) for forming each layer (R layer, G layer) of (G) is applied and dried, and the dried layer thickness becomes 2
A photosensitive resin layer having a thickness of μm was formed. Further, a protective film of polypropylene (thickness: 12 μm) is formed on the photosensitive resin layer.
m) was pressed to produce two types of photosensitive resin materials for forming red (R) and green (G) pixels.

【0108】[0108]

【表1】 [Table 1]

【0109】−カラーフィルタの製造− 上記より得られた2種の感光性樹脂材料について、作製
後半日経過後にラミネート装置を用いてカラーフィルタ
を製造した。
-Manufacture of Color Filter- With respect to the two kinds of photosensitive resin materials obtained as described above, a color filter was manufactured using a laminating apparatus after a lapse of the second half of the manufacture.

【0110】[転写工程]まず、赤色(R)画素形成用の
感光性樹脂材料から保護フィルムを剥離し、上記より得
た基板のコートされた側の表面に、該感光性樹脂材料の
感光性樹脂層の表面を重ね合わせ、ラミネータ(オート
カットラミネータASL−24、ソマール(株)製)を
用いて、感光性樹脂材料とラミネーションローラとのラ
ップ角80°、圧力2MPa、基板表面温度80℃、搬
送速度2.0m/分の条件下でラミネートした。このと
き、基板の表面に対する感光性樹脂層の濡れ性は良好で
あり、基板と感光性樹脂層との間に気泡の混入は認めら
れなかった。
[Transfer Step] First, the protective film was peeled off from the photosensitive resin material for forming the red (R) pixel, and the surface of the substrate obtained above was coated with the photosensitive resin material. The surfaces of the resin layers are overlapped, and using a laminator (Auto Cut Laminator ASL-24, manufactured by Somar Corporation), the wrap angle between the photosensitive resin material and the lamination roller is 80 °, the pressure is 2 MPa, the substrate surface temperature is 80 ° C, Lamination was performed under the condition of a transfer speed of 2.0 m / min. At this time, the wettability of the photosensitive resin layer on the surface of the substrate was good, and no air bubbles were mixed between the substrate and the photosensitive resin layer.

【0111】引き続き、下記手順によりカラーフィルタ
を作製した。即ち、支持体と熱可塑性樹脂層との境界面
で剥離して支持体を除去し、ガラス基板上に感光性樹脂
層(R)を転写した。この状態では、ガラス基板上に、感
光性樹脂層(R)、酸素遮断層、熱可塑性樹脂層がこの順
に積層されている。
Subsequently, a color filter was manufactured according to the following procedure. That is, the support was removed by peeling off at the interface between the support and the thermoplastic resin layer, and the photosensitive resin layer (R) was transferred onto a glass substrate. In this state, a photosensitive resin layer (R), an oxygen blocking layer, and a thermoplastic resin layer are laminated in this order on a glass substrate.

【0112】[露光、現像工程]次に、最外層である熱
可塑性樹脂層の上方に所定のフォトマスクを配置し、該
フォトマスクを介して、下記表2に示す条件で超高圧水
銀灯により露光した。その後、トランサー処理液T−P
D−1(富士写真フイルム(株)製)の10倍希釈液
(33℃)を用い、熱可塑性樹脂層及び中間層をシャワ
ー現像して除去した〔現像処理1〕。この段階では、感
光性樹脂層は実質的に現像はされていない。続いて、ト
ランサー処理液T−CD−1(富士写真フイルム(株)
製)の5倍希釈液(33℃)を用いてシャワー現像し、
感光性樹脂層(R)の不要部(未硬化部)を現像除去した
〔現像処理2〕。更に、トランサー処理液T−SD−1
(富士写真フイルム(株)製)の10倍希釈液(33
℃)を感光性樹脂層上にシャワーで散布しながら、アク
リル製ロールブラシで擦りながら未硬化部の残渣を完全
に除去した〔現像処理3〕。前記現像処理の諸条件を下
記表2に示す。
[Exposure and Developing Steps] Next, a predetermined photomask is arranged above the thermoplastic resin layer as the outermost layer, and exposure is performed through the photomask with an ultra-high pressure mercury lamp under the conditions shown in Table 2 below. did. After that, the transer treatment liquid TP
Using a 10-fold dilution (33 ° C.) of D-1 (manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.), the thermoplastic resin layer and the intermediate layer were removed by shower development (development treatment 1). At this stage, the photosensitive resin layer has not been substantially developed. Subsequently, Transer treatment solution T-CD-1 (Fuji Photo Film Co., Ltd.)
Shower development using a 5-fold dilution (33 ° C.)
Unnecessary portions (uncured portions) of the photosensitive resin layer (R) were removed by development [development process 2]. Furthermore, the transer treatment solution T-SD-1
(Fuji Photo Film Co., Ltd.) 10-fold diluted solution (33
C.) was sprayed on the photosensitive resin layer with a shower, and the residue of the uncured portion was completely removed by rubbing with an acrylic roll brush [Development treatment 3]. Table 2 shows the conditions for the development processing.

【0113】現像処理の後、超純水を用いて60秒間洗
浄し、エアーナイフで水切りを行い、更にコンベクショ
ンオーブンによりポストベークして、ガラス基板上にR
画素パターンを形成した。前記ポストベークの条件を下
記表2に示す。
After the development processing, the substrate was washed with ultrapure water for 60 seconds, drained with an air knife, and further post-baked in a convection oven to form an R on a glass substrate.
A pixel pattern was formed. Table 2 below shows the conditions of the post-baking.

【0114】[0114]

【表2】 [Table 2]

【0115】次に、緑色(G)画素形成用の感光性樹脂材
料を用い、保護フィルムを除去した後、前記R画素形成
の場合と同様の操作を繰り返し(基板表面温度80
℃)、R画素パターンを覆って感光性樹脂層(G)を転写
し、前記表2に示す条件で所定のフォトマスクを用いて
露光し、更に現像、ポストベークしてG層からなるG画
素パターンを形成した。このとき、感光性樹脂層(G)が
転写される表面にはR画素パターンによる凹凸が存在す
るが、基板と感光性樹脂層(G)との間への気泡の混入を
伴うことなく転写することができ、その結果、基板上に
は画素欠陥のないG画素パターンを形成することができ
た。以上のようにして、R画素とG画素からなるカラー
フィルタの仕掛品を得た。
Next, after using a photosensitive resin material for forming a green (G) pixel and removing the protective film, the same operation as in the case of forming the R pixel is repeated (a substrate surface temperature of 80 ° C.).
C), transferring the photosensitive resin layer (G) covering the R pixel pattern, exposing it using a predetermined photomask under the conditions shown in Table 2, and further developing and post-baking the G pixel comprising the G layer. A pattern was formed. At this time, irregularities due to the R pixel pattern are present on the surface to which the photosensitive resin layer (G) is transferred, but transfer is performed without mixing of air bubbles between the substrate and the photosensitive resin layer (G). As a result, a G pixel pattern having no pixel defects could be formed on the substrate. As described above, a work-in-progress of a color filter composed of R pixels and G pixels was obtained.

【0116】(実施例2)実施例1で作製した基板に代
えて下記基板を用いたこと以外、実施例1と同様(基板
表面温度80℃)にして、基板の表面(シランカップリ
ング処理された側の表面)に感光性樹脂層(R)を転写し
た。この状態では、ガラス基板上に、感光性樹脂層
(R)、酸素遮断層、熱可塑性樹脂層がこの順に積層され
ている。このとき、基板の表面に対する感光性樹脂層の
濡れ性は良好であり、基板と感光性樹脂層との間に気泡
の混入は認められなかった。
Example 2 A substrate surface (silane-coupling-treated) was used in the same manner as in Example 1 (substrate surface temperature: 80 ° C.), except that the following substrate was used instead of the substrate prepared in Example 1. The photosensitive resin layer (R) was transferred onto the surface on the other side. In this state, the photosensitive resin layer is placed on the glass substrate.
(R), an oxygen barrier layer, and a thermoplastic resin layer are laminated in this order. At this time, the wettability of the photosensitive resin layer on the surface of the substrate was good, and no air bubbles were mixed between the substrate and the photosensitive resin layer.

【0117】〔基板の作製〕Hコートガラス基板(日本
板硝子(株)製)の表面に、シランカップリング剤(K
BM603、信越化学(株)製)の10%水溶液をコー
トして、該コート面の表面自由エネルギーの極性成分が
22dyne/cm(表面温度25℃)の基板を得た。
[Preparation of Substrate] A silane coupling agent (K) was applied to the surface of an H-coated glass substrate (manufactured by Nippon Sheet Glass Co., Ltd.).
A 10% aqueous solution of BM603 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was coated to obtain a substrate having a polar component of surface free energy of 22 dyne / cm (surface temperature of 25 ° C.) on the coated surface.

【0118】引き続き、実施例1と同様の操作を行って
R画素パターンを形成し、更に実施例1で作製した緑色
(G)画素形成用の感光性樹脂材料を用いて、実施例1と
同様(基板表面温度80℃)にして、感光性樹脂層(G)
を転写しG画素パターンを形成した。このとき、感光性
樹脂層(G)が転写される表面にはR画素パターンによる
凹凸が存在するが、基板と感光性樹脂層(G)との間への
気泡の混入を伴うことなく転写することができた。ま
た、基板上には画素欠陥のないG画素パターンが形成さ
れた。以上のようにして、R画素とG画素からなるカラ
ーフィルタの仕掛品を得た。
Subsequently, the same operation as in Example 1 was performed to form an R pixel pattern.
(G) A photosensitive resin layer (G) was formed in the same manner as in Example 1 (substrate surface temperature: 80 ° C.) using a photosensitive resin material for pixel formation.
Was transferred to form a G pixel pattern. At this time, irregularities due to the R pixel pattern are present on the surface to which the photosensitive resin layer (G) is transferred, but transfer is performed without mixing of air bubbles between the substrate and the photosensitive resin layer (G). I was able to. Further, a G pixel pattern having no pixel defect was formed on the substrate. As described above, a work-in-progress of a color filter composed of R pixels and G pixels was obtained.

【0119】(比較例1)実施例1で作製した基板に代
え、未コートのHコートガラス基板(日本板硝子(株)
製;表面自由エネルギーの極性成分=42dyne/c
m(表面温度25℃)、44dyne/cm(表面温度
60℃))を用いたこと以外、実施例1と同様(基板表
面温度80℃)にして、基板の表面に感光性樹脂層(R)
を転写した。このとき、基板と感光性樹脂層との間に
は、気泡の混入が認められた。
Comparative Example 1 An uncoated H-coated glass substrate (Nippon Sheet Glass Co., Ltd.) was used instead of the substrate prepared in Example 1.
Polar component of surface free energy = 42 dyne / c
m (surface temperature: 25 ° C.) and 44 dyne / cm (surface temperature: 60 ° C.), except that the photosensitive resin layer (R) was formed on the surface of the substrate in the same manner as in Example 1 (substrate surface temperature: 80 ° C.).
Was transcribed. At this time, air bubbles were observed between the substrate and the photosensitive resin layer.

【0120】引き続き、実施例1と同様の操作を行って
R画素パターンを形成し、更に実施例1で作製した緑色
(G)画素形成用の感光性樹脂材料を用いて、実施例1と
同様(基板表面温度80℃)にして、感光性樹脂層(G)
を転写しG画素パターンを形成した。このとき、感光性
樹脂層(G)が転写される表面にはR画素パターンによる
凹凸が存在するが、該凹凸面に対して気泡の混入を伴う
ことなく転写することができず、最終的に画素欠陥のな
いG画素パターンを形成することはできなかった。以上
より、R画素とG画素からなる比較例のカラーフィルタ
の仕掛品を得た。
Subsequently, the same operation as in Example 1 was performed to form an R pixel pattern.
(G) A photosensitive resin layer (G) was formed in the same manner as in Example 1 (substrate surface temperature: 80 ° C.) using a photosensitive resin material for pixel formation.
Was transferred to form a G pixel pattern. At this time, irregularities due to the R pixel pattern exist on the surface to which the photosensitive resin layer (G) is transferred. However, transfer cannot be performed on the irregular surface without mixing of air bubbles. A G pixel pattern without pixel defects could not be formed. From the above, a work-in-progress of the color filter of the comparative example including the R pixels and the G pixels was obtained.

【0121】[0121]

【発明の効果】本発明によれば、ラミネート法による転
写の際の気泡の発生を抑制し、欠陥がなく高精度で低コ
ストの樹脂積層体を高速かつ安定にラミネート形成する
ことのできる樹脂積層体の製造方法を提供することがで
きる。また、本発明の樹脂積層体の製造方法により低コ
ストに得られ、画素欠陥(白抜け)がなく高精細のカラ
ーフィルタを提供することができる。
According to the present invention, it is possible to suppress the generation of bubbles at the time of transfer by the lamination method, and to form a high-precision, low-cost resin laminate without defects and at high speed and stably. A method for producing a body can be provided. Further, the method for producing a resin laminate of the present invention can provide a high-definition color filter which is obtained at low cost and has no pixel defects (white spots).

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 (A)は本発明の樹脂積層体の製造方法におい
て、感光性樹脂層を基板にラミネートする状態を説明す
るための概略図であり、(B)は従来法により感光性樹脂
層を基板にラミネートする状態を説明するための概略図
である。
FIG. 1A is a schematic view for explaining a state in which a photosensitive resin layer is laminated on a substrate in a method for producing a resin laminate of the present invention, and FIG. FIG. 3 is a schematic diagram for explaining a state in which is laminated on a substrate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…基板 2…感光性樹脂層 3…感光性樹脂材料 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate 2 ... Photosensitive resin layer 3 ... Photosensitive resin material

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G03F 7/26 501 G03F 7/26 501 Fターム(参考) 2H025 AA00 AB11 AB13 AC01 AD01 DA19 EA01 EA08 FA03 FA17 2H048 BA43 BA47 BA48 BB37 BB42 2H096 AA28 BA05 CA01 CA02 CA16 CA20 EA02 GA08 JA02 LA16 4D075 AC43 AC99 CA47 CB07 DA04 DA06 DB13 DB36 DB39 DB42 DB43 DB47 DB48 DB50 DC24 EA21 EA45 EB20 EB22 EB24 EB33 EB35 EB38 EB39 4F100 AG00 AH05 AK01B AK02 AK12 AK12J AK21 AK25 AK25J AK80 AL01 AL05 AR00A BA02 BA05 EC042 EG002 EH012 EJ082 EJ542 EJ912 GB41 JB14B JB20A JB20B JL00 YY00A YY00B──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G03F 7/26 501 G03F 7/26 501 F term (Reference) 2H025 AA00 AB11 AB13 AC01 AD01 DA19 EA01 EA08 FA03 FA17 2H048 BA43 BA47 BA48 BB37 BB42 2H096 AA28 BA05 CA01 CA02 CA16 CA20 EA02 GA08 JA02 LA16 4D075 AC43 AC99 CA47 CB07 DA04 DA06 DB13 DB36 DB39 DB42 DB43 DB47 DB48 DB50 DC24 EA21 EA45 EB20 EB22 EB24 EB33 EB00 EB33 EB33 EB35 EB33 EB35 EB35 EB35 EB35 EB35 EB35 EB35 EB38 EB35 EB35 EB35 EB38 EB35 EB35 EB35 EB38 EB35 EB35 EB35 EB35 EB35 EB38 EB35 EB35 EB35 EB35 AK35 AK25J AK80 AL01 AL05 AR00A BA02 BA05 EC042 EG002 EH012 EJ082 EJ542 EJ912 GB41 JB14B JB20A JB20B JL00 YY00A YY00B

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 支持体上に感光性樹脂層と保護フィルム
とを有する感光性樹脂材料から前記保護フィルムを除去
し、感光性樹脂材料の感光性樹脂層を基板の表面に重ね
合わせてラミネートし、ラミネート後の支持体を剥離し
て前記基板上に感光性樹脂層を転写する工程を含む樹脂
積層体の製造方法において、 前記基板の少なくとも転写される側の表面の、ラミネー
ト時における表面自由エネルギーの極性成分が35dy
ne/cm以下であることを特徴とする樹脂積層体の製
造方法。
1. A method according to claim 1, wherein the protective film is removed from a photosensitive resin material having a photosensitive resin layer and a protective film on a support, and the photosensitive resin layer of the photosensitive resin material is laminated on the surface of the substrate. A method of manufacturing a resin laminate including a step of transferring a photosensitive resin layer onto the substrate by peeling the support after lamination, wherein a surface free energy at the time of lamination of at least a surface of the substrate to be transferred is obtained. Is 35 dy
Ne / cm or less.
【請求項2】 支持体上に感光性樹脂層と保護フィルム
とを有する感光性樹脂材料から前記保護フィルムを除去
し、感光性樹脂材料の感光性樹脂層を基板の表面に重ね
合わせてラミネートし、ラミネート後の支持体を剥離し
て前記基板上に感光性樹脂層を転写する工程を含む樹脂
積層体の製造方法において、 基板の少なくとも転写される側の表面の、ラミネート時
における表面自由エネルギーの極性成分を35dyne
/cm以下に調整した後、該表面に感光性樹脂層を重ね
合わせてラミネートすることを特徴とする樹脂積層体の
製造方法。
2. The method according to claim 1, wherein the protective film is removed from a photosensitive resin material having a photosensitive resin layer and a protective film on a support, and the photosensitive resin layer of the photosensitive resin material is laminated on the surface of the substrate. A method of manufacturing a resin laminate including a step of transferring a photosensitive resin layer onto the substrate by peeling the support after lamination, wherein the surface free energy of at least the surface of the substrate to be transferred, at the time of lamination, 35dyne polar component
/ Cm or less, and then laminating and laminating a photosensitive resin layer on the surface.
【請求項3】 ラミネート時における、表面自由エネル
ギーの極性成分が35dyne/cm以下でかつ表面自
由エネルギーの分散成分が40dyne/cm以下であ
る請求項1又は2に記載の樹脂積層体の製造方法。
3. The method for producing a resin laminate according to claim 1, wherein a polar component of surface free energy is 35 dyne / cm or less and a dispersion component of surface free energy is 40 dyne / cm or less during lamination.
【請求項4】 感光性樹脂材料の感光性樹脂層の表面
の、ラミネート時における表面自由エネルギーが50d
yne/cm以下である請求項1から3のいずれかに記
載の樹脂積層体の製造方法。
4. The surface free energy of the photosensitive resin layer of the photosensitive resin material at the time of lamination is 50 d.
The method for producing a resin laminate according to any one of claims 1 to 3, which is not more than yne / cm.
【請求項5】 請求項1から4のいずれかに記載の樹脂
積層体の製造方法により得られることを特徴とするカラ
ーフィルタ。
5. A color filter obtained by the method for producing a resin laminate according to any one of claims 1 to 4.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006009117A1 (en) * 2004-07-22 2006-01-26 Fujifilm Corporation Pattern forming material, and pattern forming device and pattern forming method
JP2006198551A (en) * 2005-01-21 2006-08-03 Miyako Roller Industry Co Method and apparatus for forming film of substrate for electronic component
JP2007033923A (en) * 2005-07-27 2007-02-08 Fujifilm Corp Color filter forming material, method for producing color filter, color filter, and liquid crystal display
KR101861067B1 (en) * 2013-08-30 2018-05-28 동우 화인켐 주식회사 Black photosensitive resin composition

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006009117A1 (en) * 2004-07-22 2006-01-26 Fujifilm Corporation Pattern forming material, and pattern forming device and pattern forming method
JP2006058864A (en) * 2004-07-22 2006-03-02 Fuji Photo Film Co Ltd Pattern forming material, and pattern forming device and pattern forming method
JP2006198551A (en) * 2005-01-21 2006-08-03 Miyako Roller Industry Co Method and apparatus for forming film of substrate for electronic component
JP2007033923A (en) * 2005-07-27 2007-02-08 Fujifilm Corp Color filter forming material, method for producing color filter, color filter, and liquid crystal display
KR101861067B1 (en) * 2013-08-30 2018-05-28 동우 화인켐 주식회사 Black photosensitive resin composition

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