JP2622895B2 - Bar application method - Google Patents
Bar application methodInfo
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- JP2622895B2 JP2622895B2 JP20582490A JP20582490A JP2622895B2 JP 2622895 B2 JP2622895 B2 JP 2622895B2 JP 20582490 A JP20582490 A JP 20582490A JP 20582490 A JP20582490 A JP 20582490A JP 2622895 B2 JP2622895 B2 JP 2622895B2
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は写真用フィルム、印画紙等の写真感光材料や
写真製版材料、磁気録音テープ等の磁気記録材料、感圧
記録紙、感熱記録紙等、記録材料の製造において連続走
行する長尺可とう性支持体(以下、ウェブと称する)及
び半導体ウエハ、プリント基板、ガラス基板等の非連続
基板などに液状塗布組成物を塗布する、改良されたバー
塗布方法に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a photographic photosensitive material such as a photographic film and a photographic paper, a photoengraving material, a magnetic recording material such as a magnetic recording tape, a pressure-sensitive recording paper, and a heat-sensitive recording paper. For example, a liquid coating composition is applied to a long flexible support (hereinafter, referred to as a web) and a non-continuous substrate such as a semiconductor wafer, a printed circuit board, and a glass substrate that are continuously running in the production of a recording material. A bar coating method.
回転するバーと接触しながら走行している支持体の接
触部の直前に液溜りが形成される様に塗布液を供給し、
該バーにより前記支持体に塗布液を塗布するバー塗布方
法において、塗布幅を支持体幅より狭くする必要がとき
どき生じる。例えばウェブ状支持体において、塗布され
た液がウェブの側面から広がり、塗布後にタッチするパ
スロールを汚すことを防いだり、非連続性基板において
塗布後の基板搬送のため基板の一部を保持するためなど
である。この目的に対して、バーの両端部でのバー径を
中央部のそれより細くし(段付きバーと呼ぶ)、バーが
支持体幅の内側でのみ支持体と接触することによって、
支持体の両サイドに未塗布部分を設けることが可能であ
る。The coating liquid is supplied such that a liquid pool is formed immediately before the contact portion of the support that is running while being in contact with the rotating bar,
In the bar coating method in which the bar is used to apply the coating solution to the support, it is sometimes necessary to make the coating width narrower than the width of the support. For example, in a web-like support, to prevent the applied liquid from spreading from the side of the web and to stain a pass roll to be touched after coating, or to hold a part of the substrate for transporting the substrate after coating on a discontinuous substrate. And so on. For this purpose, the bar diameter at both ends of the bar is made smaller than that at the center (referred to as a stepped bar) and the bar contacts the support only inside the width of the support,
It is possible to provide uncoated portions on both sides of the support.
しかしながらこのような方法で塗布を行った場合、塗
布面の幅方向両端部に塗布厚膜部が発生し、乾燥遅れを
生じたり、製品の有効幅が狭くなったりする問題があ
る。However, when the coating is performed by such a method, there is a problem that a coating thick film portion is generated at both ends in the width direction of the coating surface, which causes a delay in drying and a reduction in the effective width of the product.
この問題の改善方法として、特開昭60−225669号公報
及び実開昭63−63158号公報には、塗工ロールの両側面
についた塗液を削るためのブレードを設けることが開示
されている。これらの方法はいずれも塗布幅両端部の厚
塗り改善に一定の効果を示すものの、必ずしも十分では
なかった。一方特開昭62−7467号公報には、塗布バーの
端面に沿って余剰液を吸引する手段が設けられることが
開示されており、この方法は厚塗り防止に対して前二者
に優るものの、吸引口はバー端面の極近傍になければ効
果が少ないため、設置に困難が生じたり、液の性質に依
っては長時間使用時、吸引口が乾燥した塗布液によって
目詰まりを起こし易いという問題があった。As a method for solving this problem, JP-A-60-225669 and JP-A-63-63158 disclose providing a blade for scraping a coating liquid on both sides of a coating roll. . Each of these methods has a certain effect in improving the thick coating at both ends of the coating width, but is not always sufficient. On the other hand, Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 62-7467 discloses that a means for sucking excess liquid is provided along the end face of the coating bar, and this method is superior to the former two in preventing thick coating. If the suction port is not very close to the end face of the bar, the effect is small, so it is difficult to install, or depending on the properties of the liquid, the suction port is liable to be clogged by the dried coating liquid when used for a long time depending on the properties of the liquid. There was a problem.
支持体の両サイドに未塗布部分を設けるバー塗布方法
において、幅方向両端部に発生する塗布厚膜部の改善が
比較的容易で、かつ効果が長時間持続する方法を提供す
ることを目的とする。In a bar coating method of providing an uncoated portion on both sides of a support, an object is to provide a method in which it is relatively easy to improve a coated thick film portion generated at both ends in the width direction, and the effect is maintained for a long time. I do.
上記問題の発生する理由を解析した結果、バーと支持
体との接触部の直前(一次側)において形成される液だ
まりの液の一部がバー端部から外にはみ出し、バー端面
と支持体表面でつくられるコーナーを渡って二次側にバ
イパスしてしまうことが原因であることが判った。そし
て、この問題はバー端部または端面におけるバーと支持
体の接触部に向かって、風を吹き付けることによって解
決できることが判った。本発明は上記知見に基づいてな
されたのである。As a result of analyzing the reason why the above-mentioned problem occurs, a part of the liquid in the liquid pool formed immediately before the contact portion between the bar and the support (primary side) protrudes from the end of the bar, and the end surface of the bar and the support The cause was found to be a bypass to the secondary side over a corner made on the surface. It has been found that this problem can be solved by blowing air toward the end of the bar or the contact portion between the bar and the support at the end surface. The present invention has been made based on the above findings.
すなわち、本発明は、回転するバーと接触しながら走
行している支持体の接触部の直前に液溜りが形成される
様に塗布液を供給し、該バーにより前記支持体に塗布液
を塗布するバー塗布方法において、該バーの両端部のバ
ー径を中央部のそれより細くすることによって、支持体
の両サイドに未塗布部分を設け、かつ塗布部におけるバ
ーと支持体との接触部の端部に風を吹き付けることを特
徴とするバー塗布方法を提供する。That is, according to the present invention, the coating liquid is supplied such that a liquid pool is formed immediately before the contact portion of the support running while contacting the rotating bar, and the coating liquid is applied to the support by the bar. In the bar coating method, the bar diameter at both ends of the bar is made thinner than that at the center, so that uncoated portions are provided on both sides of the support, and the contact portion between the bar and the support in the coating portion is provided. A bar coating method characterized by blowing air to an end.
次に、本発明の実施態様について図面を用いて説明す
る。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
第1図は本発明のバー塗布方法を示す概略図であっ
て、非連続基板に塗布する場合を示す図であり、第2図
は第1図のバー塗布装置の拡大断面図である。FIG. 1 is a schematic view showing a bar coating method of the present invention, showing a case of coating on a discontinuous substrate, and FIG. 2 is an enlarged sectional view of the bar coating apparatus of FIG.
バー2は、その全長または一部にわたりバー支持部材
6によって水平かつ回転可能に支持され、バー2の一端
には図示されていない回転駆動手段が接続されている。The bar 2 is horizontally and rotatably supported by a bar support member 6 over the entire length or a part thereof, and one end of the bar 2 is connected to a rotation driving unit (not shown).
バー支持部材6は、堰部材5及び5′によって囲ま
れ、該堰部材5の一部に設けられた給液口4より供給さ
れた塗布液3が、バー支持部材6と堰部材5との間に液
貯蔵部8を形成するように構成する。また、塗布部にお
けるバーと支持体との接触部の端部に向けて空気を吹き
出すためのエアー吹き出しノズル21が設けられている。
ここから空気や窒素などを吹き出して風を送り出す。The bar support member 6 is surrounded by the weir members 5 and 5 ′, and the coating liquid 3 supplied from the liquid supply port 4 provided in a part of the weir member 5 is used for the coating between the bar support member 6 and the weir member 5. The liquid storage unit 8 is formed between them. In addition, an air blowing nozzle 21 for blowing air toward an end of a contact portion between the bar and the support in the application section is provided.
Air and nitrogen are blown out from here to send out the wind.
塗布されるべき基板1は、パスロール14と押圧ロール
15によりバー2の回転方向に向かって基板1の下面がバ
ー2の頂点に接するように水平に搬送される。The substrate 1 to be coated includes a pass roll 14 and a pressing roll.
By 15, the substrate 1 is conveyed horizontally so that the lower surface of the substrate 1 contacts the vertex of the bar 2 in the rotation direction of the bar 2.
第2図は、回転するバー2が液貯蔵部8から塗布液3
を汲み上げ、基板1の下面との接触点に形成された液溜
り9を介して塗布液3を基板1の下面に転移させ、同時
に計量掻き落しを行い(バー2の作用による)所定膜厚
の塗膜7を形成させる様子を示している。FIG. 2 shows that the rotating bar 2 is moved from the liquid storage section 8 to the coating liquid 3.
To transfer the coating liquid 3 to the lower surface of the substrate 1 via the liquid reservoir 9 formed at the contact point with the lower surface of the substrate 1 and simultaneously scrape off the metered liquid (by the action of the bar 2). The state in which the coating film 7 is formed is shown.
本発明において塗布を均一に行うためには、基板1と
バー2とを全幅に渡って密着させることが重要である。
第1図の方法の場合、パスロール14と押圧ロール15によ
り基板1を搬送する方式を示している。この方式では、
パスロール14は基板1の下面にできるだけ接触しないよ
うにエッヂロールを用いることが望ましい。抑えロール
15は表面にゴムのような弾性体を設けたものを用いる
と、全幅に渡って基板1と段付きバー16とを密着させる
上で好適である。In the present invention, in order to perform the coating uniformly, it is important that the substrate 1 and the bar 2 adhere to each other over the entire width.
In the case of the method shown in FIG. 1, a method in which the substrate 1 is transported by the pass roll 14 and the pressing roll 15 is shown. In this scheme,
It is desirable to use an edge roll as the pass roll 14 so as to make contact with the lower surface of the substrate 1 as little as possible. Press roll
It is preferable that the substrate 15 be provided with an elastic body such as rubber on the surface so that the substrate 1 and the stepped bar 16 are in close contact over the entire width.
本発明では第3図に示すように、バーの両端部のバー
径を中央部のそれよりも細くしたバーを使用する。この
ようにすることによって、塗布バーの塗工面の幅が支持
体の幅よりも狭くなっているのである。本発明ではバー
の両端部に未塗布部が形成される限り、バー両端部と中
央部とのバー径の差を任意とすることができるが、1.5m
m以上細くするのが好ましい。In the present invention, as shown in FIG. 3, a bar having a smaller diameter at both ends of the bar than that at the center is used. By doing so, the width of the coating surface of the coating bar is smaller than the width of the support. In the present invention, as long as uncoated portions are formed at both ends of the bar, the difference between the bar diameters at both ends and the center of the bar can be arbitrary, but 1.5 m
It is preferable to make it thinner than m.
本発明では、このような塗布バーを用いるとともに、
エアー吹き出しノズルを用いて支持体の幅方向両端部に
形成される塗布厚膜部を改善する。この態様を第4図に
より詳しく説明する。In the present invention, such a coating bar is used,
The thick coating portions formed at both ends in the width direction of the support are improved by using an air blowing nozzle. This embodiment will be described in detail with reference to FIG.
第4図中、ノズル21から吹き出した風はバー端面にお
けるバーと支持体の接触部に向かって吹き付けられる。
本発明における空気吹きつけ作用は1次側液だまりの
液がバー端部に広がるのを抑える、1次側バー端部か
ら外にはみ出して来る液を押しとどめる、はみ出した
液を2次側へバイパスさせず、バー端面の方へ逃す、の
3つである。第4図に示す態様における作用は、で
あり、特にの効果を高めることと、塗布後の膜面を風
によって乱さないために、空気をバー端面に向かって直
角に吹きつけるよりも2次側から1次側に向かって多少
傾けた方がよい。傾ける角度は0〜60゜、望ましくは、
15〜45゜とするのがよい。また吹き出しノズルは細い方
がよく、内径2mm以内、望ましくは1mm以内がよい。ノズ
ルの先端は塗布液がノズルに付着しない範囲でできるだ
けバー端面から近い方がよく、実際的には15〜20mm、望
ましくは2〜10mmがよい。これら(細い内径とノズル位
置)は少ない風量で効果的に風の作用を引き出すと共
に、風が広がって液の飛散や塗布面乱れを引き起こさな
いので好ましい。風速は塗布条件(塗布液粘度、塗布速
度等)によって適切に調整する必要があるが、5〜30m/
secの範囲とするのがよい。本発明における吹き出しノ
ズルとしてパイプを用いることはもちろん可能である
が、操作性、位置設定再現性をよくするため第5図に示
すように内部に風穴を開けたブロック22を用い、コータ
の所定の位置に再現よく設定できるようにすることが望
ましい。本発明の効果を高めるため、バーの端面は略同
心円状の窪みを有することが望ましい。これは風に吹か
れた液がバー端面に逃げ易くする(即ち作用の効果を
高める)ためである。この方法によれば、ノズルの中を
液が通らないため、ノズルの目詰まりを生ずることがな
く、また風の吹き出し口もバー端面と密接させる必要は
ないので、ノズルの設置に自由度がある。In FIG. 4, the wind blown from the nozzle 21 is blown toward the contact portion between the bar and the support at the bar end face.
The air blowing action according to the present invention suppresses the liquid in the primary liquid pool from spreading to the end of the bar. It suppresses the liquid protruding outside from the end of the primary side bar, and discharges the protruded liquid to the secondary side. Escape to the bar end face without bypassing. The operation in the embodiment shown in FIG. 4 is as follows. In order to enhance the effect in particular, and to prevent the film surface after coating from being disturbed by wind, the secondary side rather than blowing air at right angles toward the bar end surface. It is better to incline slightly from to the primary side. The tilt angle is 0-60 °, preferably,
It should be 15-45 ゜. Further, it is better that the blowing nozzle is thinner, and the inner diameter is 2 mm or less, preferably 1 mm or less. The tip of the nozzle is preferably as close as possible to the end face of the bar as long as the coating liquid does not adhere to the nozzle. Actually, the tip is 15 to 20 mm, preferably 2 to 10 mm. These (small inner diameter and nozzle position) are preferable because they effectively draw out the action of the wind with a small amount of air, and the air spreads and does not cause scattering of the liquid or disturbance of the coating surface. The wind speed needs to be appropriately adjusted depending on the coating conditions (coating liquid viscosity, coating speed, etc.).
It is better to be in the range of sec. It is of course possible to use a pipe as the blow-out nozzle in the present invention. However, in order to improve operability and reproducibility of position setting, a block 22 having an internal hole as shown in FIG. It is desirable that the position can be set with good reproducibility. In order to enhance the effect of the present invention, it is desirable that the end face of the bar has a substantially concentric depression. This is to make it easier for the liquid blown by the wind to escape to the end face of the bar (that is, to enhance the effect of the action). According to this method, since the liquid does not pass through the nozzle, clogging of the nozzle does not occur, and the wind outlet does not need to be in close contact with the end face of the bar. .
第6図には本発明の別の実施態様を示す。図中、バー
の端部には特開昭60−225669に開示されているようにバ
ーの表面の一部に接触するブレード23が設けてある他、
バー端部において一定幅(望ましくは2〜15mm)にわた
ってワイヤーの溝をつぶしてある。これはブレードによ
るバー表面の液のかき落とし効果を高め、バーの1次側
に液だまりが出来ることを抑制する働きをする。ワイヤ
の溝をつぶす方法としては、みぞを半田で詰める方法、
あらかじめ所定の部分のロッド径をワイヤー巻の部分の
ロッド径よりワイヤー径の2倍分だけ大きくしておく方
法、ワイヤーバーのかわりに溝切りバーを用いて所定部
分だけ溝を切らない方法など公知の方法を用いることが
できる。本発明にもとづく第6図の実施態様においては
さらにバーの端部においてノズル21が設置されバーと支
持体の接触部に向けて空気を吹きかれている。本図にお
いて風の吹き付けがない場合バー端部のブレード設置部
分は支持体の塗布開始直後は1次側液だまりがなく非常
に薄塗になるかまたは全く塗布されないが、しばらくた
つとバー中央部1次側の液だまりより毛管現象によって
バー端部にまで塗布液が押し寄せ、結局その液がバー端
面に回り厚塗りを発生させてしまう。本図における風の
作用はバー中央部における1次側液だまりの液がバー端
部に広がるのを防ぐ効果であり、前述の作用に相当す
る。本方式において風の作用を高めるためには、風は外
側から内側に向かって吹くことが良いように考えられる
が、実際そのような方向に風を吹くと1次側液だまりの
液を乱し、塗布面の乱れを引き起こし易いことが判っ
た。よって風の方向はバーに直角方向より多少外向きの
方が望ましい。具体的には10゜〜70゜、より具体的には
30゜〜60゜が望ましい。また吹き出しノズルは第4図同
様細い方がよく、内径2mm以内、望ましくは1mm以内がよ
い。ノズルの先端に位置も同様、塗布液がノズルに付着
しない範囲でできるだけバー端面から近い方がよく、実
際的には1〜10mm、望ましくは1.5〜5mmがよい。風速も
第4図同様塗布条件によって適正に調整される必要があ
るが、5〜30m/secの範囲が好ましい。FIG. 6 shows another embodiment of the present invention. In the figure, the end of the bar is provided with a blade 23 that contacts a part of the surface of the bar as disclosed in JP-A-60-225669,
At the end of the bar, the wire groove is crushed over a fixed width (preferably 2 to 15 mm). This enhances the scraping effect of the liquid on the bar surface by the blade, and serves to suppress the formation of a liquid pool on the primary side of the bar. As a method of crushing the groove of the wire, a method of filling grooves with solder,
Known methods, such as a method in which the rod diameter of a predetermined portion is twice as large as the wire diameter of the wire wound portion in advance, and a method in which a groove is not cut only in a predetermined portion by using a groove bar instead of a wire bar. Can be used. In the embodiment of FIG. 6 according to the present invention, a nozzle 21 is further provided at the end of the bar, and air is blown toward a contact portion between the bar and the support. In this figure, when there is no air blowing, the blade installation part at the end of the bar has very little or no coating on the primary side immediately after the start of application of the support, or is not applied at all. The coating liquid is pushed to the end of the bar by capillary action from the liquid pool on the primary side, and the liquid eventually turns around the end face of the bar to generate thick coating. The action of the wind in this drawing is an effect of preventing the liquid in the primary pool at the center of the bar from spreading to the end of the bar, and corresponds to the above-described action. In order to enhance the effect of the wind in this method, it is considered good to blow the wind from the outside to the inside. However, if the wind is blown in such a direction, the liquid in the primary liquid pool will be disturbed. It was found that the coating surface was easily disturbed. Therefore, it is desirable that the direction of the wind is slightly outward from the direction perpendicular to the bar. More specifically, 10 ゜ to 70 ゜, more specifically
30 ゜ to 60 ゜ is desirable. The blowing nozzle is preferably narrow as in FIG. 4, and the inner diameter is preferably 2 mm or less, more preferably 1 mm or less. Similarly, the position at the tip of the nozzle is preferably as close as possible to the end face of the bar as long as the coating liquid does not adhere to the nozzle, and in practice, it is 1 to 10 mm, preferably 1.5 to 5 mm. The wind speed also needs to be appropriately adjusted according to the application conditions as in FIG. 4, but is preferably in the range of 5 to 30 m / sec.
本発明に用いられるバー2の材質は、強度および耐薬
品性の面で金属(特にステンレス鋼)が多くの場合望ま
しいが、それに限定されることなくナイロン等のプラス
チックファイバーを巻いたワイヤーバーや、ゴム製やプ
ラスチック製の溝付きバーも用いられる。The material of the bar 2 used in the present invention is preferably a metal (especially stainless steel) in terms of strength and chemical resistance in many cases, but is not limited thereto, and a wire bar wrapped with a plastic fiber such as nylon, Rubber or plastic fluted bars are also used.
ワイヤーバーとしては、この他に巻かれたワイヤーの
外周表面を平に研磨して基板1との接触面積を増したラ
ッピングバーも用いることができる。As the wire bar, a wrapping bar in which the outer peripheral surface of the wound wire is polished flat to increase the contact area with the substrate 1 can also be used.
バー2の径は6.0〜30.0mm、更に好ましくは6.0〜20.0
mmの範囲が良く、これ以上では塗膜に縦スジ状の不均一
を生じやすく、これ以下では制作が困難になる。The diameter of the bar 2 is 6.0 to 30.0 mm, more preferably 6.0 to 20.0 mm.
The range of mm is good, and if it is larger than this, the coating film tends to have uneven vertical stripes, and if it is smaller than this, production becomes difficult.
バー2がワイヤーバーの場合、良好な塗布面状を得る
ためには、ワイヤー径の範囲は好ましくは0.05〜1.0m
m、更に好ましくは0.05〜0.7mmの範囲がよい。When the bar 2 is a wire bar, the range of the wire diameter is preferably 0.05 to 1.0 m in order to obtain a good coated surface state.
m, more preferably in the range of 0.05 to 0.7 mm.
これらの知見を基にしたバー形状の選択により、湿潤
塗布量が4cc/m2の薄層塗布から約70cc/m2程度の厚膜塗
布まで安定に塗布することができる。The selection of the bar shape based on these findings, the wet coating amount can be applied stably from the thin layer coating of 4 cc / m 2 to about 70 cc / m 2 approximately thick film coating.
本発明において塗布されるウエブ又は基板は特に限定
されず、例えば、紙、プラスチックフィルム、レジンコ
ート紙、金属板、硝子板などがあげられ、その厚さも限
定されないが、0.1〜10mm程度のものが好適に使用され
る。The web or substrate applied in the present invention is not particularly limited, for example, paper, plastic film, resin-coated paper, metal plate, glass plate and the like, the thickness of which is not limited, but is about 0.1 to 10 mm. It is preferably used.
本発明における基板1のサイズは特に限定されない。
一般にガラス基板の場合はサイズが大きくなると表面の
平面性が悪くなりがちであるが、第1図に示した抑えロ
ール15の表面に弾性体を設けたものを用いることによ
り、1m×1m(厚さ2mm)の方形ガラス板でも充分に均一
に塗布できることが確認されている。尚、基板1の形状
は方形、円形いずれの形状でも良好に塗布可能であり、
形状は特に限定されるものではない。The size of the substrate 1 in the present invention is not particularly limited.
In general, in the case of a glass substrate, the flatness of the surface tends to deteriorate as the size increases. However, by using an elastic body provided on the surface of the holding roll 15 shown in FIG. It has been confirmed that even a square glass plate with a thickness of 2 mm) can be applied sufficiently uniformly. The shape of the substrate 1 can be satisfactorily applied in any of a square shape and a circular shape.
The shape is not particularly limited.
本発明の方法により種々の液を連続基板又は非連続性
基板に塗布できる。塗布液の組成及び物性は特に限定さ
れないが、粘度100cp以下、特に50cp以下のものが好適
に塗布される。Various liquids can be applied to a continuous or discontinuous substrate by the method of the present invention. The composition and physical properties of the coating solution are not particularly limited, but those having a viscosity of 100 cp or less, particularly 50 cp or less, are preferably applied.
本発明の方法により好適にカラーフィルターを製造す
ることができる。通常、撮像装置や表示装置においてカ
ラー画像を扱う場合は、通常可視光線の波長を分割して
取り出し、光電変換し、増幅、搬送、増幅の工程を経て
電気エネルギーを光に変換し、対応する色光に戻し、色
光を組み立てて表示する方法が行なわれている。一般に
は、画像濃度を表わす最小単位である絵素毎にB
(青)、G(緑)、R(赤)の3つの波長に分割して扱
っており、自己発光しない撮像装置や液晶テレビのよう
な表示装置はそのためのフィルターを必要とし、これを
カラーフィルターと呼んでいる。A color filter can be suitably manufactured by the method of the present invention. Normally, when a color image is handled in an imaging device or a display device, the wavelength of visible light is usually divided and taken out, photoelectrically converted, and electrical energy is converted into light through the steps of amplification, transport, and amplification. , And a method of assembling and displaying color light is performed. Generally, B is set for each pixel which is the minimum unit representing the image density.
(Blue), G (Green), and R (Red) are divided into three wavelengths, and an imaging device that does not emit light or a display device such as a liquid crystal television needs a filter therefor. I'm calling
カラーフィルターの製造に使用される、顔料によって
着色された感光性組成物は、米国特許第3,549,367号明
細書等に開示されている付加重合性不飽和モノマー、光
重合開始剤およびバインダーからなる光重合性感光性組
成物およびポリマーの主鎖または側鎖に不飽和二重結合
残基を持つ光架橋型フォトポリマーが有用である。A photosensitive composition colored by a pigment used in the production of a color filter is a photopolymerization composition comprising an addition-polymerizable unsaturated monomer, a photopolymerization initiator, and a binder disclosed in U.S. Patent No. 3,549,367. Photosensitive cross-linkable photopolymers having an unsaturated double bond residue in the main chain or side chain of the photosensitive photosensitive composition and the polymer are useful.
該光重合性感光性組成物中の付加重合性不飽和モノマ
ーは、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽
和基をもち、沸点が常圧で100℃以上の化合物である。
例えば、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレ
ート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレ
ート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、等の単
官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレン
グリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエ
タントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコー
ルジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アク
リレート、メリメチロールプロパントリ(アクリロイル
オキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイロキシエ
チル)イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロール
エタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプ
ロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレー
ト化したもの、特公昭48−41708号、特公昭50−6034
号、特開昭51−37193号各公報に記載されているような
ウレタンアクリレート類、特開昭48−64183号、特公昭4
9−43191号、特公昭52−30490号各公報に記載されてい
るポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メ
タ)アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレー
ト類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートをあ
げることが出来る。更に、日本接着協会誌Vol,20、No.
7,300〜308頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして
紹介されているものも使用できる。使用量は、5〜50Wt
%(以下%と省略する)好ましくは、10〜40%である。The addition-polymerizable unsaturated monomer in the photopolymerizable photosensitive composition is a compound having at least one addition-polymerizable ethylenically unsaturated group and having a boiling point of 100 ° C. or more at normal pressure.
For example, monofunctional acrylates and methacrylates such as polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, and phenoxyethyl (meth) acrylate; polyethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolethanetri (meth) Acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, hexanediol (meth) acrylate, mermethylolpropane tri (acryloyloxy) Propyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, polyfunctional alcohols such as glycerin and trimethylolethane. After adding ethylene oxide or propylene oxide to call (meth) those acrylated, JP-B-48-41708, JP-B 50-6034
Urethane acrylates described in JP-A-51-37193, JP-A-48-64183,
Polyfunctional acrylates and methacrylates such as polyester acrylates described in JP-A-9-43191 and JP-B-52-30490, and epoxy acrylates which are reaction products of epoxy resin and (meth) acrylic acid. I can do it. In addition, Journal of the Adhesion Society of Japan Vol. 20, No.
Those described as photocurable monomers and oligomers on pages 7,300 to 308 can also be used. Used amount is 5-50Wt
% (Hereinafter abbreviated as%), preferably 10 to 40%.
光重合開始剤としては、米国特許第2,367,660号明細
書に開示されているビシナールポリケトアルドニル化合
物、米国特許第2,367,661号および第2,367,670号明細書
に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第2,
448,828号明細書に開示されているアシロインエーテ
ル、米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα
−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国
特許第3,046,127号および第2,951,758号明細書に開示さ
れている多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明
細書に開示されているトリアリルアミダゾールダイマー
/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516
号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物/ト
リハロメチール−s−トリアジン系化合物、特願昭61−
186238号公報に記載されている感光性s−トリアジン化
合物、米国特許第4,239,850号明細書に開示されている
トリハロメチル−s−トリアジン系化合物、米国特許第
4,212,976号明細書に記載されているオキサジアゾール
化合物等があげられる。使用量は固形分比で約0.2〜20
%、好ましくは0.5〜15%である。As the photopolymerization initiator, vicinal polyketo aldonyl compounds disclosed in U.S. Pat.No. 2,367,660, α-carbonyl compounds disclosed in U.S. Pat.Nos. 2,367,661 and 2,367,670, U.S. Pat. No. 2,
Acyloin ethers disclosed in 448,828, α disclosed in U.S. Pat.No. 2,722,512
-Hydrocarbon substituted aromatic acyloin compounds, polynuclear quinone compounds disclosed in U.S. Pat.Nos. 3,046,127 and 2,951,758, triallylamidazole dimer disclosed in U.S. Pat.
/ p-Aminophenyl ketone combination, JP-B-51-48516
Benzothiazole compound / trihalomethyl-s-triazine compound disclosed in Japanese Patent Application No.
No. 186238, a photosensitive s-triazine compound described in U.S. Pat.No. 4,239,850, a trihalomethyl-s-triazine-based compound disclosed in U.S. Pat.
Oxadiazole compounds described in the specification of 4,212,976 are exemplified. The amount used is about 0.2-20 in solid content ratio
%, Preferably 0.5 to 15%.
バインダーは、モノマーに対して相溶性のある線状有
機高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶
液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高
分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマ
ー、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、
特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53
836号、特開昭59−71048号明細書に記載されているよう
なメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコ
ン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合
体、部分エステル化マレイン酸共重合体等があり、また
同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体
がある。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を
付加させたものなども有用である。特にこれらのなかで
ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共
重合体やベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アク
リル酸/および他のモノマーとの多元共重合体が好適で
ある。この他に水溶性ポリマーとして、ポリビニールピ
ロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニールアル
コール等も有用である。また硬化皮膜の強度をあげるた
めにアルコール可溶性ナイロンや2,2−ビス−(4−ヒ
ドロキシフェニル)−プロパンとエピクロルヒドリンの
ポリエーテルなども有用である。これらのポリマーは任
意な量を混合させることができるが、90%を越えること
は形成される画像強度等の点で好ましい結果を与えな
い。好ましくは30〜85%である。The binder is preferably a linear organic high molecular polymer compatible with the monomer, soluble in an organic solvent, and developable with a weak alkaline aqueous solution. As such a linear organic high molecular polymer, a polymer having a carboxylic acid in a side chain, for example, JP-A-59-44615, JP-B-54-34327,
JP-B-58-12577, JP-B-54-25957, JP-A-59-53
No. 836, methacrylic acid copolymers, acrylic acid copolymers, itaconic acid copolymers, crotonic acid copolymers, maleic acid copolymers, and the like described in JP-A-59-71048. There are esterified maleic acid copolymers and the like, as well as acidic cellulose derivatives having a carboxylic acid in the side chain. In addition, those obtained by adding an acid anhydride to a polymer having a hydroxyl group are also useful. Among these, a benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer and a multi-component copolymer with benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid / and other monomers are particularly preferable. In addition, polyvinyl pyrrolidone, polyethylene oxide, polyvinyl alcohol, and the like are also useful as the water-soluble polymer. In order to increase the strength of the cured film, alcohol-soluble nylon and polyether of 2,2-bis- (4-hydroxyphenyl) -propane and epichlorohydrin are also useful. These polymers can be mixed in any amount, but if it exceeds 90%, it does not give favorable results in terms of the strength of the formed image and the like. Preferably it is 30-85%.
以上の他に、更に、熱重合防止剤を加えておくことが
好ましく、例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェ
ノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロー
ル、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4′−チ
オビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,
2′−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェ
ノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用
である。In addition to the above, it is preferable to further add a thermal polymerization inhibitor, for example, hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4 '-Thiobis (3-methyl-6-t-butylphenol), 2,
2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole and the like are useful.
通常市販のモノマー中には、適量の熱重合防止剤が添
加されている。Usually, an appropriate amount of a thermal polymerization inhibitor is added to commercially available monomers.
光架橋型フォトポリマーとしては、例えば、特開昭52
−96696号に開示されているポリエステル化合物、英国
特許第1,112,277号、同第1,313,390号、同第1,341,004
号、同第1,377,747号、特開昭55−23941号等の各明細書
に記載のポリビニールシンナメート系感光性ポリマーな
どが含まれる。As the photocrosslinkable photopolymer, for example,
Polyester compounds disclosed in -96696, British Patent Nos. 1,112,277, 1,313,390 and 1,341,004
No. 1,377,747, JP-A-55-23941, and the like, and the like.
該感光性組成物の有用な有機溶剤は、グリコールエー
テル系のメチルセロソルブ、エチルセロソルブ、プロピ
ルセロソルブ、プロピレングリコールメチルエーテル、
プロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリ
コールプロピルエーテルおよびそのアセテート系、すな
わち、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブ
アセテート、プロピルセロソルブアセテート、プロピレ
ングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレング
リコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコ
ールプロピルエーテルアセテートが有用である。また酢
酸エステル系では、アミルアセテート、ブチルアセテー
ト、プロピルアセテート、エチルアセテートが、ケトン
系では、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケト
ン、アセトン、シクロヘキサノンが、その他ジメチルホ
ルムアミド、ジメチルスルホオキサイド、メチルピロリ
ドン、γ−ブチロラクトン、乳酸エチル等が有用であ
り、それぞれのアルキル基は、直鎖でも枝分かれの異性
体でもよい。Useful organic solvents for the photosensitive composition include glycol ether methyl cellosolve, ethyl cellosolve, propyl cellosolve, propylene glycol methyl ether,
Propylene glycol ethyl ether, propylene glycol propyl ether and their acetates, namely methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, propyl cellosolve acetate, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate are useful. In the case of acetic ester, amyl acetate, butyl acetate, propyl acetate, and ethyl acetate; in the case of ketone, methyl isobutyl ketone, methyl ethyl ketone, acetone, and cyclohexanone; Ethyl and the like are useful, and each alkyl group may be a linear or branched isomer.
溶液濃度は、3〜70%の範囲で利用できるが、より好
ましい範囲は、15〜50%である。Solution concentrations can be utilized in the range of 3-70%, with a more preferred range being 15-50%.
また色材は、例えば、アゾ系、アンスラキノン系、キ
サンテン系、キナクリドン系、インジゴ系、ジオキサジ
ン系、インダンスロン系、イソインドリノン系、フタロ
シアニン系、トリフェニルメタン系、ニトロソ系、ペリ
レン系、イソインドリン系の顔料が有用であり、例え
ば、フタロシアニンブルー(C.I.ピグメントブルー15:6
またはC.I.ピグメントブルー15:3:例えば、東洋インキ
製造(株)製のリオノールブルーES、チバガイギー社製
のクロモブルーA3R)、フタロシアニングリーン(C.I.
ピグメントグリーン7、36、またはC.I.ピグメントグリ
ーン37:例えば、東洋インキ製造(株)製のリオノール
グリーン2YS)、ペリレン系顔料(C.I.ピグメントレッ
ド155、アントラキノン系顔料(C.I.ピグメントレッド1
77:例えば、東洋インキ製造(株)製のリオノーゲンレ
ッドGD、チバガイギー社製のクロモフタルレッドBRN)
等が有用であり、更に色補正のためにC.I.ピグメントエ
ロー83、C.I.ピグメントエロー154:例えば、東洋インキ
製造(株)製のリオノーゲンエロー3G、C.I.ピグメント
バイオレッド23:例えば、東洋インキ製造(株)製のリ
オノーゲンバイオレットRL等が特に好ましい。該色材
は、上記光硬化型感光性組成物に分散して着色感光性組
成物を製造する。Coloring materials, for example, azo, anthraquinone, xanthene, quinacridone, indigo, dioxazine, indanthrone, isoindolinone, phthalocyanine, triphenylmethane, nitroso, perylene, Isoindoline pigments are useful, for example, phthalocyanine blue (CI Pigment Blue 15: 6
Or CI Pigment Blue 15: 3: for example, Lionol Blue ES manufactured by Toyo Ink Mfg. Co., Ltd., Chromo Blue A3R manufactured by Ciba Geigy, or phthalocyanine green (CI
Pigment Green 7, 36, or CI Pigment Green 37: for example, Lionol Green 2YS manufactured by Toyo Ink Mfg. Co., Ltd., perylene pigment (CI Pigment Red 155, anthraquinone pigment (CI Pigment Red 1)
77: For example, Lionogen Red GD manufactured by Toyo Ink Mfg. Co., Ltd., and Chromophthal Red BRN manufactured by Ciba Geigy)
And CI Pigment Yellow 83, CI Pigment Yellow 154: For example, Lionogen Yellow 3G and CI Pigment Bio Red 23 manufactured by Toyo Ink Manufacturing Co., Ltd .: For example, Toyo Ink Manufacturing Co., Ltd. ) Is particularly preferred. The coloring material is dispersed in the photocurable photosensitive composition to produce a colored photosensitive composition.
感光層中に占める該顔料の比率は、固形分比で5〜90
%であり、より好ましくは10〜60%である。The ratio of the pigment in the photosensitive layer is 5 to 90 in terms of solid content.
%, More preferably 10 to 60%.
本発明の塗布方法によれば、支持体の幅方向両端部に
発生する塗布厚膜部の厚みを薄くでき、塗布膜の厚みを
均一化することができる。従って、本発明の方法によれ
ば極めて効率的に塗布ウエブ又は基板を生産することが
できる。ADVANTAGE OF THE INVENTION According to the coating method of this invention, the thickness of the coating thick film part which arises in the width direction both ends of a support body can be made thin, and the thickness of a coating film can be made uniform. Therefore, according to the method of the present invention, a coated web or substrate can be produced very efficiently.
よって、本発明は写真用フィルム、印画紙等の写真感
光材料や写真製版材料、磁気録音テープ等の磁気記録材
料、感圧記録紙、感熱記録紙等を効率的に製造できる。
また、半導体ウエハあるいはその製造に用いられるフォ
トマスク用フォトレジスト塗布、プリント基板用ソルダ
ーレジスト塗布あるいはガラス基板塗布等において、大
サイズ基板、あるいは任意形状の基板に対しても均一塗
布が可能であり、また、塗布液のロスが少ない経済的に
も優れた塗布方法が提供される。Therefore, according to the present invention, a photographic photosensitive material such as a photographic film and a photographic paper, a photoengraving material, a magnetic recording material such as a magnetic recording tape, a pressure-sensitive recording paper, and a heat-sensitive recording paper can be efficiently manufactured.
In addition, in the application of a photoresist for a photomask used in the production of a semiconductor wafer or the production thereof, a solder resist for a printed circuit board, or a glass substrate, it is possible to apply evenly to a large-sized substrate or a substrate of an arbitrary shape. Further, there is provided an economically excellent coating method in which the loss of the coating liquid is small.
又、本発明の方法をカラーフィルターの製造方法に適
用すると、着色された感光性組成物の溶液を大きな面積
にムラ無く塗布することができる。In addition, when the method of the present invention is applied to a method for producing a color filter, a colored solution of the photosensitive composition can be applied to a large area without unevenness.
従って、本発明の方法によって、液晶カラーディスプ
レー、液晶カラーテレビ、カラー撮像管、カラーイメー
ジセンサーなどが安価に且つ容易に製造できる。Therefore, according to the method of the present invention, a liquid crystal color display, a liquid crystal color television, a color image pickup tube, a color image sensor and the like can be easily manufactured at low cost.
次に実施例により本発明を説明する。 Next, the present invention will be described with reference to examples.
実施例1 第1図に示すバー塗布装置を用い、大きさ45cm×45c
m、厚さ1.1mmのガラス基板上にフォトレジスト液を塗布
した。バー2は12mm径のステンレス鋼に0.175mmの径の
ステンレスワイヤーを巻き、端面は第5図に示すように
同心円状のくぼみを45゜の角度で設けたものを選んだ。
尚、段の高さを2mmとした。基板の搬送速度およびワイ
ヤーバーの回転速度はいずれも3m/分とした。Example 1 Using a bar coating device shown in FIG. 1, a size of 45 cm × 45 c
A photoresist solution was applied on a glass substrate having a thickness of 1.1 mm and a thickness of 1.1 mm. For the bar 2, a stainless wire having a diameter of 0.175 mm was wound around a stainless steel having a diameter of 12 mm, and an end face having a concentric hollow formed at an angle of 45 ° as shown in FIG. 5 was selected.
The height of the step was 2 mm. The transport speed of the substrate and the rotation speed of the wire bar were all 3 m / min.
この際、第4図に示すようにバー端面におけるバーと
ガラス板の接触部に向かってノズルより風を吹き付け
た。吹き出しノズルは内径0.9mmのパイプ、吹き出し方
向は2次側から1次側に向かって45゜傾け、ノズルの先
端はバー端面から約5mm離れるように設定した。風速は
ノズル出口で15m/secとなるように風量を設定した。塗
布面の幅方向両端部はやはり第8図に示すような厚塗り
が発生したが、塗布エッジ部分の最大膜厚bは中央部平
均膜厚aの約3倍、平均膜厚の5%以内にはいるための
距離1は約10mmと改善された。At this time, as shown in FIG. 4, air was blown from a nozzle toward a contact portion between the bar and the glass plate at the end face of the bar. The blowing nozzle was a pipe having an inner diameter of 0.9 mm, the blowing direction was inclined by 45 ° from the secondary side to the primary side, and the tip of the nozzle was set so as to be about 5 mm away from the bar end face. The wind speed was set so that the wind speed was 15 m / sec at the nozzle outlet. Thick coating as shown in FIG. 8 also occurred at both ends in the width direction of the coating surface, but the maximum thickness b at the coating edge portion was about three times the average thickness a at the central portion and within 5% of the average thickness. Distance 1 for entering has been improved to about 10mm.
実施例2 エッジ部分5mmの幅でワイヤー溝を半田でつぶしたバ
ーを用い、第6図に示すように、バーエッジ部分10mmに
わたってブレードを接触させながら、バーの端部におい
てバーとガラス板の接触部に向かってノズルより風を吹
きつけた。吹き出しノズルは内径0.9mmのパイプ、吹き
出し方向は45゜外向き、ノズルの先端はバー表面から約
2.5mm離れるように設定した。風速はノズル出口で15m/s
ecとなるように風量を設定した。尚、これ以外の条件は
実施例1と同様である。このようにして塗布を行った結
果塗布面の幅方向両端部にはやはり第8図に示すような
厚塗りが発生したが、塗布エッジ部分の最大膜厚bは中
央部平均膜厚aの約2倍、平均膜厚の5%以内にはいる
ための距離1は約5mmと改善された。Example 2 Using a bar in which a wire groove was crushed by solder with a width of 5 mm at an edge portion, and as shown in FIG. 6, a contact portion of a bar and a glass plate at an end portion of the bar while contacting a blade over a bar edge portion of 10 mm. Wind was blown from the nozzle toward. The blow-out nozzle is a 0.9 mm inside diameter pipe, the blow-out direction is 45 ° outward, and the tip of the nozzle is approximately
It was set to be 2.5mm apart. Wind speed is 15m / s at nozzle exit
The air volume was set to be ec. The other conditions are the same as in the first embodiment. As a result of the application as described above, thick coating as shown in FIG. 8 also occurred at both ends in the width direction of the coating surface, but the maximum thickness b at the coating edge portion was approximately equal to the average thickness a at the central portion. The distance 1 for doubling and falling within 5% of the average film thickness was improved to about 5 mm.
比較例1 第7図に示すようにエッジ部分になんらの対策も施さ
ない方式を採用しない以外は実施例1と同様にして塗布
をおこなったところ、塗布面の幅方向両端部に第8図に
示すような厚塗りが発生し、塗布エッジ部分の最大膜厚
bは中央部平均膜厚aの約5倍、平均膜厚の5%以内に
はいるための距離1は約25mmとなった。Comparative Example 1 As shown in FIG. 7, coating was performed in the same manner as in Example 1 except that a method in which no measure was taken on the edge portion was used. Thick coating occurred as shown, and the maximum film thickness b at the coating edge portion was about 5 times the average film thickness a at the central portion, and the distance 1 for entering within 5% of the average film thickness was about 25 mm.
比較例2 エッジ部分5mmの幅でワイヤー溝を半田でつぶしたバ
ーを用い、第9図に示すように、バーエッジ部分10mmに
わたってブレードを接触させる方式を採用した以外は実
施例1と同様にして塗布を行ったところ、ブレードによ
るバー表面液かきおとし効果により基板先端から約30mm
は塗布面の幅方向両端部には厚塗りが発生しないが、そ
れ以降徐々に厚塗りが発生し基板先端から50mm以降では
塗布エッジ部分での最大膜厚bは中央部平均膜厚aの約
4倍、平均膜厚の5%以内にはいるための距離1は約15
mmとなった。Comparative Example 2 Coating was performed in the same manner as in Example 1 except that a bar in which the wire groove was crushed by solder with a width of 5 mm at the edge portion was used, and as shown in FIG. About 30 mm from the tip of the substrate due to the bar surface liquid scraping effect of the blade
No thick coating occurs at both ends in the width direction of the coating surface, but thereafter thick coating occurs gradually, and after 50 mm from the front end of the substrate, the maximum film thickness b at the coating edge portion is about the central portion average film thickness a. 4 times, distance 1 to enter within 5% of average film thickness is about 15
mm.
第1図は本発明のバー塗布方法の概略図、第2図は第1
図の塗布装置の一部拡大断面図、第3図は段付きバーの
斜視図、第4図は別の形態の段付きバーの断面図、第5
図及び第6図は本発明の塗布方法を示す概略図、第7図
及び第9図は比較用の塗布方法を示す図、第8図は塗布
によって形成される膜厚分布を示す。 1……基板、2……バー、 3……塗布液、4……給液孔、 5……堰部材、6……バー支持部材、 7……塗膜、8……液貯蔵部、 9……液溜り、10……バー塗布装置、 14……パスロール、15……押圧ロール、 16……段付きバー、 21……風吹き出しノズル、 22……風吹き出しブロック、 23……ブレード。FIG. 1 is a schematic view of a bar coating method of the present invention, and FIG.
3 is a perspective view of a stepped bar, FIG. 4 is a sectional view of another form of a stepped bar, FIG.
FIG. 6 and FIG. 6 are schematic diagrams showing a coating method of the present invention, FIG. 7 and FIG. 9 are diagrams showing a coating method for comparison, and FIG. 8 shows a film thickness distribution formed by coating. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... board | substrate, 2 ... bar, 3 ... coating liquid, 4 ... liquid supply hole, 5 ... dam member, 6 ... bar support member, 7 ... coating film, 8 ... liquid storage part, 9 …… Reservoir, 10 …… Bar application device, 14 …… Pass roll, 15 …… Press roll, 16 …… Stepped bar, 21 …… Blow-off nozzle, 22 …… Blow-off block, 23… Blade.
フロントページの続き (72)発明者 松岡 寛 神奈川県綾瀬市小園1005番地 富士マイ クログラフィックス株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−7467(JP,A) 特開 平2−164476(JP,A)Continuation of the front page (72) Inventor Hiroshi Matsuoka 1005 Koizono, Ayase-shi, Kanagawa Prefecture Inside of Fuji Micro Graphics Co., Ltd. , A)
Claims (3)
支持体の接触部の直前に液溜りが形成される様に塗布液
を供給し、該バーにより前記支持体に塗布液を塗布する
バー塗布方法において、該バーの両端部のバー径を中央
部のそれより細くすることによって、支持体の両サイド
に未塗布部分を設け、かつ塗布部におけるバーと支持体
との接触部の端部に風を吹き付けることを特徴とするバ
ー塗布方法。An application liquid is supplied so that a liquid pool is formed immediately before a contact portion of a support running while contacting a rotating bar, and the coating liquid is applied to the support by the bar. In the bar coating method, uncoated portions are provided on both sides of the support by making the bar diameters at both ends of the bar smaller than those at the center, and the end of the contact portion between the bar and the support in the coated portion is provided. A bar coating method characterized by blowing air to a part.
表面の1部に接触するブレードを設けて、両端部におけ
るバーと支持体の接触部の直前の液溜り量を中央部のそ
れより減らすことを特徴とする請求項(1)記載のバー
塗布方法。2. Blades are provided at both ends of the effective coating width of the coating bar so as to be in contact with a part of the surface of the bar. 2. The method according to claim 1, wherein the number of the bars is reduced.
することを特徴とする請求項(1)記載のバー塗布方
法。3. The bar coating method according to claim 1, wherein both end faces of the coating bar have substantially concentric depressions.
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