JPH0482882A - 錯体とその製造法、該錯体を含む組成物 - Google Patents
錯体とその製造法、該錯体を含む組成物Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はカルボン酸錯体、その製造法および該錯体を含
有する組成物に係り、特に有機溶剤に対する溶解性が優
れ、ポリアミック酸合成の反応制御に有効な錯体および
該組成物に関する。
有する組成物に係り、特に有機溶剤に対する溶解性が優
れ、ポリアミック酸合成の反応制御に有効な錯体および
該組成物に関する。
[従来の技術]
酸無水物は、架橋剤、高分子合成におけるモノマー等と
して優れた特性を有している。しかし、この酸無水物は
、一般に反応性が高く、特に、大気中に含まれる僅かな
水分でも反応しその活性を失うことから、工業上大きな
問題となってい・る。
して優れた特性を有している。しかし、この酸無水物は
、一般に反応性が高く、特に、大気中に含まれる僅かな
水分でも反応しその活性を失うことから、工業上大きな
問題となってい・る。
具体例を挙げれば、酸無水物はエポキシ樹脂の硬化剤と
して優れた特性を有しているが、加水分解性があるため
に使用が限られている。
して優れた特性を有しているが、加水分解性があるため
に使用が限られている。
また、ポリアミック酸等の縮重合系の反応の場合には、
加水分解により千ツマ−の活性が失われるために重合度
が上がらない等の問題がある。従ってこれまでは乾燥条
件下で保存し、使用直前に加熱するなどして再活性化す
る、あるいは、溶剤の脱水等を行って核酸無水物の不安
定性に対処している。
加水分解により千ツマ−の活性が失われるために重合度
が上がらない等の問題がある。従ってこれまでは乾燥条
件下で保存し、使用直前に加熱するなどして再活性化す
る、あるいは、溶剤の脱水等を行って核酸無水物の不安
定性に対処している。
酸無水物を、ポリアミック酸等の縮重合反応のモノマー
として用いた場合は、アミン等の相手モノマーとの当量
比によって大きく重合度が変化する。即ち、当量点では
分子量は原理的に無限大となり、少しでもずれると急激
に分子量は低下する。
として用いた場合は、アミン等の相手モノマーとの当量
比によって大きく重合度が変化する。即ち、当量点では
分子量は原理的に無限大となり、少しでもずれると急激
に分子量は低下する。
従って、ポリマーの分子量は当量比を変えることによっ
て容易に調整できる。このようにして合成した低分子量
のオリゴマー溶液は、高濃度でも粘度が低く作業性に優
れているという利点がある一方で、フィルム等にした場
合に充分な機械特性が得られないという問題がある。
て容易に調整できる。このようにして合成した低分子量
のオリゴマー溶液は、高濃度でも粘度が低く作業性に優
れているという利点がある一方で、フィルム等にした場
合に充分な機械特性が得られないという問題がある。
他方、高分子量体の溶液は、フィルム成型した場合には
一般に優れた特性を示すが、溶液濃度が\ 高くなると急激に粘度が上昇し作業性が悪くなるという
問題がある。前記酸無水物の溶解性は極めて劣り、溶解
特性に優れたN−メチルピロリドンにさえもほとんど溶
解せず、実用上大きな障害となっているがこの点につい
ての解決手段はなかった。
一般に優れた特性を示すが、溶液濃度が\ 高くなると急激に粘度が上昇し作業性が悪くなるという
問題がある。前記酸無水物の溶解性は極めて劣り、溶解
特性に優れたN−メチルピロリドンにさえもほとんど溶
解せず、実用上大きな障害となっているがこの点につい
ての解決手段はなかった。
現在、高濃度で作業性に優れ、しかも硬化後は耐熱性9
機械特性、耐薬品性に優れるという両者の利点を備えた
高分子前駆体溶液が広く要求されている。この要求に対
してはポリアミック酸の分子量を低下させオリゴアミッ
ク酸とする方法、可溶性のイミドオリゴマー、イソイミ
ドオリゴマーを利用する方法がとられてきた。これによ
り高濃度低粘度化が可能となった。これらはスピンコー
ド等の作業時には低粘度のオリゴマーで、加熱等により
末端官能基を反応させ最終的には高分子量体とし、優れ
た絶縁特性の膜を得ることを狙ったものである。
機械特性、耐薬品性に優れるという両者の利点を備えた
高分子前駆体溶液が広く要求されている。この要求に対
してはポリアミック酸の分子量を低下させオリゴアミッ
ク酸とする方法、可溶性のイミドオリゴマー、イソイミ
ドオリゴマーを利用する方法がとられてきた。これによ
り高濃度低粘度化が可能となった。これらはスピンコー
ド等の作業時には低粘度のオリゴマーで、加熱等により
末端官能基を反応させ最終的には高分子量体とし、優れ
た絶縁特性の膜を得ることを狙ったものである。
反応性の官能基としては、酸無水物のハーフエステル化
末端、エチニル末端、ビニル末端、ビフェニル末端等が
検討されてきており、例えば、特開昭60−12072
3号においては、ビニル基あるいはアセチレン基が末端
についた重合可能なオリゴマーを硬化重合させて成る電
子装置が提案されている。
末端、エチニル末端、ビニル末端、ビフェニル末端等が
検討されてきており、例えば、特開昭60−12072
3号においては、ビニル基あるいはアセチレン基が末端
についた重合可能なオリゴマーを硬化重合させて成る電
子装置が提案されている。
ジャーナル オブ ポリマー サイエンス[Journ
al of Polymer 5cience(Par
t II、vol、]pp、3135−3150) ]
には、ピロメリット酸(PMA)と、N、N−ジメチル
アセトアミド(DMAC)との結合比が1:4の錯体結
晶が得られるとの記載がある。但し、酸の反応性の制御
や活性化等この錯体がどのような性質のものか、また、
ポリイミドに変換できるものか等については記載がない
。
al of Polymer 5cience(Par
t II、vol、]pp、3135−3150) ]
には、ピロメリット酸(PMA)と、N、N−ジメチル
アセトアミド(DMAC)との結合比が1:4の錯体結
晶が得られるとの記載がある。但し、酸の反応性の制御
や活性化等この錯体がどのような性質のものか、また、
ポリイミドに変換できるものか等については記載がない
。
[発明が解決しようとする課題]
酸無水物は前述のように、貯蔵安定性に欠けるとか、ア
ミン等の有機化合物との反応性が高く、ポリアミック酸
の分子量等の調節が容易でないとか、有機溶媒に対する
溶解性が良くないなどの問題がある。
ミン等の有機化合物との反応性が高く、ポリアミック酸
の分子量等の調節が容易でないとか、有機溶媒に対する
溶解性が良くないなどの問題がある。
本発明の目的は、新規な隣接ジカルボン酸錯体およびそ
の製造法を提供することである。
の製造法を提供することである。
本発明の他の目的は、前記隣接ジカルボン酸錯体を含む
組成物、およびそれを用いたフェス、フィルム等を提供
することである。
組成物、およびそれを用いたフェス、フィルム等を提供
することである。
本発明の他の目的は、前記隣接ジカルボン酸錯体の一部
がジアミンと反応したポリアミック酸錯体または該ポリ
アミック酸錯体を含む組成物、ワニス、フィルム等を提
供することである。
がジアミンと反応したポリアミック酸錯体または該ポリ
アミック酸錯体を含む組成物、ワニス、フィルム等を提
供することである。
本発明の更に他の目的は、電子装置の絶縁層として有用
なポリイミドを与える前記錯体またはポリアミック酸錯
体を提供することである。
なポリイミドを与える前記錯体またはポリアミック酸錯
体を提供することである。
[課題を解決するための手段]
前記目的は、電子供与性物質との錯体形成によって、脱
水閉環活性を高められた隣接ジカルボン酸錯体によって
達成される。本発明の要旨は、(1)有機化合物の隣接
ジカルボン酸を少なくとも1粗布する化合物R1と、分
子内に活性水素原子を持たずドナー数が20以上の塩基
性有機化合物Bとの反応物であって、一般式(1)で表
わされることを特徴とする錯体。
水閉環活性を高められた隣接ジカルボン酸錯体によって
達成される。本発明の要旨は、(1)有機化合物の隣接
ジカルボン酸を少なくとも1粗布する化合物R1と、分
子内に活性水素原子を持たずドナー数が20以上の塩基
性有機化合物Bとの反応物であって、一般式(1)で表
わされることを特徴とする錯体。
R1・a B −(1)(但し、
C≧a > Oで、Cは1分子中のカルボン酸の数) (2)末端に少なくとも1つの隣接ジカルボン酸結合を
有する有機化合物とアミン化合物とのオリゴマーR2と
、活性水素原子を分子内に持たずドナー数が20以上の
塩基性有機化合物Bとの反応物であって、一般式(2)
で表わされることを特徴とする錯体。
C≧a > Oで、Cは1分子中のカルボン酸の数) (2)末端に少なくとも1つの隣接ジカルボン酸結合を
有する有機化合物とアミン化合物とのオリゴマーR2と
、活性水素原子を分子内に持たずドナー数が20以上の
塩基性有機化合物Bとの反応物であって、一般式(2)
で表わされることを特徴とする錯体。
R2・aB ・・・(2)(但し
、a > O) および前記(1)、 (2)を含む組成物にある。
、a > O) および前記(1)、 (2)を含む組成物にある。
ここでBはカルボン酸との共有結合を形成しないように
、塩基性有機物質は分子内に活性水素原子を持たないも
のである。
、塩基性有機物質は分子内に活性水素原子を持たないも
のである。
本発明で用いられる隣接ジカルボン酸を少なくとも1粗
布する化合物とは、ピロメリット酸(PMA)、ベンゾ
フェノンテトラカルボン酸(BTA)、3.3’ 、4
.4’ −ビフェニルテトラカルボン酸(s−BPA)
、3.3’ +’ 4.4’ビフエニルスルホンテトラ
カルボン酸(DSA)、2.2−ビス(3,4−ジカル
ボキシフェニル)へキサフルオロプロバンチ1〜ラカル
ボン酸(6FA)、メチルピロメリット酸、メチルピロ
メリット酸、ジメチルピロメリット酸、トリフルオロメ
チルピロメリット酸、ジ(トリフルオロメチル)ピロメ
リット酸、3.3’ 、4.4’オキシジフエニレンテ
トラカルボン酸、ブタンテトラカルボン酸、シクロブタ
ンテトラカルボン酸など多くの芳香族系カルボン酸が上
げられる。耐熱性や低熱膨張性等のためには芳香族系の
ものが望ましい。
布する化合物とは、ピロメリット酸(PMA)、ベンゾ
フェノンテトラカルボン酸(BTA)、3.3’ 、4
.4’ −ビフェニルテトラカルボン酸(s−BPA)
、3.3’ +’ 4.4’ビフエニルスルホンテトラ
カルボン酸(DSA)、2.2−ビス(3,4−ジカル
ボキシフェニル)へキサフルオロプロバンチ1〜ラカル
ボン酸(6FA)、メチルピロメリット酸、メチルピロ
メリット酸、ジメチルピロメリット酸、トリフルオロメ
チルピロメリット酸、ジ(トリフルオロメチル)ピロメ
リット酸、3.3’ 、4.4’オキシジフエニレンテ
トラカルボン酸、ブタンテトラカルボン酸、シクロブタ
ンテトラカルボン酸など多くの芳香族系カルボン酸が上
げられる。耐熱性や低熱膨張性等のためには芳香族系の
ものが望ましい。
これらは1種以上用いられる。
前記ドナー数とは“Donor−Acceptor A
pproachto Mo1ecular Inter
action、 (V、Gutmann、 1978)
の翻訳である「溶液反応の分子間相互作用j(1986
年学会出版センター出版、大瀧仁志他による翻訳)の第
21〜29頁に記載の定義に基づく。
pproachto Mo1ecular Inter
action、 (V、Gutmann、 1978)
の翻訳である「溶液反応の分子間相互作用j(1986
年学会出版センター出版、大瀧仁志他による翻訳)の第
21〜29頁に記載の定義に基づく。
即ち、ドナー数は、基準のアクセプターとして、ジクロ
ロエタン中に 103モルのs b c x、を選び、
ドナー(D)との反応のモルエンタルピー値として定義
される。
ロエタン中に 103モルのs b c x、を選び、
ドナー(D)との反応のモルエンタルピー値として定義
される。
前記において、特に塩基性有機物質のドナー数が25以
」−であると錯体の形成が容易である。
」−であると錯体の形成が容易である。
ここで用いる塩基性有機物質、即ち、電子供与性物質と
しては、ドナー数20以上のテ1へラヒドロフラン(T
HF)、リン酸トリメチル(TMP)、リン酸トリブチ
ル(TBP)などが挙げられる。
しては、ドナー数20以上のテ1へラヒドロフラン(T
HF)、リン酸トリメチル(TMP)、リン酸トリブチ
ル(TBP)などが挙げられる。
特に有効なドナー数25以上のものとしては、ジメチル
ホルムアミド(DMF) 、N−メチルピロリドン(N
MP)、N−ジメチルアセトアミド(DMA)、ジメチ
ルスルホキシド(DMSO)、N−ジエチルホルムアミ
ド(DEF) 、N−ジエチルアセトアミド(DEA)
、N−メチルアセトアミド、ピリジン(PY)、ヘキ
サメチルリン酸1〜リアミド(HMPA)、テトラメチ
ル尿素、トリエチルアミン(TEA)などが挙げられる
。
ホルムアミド(DMF) 、N−メチルピロリドン(N
MP)、N−ジメチルアセトアミド(DMA)、ジメチ
ルスルホキシド(DMSO)、N−ジエチルホルムアミ
ド(DEF) 、N−ジエチルアセトアミド(DEA)
、N−メチルアセトアミド、ピリジン(PY)、ヘキ
サメチルリン酸1〜リアミド(HMPA)、テトラメチ
ル尿素、トリエチルアミン(TEA)などが挙げられる
。
その他、γ−プロピオラクタム、ε−カプロラクタムな
どが用いられる。これらの電子供与性物質は1種以−ヒ
用いることができる。
どが用いられる。これらの電子供与性物質は1種以−ヒ
用いることができる。
酸無水物の反応性の制御法の一つとしては、加水分解に
よりカルボン酸に変化させる方法やアルコールと反応さ
せてエステルにする方法が知られている。しかし、これ
らの方法を用いた場合は、安定化の度合いがあまりにも
大きずぎ再活性イビには多くの場合200℃程度の加熱
を要し、使用できる範囲が極めて限られていた。
よりカルボン酸に変化させる方法やアルコールと反応さ
せてエステルにする方法が知られている。しかし、これ
らの方法を用いた場合は、安定化の度合いがあまりにも
大きずぎ再活性イビには多くの場合200℃程度の加熱
を要し、使用できる範囲が極めて限られていた。
本発明の隣接ジカルボン酸を少なくとも1組有する化合
物は、電子供与性物質から電子を受は取った結果、カル
ボン酸部分の脱水閉環活性が高められている。これによ
って、加熱により速やかに酸無水物としての活性を回復
したり、他の活性水素と脱水反応を起こすことができ、
しかも常温〜150℃、錯体によっては80℃以下で極
めて安定である。
物は、電子供与性物質から電子を受は取った結果、カル
ボン酸部分の脱水閉環活性が高められている。これによ
って、加熱により速やかに酸無水物としての活性を回復
したり、他の活性水素と脱水反応を起こすことができ、
しかも常温〜150℃、錯体によっては80℃以下で極
めて安定である。
前記錯体は、加水分解やエステル化によって反応性を低
下させた場合とは異なり、温度を上げ分子運転を活発に
することにより速やかに目的とする反応を生じる。従っ
て、酸無水物の安定化法として極めて優れたものである
。特に、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド
、トリエチルアミン、ピリジンなどドナー数25以上の
塩基性物質が安定な錯体を与える。
下させた場合とは異なり、温度を上げ分子運転を活発に
することにより速やかに目的とする反応を生じる。従っ
て、酸無水物の安定化法として極めて優れたものである
。特に、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド
、トリエチルアミン、ピリジンなどドナー数25以上の
塩基性物質が安定な錯体を与える。
テトラカルボン酸二無水物(s−BPDA)は、錯体を
形成しない状態では有機溶媒に対して極めて溶解性が低
く、僅かにN−メチルピロリドンなどの溶媒に溶けるに
過ぎず、120℃、5時間加熱後の上澄液中の5−BP
DA濃度は4%と非常に溶解性が悪い。このため反応溶
媒は極めて限られている。
形成しない状態では有機溶媒に対して極めて溶解性が低
く、僅かにN−メチルピロリドンなどの溶媒に溶けるに
過ぎず、120℃、5時間加熱後の上澄液中の5−BP
DA濃度は4%と非常に溶解性が悪い。このため反応溶
媒は極めて限られている。
本発明の酸錯体の溶解性は大幅に改善され、従来の酸無
水物では実用上はとんど用いることができなかった、テ
トラヒドロフランに対しても容易に溶解することができ
る。このように本発明による酸錯体は溶解性の向上に極
めて有効である。
水物では実用上はとんど用いることができなかった、テ
トラヒドロフランに対しても容易に溶解することができ
る。このように本発明による酸錯体は溶解性の向上に極
めて有効である。
本発明の錯体はジアミンを反応させてオリゴマーの錯体
を作ることができる。
を作ることができる。
この錯体の優れた特性を生かして、様々な応用が考えら
れる。工業上重要なポリイミドは、ポリアミック酸とし
て塗布されその後加熱硬化により得るのが一般的である
。このポリイミドの前駆体であるポリアミック酸の合成
に本発明のカルボン酸錯体を用いることにより、高濃度
でも作業性を失わず、しかも、硬化後は高分子量体のポ
リアミック酸を硬化した場合と同様優れた機械特性、耐
熱性、耐薬品性のポリイミドを与えるワニスを得ること
ができる。即ち、分子中に千ツマ−あるいはオリゴマー
構造をとるカルボン酸錯体を有する化合物とこれに当量
のアミンを含むワニスは、加熱することにより、前記の
原理に従いカルボン酸錯体とアミンが反応し高分子量化
する。
れる。工業上重要なポリイミドは、ポリアミック酸とし
て塗布されその後加熱硬化により得るのが一般的である
。このポリイミドの前駆体であるポリアミック酸の合成
に本発明のカルボン酸錯体を用いることにより、高濃度
でも作業性を失わず、しかも、硬化後は高分子量体のポ
リアミック酸を硬化した場合と同様優れた機械特性、耐
熱性、耐薬品性のポリイミドを与えるワニスを得ること
ができる。即ち、分子中に千ツマ−あるいはオリゴマー
構造をとるカルボン酸錯体を有する化合物とこれに当量
のアミンを含むワニスは、加熱することにより、前記の
原理に従いカルボン酸錯体とアミンが反応し高分子量化
する。
この場合のワニスの粘度は、従来のポリアミック酸ワニ
スと比較して同一濃度でもはるかに低くなる。これは、
高分子溶液の粘度が分子量の3乗に比例するためである
。従って前記錯体を含むワニスを用いることによって高
濃度化が達成できる。
スと比較して同一濃度でもはるかに低くなる。これは、
高分子溶液の粘度が分子量の3乗に比例するためである
。従って前記錯体を含むワニスを用いることによって高
濃度化が達成できる。
更に、硬化した場合には、既述の様に高分子量化するた
めに、従来のポリアミック酸ワニスを用いた場合と同様
な優れた機械特性、耐熱性 耐薬品性を得ることができ
る。また、使用する全酸無水物に対する錯体の量を変え
ることによって容易にワニスの粘度調整ができることは
云うまでもない ロッドライク構造を有するポリイミドは、低熱膨張性を
示すことが知られている。そのような構造のポリイミド
を与えるモノマーを用いることによって、平坦化特性に
優れ、さらに熱応力の小さな絶縁膜を与えるポリアミッ
ク酸を得ることができる。
めに、従来のポリアミック酸ワニスを用いた場合と同様
な優れた機械特性、耐熱性 耐薬品性を得ることができ
る。また、使用する全酸無水物に対する錯体の量を変え
ることによって容易にワニスの粘度調整ができることは
云うまでもない ロッドライク構造を有するポリイミドは、低熱膨張性を
示すことが知られている。そのような構造のポリイミド
を与えるモノマーを用いることによって、平坦化特性に
優れ、さらに熱応力の小さな絶縁膜を与えるポリアミッ
ク酸を得ることができる。
低熱膨張性は、主鎖の骨格の構造に由来するため、モノ
マー中の芳香環にアルキル基、フッ素化アルキル基、ア
ルコキシ基、フッ素化アルコキシ基、アシル基、ハロゲ
ン等を導入することによって改質ができることは明らか
である。
マー中の芳香環にアルキル基、フッ素化アルキル基、ア
ルコキシ基、フッ素化アルコキシ基、アシル基、ハロゲ
ン等を導入することによって改質ができることは明らか
である。
また、低熱膨張性を失なわない範囲で3,3′44′−
ベンゾフェノンテトラカルボン酸等の柔軟な構造を有す
るポリマーを共重合することにより、さらに柔軟性に富
むポリイミドを得ることや、1.3−ビス〔3,4−ジ
カルボキシ−〔1゜2.2〕−ビシクロコテトラメチル
ジシロキサンジアンハイドライド等の接着改質材の共重
合による接着性向」二、その他のジアミン、酸二無水物
との共重合による改質も可能である。また、前記のピロ
メリット酸二無水物と3.3’ 、4.4’ビフェニル
テトラカルボン酸二無水物を共重合することにより、L
SIプロセス上重要なウェットエッチ性をコントロール
することも可能である。
ベンゾフェノンテトラカルボン酸等の柔軟な構造を有す
るポリマーを共重合することにより、さらに柔軟性に富
むポリイミドを得ることや、1.3−ビス〔3,4−ジ
カルボキシ−〔1゜2.2〕−ビシクロコテトラメチル
ジシロキサンジアンハイドライド等の接着改質材の共重
合による接着性向」二、その他のジアミン、酸二無水物
との共重合による改質も可能である。また、前記のピロ
メリット酸二無水物と3.3’ 、4.4’ビフェニル
テトラカルボン酸二無水物を共重合することにより、L
SIプロセス上重要なウェットエッチ性をコントロール
することも可能である。
また、本発明のカルボン酸錯体は加熱時に活性を示すの
で、エポキシ樹脂等の硬化剤として用いることができる
。
で、エポキシ樹脂等の硬化剤として用いることができる
。
本発明による錯体の熱分解温度をDTAで測定したとこ
ろ、熱分解に次いで起こる錯化剤の蒸発による吸熱ピー
クが観測された。結果を第1表に示す。
ろ、熱分解に次いで起こる錯化剤の蒸発による吸熱ピー
クが観測された。結果を第1表に示す。
第 1
表
一方、5−BPDAOカルボニル基を開いた5BPAの
熱分解温度は173℃で、吸熱ピークは257℃である
。このことから、電子供与性物質をうまく選択すること
により、所望の温度で活性を示すカルボン酸錯体を得る
ことができる。
熱分解温度は173℃で、吸熱ピークは257℃である
。このことから、電子供与性物質をうまく選択すること
により、所望の温度で活性を示すカルボン酸錯体を得る
ことができる。
なお、酸無水物の融点は次のとおりである。5BPDA
・294℃、BTDA: 230℃。
・294℃、BTDA: 230℃。
PMDA:228℃ 6FDA・241℃、 DSDA
: 280℃、0PDA:218℃。
: 280℃、0PDA:218℃。
また、電子供与性物質の沸点は、NMP :203℃、
DMSO:185℃、PY:115℃。
DMSO:185℃、PY:115℃。
TEA・89℃。
[作用]
本発明のカルボン酸錯体は、電子供与性物質で、分子内
に活性水素原子を持たずドナー数が20以上の塩基性有
機化合物と隣接ジカルボン酸を少なくとも一組有する化
合物との錯体形成により、カルボン酸の脱水閉環活性を
高めたものである。
に活性水素原子を持たずドナー数が20以上の塩基性有
機化合物と隣接ジカルボン酸を少なくとも一組有する化
合物との錯体形成により、カルボン酸の脱水閉環活性を
高めたものである。
これによって、ワニス状態では高濃度、かつ、低粘度の
低分子量体であり、加熱することによす高分子量化し、
優れた特性を示ずイミド系樹脂を得ることができるフェ
スを与える。
低分子量体であり、加熱することによす高分子量化し、
優れた特性を示ずイミド系樹脂を得ることができるフェ
スを与える。
[実施例]
次に本発明を実施例により詳細に説明する。
〔実施例1〕
5−BPAとPY飽和蒸気を100℃において40時間
反応させたところ5−BPA:PYの1:4錯体が得ら
れた。
反応させたところ5−BPA:PYの1:4錯体が得ら
れた。
この錯体30gをNMP 100 g中に溶解したとこ
ろ容易に完全に溶解することができた。
ろ容易に完全に溶解することができた。
第1図に該錯体の赤外線吸収スペクトルを示した。また
、5−BPAの赤外線吸収スペクトルは第2図に示した
。
、5−BPAの赤外線吸収スペクトルは第2図に示した
。
〔実施例2〕
5−BPAとNMP飽和蒸気を200℃において40時
間反応させたところ5−BPA:NMPの1=4錯体が
得られた。この錯体の赤外線吸収スペクトルは第3図に
示した。
間反応させたところ5−BPA:NMPの1=4錯体が
得られた。この錯体の赤外線吸収スペクトルは第3図に
示した。
〔実施例3〕
5−BPAとTEA飽和蒸気を、80℃において40時
間反応させたところ5−BPA:TEAの14錯体が得
られた。
間反応させたところ5−BPA:TEAの14錯体が得
られた。
〔実施例4〕
PMAとPY飽和蒸気を100℃において、40時間反
応させたところPMA : PYの1:4錯体が得られ
た。
応させたところPMA : PYの1:4錯体が得られ
た。
〔実施例5〕
PMAとTEA飽和蒸気を80℃において、40時間反
応させたところPMA : DMSOのほぼ1:4錯体
が得られた。第4図にPMA、第5図に1)MA/DM
SO錯体の赤外線吸収スペクトルを示した。
応させたところPMA : DMSOのほぼ1:4錯体
が得られた。第4図にPMA、第5図に1)MA/DM
SO錯体の赤外線吸収スペクトルを示した。
〔実施例6〕
PMAとNMP飽和蒸気を200℃において、40時間
反応させたところPMA : NMPの1:4錯体が得
られた。
反応させたところPMA : NMPの1:4錯体が得
られた。
〔実施例7〕
BTAとPY飽和蒸気を100℃において、40時間反
応させたところBTA:PYの1・4錯体が得られた。
応させたところBTA:PYの1・4錯体が得られた。
工9
〔実施例8〕
6FAとPY飽和蒸気を100℃において、40時間反
応させたところ6FA:PYの1:4錯体が得られた。
応させたところ6FA:PYの1:4錯体が得られた。
第6図に6FA錯体の赤外線吸収スペクトルを示した。
〔実施例9〕
6FAとDMSO飽和蒸気を120℃において、40時
間反応させたところ6 FA : DMSOの1=4錯
体が得られた。第7図に6FA錯体の赤外線吸収スペク
トルを示した。
間反応させたところ6 FA : DMSOの1=4錯
体が得られた。第7図に6FA錯体の赤外線吸収スペク
トルを示した。
〔実施例10〕
不活性ガス雰囲気下で80℃〜120℃に加熱しながら
60gの5−BPA粉末を攪拌し3時間かけてNMPを
ごく少量ずつ滴下し両者を反応させた。この結果褐色の
粉末が得られた。赤外線吸収によって5−BPAおよび
反応生成物のスペクトルを測定した。反応物の赤外線吸
収スペクトルから錯体であることを確認した。
60gの5−BPA粉末を攪拌し3時間かけてNMPを
ごく少量ずつ滴下し両者を反応させた。この結果褐色の
粉末が得られた。赤外線吸収によって5−BPAおよび
反応生成物のスペクトルを測定した。反応物の赤外線吸
収スペクトルから錯体であることを確認した。
〔実施例11〕
不活性ガス雰囲気下で80℃〜120℃に加熱しながら
60gの5−BPA粉末を攪拌し3時間かけてDSMO
をごく少量ずつ滴下し両者を反応させた。この結果褐色
の粉末が得られた。赤外線吸収によって錯体であること
を確認した。
60gの5−BPA粉末を攪拌し3時間かけてDSMO
をごく少量ずつ滴下し両者を反応させた。この結果褐色
の粉末が得られた。赤外線吸収によって錯体であること
を確認した。
〔実施例12〕
不活性ガス雰囲気下で80℃〜120℃に加熱しながら
60gの5−BPA粉末を攪拌し3時間かけてT HF
とγ−プロピオラクタムをごく少量ずつ滴下し両者を反
応させた。この結果褐色の粉末が得られた。赤外線吸収
によって錯体であることを確認した。
60gの5−BPA粉末を攪拌し3時間かけてT HF
とγ−プロピオラクタムをごく少量ずつ滴下し両者を反
応させた。この結果褐色の粉末が得られた。赤外線吸収
によって錯体であることを確認した。
またラクタムの環の大きさを5〜10まで変化させ同様
の実験を行った場合にも赤外線吸収スペクトルから錯体
の形成が確かめられた。また、ラクタムと同じく2級ア
ミドであるN−メチルアセトアミドを用いた場合もやは
り錯体形成が認められた。
の実験を行った場合にも赤外線吸収スペクトルから錯体
の形成が確かめられた。また、ラクタムと同じく2級ア
ミドであるN−メチルアセトアミドを用いた場合もやは
り錯体形成が認められた。
〔実施例13〕
240gのT HFに6gの5−BPAを加え不活性雰
囲気下PYとともに1時間から3時間加熱する。この結
果黄色透明の溶液を得る。この溶液を約20倍量のn−
ヘキサンに投入し淡黄色の沈殿を得る。この沈殿を濾過
し得られた固形部分を、約60℃で12時間真空乾燥し
て7.2g の粉末を得た。この粉末の赤外線吸収スペ
クトルから錯体の形成が確かめられた。
囲気下PYとともに1時間から3時間加熱する。この結
果黄色透明の溶液を得る。この溶液を約20倍量のn−
ヘキサンに投入し淡黄色の沈殿を得る。この沈殿を濾過
し得られた固形部分を、約60℃で12時間真空乾燥し
て7.2g の粉末を得た。この粉末の赤外線吸収スペ
クトルから錯体の形成が確かめられた。
〔実施例14〕
240gのカプロラクトンに6gの5−BPAとγ−プ
ロピオラクタムを加え不活性雰囲気下で1時間から3時
間加熱した。この結果黄色透明の錯体溶液を得た。この
溶液の赤外線吸収スペクトルから錯体の形成が確かめら
れた。
ロピオラクタムを加え不活性雰囲気下で1時間から3時
間加熱した。この結果黄色透明の錯体溶液を得た。この
溶液の赤外線吸収スペクトルから錯体の形成が確かめら
れた。
〔実施例15]
実施例10の5−BPAに変えてBTAを用い反応を行
って得たもの)赤外線吸収スペクトルから錯体の生成が
認められた。
って得たもの)赤外線吸収スペクトルから錯体の生成が
認められた。
〔実施例16〕
実施例10の5−BPAに変えてPMAを用い反応を行
って得たもの)赤外線吸収スペクトルから錯体の生成が
認められた。
って得たもの)赤外線吸収スペクトルから錯体の生成が
認められた。
〔実施例17〕
実施例1で得たs−B P A錯体の溶液に当量のp−
PDAを水冷下体々に攪拌しながら加え反応させた。3
時間攪拌反応して得られたワニスの粘度は固型分量30
重量%において8ポイズであった。
PDAを水冷下体々に攪拌しながら加え反応させた。3
時間攪拌反応して得られたワニスの粘度は固型分量30
重量%において8ポイズであった。
〔実施例18〕
実施例17のp−PDAに替えて当量のDDEを用いて
同様の反応を行った。この時得られたワニスの粘度は固
型分量30重量%で15ポイズであった。
同様の反応を行った。この時得られたワニスの粘度は固
型分量30重量%で15ポイズであった。
〔実施例19〕
実施例8の方法で得た錯体をNMPに溶解させ、ついで
当量のp−PDAを徐々に攪拌しながら添加し反応させ
た。更に、3時間攪拌反応させて得られたワニスの粘度
は固型分量30重量%において42ポイズであった。
当量のp−PDAを徐々に攪拌しながら添加し反応させ
た。更に、3時間攪拌反応させて得られたワニスの粘度
は固型分量30重量%において42ポイズであった。
〔比較例1〕
240gのNMPに22gのp−PDAを加え攪拌溶解
させた。これに当量(60g)のSBPDAを不活性雰
囲気上氷冷し、モータに接続した攪拌羽根で攪拌しなが
ら徐々に加えて反応させた。溶液の添加と共に粘度を増
し、完全に加えた時点で粘度が」二昇したきめ攪拌がで
きなくなった。
させた。これに当量(60g)のSBPDAを不活性雰
囲気上氷冷し、モータに接続した攪拌羽根で攪拌しなが
ら徐々に加えて反応させた。溶液の添加と共に粘度を増
し、完全に加えた時点で粘度が」二昇したきめ攪拌がで
きなくなった。
〔比較例2〕
比較例1のp−PDAに替えて当量(41g)のDDE
を用いて同様の反応を行った。反応途中でやはり粘度が
上がり攪拌できなくなった。
を用いて同様の反応を行った。反応途中でやはり粘度が
上がり攪拌できなくなった。
〔実施例20〕
実施例17で合成したワニスをガラス基板上にアプリケ
ータを用いて塗布したものを、100℃で1時間乾燥し
た後、200℃/時間の昇温速度で400℃まで温度を
あげ、400℃で10分間硬化した。こうして得られた
フィルムを5 m m X50mmに切り出し機械強度
の測定を行った結果、破断強度36kg/mm”、破断
伸び25%を得た。
ータを用いて塗布したものを、100℃で1時間乾燥し
た後、200℃/時間の昇温速度で400℃まで温度を
あげ、400℃で10分間硬化した。こうして得られた
フィルムを5 m m X50mmに切り出し機械強度
の測定を行った結果、破断強度36kg/mm”、破断
伸び25%を得た。
また100分で3%減量が生じる温度として定義した耐
熱温度は520℃であった。
熱温度は520℃であった。
〔実施例21〕
実施例18で合成したワニスに対して最終硬化温度を3
50℃として作成したフィルムの機械強度を測定し、破
壊強度28kg/mm2、破断伸び52%を得た。実施
例20と同様に定義した耐熱温度は491℃であった。
50℃として作成したフィルムの機械強度を測定し、破
壊強度28kg/mm2、破断伸び52%を得た。実施
例20と同様に定義した耐熱温度は491℃であった。
〔実施例22〕
実施例19で合成したワニスを用い実施例20と同様に
フィルムを作成し、機械強度を測定し、破断強度4]k
g/mm2、破断伸び22%を得た。実施例20と同様
に定義した耐熱温度は517℃であった。
フィルムを作成し、機械強度を測定し、破断強度4]k
g/mm2、破断伸び22%を得た。実施例20と同様
に定義した耐熱温度は517℃であった。
〔比較例3〕
200gのNMP中に30gのp−PDAを溶解し、こ
の2/3当量(54,4g)の5−BPDAを徐々に加
え反応させる。全量を加え終わった後更に5時間反応さ
せ濃緑色の溶液を得る。この溶液に、アミンと酸無水物
が当量となるように27.2g の無水フタル酸を加
え更に5時間反応させ粘度25ボイズ黄色透明のオリゴ
マーワニスを得た。
の2/3当量(54,4g)の5−BPDAを徐々に加
え反応させる。全量を加え終わった後更に5時間反応さ
せ濃緑色の溶液を得る。この溶液に、アミンと酸無水物
が当量となるように27.2g の無水フタル酸を加
え更に5時間反応させ粘度25ボイズ黄色透明のオリゴ
マーワニスを得た。
2へ
G
このワニスを用い実施例20にならい硬化した。
硬化過程で硬化物の全面に無数のひび割れが発生しフィ
ルムは得られず機械強度の測定はできなかった。また、
低分子量のままでは極めて脆いフィルムしか得られなか
った。
ルムは得られず機械強度の測定はできなかった。また、
低分子量のままでは極めて脆いフィルムしか得られなか
った。
〔比較例4〕
200gのNMP中に50gのDDEを溶解し、この2
/3当量(31,3g)のP M l) Aを徐々に加
え反応させる。全量を加え終わった後更に5時間反応さ
せ濃緑色の溶液を得る。この溶液に、アミンと酸無水物
が当量となるように21.6 g の無水フタル酸を
加え、更に5時間反応させて粘度19ポイズの黄色透明
のオリゴマーワニスを得た。
/3当量(31,3g)のP M l) Aを徐々に加
え反応させる。全量を加え終わった後更に5時間反応さ
せ濃緑色の溶液を得る。この溶液に、アミンと酸無水物
が当量となるように21.6 g の無水フタル酸を
加え、更に5時間反応させて粘度19ポイズの黄色透明
のオリゴマーワニスを得た。
このワニスを用い実施例20にならい硬化した。
比較例5と同様、硬化過程で硬化物の全面に無数のひび
割れが発生しフィルムは得られず機械強度の測定はでき
なかった。
割れが発生しフィルムは得られず機械強度の測定はでき
なかった。
〔比較例5〕
200gのNMP中で60gの5−BPDAとその2倍
量のエチルアルコールを100℃で2時間反応させて得
られたハーフエステル溶液を室温まで冷却した後、5−
BPDAと当量のp−PDAを加え攪拌し溶解させ、ハ
ーフエステルを硬化特高分子量化するだめの官能基とし
て有する粘度は1.8 ボイズのワニスを得た。このワ
ニスをガラス基盤上に展開し実施例20と同様に硬化し
たところ、比較例4と同様、硬化過程で硬化物の全面に
無数のひび割れが発生しフィルムは得られず機械強度の
測定はできなかった。
量のエチルアルコールを100℃で2時間反応させて得
られたハーフエステル溶液を室温まで冷却した後、5−
BPDAと当量のp−PDAを加え攪拌し溶解させ、ハ
ーフエステルを硬化特高分子量化するだめの官能基とし
て有する粘度は1.8 ボイズのワニスを得た。このワ
ニスをガラス基盤上に展開し実施例20と同様に硬化し
たところ、比較例4と同様、硬化過程で硬化物の全面に
無数のひび割れが発生しフィルムは得られず機械強度の
測定はできなかった。
〔比較例6〕
NMPに末端にエチニル基を有する樹脂を溶解し濃度4
0重量%、粘度42ボイズのワニスを得た。このワニス
を実施例21と同様に硬化した。
0重量%、粘度42ボイズのワニスを得た。このワニス
を実施例21と同様に硬化した。
得られた膜は、極めて脆く機械強度の測定はできなかっ
た。
た。
〔実施例23〕
実施例17で合成したワニスを第8図に示すアルミニウ
ムパターン上に塗布し硬化した後、平坦化度を測定した
結果0.80 であった。平坦化度Pは次式(3)によ
って定義され、1に近いほど好ましい。
ムパターン上に塗布し硬化した後、平坦化度を測定した
結果0.80 であった。平坦化度Pは次式(3)によ
って定義され、1に近いほど好ましい。
Δ H
P=1 −−
・・・ (3)
(3)式中のそれぞれの記号は第9図中で定義されてい
る。第8図はポリイミド膜の平坦性を評価するための評
価パターンである。この評価パターンを用い、その表面
に形成されるポリイミド膜の平坦度を第9図の定義に従
って測定した。
る。第8図はポリイミド膜の平坦性を評価するための評
価パターンである。この評価パターンを用い、その表面
に形成されるポリイミド膜の平坦度を第9図の定義に従
って測定した。
〔実施例24〕
実施例18で合成したワニスを第8図に示すアルミニウ
ムパターン上に塗布し硬化した後、平坦化度を測定した
結果0.83 であった。
ムパターン上に塗布し硬化した後、平坦化度を測定した
結果0.83 であった。
〔比較例8〕
常法に従い、p−PDAと5−BPDAとから合成した
15重量%のポリアミック酸ワニスを実施例25と同様
に塗布硬化した後、平坦化度を測定した結果 0.44
であった。
15重量%のポリアミック酸ワニスを実施例25と同様
に塗布硬化した後、平坦化度を測定した結果 0.44
であった。
〔実施例25〕
240gのTHFに6gのBTAを加え不活性雰囲気下
DMSOを加え1時間から3時間加熱する。この結果褐
色透明の錯体溶液を得る。実施例13と同様の処理を行
なった後の赤外線吸収スペクトルにより錯体め形成が確
かめられた。
DMSOを加え1時間から3時間加熱する。この結果褐
色透明の錯体溶液を得る。実施例13と同様の処理を行
なった後の赤外線吸収スペクトルにより錯体め形成が確
かめられた。
〔実施例26〕
240gのT HFに6gのPTAとγ−プロピオラク
タムを加え不活性雰囲気下で1時間から3時間加熱し、
褐色透明の錯体溶液を得た。実施例13と同様の処理を
行なった後の赤外線吸収スペクトルから錯体の形成が確
かめられた。またラクタムの環の大きさを5〜10に変
化させ、同様の反応を行った場合にも赤外線吸収スペク
トルから錯体の形成が確かめられた。また、ラクタムと
同じく2級アミドであるN−メチルアセトアミドを用い
た場合もやはり錯体形成が認められた。
タムを加え不活性雰囲気下で1時間から3時間加熱し、
褐色透明の錯体溶液を得た。実施例13と同様の処理を
行なった後の赤外線吸収スペクトルから錯体の形成が確
かめられた。またラクタムの環の大きさを5〜10に変
化させ、同様の反応を行った場合にも赤外線吸収スペク
トルから錯体の形成が確かめられた。また、ラクタムと
同じく2級アミドであるN−メチルアセトアミドを用い
た場合もやはり錯体形成が認められた。
〔実施例27〕
240gのTHFに6gのBTAを加え不活性雰囲気下
PYとともに1時間から3時間加熱し、黄色透明の溶液
を得た。この溶液を約20倍量のn−ヘキサンに投入し
淡黄色の沈殿を得る。実施例13と同じ処理を行なった
後の赤外線吸収スベりトルによれば錯体の形成が確かめ
られた。
PYとともに1時間から3時間加熱し、黄色透明の溶液
を得た。この溶液を約20倍量のn−ヘキサンに投入し
淡黄色の沈殿を得る。実施例13と同じ処理を行なった
後の赤外線吸収スベりトルによれば錯体の形成が確かめ
られた。
〔実施例28〕
240gのカブロラクI・ンに6gのBTAと)/プロ
ピオラクタムを加え不活性雰囲気下で1時間から3時間
加熱する。この結果黄色透明の錯体溶液を得る。実施例
13と同じ処理を行なった後の赤外線吸収スペク1ヘル
でも錯体の形成が確かめられた。
ピオラクタムを加え不活性雰囲気下で1時間から3時間
加熱する。この結果黄色透明の錯体溶液を得る。実施例
13と同じ処理を行なった後の赤外線吸収スペク1ヘル
でも錯体の形成が確かめられた。
〔実施例29〕
240gのT HFに60gのDSAを加え不活性雰囲
気下NMPとともに3時間加熱した。この結果褐色透明
の錯体溶液を得た。実施例I3と同様の処理を行なった
後の赤外線吸収スペクトルにより錯体の形成が確かめら
れた。
気下NMPとともに3時間加熱した。この結果褐色透明
の錯体溶液を得た。実施例I3と同様の処理を行なった
後の赤外線吸収スペクトルにより錯体の形成が確かめら
れた。
〔実施例30)
240gのT HFに6gのDSAを加え不活性雰囲気
下DMSOとともに3時間加熱した。この結果褐色透明
の錯体溶液を得た。実施例13と同様の処理を行なった
後の赤外線吸収スペクトルにより錯体の形成が確かめら
れた。
下DMSOとともに3時間加熱した。この結果褐色透明
の錯体溶液を得た。実施例13と同様の処理を行なった
後の赤外線吸収スペクトルにより錯体の形成が確かめら
れた。
〔実施例31〕
240gのT HFに60gのDSAとγ−プロピオラ
クタムを加え不活性雰囲気下で3時間加熱した。実施例
13と同様の処理を行なった後、赤外線吸収スペクトル
でも錯体の形成が確かめられた。
クタムを加え不活性雰囲気下で3時間加熱した。実施例
13と同様の処理を行なった後、赤外線吸収スペクトル
でも錯体の形成が確かめられた。
またラクタムの環の大きさを5〜10に変化させ同様の
反応を行った場合にも赤外線吸収スペクトルから錯体の
形成が確かめられた。
反応を行った場合にも赤外線吸収スペクトルから錯体の
形成が確かめられた。
また、ラクタムと同じく2級アミドであるNメチルアセ
トアミドを用いた場合もやはり錯体形成が認められた。
トアミドを用いた場合もやはり錯体形成が認められた。
〔実施例32〕
240gのT I−I Fに6gのDSAを加え不活性
雰囲気下PYで3時間加熱する。この結果黄色透明の溶
液を得た。この溶液を約20倍量のn−ヘキサンに投入
し淡黄色の沈殿を得る。実施例13と同様の処理を行な
った後の赤外線吸収スペクトルにより錯体の形成が確か
められた。
雰囲気下PYで3時間加熱する。この結果黄色透明の溶
液を得た。この溶液を約20倍量のn−ヘキサンに投入
し淡黄色の沈殿を得る。実施例13と同様の処理を行な
った後の赤外線吸収スペクトルにより錯体の形成が確か
められた。
〔実施例33〕
240gのNMPに60gの6FAを加え不活性雰囲気
下80℃〜120℃で3時間加熱した。
下80℃〜120℃で3時間加熱した。
この結果褐色透明の錯体溶液を得た。6FDAおよびこ
の溶液の赤外線吸収スペクトルにより錯体の形成が確か
められた。
の溶液の赤外線吸収スペクトルにより錯体の形成が確か
められた。
〔実施例34〕
240gのTHFに6gの6FAを加え不活性雰囲気下
DMSOとともに3時間加熱し褐色透明の錯体溶液を得
た。実施例13と同様の処理を行なった後、赤外線吸収
スペクトルにより錯体の形成が確かめられた。
DMSOとともに3時間加熱し褐色透明の錯体溶液を得
た。実施例13と同様の処理を行なった後、赤外線吸収
スペクトルにより錯体の形成が確かめられた。
〔実施例35〕
240gの’I” HFに60gの6FAとγ−プロピ
オラクタムを加え不活性雰囲気下で3時間加熱し褐色透
明の錯体溶液を得た。実施例13と同様の処理を行なっ
た後の赤外線吸収スペクトルでも錯体の形成が確かめら
れた。またラクタムの環の大きさを5〜10に変化させ
同様の反応を行った場合にも赤外線吸収スペクトルから
錯体の形成が確かめられた。
オラクタムを加え不活性雰囲気下で3時間加熱し褐色透
明の錯体溶液を得た。実施例13と同様の処理を行なっ
た後の赤外線吸収スペクトルでも錯体の形成が確かめら
れた。またラクタムの環の大きさを5〜10に変化させ
同様の反応を行った場合にも赤外線吸収スペクトルから
錯体の形成が確かめられた。
また、ラクタムと同じく2級アミドであるNメチルアセ
トアミドを用いた場合もやはり錯体形成が認められた。
トアミドを用いた場合もやはり錯体形成が認められた。
〔実施例36〕
240gのT HFに6gの6FAを加え不活性雰囲気
下PYとともに3時間加熱し黄色透明の溶液を得た。実
施例4と同様の処理を行なった後の赤外線吸収スペクト
ルにより錯体の形成が確かめられた。
下PYとともに3時間加熱し黄色透明の溶液を得た。実
施例4と同様の処理を行なった後の赤外線吸収スペクト
ルにより錯体の形成が確かめられた。
〔実施例37〕
240gのカプロラクトンに60gの6FAとγ−プロ
ピオラクタムを加え、不活性雰囲気下で3時間加熱し黄
色透明の錯体溶液を得た。実施例13と同様の処理を行
なった後の赤外線吸収スペクトルでも第2図、第3図と
同様錯体の形成が確かめられた。
ピオラクタムを加え、不活性雰囲気下で3時間加熱し黄
色透明の錯体溶液を得た。実施例13と同様の処理を行
なった後の赤外線吸収スペクトルでも第2図、第3図と
同様錯体の形成が確かめられた。
[発明の効果]
本発明によれば、安定で、かつ、有機溶媒に対する溶解
性の優れたカルボン酸錯体が得られる。
性の優れたカルボン酸錯体が得られる。
この錯体はポリイミドの原料としてワニス状で用いたり
、エポキシ樹脂などの硬化剤として用いることができる
。
、エポキシ樹脂などの硬化剤として用いることができる
。
第1図はs−B P A / P Y錯体の赤外線吸収
スペクトル図、第2図は5−BPAの赤外線吸収スペク
トル図、第3図はs −B P A / N M P錯
体の赤外線吸収スペクトル図、第4図はPMAの赤外線
吸収スペクトル図、第5図はPMA/DMSO錯体の赤
外線吸収スベク1ヘル図、第6図は6FA/PY錯体の
赤外線吸収スペクトル図、第7図は6FA/DMSO錯
体の赤外線吸収スペクトル図、第8図はポリイミド膜の
平坦性の評価パターンの構造の模式斜視図、第9図はポ
リイミド膜の平坦度の定義を示す模式断面図である。 1・・・アルミニウム配線、2・・5ins、3・・・
Si基板、4・・・塗膜。
スペクトル図、第2図は5−BPAの赤外線吸収スペク
トル図、第3図はs −B P A / N M P錯
体の赤外線吸収スペクトル図、第4図はPMAの赤外線
吸収スペクトル図、第5図はPMA/DMSO錯体の赤
外線吸収スベク1ヘル図、第6図は6FA/PY錯体の
赤外線吸収スペクトル図、第7図は6FA/DMSO錯
体の赤外線吸収スペクトル図、第8図はポリイミド膜の
平坦性の評価パターンの構造の模式斜視図、第9図はポ
リイミド膜の平坦度の定義を示す模式断面図である。 1・・・アルミニウム配線、2・・5ins、3・・・
Si基板、4・・・塗膜。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、有機化合物の隣接ジカルボン酸を少なくとも1組有
する化合物R^1と、分子内に活性水素原子を持たずド
ナー数が20以上の塩基性有機化合物Bとの反応物であ
つて、一般式(1)で表わされることを特徴とする錯体
。 R^1・aB・・・(1) (但し、C≧a>0で、Cは1分子中のカルボン酸の数
) 2、末端に少なくとも1つの隣接ジカルボン酸結合を有
する有機化合物とアミン化合物とのオリゴマーR^2と
、活性水素原子を分子内に持たずドナー数が20以上の
塩基性有機化合物Bとの反応物であつて、一般式(2)
で表わされることを特徴とする錯体。 R^2・aB・・・(2) (但し、a>0) 3、下記一般式(3)で表わされることを特徴とする錯
体。 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・(3) (但し、R^3は隣接ジカルボン酸の残基、Rはジアミ
ン有機残基、nは0または20以下、2n+4≧a>0
) 4、隣接ジカルボン酸を少なくとも1組有する化合物R
^1と、分子内に活性水素原子を持たずドナー数が20
以上の塩基性有機化合物Bとを分子状で接触させて、前
記一般式(1)で表わされる錯体を形成することを特徴
とするジカルボン酸の錯体の製造法。 5、隣接ジカルボン酸を少なくとも1組有する前記化合
物R^2と、分子内に活性水素原子を持たずドナー数が
20以上の塩基性有機化合物Bとを分子状で接触させて
、前記一般式(2)で表わされる錯体を形成することを
特徴とするジカルボン酸の錯体の製造法。 6、前記塩基性有機化合物Bを蒸気の状態で接触させて
、前記錯体を形成することを特徴とする請求項第4項ま
たは第5項記載のジカルボン酸の錯体の製造法。 7、隣接ジカルボン酸を少なくとも1組有する化合物R
^1と分子内に活性水素原子を持たずドナー数が20以
上の塩基性有機化合物Bとの反応物であつて前記一般式
(1)で表わされる錯体と、該錯体の溶媒を含むことを
特徴とする液状組成物。 8、隣接ジカルボン酸を少なくとも1組有する化合物R
^1と分子内に活性水素原子を持たずドナー数が20以
上の塩基性有機化合物Bとの反応物であつて前記一般式
(1)で表わされる錯体と、合成樹脂を含むことを特徴
とする樹脂組成物。 9、隣接ジカルボン酸を少なくとも1組有する化合物R
^1と分子内に活性水素原子を持たずドナー数が20以
上の塩基性有機化合物Bとの反応物であつて前記一般式
(1)で表わされる錯体と、ジアミノ化合物を含むこと
を特徴とする樹脂組成物。 10、末端に少なくとも1つの隣接ジカルボン酸結合を
有する有機化合物とアミン化合物とのオリゴマーR^2
と、活性水素原子を分子内に持たずドナー数が20以上
の塩基性有機化合物Bとの反応物で前記一般式(2)で
表わされる錯体と、有機溶媒を含むことを特徴とする液
状組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2193670A JPH0482882A (ja) | 1990-07-21 | 1990-07-21 | 錯体とその製造法、該錯体を含む組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2193670A JPH0482882A (ja) | 1990-07-21 | 1990-07-21 | 錯体とその製造法、該錯体を含む組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0482882A true JPH0482882A (ja) | 1992-03-16 |
Family
ID=16311830
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2193670A Pending JPH0482882A (ja) | 1990-07-21 | 1990-07-21 | 錯体とその製造法、該錯体を含む組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0482882A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010030942A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-02-12 | Mitsubishi Gas Chemical Co Inc | ピロメリット酸二無水物の保存方法 |
US11294281B2 (en) | 2019-06-28 | 2022-04-05 | Hutchinson Technology Incorporated | Chain extenders and formulations thereof for improving elongation in photosensitive polyimide |
-
1990
- 1990-07-21 JP JP2193670A patent/JPH0482882A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010030942A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-02-12 | Mitsubishi Gas Chemical Co Inc | ピロメリット酸二無水物の保存方法 |
US11294281B2 (en) | 2019-06-28 | 2022-04-05 | Hutchinson Technology Incorporated | Chain extenders and formulations thereof for improving elongation in photosensitive polyimide |
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