JPH0482846A - パーフルオロカーボンの精製方法 - Google Patents
パーフルオロカーボンの精製方法Info
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- JPH0482846A JPH0482846A JP19341590A JP19341590A JPH0482846A JP H0482846 A JPH0482846 A JP H0482846A JP 19341590 A JP19341590 A JP 19341590A JP 19341590 A JP19341590 A JP 19341590A JP H0482846 A JPH0482846 A JP H0482846A
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- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 47
- 238000000746 purification Methods 0.000 title abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 49
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 45
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims abstract description 39
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 7
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010992 reflux Methods 0.000 abstract description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract 2
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 15
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 8
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 8
- RVZRBWKZFJCCIB-UHFFFAOYSA-N perfluorotributylamine Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)N(C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F RVZRBWKZFJCCIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 239000000047 product Substances 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 4
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000012264 purified product Substances 0.000 description 2
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000007670 refining Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000010257 thawing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、パーフルオロカーボンの沸騰方式による高精
度な精製方法に関する。
度な精製方法に関する。
従来の技術及び課題
熱媒体、絶縁油、洗浄液などとして種々の技術分野で使
用されているフロンがオゾン層の破壊物質として指摘さ
れ、その代替物が希求されている中、パーフルオロカー
ボンが提案されている。
用されているフロンがオゾン層の破壊物質として指摘さ
れ、その代替物が希求されている中、パーフルオロカー
ボンが提案されている。
しかしながら、パーフルオロカーボンには空気等のガス
が100m1あたり数十mlも溶存しているため充分に
脱気精製しないと例えばヒートパイプなどの熱媒体とし
て実用に供しうる高純度物が得られ難い問題点があった
。すなわちフロンの精製の場合と同様、凍結法や平衡蒸
気圧法により、空気等の非凝縮性物質の泡が出な(なる
まで処理し、それを蒸留してヒートパイプに注入しても
、当初の5〜30%の留分を注入したヒートパイプにお
いて満足な熱抵抗を示さないという、フロンの場合には
生じなかった現象が発生し、従来の方法では充分に精製
できない問題点があった。
が100m1あたり数十mlも溶存しているため充分に
脱気精製しないと例えばヒートパイプなどの熱媒体とし
て実用に供しうる高純度物が得られ難い問題点があった
。すなわちフロンの精製の場合と同様、凍結法や平衡蒸
気圧法により、空気等の非凝縮性物質の泡が出な(なる
まで処理し、それを蒸留してヒートパイプに注入しても
、当初の5〜30%の留分を注入したヒートパイプにお
いて満足な熱抵抗を示さないという、フロンの場合には
生じなかった現象が発生し、従来の方法では充分に精製
できない問題点があった。
課題を解決するための手段
本発明者らは、前記の問題点を克服すべく鋭意研究を重
ねた結果、意外にも一定時間以上パーフルオロカーボン
を沸騰させることによりその目的を達成できることを見
出し、本発明をなすに至った。
ねた結果、意外にも一定時間以上パーフルオロカーボン
を沸騰させることによりその目的を達成できることを見
出し、本発明をなすに至った。
すなわち本発明は、パーフルオロカーボンの液体を、揮
散しない状態で3分間以上沸騰させることを特徴とする
パーフルオロカーボンの精製方法を提供するものである
。
散しない状態で3分間以上沸騰させることを特徴とする
パーフルオロカーボンの精製方法を提供するものである
。
作用
上記した一定時間以上沸騰させる方式により、パーフル
オロカーボンの液中に溶存する空気等の非凝縮性物質を
速やかに、かつ高度に除去することができる。しかしそ
の理由は、従来方法により非凝縮性物質の泡が出なくな
るまで処理しても充分な精製物が得られないのと同様、
不明である。
オロカーボンの液中に溶存する空気等の非凝縮性物質を
速やかに、かつ高度に除去することができる。しかしそ
の理由は、従来方法により非凝縮性物質の泡が出なくな
るまで処理しても充分な精製物が得られないのと同様、
不明である。
発明の構成要素の例示
本発明が精製の対象とするものはパーフルオロカーボン
である。就中、平均分子量が100〜1000、ないし
沸点が30〜300℃のC1F2n−F2型のものであ
る。酸素、窒素、水素の如き異種元素を1重量%以下、
就中0.1重量%以下含有していてもよい。かかるパー
フルオロカーボンは、例えば「フロリナート」の商品名
(スリーエム社)などで市販されている。
である。就中、平均分子量が100〜1000、ないし
沸点が30〜300℃のC1F2n−F2型のものであ
る。酸素、窒素、水素の如き異種元素を1重量%以下、
就中0.1重量%以下含有していてもよい。かかるパー
フルオロカーボンは、例えば「フロリナート」の商品名
(スリーエム社)などで市販されている。
精製は、パーフルオロカーボンが揮散しないようにして
3分間以上沸騰させることにより行われる。その例を添
付図面に示した。
3分間以上沸騰させることにより行われる。その例を添
付図面に示した。
回倒ては、パーフルオロカーボンの液層1の上に、それ
に不溶で、かつ高沸点の液体の層2を形成することによ
りパーフルオロカーボンの揮散を防止しており、液体(
2)の沸点未満の温度でパーフルオロカーボンを沸騰さ
せることにより脱気処理される。なお図中の3は沸騰石
、4は容器、5は恒温液槽、6は分岐管、7はコックで
ある。
に不溶で、かつ高沸点の液体の層2を形成することによ
りパーフルオロカーボンの揮散を防止しており、液体(
2)の沸点未満の温度でパーフルオロカーボンを沸騰さ
せることにより脱気処理される。なお図中の3は沸騰石
、4は容器、5は恒温液槽、6は分岐管、7はコックで
ある。
前記の液層形成方式に用いる液体(2)は、パーフルオ
ロカーボンに不溶、就中その溶解度が10ppm以下で
、かつ上層に位置するようパーフルオロカーボンよりも
比重が軽く、シかもパーフルオロカーボンよりも沸点が
高いものであればよい。
ロカーボンに不溶、就中その溶解度が10ppm以下で
、かつ上層に位置するようパーフルオロカーボンよりも
比重が軽く、シかもパーフルオロカーボンよりも沸点が
高いものであればよい。
一般には、低沸点のパーフルオロカーボンの場合には水
等が用いられ、高沸点のパーフルオロカーボンの場合に
は、エチレングリコール、ポリエチレングリコール、ポ
リプロピレングリコール等が用いられる。液体の使用量
は、容器の形態等に基づく表面積にもよるが一般には、
パーフルオロカーボンの液層の上に少なくとも2 mm
の厚さで層が形成されることが好ましい。
等が用いられ、高沸点のパーフルオロカーボンの場合に
は、エチレングリコール、ポリエチレングリコール、ポ
リプロピレングリコール等が用いられる。液体の使用量
は、容器の形態等に基づく表面積にもよるが一般には、
パーフルオロカーボンの液層の上に少なくとも2 mm
の厚さで層が形成されることが好ましい。
沸騰処理時におけるパーフルオロカーボンの揮散防止手
段の他の例としては、容器4の上部に冷却器を設けて発
生したパーフルオロカーボンの蒸気を冷却し、冷却器内
のパーフルオロカーボンの温度が沸点を超えないように
制御しつつ還流させる方式などがあげられる。
段の他の例としては、容器4の上部に冷却器を設けて発
生したパーフルオロカーボンの蒸気を冷却し、冷却器内
のパーフルオロカーボンの温度が沸点を超えないように
制御しつつ還流させる方式などがあげられる。
本発明においては、精製処理すべく容器内に供給したパ
ーフルオロカーボンの20%程度までが揮散して回収不
能となることは許容される。従って沸騰処理後のパーフ
ルオロカーボンの回収率が約80%以上となる精度の揮
散防止手段を適宜に適用してよい。
ーフルオロカーボンの20%程度までが揮散して回収不
能となることは許容される。従って沸騰処理後のパーフ
ルオロカーボンの回収率が約80%以上となる精度の揮
散防止手段を適宜に適用してよい。
本発明においてパーフルオロカーボンを沸騰させる時間
は3分間以上、就中5〜100分間程度が適当である。
は3分間以上、就中5〜100分間程度が適当である。
ヒートパイプの作動液を得るべく一般に採用されている
瞬時、ないし数秒程度の沸騰処理では、満足できる熱抵
抗を示すヒートパイプを形成することができないし、長
時間の沸騰処理は精製効率の点より好ましくない。
瞬時、ないし数秒程度の沸騰処理では、満足できる熱抵
抗を示すヒートパイプを形成することができないし、長
時間の沸騰処理は精製効率の点より好ましくない。
本発明による精製処理は、減圧雰囲気によるパーフルオ
ロカーボンの沸点の制御下に行うこともできる。またパ
ーフルオロカーボンの沸点が常温以下である場合には、
冷却雰囲気下にて行うことができる。
ロカーボンの沸点の制御下に行うこともできる。またパ
ーフルオロカーボンの沸点が常温以下である場合には、
冷却雰囲気下にて行うことができる。
本発明の沸騰処理による精製方法は他の脱気精製方法、
例えば凍結法、平衡蒸気圧法、ガス吹き込み法、撹拌処
理法ないし振動処理法などと適宜に組合せて適用してよ
い。
例えば凍結法、平衡蒸気圧法、ガス吹き込み法、撹拌処
理法ないし振動処理法などと適宜に組合せて適用してよ
い。
前記の凍結法は、パーフルオロカーボンの凍結解凍を繰
り返し、その凍結処理時に真空引きして脱気処理するも
のである。平衡蒸気圧法は、所定温度における平衡蒸気
圧よりも低い真空雰囲気を形成して脱気処理するもので
ある。ガス吹き込み法は、ヘリウム、水素、アルゴン等
からなるガスをパーフルオロカーボン液100m1あた
り20〜2000m1/分の割合で数分間〜数時間吹き
込んで空気等の非凝縮性物質を脱気処理するものである
。この場合、ヘリウムガス等の吹き込みガスがパーフル
オロカーボン中に溶存するおそれがあるが、それらの脱
気は容易に行うことができる。撹拌処理法ないし振動処
理法は、パーフルオロカーボン液を数分間〜数十分間、
マグネチックスクーラー等により撹拌したり、超音波振
動方式等により振動させて脱気処理するものである。
り返し、その凍結処理時に真空引きして脱気処理するも
のである。平衡蒸気圧法は、所定温度における平衡蒸気
圧よりも低い真空雰囲気を形成して脱気処理するもので
ある。ガス吹き込み法は、ヘリウム、水素、アルゴン等
からなるガスをパーフルオロカーボン液100m1あた
り20〜2000m1/分の割合で数分間〜数時間吹き
込んで空気等の非凝縮性物質を脱気処理するものである
。この場合、ヘリウムガス等の吹き込みガスがパーフル
オロカーボン中に溶存するおそれがあるが、それらの脱
気は容易に行うことができる。撹拌処理法ないし振動処
理法は、パーフルオロカーボン液を数分間〜数十分間、
マグネチックスクーラー等により撹拌したり、超音波振
動方式等により振動させて脱気処理するものである。
本発明の沸騰処理による精製方法と他の脱気精製方法と
の組合せ方式は任意であり、精製目的や作業性等に応じ
て適宜に決定してよい。例えば、他の脱気精製方法の適
用後に本発明の精製方法を適用する方式、又は本発明の
精製方法の適用後に他の脱気精製方法を適用する方式、
あるいは本発明の精製方法と他の脱気精製方法を同時に
適用する方式などがあげられる。
の組合せ方式は任意であり、精製目的や作業性等に応じ
て適宜に決定してよい。例えば、他の脱気精製方法の適
用後に本発明の精製方法を適用する方式、又は本発明の
精製方法の適用後に他の脱気精製方法を適用する方式、
あるいは本発明の精製方法と他の脱気精製方法を同時に
適用する方式などがあげられる。
ヒートパイプなどの熱媒体として用いるパーフルオロカ
ーボンの精製には、本発明の沸騰処理による精製方法と
他の脱気精製方法とを組合せて適用する方式がより高度
に精製されたものを得る点より好ましい。また、本発明
の精製方法と他の脱気精製方法とを組合せて適用する方
式により、高度な精製のほか、処理時間の短縮などもは
かることができる。
ーボンの精製には、本発明の沸騰処理による精製方法と
他の脱気精製方法とを組合せて適用する方式がより高度
に精製されたものを得る点より好ましい。また、本発明
の精製方法と他の脱気精製方法とを組合せて適用する方
式により、高度な精製のほか、処理時間の短縮などもは
かることができる。
本発明の方法により精製処理されたパーフルオロカーボ
ンは、高純度物としてそのまま例えば熱媒体、絶縁油、
洗浄液などとして実用に供してもよいし、さらに蒸留す
るなどして実用に供してもよい。
ンは、高純度物としてそのまま例えば熱媒体、絶縁油、
洗浄液などとして実用に供してもよいし、さらに蒸留す
るなどして実用に供してもよい。
発明の効果
本発明によれば、パーフルオロカーボンを一定時間沸騰
させるだけの簡単な操作で、かつ簡単な設備でパーフル
オロカーボンの液中に溶存する空気等の非凝縮性物質を
速やかに、かつ高精度に除去することができ、処理効率
、精製度に優れている。
させるだけの簡単な操作で、かつ簡単な設備でパーフル
オロカーボンの液中に溶存する空気等の非凝縮性物質を
速やかに、かつ高精度に除去することができ、処理効率
、精製度に優れている。
実施例1
500m l容のコック付フラスコに平均分子量340
、沸点56℃のフロリナート(テトラデ力フルオルヘキ
ザン)1.00m1と水70m1を入れ、これを65℃
のオイルバス中に入れて、軽比重に基づきフロリナート
の液層上に水層が存在する状態で30分間フロリナート
を沸騰させ、精製液を得た。
、沸点56℃のフロリナート(テトラデ力フルオルヘキ
ザン)1.00m1と水70m1を入れ、これを65℃
のオイルバス中に入れて、軽比重に基づきフロリナート
の液層上に水層が存在する状態で30分間フロリナート
を沸騰させ、精製液を得た。
実施例2
実施例1に準じて精製液を得、それを蒸留して蒸留液か
らなる精製液を得た。
らなる精製液を得た。
実施例3
水の使用に代えてフラスコの上部に冷却器を取り付け、
沸騰により発生した蒸気を還流させたほかは実施例1に
準じて精製液を得た。
沸騰により発生した蒸気を還流させたほかは実施例1に
準じて精製液を得た。
実施例4
超音波による振動を与えながら沸騰させたほかは実施例
1に準じて精製液を得た。ただし、沸騰処理時間は15
分間とした。
1に準じて精製液を得た。ただし、沸騰処理時間は15
分間とした。
実施例5
実施例1と同じフロリナー)100mlを液体窒素によ
る凍結法で6回脱気処理した後、その処理液を実施例3
に準じて沸騰処理して精製液を得た。
る凍結法で6回脱気処理した後、その処理液を実施例3
に準じて沸騰処理して精製液を得た。
実施例6
実施例1と同じフロリナート100m1を温度−20℃
、真空度30Torrで平衡蒸気圧法によζ脱気処理し
た後、その処理液を実施例3に準じて沸騰処理して精製
液を得た。ただし、沸騰処理時間は1時間とした。
、真空度30Torrで平衡蒸気圧法によζ脱気処理し
た後、その処理液を実施例3に準じて沸騰処理して精製
液を得た。ただし、沸騰処理時間は1時間とした。
実施例7
実施例1と同じフロリナート100m1を超音波振動さ
せて15分間税脱気理した後、その処理液を実施例3に
準じて沸騰処理して精製液を得た。
せて15分間税脱気理した後、その処理液を実施例3に
準じて沸騰処理して精製液を得た。
実施例8
マグネチックスターラーにより撹拌しながら実施例3に
準じて沸騰処理して精製液を得た。
準じて沸騰処理して精製液を得た。
実施例9
実施例1で得た精製液を、実施例5に準じた凍結法で2
回脱気処理して精製液を得た。
回脱気処理して精製液を得た。
比較例1
実施例1と同じフロリナート100m1を液体窒素によ
る凍結法で6回脱気処理して精製液を得た。
る凍結法で6回脱気処理して精製液を得た。
従って、このものは実施例5の未沸騰処理物に相当する
。
。
比較例2
実施例1と同じフロリナート100m1を温度−20℃
、真空度30Torrで平衡蒸気圧法により脱気処理し
て精製液を得た。従って、このものは実施例6の未沸騰
処理物に相当する。
、真空度30Torrで平衡蒸気圧法により脱気処理し
て精製液を得た。従って、このものは実施例6の未沸騰
処理物に相当する。
比較例3
沸騰処理時間を30秒間としたほかは実施例1に準じて
精製液を得た。
精製液を得た。
評価試験
実施例、比較例で得た精製液20m1を外径15.88
mm%内径14 、3 mm 、長さ840wunで内
部溝付きの銅パイプに、真空度8 XIO”−3Tor
rにて真空注入し、封止してヒートバイブを形成し、入
力60Wでの熱抵抗を調べ、その結果を表に示した。
mm%内径14 、3 mm 、長さ840wunで内
部溝付きの銅パイプに、真空度8 XIO”−3Tor
rにて真空注入し、封止してヒートバイブを形成し、入
力60Wでの熱抵抗を調べ、その結果を表に示した。
添付図面は、本発明方法を例示した説明図である。
パーフルオロカーボンの液層
不溶かつ高沸点の液層
沸騰石
容器
恒温液槽
分岐管
コック
Claims (1)
- 1、パーフルオロカーボンの液体を、揮散しない状態で
3分間以上沸騰させることを特徴とするパーフルオロカ
ーボンの精製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19341590A JPH0482846A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | パーフルオロカーボンの精製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19341590A JPH0482846A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | パーフルオロカーボンの精製方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0482846A true JPH0482846A (ja) | 1992-03-16 |
Family
ID=16307583
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19341590A Pending JPH0482846A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | パーフルオロカーボンの精製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0482846A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113093890A (zh) * | 2021-04-08 | 2021-07-09 | 大连理工大学 | 一种用于数据中心刀片式服务器两相浸没式液冷系统 |
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1990
- 1990-07-20 JP JP19341590A patent/JPH0482846A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113093890A (zh) * | 2021-04-08 | 2021-07-09 | 大连理工大学 | 一种用于数据中心刀片式服务器两相浸没式液冷系统 |
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