JPH0480351A - グロー放電を用いた窒化と硼化の同時処理方法 - Google Patents
グロー放電を用いた窒化と硼化の同時処理方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明はグロー放電により被処理材をイオン窒化処理す
る方法に係り、イオン窒化処理だけでは得られない硼化
処理による高硬度処理をイオン窒化処理と同時に行う方
法に関する。
る方法に係り、イオン窒化処理だけでは得られない硼化
処理による高硬度処理をイオン窒化処理と同時に行う方
法に関する。
一般的に鉄系金属による部品を処理してその表面を硬化
させ耐久性を増大させる手段としては、浸炭、窒化、高
周波焼入れ、ポロナイジングなどが一般的に知られてい
る。とくに浸炭、窒化においてはグロー放電によるイオ
ン窒化処理方法が知られている。 これは、真空容器内において窒素や水素あるいはメタン
などを混合した処理ガスをグロー放電によりイオン化さ
せ真空容器内に置いた被処理材にこのイオン化したガス
成分を衝突させ加熱し、スパッタリング作用により窒化
を進行させるものである。 これらのイオン窒化処理方法は求める被処理材の表面硬
度や性質によりイオン化するガスの含有成分が異なる。 これらの処理温度は３５０℃〜６００℃の温度で処理さ
れる。 また、ポロナイジングは硼化と呼ばれ高濃度のホウ素（
Ｂ）の合金層をつくる方法であり、得られる表面層の硬
さはビッカースで１４００〜２０００と非常に硬く、耐
摩耗性、耐焼付性、耐酸化性、耐蝕性にすぐれている。 とくに耐摩耗性においては従来のイオン窒化による表面
を硬化させる方法とは比較にならないものである。
させ耐久性を増大させる手段としては、浸炭、窒化、高
周波焼入れ、ポロナイジングなどが一般的に知られてい
る。とくに浸炭、窒化においてはグロー放電によるイオ
ン窒化処理方法が知られている。 これは、真空容器内において窒素や水素あるいはメタン
などを混合した処理ガスをグロー放電によりイオン化さ
せ真空容器内に置いた被処理材にこのイオン化したガス
成分を衝突させ加熱し、スパッタリング作用により窒化
を進行させるものである。 これらのイオン窒化処理方法は求める被処理材の表面硬
度や性質によりイオン化するガスの含有成分が異なる。 これらの処理温度は３５０℃〜６００℃の温度で処理さ
れる。 また、ポロナイジングは硼化と呼ばれ高濃度のホウ素（
Ｂ）の合金層をつくる方法であり、得られる表面層の硬
さはビッカースで１４００〜２０００と非常に硬く、耐
摩耗性、耐焼付性、耐酸化性、耐蝕性にすぐれている。 とくに耐摩耗性においては従来のイオン窒化による表面
を硬化させる方法とは比較にならないものである。
鉄系素材で形成する部品に高い耐摩耗性を求める場合、
前述のようなイオン窒化処理方法で高い硬度を有するも
のとなる。 しかし、イオン窒化処理だけでは硬度はビッカースで１
２００程度で、鉄系素材そのままより耐摩耗性は大きく
向上するものの、イオン窒化処理した部品の使用条件、
たとえば部品全体−様な圧力でなく部分的に高圧である
ような条件下では、高圧となる部分が早く摩耗し他の部
分はさほど摩耗していなくとも部品全体を交換するよう
になり、部品の耐用限度を低下させることになる。 したがって、更に高硬度の処理方法を求めるようになり
、硬化処理という方法が生み出されたが、硼化処理する
と高温下に部品を置くことで歪を生じる。また処理した
部品は高い硬度のため処理後の研摩など後処理は困難と
なる。 そこで高硬度を必要とする部分だけに硼化処理すること
が考えられるが、 ■ イオン窒化のように気体でホウ素をホウ化物として
供給する気体法 ■ ホウ素を含む溶融塩浴に部品を浸漬する液体法 ■ 処理材中に部品を埋めるか、ペースト状拡散剤を部
品に塗布した後加熱処理する固体法の３種の硼化処理方
法において、気体法および液体法は部品の一部分だけを
処理するには不適である。 最後の固体法によるペースト状の硼化剤を部分に塗布し
加熱処理することで一部分だけを高硬度にすることが可
能である。この時の他の部分はイオン窒化処理しである
ことは言うまでもない。 ところが、イオン窒化処理と硼化処理とては処理温度が
異なるため同時に処理することは不可能である。したが
って、二工程の処理を行うことになり、イオン窒化処理
と硼化処理のための２つの装置を必要とした。 以上のことから、全体をイオン窒化処理し、とくに摩耗
の早い部分を硼化処理するこの２つの処理を同時に行い
設備と工数の削減を本発明の技術的課題とするものであ
る。
前述のようなイオン窒化処理方法で高い硬度を有するも
のとなる。 しかし、イオン窒化処理だけでは硬度はビッカースで１
２００程度で、鉄系素材そのままより耐摩耗性は大きく
向上するものの、イオン窒化処理した部品の使用条件、
たとえば部品全体−様な圧力でなく部分的に高圧である
ような条件下では、高圧となる部分が早く摩耗し他の部
分はさほど摩耗していなくとも部品全体を交換するよう
になり、部品の耐用限度を低下させることになる。 したがって、更に高硬度の処理方法を求めるようになり
、硬化処理という方法が生み出されたが、硼化処理する
と高温下に部品を置くことで歪を生じる。また処理した
部品は高い硬度のため処理後の研摩など後処理は困難と
なる。 そこで高硬度を必要とする部分だけに硼化処理すること
が考えられるが、 ■ イオン窒化のように気体でホウ素をホウ化物として
供給する気体法 ■ ホウ素を含む溶融塩浴に部品を浸漬する液体法 ■ 処理材中に部品を埋めるか、ペースト状拡散剤を部
品に塗布した後加熱処理する固体法の３種の硼化処理方
法において、気体法および液体法は部品の一部分だけを
処理するには不適である。 最後の固体法によるペースト状の硼化剤を部分に塗布し
加熱処理することで一部分だけを高硬度にすることが可
能である。この時の他の部分はイオン窒化処理しである
ことは言うまでもない。 ところが、イオン窒化処理と硼化処理とては処理温度が
異なるため同時に処理することは不可能である。したが
って、二工程の処理を行うことになり、イオン窒化処理
と硼化処理のための２つの装置を必要とした。 以上のことから、全体をイオン窒化処理し、とくに摩耗
の早い部分を硼化処理するこの２つの処理を同時に行い
設備と工数の削減を本発明の技術的課題とするものであ
る。
本発明は前記課題を解決するために、イオン窒化処理す
る被処理材の高硬度を必要とする部分に硼化剤を塗布す
ると共に、イオン窒化処理炉内において前記被処理材の
硼化剤塗布部分を硼化処理可能な温度に加熱する補助電
梅を設け、被処理材全体をイオン窒化処理する手段を講
じた。
る被処理材の高硬度を必要とする部分に硼化剤を塗布す
ると共に、イオン窒化処理炉内において前記被処理材の
硼化剤塗布部分を硼化処理可能な温度に加熱する補助電
梅を設け、被処理材全体をイオン窒化処理する手段を講
じた。
まずイオン窒化処理についてその作用を説明する。
イオン窒化処理は従来行われている処理であり、密閉し
た容器内を（１，１〜ｌ０Ｔｏｒ＋の窒素混合ガスの雰
囲気とし、容器を陽極、被処理材を陰極にして数百ボル
トの直流電圧を印加する。 炉内はグロー放電を生じ、イオン化された窒素イオンは
陰極の被処理材に衝突して加熱すると共に被処理材表面
の窒化を行う。 このとき被処理材の硼化剤塗布部分は補助電極によって
更に加速された窒素イオンの衝突により他の被処理材の
部分より更に高温となる。 この補助電極による硼化剤塗布部分の温度上昇は、補助
電極と被処理材との間隔により変化させることができる
。 このように硼化剤塗布部分以外の被処理材は通常のイオ
ン窒化処理によりイオン窒化処理の特性を有するものと
なり、一方硼化剤塗布部分は補助電極による高温処理で
局部的に高硬度を得ることが可能となる。 また、炉内は巨視的にはイオン窒化処理であるから歪み
の少ない低温処理となる。 更に１つのイオン窒化処理装置により同時に窒化物と硼
化物とが得られることがら新用途への拡大が期待される
。
た容器内を（１，１〜ｌ０Ｔｏｒ＋の窒素混合ガスの雰
囲気とし、容器を陽極、被処理材を陰極にして数百ボル
トの直流電圧を印加する。 炉内はグロー放電を生じ、イオン化された窒素イオンは
陰極の被処理材に衝突して加熱すると共に被処理材表面
の窒化を行う。 このとき被処理材の硼化剤塗布部分は補助電極によって
更に加速された窒素イオンの衝突により他の被処理材の
部分より更に高温となる。 この補助電極による硼化剤塗布部分の温度上昇は、補助
電極と被処理材との間隔により変化させることができる
。 このように硼化剤塗布部分以外の被処理材は通常のイオ
ン窒化処理によりイオン窒化処理の特性を有するものと
なり、一方硼化剤塗布部分は補助電極による高温処理で
局部的に高硬度を得ることが可能となる。 また、炉内は巨視的にはイオン窒化処理であるから歪み
の少ない低温処理となる。 更に１つのイオン窒化処理装置により同時に窒化物と硼
化物とが得られることがら新用途への拡大が期待される
。
【実施例］
本実施例は、被処理材を穀物精白装置の主要部品である
撹拌ロールを例として以下の説明を行うが、被処理材は
これに限定されるものではない。 まず、穀物精白装置について説明する。第１図は竪軸型
精穀機の側断面図、第２図は摩擦精穀転子の正面図、第
３図は摩擦精穀転子の平面図である。 符号１は竪軸型精穀機であり、立設した多孔壁除糠精白
筒２内に回転自在に設けた主軸３の底部に螺旋転子４を
、上部に摩擦精穀転子５をそれぞれ軸装する。摩擦精穀
転子５には撹拌突起３４を形成する。 多孔壁除糠精白筒２と摩擦精穀転子５とて精穀室６を形
成し、精穀室６の下部を穀粒供給部７に、精穀室６の上
部を穀粒排出部８にそれぞれ連絡する。 主電動機９のモータープーリー１０と主軸３のプーリー
１１とをＶベルト１２により連結する。 穀粒排出部８には、穀粒排出部８から吐出する穀粒を規
制する自動抵抗調節装置１３に連結した抵抗板１４を設
ける。抵抗板１４はレバー１５を介して両軸１６に連結
し、両軸１６は正逆回転電動機１７に連動連結しである
。 供給ホッパー２１を穀粒供給装置２２に連結し、また穀
粒供給装置２２は穀粒供給部７に連絡している。 次に上記構成における作用を説明する。穀粒は供給ホッ
パー２１を介して穀粒供給装置２２へ送られ、主電動機
９を駆動させると、穀粒は螺旋転子４へ供給され、螺旋
転子４により精穀室６へ揚送され、摩擦精穀転子５の回
転によって生じる搗精作用を受けて搗精される。 このように作用する摩擦精穀転子５は鋳鉄により形成さ
れその表面は硬化処理がなされているが、長期の使用に
より比較的圧力の高いＡ部とＢ部の突起部分がはやく摩
耗する。したがって、Ａ部とＢ部に本発明を適用した実
施例を以下に示す。 第４図に示すものはイオン窒化処理炉の一実施例である
。 イオン窒化炉４０と該イオン窒化炉４０に窒化ガスを供
給するガス供給源４１と同じくイオン窒化炉４０内を真
空にするコンプレッサ（図示せず）を接続した排気管４
２を接続しである。 イオン窒化炉４０内にはワークテーブル４３を設け、表
面硬化処理を行う摩擦精穀転子５を載置しである。 この摩擦精穀転子５には硼化剤としてたとえば、 −Ｂ４Ｃ＋Ｎａ５ＡｅＦ６−１−エチルシリケート・フ
ェロボロン＋Ｎａ５ＡｅＦＢ＋水ガラス・フェロボロン
（＋促進剤） ・金属ボロン（＋促進剤） ・Ｂ４Ｃ十促進剤 などペースト状にしたものを塗布しである。またここで
いう促進剤とは、ＮＨ４Ｃｅ、Ｎａ０ＣＮ、Ｎａ２Ｂ４
Ｏ７，ＫＢＦ４などがある。 ペースト状硼化剤は第２図の、／Ｍ Ｂ−に示す個所
に塗布してあり乾燥済とする。 一方、摩擦精穀転子５の前記Ａ′部分の外周には補助電
極４４と前記Ｂ′部分の外側に補助電極４５とを設けで
ある。またこの補助電極４４．４５による加熱状態を監
視する温度センサー４６．４７をそれぞれ設ける。 グロー放電を発生する直流電源４８の正極をイオン窒化
炉４０に接続し、負極をワークテーブル４３および補助
電極４４．４５に接続しである。 これらの直流電源４８と、ガス供給源４１と、温度セン
サー４６及び４７はそれぞれ操作制御盤５０に接続しで
ある。 以上の構成における作用を説明する。まず、第４図、第
５図のように表面処理する摩擦精穀転子５をワークテー
ブル４３上に載置する。この摩擦精穀転子５には前述し
た通り硼化剤を塗布しである。 硼化剤を塗布した部分／Ｍ、Ｂ−に対向して補助電極４
３．４４を設ける。 次に炉４０内から排気管４２を通してＩＯＦｏｒｒ以下
に減圧後、ガス供給源４１から窒素水素ガス（必要によ
りＡｒガス）を導入し、１〜２０Ｆｏｒｔの圧力にする
。 直流電源４８を作動させグロー放電を開始する。類４０
内の窒素・水素ガスはイオン化して、負極に衝突を始め
。この放電により類４０内は温度上昇するが、あらかじ
め決めた処理温度、たとえば５５０℃まで加熱制御する
。 補助電極４４．４５の温度制御は温度センサ４６．４７
たとえば赤外線温度計で測定し制御盤５０により制御す
る。この制御は補助電極４４．４５と摩擦精穀転子５と
の距離により経験的に設定してもよいが、前記温度セン
サー４６゜４７の値で制御盤５０により補助電極４４と
摩擦精穀転子５との間隔を自動制御するようにするとよ
い。 このときの硼化処理の温度はたとえば９００℃程度とす
る。 このようにして得られた精白ロールは、硼化剤を塗布し
た硼化処理部分はビッカース１４００以上、イオン窒化
部分はビッカース９００〜１２００程度に表面処理され
る。 ところで硼化剤塗布部分へのＮの侵入は、硼化剤を１ｍ
ｍ〜５ｍｍ程度としておけば表面で反応があったとして
も影響はないものと考えられる。 【効 果】 以上のように本発明による局部的に高い硬度（Ｈマ１４
００〜２０００）が得られ、他の部分ではイオン窒化処
理の硬度（Ｈｖ ６００〜＋２００）による耐摩耗性と
靭性が得られる。 また、処理温度は可視的に見ると窒化処理の条件である
から歪みの発生が少ない。このように本発明によると窒
化物と硼化物が同時に得られる処理方法であるから、耐
摩耗性と耐靭性を必要とする用途の拡大に貢献できるよ
うになった。またその外に、硼化処理の効果として、化
合物層の組成が自由にコントロール可能、大型部品、表
尺物の処理が容易となり耐焼付性の向上を図ることが可
能で、マスキング処理が容易となる効果を奏する。
撹拌ロールを例として以下の説明を行うが、被処理材は
これに限定されるものではない。 まず、穀物精白装置について説明する。第１図は竪軸型
精穀機の側断面図、第２図は摩擦精穀転子の正面図、第
３図は摩擦精穀転子の平面図である。 符号１は竪軸型精穀機であり、立設した多孔壁除糠精白
筒２内に回転自在に設けた主軸３の底部に螺旋転子４を
、上部に摩擦精穀転子５をそれぞれ軸装する。摩擦精穀
転子５には撹拌突起３４を形成する。 多孔壁除糠精白筒２と摩擦精穀転子５とて精穀室６を形
成し、精穀室６の下部を穀粒供給部７に、精穀室６の上
部を穀粒排出部８にそれぞれ連絡する。 主電動機９のモータープーリー１０と主軸３のプーリー
１１とをＶベルト１２により連結する。 穀粒排出部８には、穀粒排出部８から吐出する穀粒を規
制する自動抵抗調節装置１３に連結した抵抗板１４を設
ける。抵抗板１４はレバー１５を介して両軸１６に連結
し、両軸１６は正逆回転電動機１７に連動連結しである
。 供給ホッパー２１を穀粒供給装置２２に連結し、また穀
粒供給装置２２は穀粒供給部７に連絡している。 次に上記構成における作用を説明する。穀粒は供給ホッ
パー２１を介して穀粒供給装置２２へ送られ、主電動機
９を駆動させると、穀粒は螺旋転子４へ供給され、螺旋
転子４により精穀室６へ揚送され、摩擦精穀転子５の回
転によって生じる搗精作用を受けて搗精される。 このように作用する摩擦精穀転子５は鋳鉄により形成さ
れその表面は硬化処理がなされているが、長期の使用に
より比較的圧力の高いＡ部とＢ部の突起部分がはやく摩
耗する。したがって、Ａ部とＢ部に本発明を適用した実
施例を以下に示す。 第４図に示すものはイオン窒化処理炉の一実施例である
。 イオン窒化炉４０と該イオン窒化炉４０に窒化ガスを供
給するガス供給源４１と同じくイオン窒化炉４０内を真
空にするコンプレッサ（図示せず）を接続した排気管４
２を接続しである。 イオン窒化炉４０内にはワークテーブル４３を設け、表
面硬化処理を行う摩擦精穀転子５を載置しである。 この摩擦精穀転子５には硼化剤としてたとえば、 −Ｂ４Ｃ＋Ｎａ５ＡｅＦ６−１−エチルシリケート・フ
ェロボロン＋Ｎａ５ＡｅＦＢ＋水ガラス・フェロボロン
（＋促進剤） ・金属ボロン（＋促進剤） ・Ｂ４Ｃ十促進剤 などペースト状にしたものを塗布しである。またここで
いう促進剤とは、ＮＨ４Ｃｅ、Ｎａ０ＣＮ、Ｎａ２Ｂ４
Ｏ７，ＫＢＦ４などがある。 ペースト状硼化剤は第２図の、／Ｍ Ｂ−に示す個所
に塗布してあり乾燥済とする。 一方、摩擦精穀転子５の前記Ａ′部分の外周には補助電
極４４と前記Ｂ′部分の外側に補助電極４５とを設けで
ある。またこの補助電極４４．４５による加熱状態を監
視する温度センサー４６．４７をそれぞれ設ける。 グロー放電を発生する直流電源４８の正極をイオン窒化
炉４０に接続し、負極をワークテーブル４３および補助
電極４４．４５に接続しである。 これらの直流電源４８と、ガス供給源４１と、温度セン
サー４６及び４７はそれぞれ操作制御盤５０に接続しで
ある。 以上の構成における作用を説明する。まず、第４図、第
５図のように表面処理する摩擦精穀転子５をワークテー
ブル４３上に載置する。この摩擦精穀転子５には前述し
た通り硼化剤を塗布しである。 硼化剤を塗布した部分／Ｍ、Ｂ−に対向して補助電極４
３．４４を設ける。 次に炉４０内から排気管４２を通してＩＯＦｏｒｒ以下
に減圧後、ガス供給源４１から窒素水素ガス（必要によ
りＡｒガス）を導入し、１〜２０Ｆｏｒｔの圧力にする
。 直流電源４８を作動させグロー放電を開始する。類４０
内の窒素・水素ガスはイオン化して、負極に衝突を始め
。この放電により類４０内は温度上昇するが、あらかじ
め決めた処理温度、たとえば５５０℃まで加熱制御する
。 補助電極４４．４５の温度制御は温度センサ４６．４７
たとえば赤外線温度計で測定し制御盤５０により制御す
る。この制御は補助電極４４．４５と摩擦精穀転子５と
の距離により経験的に設定してもよいが、前記温度セン
サー４６゜４７の値で制御盤５０により補助電極４４と
摩擦精穀転子５との間隔を自動制御するようにするとよ
い。 このときの硼化処理の温度はたとえば９００℃程度とす
る。 このようにして得られた精白ロールは、硼化剤を塗布し
た硼化処理部分はビッカース１４００以上、イオン窒化
部分はビッカース９００〜１２００程度に表面処理され
る。 ところで硼化剤塗布部分へのＮの侵入は、硼化剤を１ｍ
ｍ〜５ｍｍ程度としておけば表面で反応があったとして
も影響はないものと考えられる。 【効 果】 以上のように本発明による局部的に高い硬度（Ｈマ１４
００〜２０００）が得られ、他の部分ではイオン窒化処
理の硬度（Ｈｖ ６００〜＋２００）による耐摩耗性と
靭性が得られる。 また、処理温度は可視的に見ると窒化処理の条件である
から歪みの発生が少ない。このように本発明によると窒
化物と硼化物が同時に得られる処理方法であるから、耐
摩耗性と耐靭性を必要とする用途の拡大に貢献できるよ
うになった。またその外に、硼化処理の効果として、化
合物層の組成が自由にコントロール可能、大型部品、表
尺物の処理が容易となり耐焼付性の向上を図ることが可
能で、マスキング処理が容易となる効果を奏する。
第１図は本発明を実施した部分品を使用するる竪軸型精
穀機の側断面図、第２図は摩擦精穀転子の正断面図、第
３図は摩擦精穀転子の平面図、第４図は本発明の実施例
を示すイオン窒化炉の事例図、第５図は補助電極を示す
図である。 １・・・竪軸型精穀機、２・・・多孔壁除糠精白筒、３
・・・主軸、４・・・螺旋転子、５・・・摩擦精穀転子
、６・・・精穀室、７・・・穀粒供給部、８・・・穀粒
排出部、９・・・主電動機、１０・・・モータプーリー
、１１・・・プーリー、１２・・・Ｖベルト、１３・・
・自動抵抗調節装置、１４・・・抵抗板、１５・・・レ
バー、１６・・・横軸、１７・・・正逆回転電動機、１
８・・・抵抗板軸、２１・・・供給ホッパー、２２・・
・穀粒供給装置、３４・・・撹拌突起、４０・・・イオ
ン窒化炉、４１・・・ガス供給源、４２・・・排気管、
４３・・・ワークテーブル、４４・・・補助電極、４５
・・・補助電極、４６・・・温度センサー、４７・・・
温度センサー、４８・・・直流電源、５０・・・制御盤
。 特許出願人 株式会社佐竹製作所 第 図
穀機の側断面図、第２図は摩擦精穀転子の正断面図、第
３図は摩擦精穀転子の平面図、第４図は本発明の実施例
を示すイオン窒化炉の事例図、第５図は補助電極を示す
図である。 １・・・竪軸型精穀機、２・・・多孔壁除糠精白筒、３
・・・主軸、４・・・螺旋転子、５・・・摩擦精穀転子
、６・・・精穀室、７・・・穀粒供給部、８・・・穀粒
排出部、９・・・主電動機、１０・・・モータプーリー
、１１・・・プーリー、１２・・・Ｖベルト、１３・・
・自動抵抗調節装置、１４・・・抵抗板、１５・・・レ
バー、１６・・・横軸、１７・・・正逆回転電動機、１
８・・・抵抗板軸、２１・・・供給ホッパー、２２・・
・穀粒供給装置、３４・・・撹拌突起、４０・・・イオ
ン窒化炉、４１・・・ガス供給源、４２・・・排気管、
４３・・・ワークテーブル、４４・・・補助電極、４５
・・・補助電極、４６・・・温度センサー、４７・・・
温度センサー、４８・・・直流電源、５０・・・制御盤
。 特許出願人 株式会社佐竹製作所 第 図
Claims (1)
- イオン窒化処理する被処理材の高硬度を必要とする部
分に硼化剤を塗布すると共に、イオン窒化処理炉内にお
いて前記被処理材の硼化剤塗布部分を硼化処理可能な温
度に加熱する補助電極を設け、被処理材全体をイオン窒
化処理するグロー放電を用いた窒化と硼化の同時処理方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19257890A JPH0480351A (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | グロー放電を用いた窒化と硼化の同時処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19257890A JPH0480351A (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | グロー放電を用いた窒化と硼化の同時処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0480351A true JPH0480351A (ja) | 1992-03-13 |
Family
ID=16293614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19257890A Pending JPH0480351A (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | グロー放電を用いた窒化と硼化の同時処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0480351A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007302962A (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Honda Motor Co Ltd | 皮膜形成方法 |
| JP2009512778A (ja) * | 2005-09-22 | 2009-03-26 | スカフコ エンジニアリング アンド マニュファクチャリング， インコーポレイテッド | プラズマホウ化方法 |
-
1990
- 1990-07-19 JP JP19257890A patent/JPH0480351A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009512778A (ja) * | 2005-09-22 | 2009-03-26 | スカフコ エンジニアリング アンド マニュファクチャリング， インコーポレイテッド | プラズマホウ化方法 |
| JP2007302962A (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Honda Motor Co Ltd | 皮膜形成方法 |
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