JPH047860A - Semiconductor stack - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
この発明は、ヒートパイプ式放熱器を使った半導体スタ
ックに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) This invention relates to a semiconductor stack using a heat pipe type heat sink.
(従来の技術)
大電流サイリスタのような発熱の大きい半導体素子はな
んらかの放熱手段を用いて常時、発熱した熱を除去しな
ければならず、そのために従来からヒートパイプ式放熱
器を半導体素子とサンドイッチ構造の配置にして構成し
た半導体スタックが用いられてきている。第7図ないし
第9図はこのような従来の半導体スタックの構成を示し
ており、第7図は側面図、第8図は平面図、第9図は第
7図におけるIX−IX線断面図である。(Prior art) Semiconductor devices that generate a large amount of heat, such as high-current thyristors, must constantly remove the generated heat using some kind of heat dissipation means, and for this purpose, heat pipe type heat sinks have traditionally been sandwiched with the semiconductor device. Semiconductor stacks configured in an arrangement of structures have been used. 7 to 9 show the configuration of such a conventional semiconductor stack, where FIG. 7 is a side view, FIG. 8 is a plan view, and FIG. 9 is a sectional view taken along the line IX-IX in FIG. 7. It is.
この従来の半導体スタックでは、平型半導体素子1と、
それを冷却するヒートパイプ式放熱器2とがそれぞれ複
数個前後方向にサンドイッチ構造に積層され、その両端
部は絶縁座3により絶縁され、さらに一端部に設けられ
た皿ばね4により各部品が圧接される構造となっている
。This conventional semiconductor stack includes a flat semiconductor element 1,
A plurality of heat pipe type radiators 2 are stacked in a sandwich structure in the front-rear direction, and both ends are insulated by an insulating seat 3, and each part is pressed into contact with a disc spring 4 provided at one end. The structure is such that
ヒートパイプ式放熱器2は平型の半導体素子1を良好に
冷却するため、1個の半導体素子1を前後から2つのヒ
ートパイプ式放熱器2で挟む形に配置されている。そし
てこのヒートパイプ式放熱器2の構成は、複数体のヒー
トパイプ5の一端部が熱伝導良好な受熱部ブロック6に
埋め込まれ、他端の放熱側に放熱効果を高めるために放
熱フィン7が取り付けられたものとなっている。なお受
熱側と放熱側を絶縁する目的でヒートパイプ5の中間に
は絶縁碍子8が設けられている。The heat pipe type radiator 2 is arranged so that one semiconductor element 1 is sandwiched between two heat pipe type radiators 2 from the front and rear in order to cool the flat semiconductor element 1 well. The structure of the heat pipe type radiator 2 is such that one end of a plurality of heat pipes 5 is embedded in a heat receiving block 6 with good heat conduction, and a heat radiating fin 7 is provided on the other end of the heat radiating side to enhance the heat radiating effect. It has been installed. Note that an insulator 8 is provided in the middle of the heat pipe 5 for the purpose of insulating the heat receiving side and the heat radiating side.
このような構成の従来の半導体スタックにおいて、ヒー
トパイプ式放熱器2の冷却性能を高めるためには放熱フ
ィン7の表面積を大きくする必要があり、一方、ヒート
パイプ5と受熱部ブロック6の圧接面との間の温度差を
小さくするためは受熱部ブロック6の前後方向の幅、つ
まり厚みは小さくする必要がある。In a conventional semiconductor stack having such a configuration, in order to improve the cooling performance of the heat pipe type heat sink 2, it is necessary to increase the surface area of the heat radiation fins 7. In order to reduce the temperature difference between the two, it is necessary to reduce the width of the heat receiving block 6 in the front-rear direction, that is, the thickness.
そこで一般に、ヒートパイプ式放熱器2は受熱部ブロッ
ク6の厚みに比べて放熱フィン7の前後方向の幅の方が
大きくなり、複数個の半導体素子1をヒートパイプ式放
熱器2と前後方向にサンドイッチ構造に積層して1個の
半導体スタックに構成しようとすると、放熱フィン7の
幅によって半導体スタックの前後長が決定されてしまい
、半導体素子1とヒートパイプ式放熱器2の受熱部ブロ
ック6との積層部では、前後に背中合わせで隣り合うヒ
ートパイプ式放熱器2.2の受熱部ブロック6.6間に
長さ調整用スペーサ9を設けて放熱フィン7の幅によっ
て決定される長さの半導体スタックに構成していた。Therefore, in general, in the heat pipe type heat sink 2, the width of the heat radiation fins 7 in the front and back direction is larger than the thickness of the heat receiving block 6, and the plurality of semiconductor elements 1 are connected to the heat pipe type heat sink 2 in the front and rear direction. When stacking them in a sandwich structure to form one semiconductor stack, the width of the heat dissipation fins 7 determines the front and back length of the semiconductor stack. In the laminated part, a spacer 9 for length adjustment is provided between the heat receiving block 6.6 of the heat pipe type heat radiator 2.2 that is adjacent back to back, and the length of the semiconductor is determined by the width of the heat radiating fin 7. It was configured into a stack.
(発明が解決しようとする課題)
ところがこのように従来の半導体スタックでは、放熱フ
ィンの前後の幅に合わせて受熱部ブロック側に長さ調整
用スペーサを用いているために、半導体スタックの小形
軽量化が困難であり、加えて、積層される部品点数が多
くなり、それぞれの部品の中心を半導体スタックの中心
に合わせる作業が困難となって、半導体素子に均一な圧
接荷重が掛からず、半導体素子の破壊に至ることがある
問題点があった。(Problem to be Solved by the Invention) However, in conventional semiconductor stacks, length adjustment spacers are used on the heat receiving block side to match the front and rear widths of the heat dissipation fins. In addition, as the number of stacked components increases, it becomes difficult to align the center of each component with the center of the semiconductor stack. There were problems that could lead to the destruction of the
この発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたも
ので、部品点数を少なくして組み立てることができ、小
形軽量化も可能な半導体スタックを提供することを目的
とする。The present invention has been made in view of these conventional problems, and it is an object of the present invention to provide a semiconductor stack that can be assembled with a reduced number of parts and that can also be made smaller and lighter.
[発明の構成]
(課題を解決するための手段)
この発明の半導体スタックは、複数のヒートパイプ式放
熱器の受熱部ブロックを半導体素子と共に前後方向の同
一軸上に配置し、一方、前後に隣り合う放熱フィンは左
右に互い違いにずらせて配置したものである。[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) A semiconductor stack of the present invention has heat receiving blocks of a plurality of heat pipe type heat radiators arranged together with semiconductor elements on the same axis in the front and back direction, while Adjacent radiation fins are arranged so as to be staggered from side to side.
また前記ヒートパイプ式放熱器としては、ヒートパイプ
が受熱部ブロックの上面側から右もしくは左方向に屈曲
して延び出した形のもの、または前記受熱部ブロックの
右側面または左側面から上方に向かってL字形に延び出
した形のものを用いることができる。The heat pipe type heat radiator may have a shape in which the heat pipe extends from the upper surface of the heat receiving block to the right or left, or extends upward from the right or left side of the heat receiving block. An L-shaped extension can be used.
(作用)
この発明の半導体スタックでは、ヒートパイプ式放熱器
の受熱部ブロックを半導体素子と共に前後方向の同一軸
上にサンドイッチ構造に配置しても、前後に隣り合う放
熱フィンは左右に互い違いに重ならないようにずれるの
で、前後に隣り合うヒートパイプ式放熱器のそれぞれの
放熱フィンの前後幅を加え合わせたものがそのまま前後
方向の長さになることはなく、受熱部ブロックの前後方
向の幅、つまり厚み分を加え合わせた長さにしかならず
、半導体スタックとしての前後長を従来のスペーサを介
在させる場合よりも十分に短くすることができる。(Function) In the semiconductor stack of the present invention, even if the heat receiving block of the heat pipe type radiator is arranged in a sandwich structure on the same axis in the front and back direction with the semiconductor element, the adjacent heat radiating fins are stacked alternately on the left and right. Therefore, the sum of the front and back widths of the radiation fins of the adjacent heat pipe type radiators does not equal the length in the front and back direction, but the width in the front and back direction of the heat receiving block, In other words, the length is only the sum of the thickness, and the front-to-back length of the semiconductor stack can be made sufficiently shorter than when a conventional spacer is used.
また、ヒートパイプ式放熱器として、ヒートパイプが受
熱部ブロックの上面側から右または左方向に延び出した
形のもの、またはヒートパイプが受熱部ブロックの側面
側から上方にL字形に延び出した形のものを用い、この
ヒートパイプ式放熱器を互いに背中合わせに配置するこ
とにより、複数のヒートパイプ式放熱器の間で受熱部ブ
ロックを前後方向の同一軸上の配置にして、しかも放熱
フィンを左右に互い違いにずらせた形で半導体スタック
を構成することができ、半導体スタックの前後長を長さ
調整用スペーサを用いる従来の半導体スタックよりも短
いものとすることができる。In addition, the heat pipe type radiator has a heat pipe extending from the top side of the heat receiving block to the right or left, or a heat pipe extending upward from the side surface of the heat receiving block in an L-shape. By arranging the heat pipe type heat radiators back to back, the heat receiving block can be placed on the same axis in the front and back direction between the multiple heat pipe type radiators, and the heat radiation fins can be placed on the same axis. Semiconductor stacks can be constructed with the semiconductor stacks being staggered from side to side, and the front-to-back length of the semiconductor stacks can be made shorter than that of conventional semiconductor stacks using length adjustment spacers.
(実施例) 以下、この発明の実施例を図に基づいて詳説する。(Example) Hereinafter, embodiments of the present invention will be explained in detail based on the drawings.
第1図はこの発明の一実施例に用いるヒートパイプ式放
熱器11を示しており、第2図ないし第4図はこのヒー
トパイプ式放熱器11の複数個を半導体素子の複数個と
サンドイッチ構造に組み立てた半導体スタックの一実施
例を示している。FIG. 1 shows a heat pipe type heat sink 11 used in one embodiment of the present invention, and FIGS. 2 to 4 show a sandwich structure in which a plurality of heat pipe type heat sinks 11 are sandwiched together with a plurality of semiconductor elements. 1 shows an example of a semiconductor stack assembled in 1.
第1図において、ヒートパイプ式放熱器11は、熱伝導
に優れた受熱部ブロック12に複数のヒートパイプ13
それぞれの一端部が埋め込まれており、各ヒートパイプ
13の他端部に多数の矩形の放熱フィン14が水平に取
り付けられている。In FIG. 1, a heat pipe type heat sink 11 includes a plurality of heat pipes 13 in a heat receiving block 12 having excellent heat conduction.
One end of each heat pipe 13 is embedded, and a large number of rectangular radiation fins 14 are horizontally attached to the other end of each heat pipe 13.
前記ヒートパイプ13は受熱部ブロック12から延び出
す根元部分に屈曲部15が形成されていて、第1図に定
義する前後方向に対して右あるいは左方向に屈曲部15
から延び出し、さらにもう一つの屈曲部16において上
方に屈曲した形となっている。そして、この屈曲部15
.16間の長さは、放熱フィン14の内側の端縁部17
が受熱部ブロック12の垂直方向の中心線Cよりも若干
外側に位置するように設定されている。The heat pipe 13 has a bent portion 15 formed at the root portion extending from the heat receiving block 12, and the bent portion 15 is formed in the right or left direction with respect to the front-rear direction defined in FIG.
It extends from the top and is bent upward at another bend 16. Then, this bent portion 15
.. The length between 16 and 16 is the inner edge 17 of the radiation fin 14.
is set to be located slightly outside the vertical center line C of the heat receiving block 12.
また、各放熱フィン14とヒートパイプ13との配置関
係は、特に第3図に明確に見られるように、矩形の放熱
フィン14の前後中間位置C′に対して前後方向のいず
れか一方に偏った位置でヒートパイプ13が貫通するよ
うにしである。In addition, the arrangement relationship between each heat radiation fin 14 and the heat pipe 13 is biased toward one side in the front and back direction with respect to the front-rear intermediate position C' of the rectangular heat radiation fin 14, as can be seen particularly clearly in FIG. The heat pipe 13 is arranged so as to penetrate at the position shown in FIG.
なお、18はヒートパイプ13の受熱沸騰側と放熱側と
を絶縁する絶縁碍子である。Note that 18 is an insulator that insulates the heat receiving boiling side and the heat dissipating side of the heat pipe 13.
第2図ないし第4図は上記のヒートパイプ式放熱器11
の複数個と平型半導体素子19の複数個とをサンドイッ
チ構造に配置して構成した半導体スタックの一実施例を
示しており、第2図は側面図、第3図は平面図、第4図
は第2図における■−■線断面図を示している。Figures 2 to 4 show the heat pipe type heat radiator 11 described above.
and a plurality of flat semiconductor elements 19 are arranged in a sandwich structure to show an embodiment of the semiconductor stack, in which FIG. 2 is a side view, FIG. 3 is a plan view, and FIG. 4 is a top view. 2 shows a sectional view taken along the line ■-■ in FIG.
この半導体スタックは、第7図ないし第9図に示した従
来例と同様に組み立てられており、複数の半導体素子1
9それぞれに対して前後両側にヒートパイプ式放熱器1
1が圧接配置され、両端位置に絶縁座20と皿ばね21
とを介して固定板22を配し、これらを締め付はボルト
23により締め付けて組み立てた構成である。This semiconductor stack is assembled in the same manner as the conventional example shown in FIGS. 7 to 9, and includes a plurality of semiconductor elements 1.
9 Heat pipe type heat radiators 1 on both front and back sides for each
1 is arranged in pressure contact, and an insulating seat 20 and a disc spring 21 are placed at both ends.
A fixing plate 22 is disposed between the two, and these are assembled by tightening with bolts 23.
この半導体スタックの組み立てにあたり、前後に直接隣
り合うヒートパイプ式放熱器11.11間士では、一方
に対して他方を前後裏返しにして背中合わせにした形で
圧接し合うように配置する。In assembling this semiconductor stack, the heat pipe type heat sinks 11 and 11 that are directly adjacent to each other are placed so that one side is turned over and the other side is turned over so that they are in pressure contact with each other.
この操作により、特に第3図および第4図に明確に見ら
れるように、隣り合うヒートパイプ式放熱器11.11
のヒートパイプ13.13間士が左右に互い違いにずれ
合う配置となり、前後に隣り合うヒートパイプ式放熱器
11.11の放熱フィン14.14同士も左右に互い違
いにずれた配置となる。This operation causes the adjacent heat pipe radiators 11.11 to
The heat pipes 13 and 13 of the heat pipes 13 and 13 are arranged to be staggered from side to side, and the radiation fins 14 and 14 of the heat pipe type radiators 11 and 11 that are adjacent in the front and back are also arranged to be staggered from side to side.
この結果、第3図に示すように、半導体素子19を前後
両側から挾んで相対するヒートパイプ式放熱器11.1
1間で左右に互いにずれて重なり合う部分の寸法aと、
背中合わせに隣り合うヒートパイプ式放熱器11.11
間で左右にずれて重なり合う部分の寸法すを足し合わせ
た長さ分だけ、従来例に比べて前後方向の長さを節約で
きることになるのである。As a result, as shown in FIG. 3, the heat pipe type heat sink 11.
The dimension a of the overlapping part shifted left and right between 1 and
Heat pipe type radiators back to back 11.11
Compared to the conventional example, the length in the front-to-back direction can be saved by the sum of the dimensions of the overlapping portions shifted left and right between the two.
なお、この発明は上記の実施例に限定されることはなく
、第5図に示すような実施例も可能である。この第5図
の実施例では、ヒートパイプ式放熱器11を、L字形の
ヒートパイプ13を用い、このL字形のヒートパイプ1
3の沸騰部を受熱部ブロック12の右または左側面部に
水平に埋め込み、屈曲部15において上側に延び出すよ
うにした屈曲させ、この垂直に上方に延びる部分に放熱
フィン14を取り付けて構成している。Note that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and an embodiment as shown in FIG. 5 is also possible. In the embodiment shown in FIG. 5, an L-shaped heat pipe 13 is used as the heat pipe type radiator 11.
3 is horizontally buried in the right or left side of the heat receiving block 12, bent so as to extend upward at the bent part 15, and the radiation fins 14 are attached to this vertically extending part. There is.
そして、半導体スタックを組み立てるにあたっては、前
後に隣り合うヒートパイプ式放熱器11間士の間で一方
が他方に対して背中合わせになるように配置し、放熱フ
ィン14同士が左右に互い違いにずれるようにし、こう
して放熱フィン14を前後に一列に並べる従来の場合の
ようにスペーサを必要とせず、前後長を短くできるので
ある。When assembling the semiconductor stack, the heat pipe type heat sinks 11 adjacent to each other are arranged so that one side is back to back to the other, and the heat sink fins 14 are staggered from side to side. In this way, there is no need for a spacer as in the conventional case where the radiation fins 14 are arranged in a row from front to back, and the length from front to back can be shortened.
第6図はさらに他の実施例を示しており、受熱部ブロッ
ク12の方向性をなくすために円盤状のものにし、これ
に直管形のヒートパイプ13の沸騰部を埋め込み、他端
部に放熱フィン14を取り付けた構成としている。FIG. 6 shows still another embodiment, in which the heat receiving block 12 is made into a disk shape in order to eliminate the directionality, the boiling part of the straight heat pipe 13 is embedded in this, and the other end is It has a configuration in which heat dissipation fins 14 are attached.
そして、この実施例では、このようなヒートパイプ式放
熱器11を半導体素子19とサンドイッチ構造に組み立
てるに際して、前後に隣り合うヒートパイプ式放熱器1
1.11同士の間で、受熱部ブロック12.12を左右
互いに逆向きに回転させて各々のヒートパイプ13,1
3を互いに逆向きに傾斜させた状態にして組み立ててお
り、この操作により、前後に隣り合うヒートパイプ式放
熱器11.11の間では放熱フィン14.14が左右に
互い違いにずれ合うことになり、スペーサを不要とする
ことができて従来例に比べて前後長を節約できるのであ
る。In this embodiment, when assembling such a heat pipe type heat sink 11 with the semiconductor element 19 in a sandwich structure, the heat pipe type heat sinks 1 adjacent to each other in front and back are
1.11, rotate the heat receiving block 12.12 in opposite directions on the left and right to connect each heat pipe 13,1.
3 are assembled in a state where they are tilted in opposite directions, and by this operation, the radiation fins 14.14 are shifted left and right alternately between the heat pipe type radiators 11.11 that are adjacent in the front and back. This makes it possible to eliminate the need for spacers and save front-to-back length compared to the conventional example.
[発明の効果]
以上のようにこの発明によれば、複数のヒートパイプ式
放熱器と半導体素子とをサンドイッチ構造に組み立てる
にあたって、各ヒートパイプ式放熱器のヒートパイプの
上端部およびそこに取り付けられている放熱フィンを左
右互い違いにずらせた配置にして前後方向に配列してい
るため、放熱フィンの前後幅が大きくても左右にずれて
重なり合わせることができるので、その重なり合う部分
の前後長方だけ全体としての前後長を節約することがで
き、従来のように隣り合うヒートパイプ式放熱器間に長
さ調整用のスペーサを入れなくとも済み、全体として小
形化が図れ、またスペーサが不要となるので部品点数が
削減でき、組み立て時に中心合わせが容易になり、圧接
力の均一化も改善できるようになり、信頼性を高めるこ
とができる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, when assembling a plurality of heat pipe heat sinks and semiconductor elements into a sandwich structure, the upper end of the heat pipe of each heat pipe heat sink and the heat pipe attached thereto are The heat dissipation fins are arranged in a staggered arrangement in the front-rear direction, so even if the front-rear width of the heat-dissipation fins is large, they can be shifted left and right and overlapped, so only the front-rear long direction of the overlapping part is possible. The overall front and back length can be saved, and there is no need to insert a spacer for adjusting the length between adjacent heat pipe type heat sinks as in the past, making the overall size smaller and eliminating the need for spacers. This reduces the number of parts, facilitates center alignment during assembly, improves the uniformity of pressure contact, and improves reliability.
第1図はこの発明の一実施例に用いるヒートパイプ式放
熱器の斜視図、第2図はこの発明の一実施例の側面図、
第3図は上記実施例の平面図、第4図は第2図における
IV−IV線断面図、第5図はこの発明の他の実施例の
断面図、第6図はこの発明のさらに他の実施例の断面図
、第7図は従来例の側面図、第8図は従来例の平面図、
第9図は第7図におけるIX−IX線断面図である。
11・・・ヒートパイプ式放熱器
12・・・受熱部ブロック 13・・・ヒートパイプ1
4・・・放熱フィン 15.16・・・屈曲部19
・・・半導体素子FIG. 1 is a perspective view of a heat pipe type radiator used in an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view of an embodiment of the present invention.
3 is a plan view of the above embodiment, FIG. 4 is a sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 2, FIG. 5 is a sectional view of another embodiment of the invention, and FIG. 6 is a further embodiment of the invention. FIG. 7 is a side view of the conventional example, FIG. 8 is a plan view of the conventional example,
FIG. 9 is a sectional view taken along the line IX-IX in FIG. 7. 11... Heat pipe type radiator 12... Heat receiving block 13... Heat pipe 1
4...Radiating fin 15.16...Bending part 19
・・・Semiconductor element
Claims (2)
み、他端側に放熱フィンを取り付けたヒートパイプ式放
熱器の複数個と半導体素子の複数個とをサンドイッチ構
造となるように前後方向に積層し、ヒートパイプ式放熱
器により各平型半導体素子を冷却するようにした半導体
スタックにおいて、 前記複数のヒートパイプ式放熱器の受熱部ブロックを半
導体素子と共に前後方向の同一軸上に配置し、一方、前
後に隣り合う放熱フィンは左右に互い違いにずらせて配
置して成ることを特徴とする半導体スタック。(1) One end of the heat pipe is embedded in the heat receiving block, and a plurality of heat pipe type heat sinks with heat dissipation fins attached to the other end are stacked in the front-back direction to form a sandwich structure. In a semiconductor stack in which each flat semiconductor element is cooled by a heat pipe type heat radiator, the heat receiving block of the plurality of heat pipe type radiators is arranged on the same axis in the front and rear direction together with the semiconductor element, and one , a semiconductor stack characterized in that adjacent heat dissipation fins are arranged in a staggered manner to the left and right.
が受熱部ブロックの上面側から右もしくは左方向に屈曲
して延び出した形のもの、または前記受熱部ブロックの
右側面または左側面から上方に向かってL字形に延び出
した形のものを用い、これを前後に隣り合うヒートパイ
プ式放熱器同士の間では背中合わせに配置したことを特
徴とする請求項1の半導体スタック。(2) The heat pipe type radiator has a shape in which the heat pipe extends from the upper surface of the heat receiving block to the right or left, or extends upward from the right or left side of the heat receiving block. 2. The semiconductor stack according to claim 1, wherein heat pipe type heat radiators having an L-shape extending toward each other are used and are arranged back to back between adjacent heat pipe type heat radiators.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10872290A JPH047860A (en) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | Semiconductor stack |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10872290A JPH047860A (en) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | Semiconductor stack |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH047860A true JPH047860A (en) | 1992-01-13 |
Family
ID=14491900
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10872290A Pending JPH047860A (en) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | Semiconductor stack |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH047860A (en) |
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