JPH0473722B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、第１の物体と第２の物体とを位置合
せする方法に関する。このような位置合せ方法
は、例えば、液晶ガラス基板の貼合せ工程におい
て、第１および第２の物体としての上下２枚の液
晶ガラス基板を高精度に自動位置決めし、貼り合
わす際に適用して好適である。

［従来技術］ 一般に、液晶パネルを応用した表示パネルの用
途は電卓、時計等をはじめ比較的小型のものか
ら、自動車用大型デイスプレイや液晶テレビ用と
広い分野に渡つて使用されている。この中で最近
特に注目されている液晶テレビにおいては、表示
素子としての応答性や鮮明度の向上等を目的とし
て、従来から使われてきた単純マトリクス駆動方
式に代わり、個々の液晶電極をそれぞれのスイツ
チング素子で直接駆動するアクテイブ・マトリク
ス駆動方式を用いた液晶パネルの開発が盛んに行
なわれるようになつてきた。

単純マトリクス駆動方式の液晶セルでは、一般
に電極材料として、ITO（インジウム チン オ
キサイド）膜が使用されている。そして、この
ITO膜によつて位置合せマークも形成しこのマー
クを用いて貼合せ工程にて自動位置決めを行なう
手段が、特開昭61−100817号に開示されている。

第２図に、この特開昭61−100817号で開示され
た位置合せマークの形状とその映像出力信号波形
を示す。同図において、マークの材質はITO膜で
ある。したがつて、上ガラス（即ち特開昭61−
100817号公報よりわかるように光電検出器側のガ
ラス）に形成された上マーク８と下ガラス（即ち
特開昭61−100817号公報よりわかるように上ガラ
スに関して光電検出器と反対側のガラス）に形成
された下マーク１２とが重なつた部分は重なつて
いない部分に比べ、信号強度が約２倍になる。そ
して、これらのマークを横切る２本のテレビ走査
線Sm，Sn上の映像信号をスレシユホールドレベ
ルTH，TLで２値化して検出される４個のエツ
ジの位置データから上下のマークの位置合せ誤差
ΔX，ΔYを次式で求めている。

ΔX＝（₃−₁）＋（′₃−′₁）／４…(1) ΔY＝（₁＋₃）−（′₁＋′₃）／４…(2) ［発明が解決しようとする問題点］ しかし、アクテイブ・マトリクス駆動方式の液
晶パネルの場合、その電極の構成上、必ずしも
ITO膜が用いられるとは限らず、さらに上ガラス
と下ガラスの電極材質が異なる場合も少なくな
い。

通常、下ガラスは、TFT（薄膜トランジスタ）
等のスイツチング素子がパターニングされるの
で、位置合せマークもそれらを構成する金属皮膜
等で作ることが、コストダウンや工程の簡略化の
ため必要になつてくる。上ガラスの透明電極とし
ては、ITO膜等が用いられ、また、カラーテレビ
用の液晶パネルなどでは、カラーフイルタ等の吸
収体が用いられ、さらに場合によつては金属皮膜
による電極も使用される。いずれの場合でも上述
の理由から、位置合せマークはそのマークが存在
する基板の構成電極と、同じ材質のものが要求さ
れることが多い。

したがつて、貼合せ装置としては、各種のマー
ク材質、すなわち、光学的に見た場合、反射の強
い金属皮膜、ある特定波長のみ透過するカラーフ
イルタ等の吸収体、さらに、半透明電極である
ITO膜等、材質の如何に関係なく、位置合せマー
クを確認でき、自動位置合せを行なう必要があ
る。

本発明は、この必要性に鑑み、マーク材質とし
てITO膜を対象とした特開昭61−100817の位置合
せ方法を発展させ、各種の材質の組合せによる位
置合せマークでも自動位置合せを可能にする位置
合せ方法を提供することを目的とする。本発明は
特に、特開昭61−100817号の位置合せよりも、信
号としてマークのエツジ位置の判断がより容易に
なるような位置合せ方法を提供することを目的と
する。

［問題点を解決するための手段および作用］ 上記目的を達成するため本発明は、光電検出器
側に配置される第１透光性基板上の第１マークと
前記第１透光性基板に関して光電検出器と反対側
に配置される第２透光性基板上の第２マークとを
光電的に検出することにより前記第１透光性基板
と前記第２透光性基板間の位置ずれを検出し、該
検出に応じて前記第１透光性基板と前記第２透光
性基板を互いに位置合せする位置合せ方法におい
て、前記第１マークを色フイルターで形成し、前
記第２マークを金属被膜で形成し、かつ前記第１
マークを前記第２マークより小さく形成し、前記
第１マークと前記第２マークとを実質的に重ねた
状態で前記第１マークと前記第２マークとを光電
的に検出するようにしている。

この検出された各マークの検出信号におけるエ
ツジの位置は前記色フイルターと金属被膜と下地
部分との反射率の差により信号強度の差として現
われるため、容易に検出することができる。

［実施例］ 以下、この発明について実施例を挙げ詳細に説
明する。

第１図は本発明の第１の実施例を示す図で、同
図のａは上マーク形状とその映像出力信号、ｂは
下マークの形状、ｃは上下のマークを重ねた状
態、ｄはその時の映像出力信号を示す。この実施
例は、上マークがカラーフイルタ等の吸収体、下
マークが金属皮膜の場合のものである。

一般に、カラーフイルタのような吸収体をマー
クとして用いて落射照明した場合、ある特定波長
の光以外はその反射光が得られない。したがつ
て、マークの映像信号レベルはバツクグラウンド
レベルとほとんど差が出ず、信号処理が非常に困
難である。そこで、第１図ａ，ｂの如く、上下の
マークの形状と大きさは、上述従来例と同様にし
て上マークは吸収体物質で形成し、下マークは金
属皮膜にて形成する。この場合、吸収体で形成さ
れた上マーク５のみでは同図ａに示すように映像
信号出力はほとんど得られないが、同図ｃの如く
上マーク５を金属皮膜で形成された下マーク６と
重ね、これらを横切る２本のテレビ走査線Sm，
Sn上の映像信号を得ると、同図ｄに示すように
その重なつた部分のみ映像信号出力が下がり、下
マーク６に対する上マーク５の位置が検出可能と
なる。

すなわち、２本のテレビ走査線Sm，Sn上の映
像信号７を２値化して得られる原点Ｏからのエツ
ジの位置データのうち、第１の立上りエツジの位
置をEP１およびEP１′、第２の立上りエツジの
位置をEP２およびEP２′、第１の立下がりエツ
ジをEN１およびEN１′、第２の立下がりエツジ
をEN２およびEN２′とすれば、前述の(1)，(2)式
内の₁，₃，′₁および′₃は次式で求まる。

₁＝EN１−EP１，₃＝EN２−EP２ ′₁＝EN１′−EP１′，′₃＝EN２′−EP２′ …(3) この(3)式を(1)，(2)式に代入することにより、上
下のマーク５，６の位置合せ誤差ΔX，ΔYが求
まる。

すなわち、上マークが吸収体で形成され、それ
自身では映像信号から位置データを検出できなく
ても、金属皮膜で形成された下マークと重ね合わ
せることで、上下のマークの相対位置が検出で
き、(3)式のように各エツジの位置データを変換
し、上述従来例の(1)，(2)式に代入することによ
り、自動位置合せが可能となる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、色フイ
ルターと金属被膜と下地部分との反射率の差によ
り、各マークのエツジを明確に検出することが可
能になり、より高精度な位置合せが実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の第１の実施例に係る上マー
クが吸収体材質、下マークが金属皮膜材質による
位置合せマークと映像出力信号波形を示す図、第
２図は、従来例に係る上下マークともITO膜材質
による位置合せマークと映像出力信号波形を示す
図である。 ５……吸収体物質による上ガラスマーク、６…
…金属皮膜による下ガラスマーク、７，９……映
像出力信号波形、８……ITO膜による上ガラスマ
ーク、１２……ITO膜による下ガラスマーク、
Sm，Sn……テレビ走査線、TH，TL……スレツ
シユホールドレベル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 光電検出器側に配置される第１透光性基板上
   の第１マークと前記第１透光性基板に関して光電
   検出器と反対側に配置される前記２透光性基板上
   の第２マークとを光電的に検出することにより前
   記第１透光性基板と前記第２透光性基板間の位置
   ずれを検出し、該検出に応じて前記第１透光性基
   板と前記第２透光性基板を互いに位置合せする位
   置合せ方向において、前記第１マークを色フイル
   ターで形成し、前記第２マークを金属被覆で形成
   し、かつ前記第１マークを前記第２マークより小
   さく形成し、前記第１マークと前記第２マークと
   を実質的に重ねた状態で前記第１マークと前記第
   ２マークとを光電的に検出することを特徴とする
   位置合せ方法。