JPH047362Y2 - - Google Patents
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- JPH047362Y2 JPH047362Y2 JP1985097252U JP9725285U JPH047362Y2 JP H047362 Y2 JPH047362 Y2 JP H047362Y2 JP 1985097252 U JP1985097252 U JP 1985097252U JP 9725285 U JP9725285 U JP 9725285U JP H047362 Y2 JPH047362 Y2 JP H047362Y2
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- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 5
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
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- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
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- Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)
- Fluid-Pressure Circuits (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の技術分野〕
本考案は、真空装置の真空室の開閉用バルブ類
やシリンダ等のアクチユエータ類等を圧縮空気で
作動させるような気体圧力作動装置において、元
圧の低下等の圧力異常が発生した時これをバツク
アツプするための装置に関するものである。
やシリンダ等のアクチユエータ類等を圧縮空気で
作動させるような気体圧力作動装置において、元
圧の低下等の圧力異常が発生した時これをバツク
アツプするための装置に関するものである。
真空装置の真空室の開閉用バルブ類やシリンダ
等のアクチユエータ類の作動に工場設備の圧縮空
気を使用することが多い。この工場設備の空圧源
は、工場内の種々の設備に圧縮空気を供給してい
るため、各設備への供給時期が重なると圧力低下
を起こし、その時々で消費量に応じて各設備の空
圧回路の元圧が変動することは避け難い。真空装
置においても、空圧回路の元圧は、装置を正常に
作動させるために、一定値以上の高さを維持する
必要があり、もしその値以下の圧力低下（圧力し
や断も含む）等の圧力異常が発生すると、前記バ
ルブ等やアクチユエータ類の誤動作をまねき、装
置の運転は停止や中断となる。特に真空装置が高
真空や超高真空の場合には、低真空・中真空用の
粗引き真空ポンプ系の油回転ポンプから油の逆流
等によつて真空系が汚損され、真空ポンプや真空
ゲージの破損または寿命低下の原因になつてい
た。
等のアクチユエータ類の作動に工場設備の圧縮空
気を使用することが多い。この工場設備の空圧源
は、工場内の種々の設備に圧縮空気を供給してい
るため、各設備への供給時期が重なると圧力低下
を起こし、その時々で消費量に応じて各設備の空
圧回路の元圧が変動することは避け難い。真空装
置においても、空圧回路の元圧は、装置を正常に
作動させるために、一定値以上の高さを維持する
必要があり、もしその値以下の圧力低下（圧力し
や断も含む）等の圧力異常が発生すると、前記バ
ルブ等やアクチユエータ類の誤動作をまねき、装
置の運転は停止や中断となる。特に真空装置が高
真空や超高真空の場合には、低真空・中真空用の
粗引き真空ポンプ系の油回転ポンプから油の逆流
等によつて真空系が汚損され、真空ポンプや真空
ゲージの破損または寿命低下の原因になつてい
た。
これらの対策として、従来空気圧の元圧制御部
にアキユームレータを設けたり、または専用のエ
アーコンプレツサを設けたりしていた。しかしな
がら前者の場合はアキユームレータの容量に制限
があり、後者の場合はコスト高で、かつコンプレ
ツサの据付スペースが必要であり、更にコンプレ
ツサ運転による振動・騒音の問題があつた。
にアキユームレータを設けたり、または専用のエ
アーコンプレツサを設けたりしていた。しかしな
がら前者の場合はアキユームレータの容量に制限
があり、後者の場合はコスト高で、かつコンプレ
ツサの据付スペースが必要であり、更にコンプレ
ツサ運転による振動・騒音の問題があつた。
本考案は、前述した工場設備の圧縮空気のよう
な圧力気体ラインにより作動される真空装置にお
ける気体圧力作動装置の圧力バツクアツプを簡単
かつ低コストで実現する装置を提供することを目
的とする。
な圧力気体ラインにより作動される真空装置にお
ける気体圧力作動装置の圧力バツクアツプを簡単
かつ低コストで実現する装置を提供することを目
的とする。
上記目的を達成するための本考案は、真空装置
のバルブやアクチユエータを動作させる第１圧力
気体ラインと、N2，Ar，O2またはH2ガス等の真
空室開放用パージガスの第２圧力気体ラインと、
前記第１圧力気体ラインと第２圧力気体ラインと
の間に接続され途中に開閉弁を介在する切換回路
と、前記第１圧力気体ラインの元圧を検知し、該
元圧が所定値以下になつたとき前記開閉弁を自動
的に開く圧力スイツチとからなる真空装置におけ
る気体圧力作動装置の圧力バツクアツプ装置にあ
る。
のバルブやアクチユエータを動作させる第１圧力
気体ラインと、N2，Ar，O2またはH2ガス等の真
空室開放用パージガスの第２圧力気体ラインと、
前記第１圧力気体ラインと第２圧力気体ラインと
の間に接続され途中に開閉弁を介在する切換回路
と、前記第１圧力気体ラインの元圧を検知し、該
元圧が所定値以下になつたとき前記開閉弁を自動
的に開く圧力スイツチとからなる真空装置におけ
る気体圧力作動装置の圧力バツクアツプ装置にあ
る。
本考案を図面に基いて説明すると、第１図は本
考案の一実施例を示す回路図で、第１圧力気体ラ
イン（以下空圧ラインと云う）Ａの元圧部制御回
路、第２圧力気体ライン（以下N2ガスラインと
云う）Ｂの元圧部制御回路ならびに本考案に係る
空圧ラインＡからN2ガスラインＢに切換える切
換回路Ｃを示す。
考案の一実施例を示す回路図で、第１圧力気体ラ
イン（以下空圧ラインと云う）Ａの元圧部制御回
路、第２圧力気体ライン（以下N2ガスラインと
云う）Ｂの元圧部制御回路ならびに本考案に係る
空圧ラインＡからN2ガスラインＢに切換える切
換回路Ｃを示す。
空圧ラインＡは、一般に工場設備空気源Ｐに接
続し、元圧目視用圧力計１、止め弁２を経て元圧
確認用圧力スイツチ３を設け、元圧が真空装置制
御上必要な所定の圧力（たとえば４Kgｆ／cm2）以
下になると異常信号を発するようにセツトされて
おり、この先に減圧弁４を設け図示しないバルブ
類やアクチユエータ類の作動に適した圧力（たと
えば４Kgｆ／cm2）に設定される。圧力計５は減圧
弁４の調整確認用であり、逆止弁６は元圧側への
逆流防止用である。逆止弁６の先のアキユームレ
ータ７は、元圧の低下等の圧力異常により後述す
るN2ガス回路に切換わるまで僅かな時間だけア
キユームレータ７内に蓄圧された気体を放出して
圧力を保持するために設けられたもので、従つて
容量は小さなもので良い。アキユームレータ７の
先は図示しない各仕切弁やアクチユエータに図示
しない電磁弁などの開閉弁を介して接続される。
続し、元圧目視用圧力計１、止め弁２を経て元圧
確認用圧力スイツチ３を設け、元圧が真空装置制
御上必要な所定の圧力（たとえば４Kgｆ／cm2）以
下になると異常信号を発するようにセツトされて
おり、この先に減圧弁４を設け図示しないバルブ
類やアクチユエータ類の作動に適した圧力（たと
えば４Kgｆ／cm2）に設定される。圧力計５は減圧
弁４の調整確認用であり、逆止弁６は元圧側への
逆流防止用である。逆止弁６の先のアキユームレ
ータ７は、元圧の低下等の圧力異常により後述す
るN2ガス回路に切換わるまで僅かな時間だけア
キユームレータ７内に蓄圧された気体を放出して
圧力を保持するために設けられたもので、従つて
容量は小さなもので良い。アキユームレータ７の
先は図示しない各仕切弁やアクチユエータに図示
しない電磁弁などの開閉弁を介して接続される。
N2ガスラインＢは真空室を開放するためのパ
ージガス供給用として用いられるもので、工場設
備N2ガスタンク（ガスボンベでもよい）Ｔに接
続してN2ガスの圧送を受け、前記空圧ラインＡ
と同様に圧力計８と止め弁９を経た先に圧力スイ
ツチ１０を設けている。この圧力スイツチ１０は
空圧ラインＡの圧力スイツチ３の設定値を僅かに
超える値（たとえば4.2Kgｆ／cm2）に設定し、N2
ガスの消費により設定値以下になると警報を発す
るようになつている。
ージガス供給用として用いられるもので、工場設
備N2ガスタンク（ガスボンベでもよい）Ｔに接
続してN2ガスの圧送を受け、前記空圧ラインＡ
と同様に圧力計８と止め弁９を経た先に圧力スイ
ツチ１０を設けている。この圧力スイツチ１０は
空圧ラインＡの圧力スイツチ３の設定値を僅かに
超える値（たとえば4.2Kgｆ／cm2）に設定し、N2
ガスの消費により設定値以下になると警報を発す
るようになつている。
減圧弁１１は真空室内を大気開放するために適
切な圧力（たとえば0.1Kgｆ／cm2）になるよう圧
力計１２で目視確認しながら減圧調整し、この先
は図示しないリークバルブ（一種の止め弁）を介
して真空室に接続されている。
切な圧力（たとえば0.1Kgｆ／cm2）になるよう圧
力計１２で目視確認しながら減圧調整し、この先
は図示しないリークバルブ（一種の止め弁）を介
して真空室に接続されている。
更に切換回路Ｃは前記N2ガスラインから空圧
ラインＡに接続する回路で、N2ガスラインＢの
圧力スイツチ１０の接続部１９と減圧弁１１の間
の交点１６から空圧ラインＡの圧力スイツチ３の
接続部１８と減圧弁４の間の交点１７に配管接続
し、この配管の途中に管路開閉用の電磁弁などの
開閉弁１３を設け、この開閉弁１３の空圧ライン
Ａ寄りと、空圧ラインＡ内で交点１７と圧力スイ
ツチ３の接続部１８の間とにそれぞれ逆止弁１
４，１５を設けたものである。
ラインＡに接続する回路で、N2ガスラインＢの
圧力スイツチ１０の接続部１９と減圧弁１１の間
の交点１６から空圧ラインＡの圧力スイツチ３の
接続部１８と減圧弁４の間の交点１７に配管接続
し、この配管の途中に管路開閉用の電磁弁などの
開閉弁１３を設け、この開閉弁１３の空圧ライン
Ａ寄りと、空圧ラインＡ内で交点１７と圧力スイ
ツチ３の接続部１８の間とにそれぞれ逆止弁１
４，１５を設けたものである。
次に作用について説明すると、真空装置の運転
に先立つて止め弁２，９を開放し、空圧ラインＡ
の元圧が圧力スイツチ３の設定圧（たとえば４Kg
ｆ／cm2）以上であると正常であり、真空装置のバ
ルブ類やアクチユエータ類は減圧弁４の設定圧を
保つて装置制御盤からのシーケンス信号に従い正
常に作動する、空圧ラインＡとN2ガスラインＢ
を結ぶ切換回路Ｃは第１図のように開閉弁１３は
スプリングオフセツトの状態で回路が閉じている
のでN2ガスラインＢからのN2ガスの流入はな
く、また逆止弁１４によつて空圧ラインＡから
N2ガスラインＢへの流れもない。N2ガスライン
Ｂは、本来の機能である真空室を大気に開放する
ため、図示しない装置制御盤からのシーケンス指
令により同じく図示しないリークバルブを開放し
てN2ガスを注入し、注入が完了するとリークバ
ルブを閉じる。
に先立つて止め弁２，９を開放し、空圧ラインＡ
の元圧が圧力スイツチ３の設定圧（たとえば４Kg
ｆ／cm2）以上であると正常であり、真空装置のバ
ルブ類やアクチユエータ類は減圧弁４の設定圧を
保つて装置制御盤からのシーケンス信号に従い正
常に作動する、空圧ラインＡとN2ガスラインＢ
を結ぶ切換回路Ｃは第１図のように開閉弁１３は
スプリングオフセツトの状態で回路が閉じている
のでN2ガスラインＢからのN2ガスの流入はな
く、また逆止弁１４によつて空圧ラインＡから
N2ガスラインＢへの流れもない。N2ガスライン
Ｂは、本来の機能である真空室を大気に開放する
ため、図示しない装置制御盤からのシーケンス指
令により同じく図示しないリークバルブを開放し
てN2ガスを注入し、注入が完了するとリークバ
ルブを閉じる。
空圧ラインＡの元圧が低下等の圧力異常が生じ
ると、圧力スイツチ３が指令を発し、開閉弁１３
のソレノイドに通電されて切換回路が開き、N2
ガスラインＢのN2ガスが空圧ラインＡに混入す
る。N2ガスラインＢの圧力により逆止弁１５が
閉じるのでN2ガスの圧流は減圧弁４を経て、今
まで空圧によつて作動していた空圧ラインＡに流
れて空圧ラインＡをバツクアツプし、空圧ライン
Ａの圧力異常でありながら前記バルブ類やアクチ
ユエータ類は正常な動作を維持することができ
る。なお、空圧ラインＡが空圧からN2ガスの気
圧に切換わる瞬時はアキユームレータ７に蓄圧さ
れた空圧エネルギーを放出し、圧力の低下を防
ぐ。このように空圧ラインＡが元圧の圧力低下
（場合により断圧）等の圧力異常が発生しても、
N2ガスラインＢに瞬時に切換える切換回路Ｃを
追加することによつて真空装置の運転の停止や中
断を防止して正常な運転を継続することができ
る。そうして再び空圧ラインＡの元圧が正常に復
帰して圧力スイツチ３の異常信号が解除される
と、開閉弁１３のソレノイドは解励されてスプリ
ングオフセツトし、N2ガスラインＢから空圧ラ
インＡに通ずる回路Ｃは閉鎖され、空圧ラインＡ
は元の正常状態に復帰する。以上の作用によつ
て、空圧ラインＡ内にN2ガスが混入するが、配
管、バルブ類、アクチユエータ類およびその他の
回路内の機器に機能上特別な悪影響はない。
ると、圧力スイツチ３が指令を発し、開閉弁１３
のソレノイドに通電されて切換回路が開き、N2
ガスラインＢのN2ガスが空圧ラインＡに混入す
る。N2ガスラインＢの圧力により逆止弁１５が
閉じるのでN2ガスの圧流は減圧弁４を経て、今
まで空圧によつて作動していた空圧ラインＡに流
れて空圧ラインＡをバツクアツプし、空圧ライン
Ａの圧力異常でありながら前記バルブ類やアクチ
ユエータ類は正常な動作を維持することができ
る。なお、空圧ラインＡが空圧からN2ガスの気
圧に切換わる瞬時はアキユームレータ７に蓄圧さ
れた空圧エネルギーを放出し、圧力の低下を防
ぐ。このように空圧ラインＡが元圧の圧力低下
（場合により断圧）等の圧力異常が発生しても、
N2ガスラインＢに瞬時に切換える切換回路Ｃを
追加することによつて真空装置の運転の停止や中
断を防止して正常な運転を継続することができ
る。そうして再び空圧ラインＡの元圧が正常に復
帰して圧力スイツチ３の異常信号が解除される
と、開閉弁１３のソレノイドは解励されてスプリ
ングオフセツトし、N2ガスラインＢから空圧ラ
インＡに通ずる回路Ｃは閉鎖され、空圧ラインＡ
は元の正常状態に復帰する。以上の作用によつ
て、空圧ラインＡ内にN2ガスが混入するが、配
管、バルブ類、アクチユエータ類およびその他の
回路内の機器に機能上特別な悪影響はない。
なお上記の実施例は、空圧ラインＡの元圧異常
の時のバツクアツプ用としてN2ガスを使用する
ことを説明したが、N2ガスに限らずArガス、O2
ガスまたはHeガス等を適用しても上記の機能は
達成できる。
の時のバツクアツプ用としてN2ガスを使用する
ことを説明したが、N2ガスに限らずArガス、O2
ガスまたはHeガス等を適用しても上記の機能は
達成できる。
以上のように本考案によれば、バルブやアクチ
ユエータの作動用に使用している空圧ライン等の
第１圧力気体ラインの元圧の低下等の圧力異常が
あつた場合にも、併設されているN2ガス等の真
空室開放用パージガスの第２圧力気体ラインに切
換える切換手段を追加することによつて、装置の
運転の停止や中断を防止して運転継続を可能し、
かつ従来の空圧ラインにアキユームレータを採用
する場合の容量上の制限や専用エヤーコンプレツ
サ採用時のコスト高、据付スペース、振動および
騒音等の諸問題もなく、低コストで信頼性と生産
性の向上を達成できるものである。
ユエータの作動用に使用している空圧ライン等の
第１圧力気体ラインの元圧の低下等の圧力異常が
あつた場合にも、併設されているN2ガス等の真
空室開放用パージガスの第２圧力気体ラインに切
換える切換手段を追加することによつて、装置の
運転の停止や中断を防止して運転継続を可能し、
かつ従来の空圧ラインにアキユームレータを採用
する場合の容量上の制限や専用エヤーコンプレツ
サ採用時のコスト高、据付スペース、振動および
騒音等の諸問題もなく、低コストで信頼性と生産
性の向上を達成できるものである。
第１図は本考案の一実施例を示す回路図であ
る。 Ａ……第１圧力気体ライン、Ｂ……第２圧力気
体ライン、Ｃ……切換回路、１，５，８，１２…
…圧力計、２，９……止め弁、３，１０……圧力
スイツチ、４，１１……減圧弁、７……アキユー
ムレータ、６，１４，１５……逆止弁、１３……
開閉弁、Ｐ……工場空圧源、Ｔ……ガスタンク。
る。 Ａ……第１圧力気体ライン、Ｂ……第２圧力気
体ライン、Ｃ……切換回路、１，５，８，１２…
…圧力計、２，９……止め弁、３，１０……圧力
スイツチ、４，１１……減圧弁、７……アキユー
ムレータ、６，１４，１５……逆止弁、１３……
開閉弁、Ｐ……工場空圧源、Ｔ……ガスタンク。
Claims (1)
- 真空装置のバルブやアクチユエータを動作させ
る第１圧力気体ラインと、N2，Ar，O2またはH2
ガス等の真空室開放用パージガスの第２圧力気体
ラインと、前記第１圧力気体ラインと第２圧力気
体ラインとの間に接続され途中に開閉弁を介在す
る切換回路と、前記第１圧力気体ラインの元圧を
検知し、該元圧が所定値以下になつたとき前記開
閉弁を自動的に開く圧力スイツチとからなる真空
装置における気体圧力作動装置の圧力バツクアツ
プ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985097252U JPH047362Y2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985097252U JPH047362Y2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS626501U JPS626501U (ja) | 1987-01-16 |
| JPH047362Y2 true JPH047362Y2 (ja) | 1992-02-27 |
Family
ID=30964021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985097252U Expired JPH047362Y2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH047362Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5023736U (ja) * | 1973-06-27 | 1975-03-17 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS487691U (ja) * | 1971-06-11 | 1973-01-27 |
-
1985
- 1985-06-26 JP JP1985097252U patent/JPH047362Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5023736U (ja) * | 1973-06-27 | 1975-03-17 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS626501U (ja) | 1987-01-16 |
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