JPH0468880A - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JPH0468880A
JPH0468880A JP2178656A JP17865690A JPH0468880A JP H0468880 A JPH0468880 A JP H0468880A JP 2178656 A JP2178656 A JP 2178656A JP 17865690 A JP17865690 A JP 17865690A JP H0468880 A JPH0468880 A JP H0468880A
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JP
Japan
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charge transfer
transfer path
signal
gate
photoelectric conversion
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Application number
JP2178656A
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English (en)
Inventor
Hiroshi Tanigawa
浩 谷川
Hideki Muto
秀樹 武藤
Tetsuo Toma
哲夫 笘
Kazuhiro Kawajiri
和廣 川尻
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、インターレース走査読出しによる動画撮影の
機能と、ノンインターレースのフレーム走査読出しによ
る静止画操影を行う機能とを存する新規な電荷結合型固
体撮像装置に関する。
〔従来の技術〕
従来、電荷結合型固体撮像装置(CCD)としてインタ
ーライン転送方式の撮像装置が知られている。
これは、受光領域に、画素に相当する複数のフォトダイ
オードを行方向及び列方向に沿ってマトリクス状に配列
形成すると共に、列方向に並ぶフォトダイオード群に隣
接して垂直電荷転送路を形成しである。
そして、フレーム蓄積モード時は、奇数行に配列するフ
ォトダイオードを奇数フィールド、偶数行に配列するフ
ォトダイオードを偶数フィールドの画素群と定義し、常
時露光状態にして、まず、奇数フィールドのフィールド
走査読出しと偶数フィールドのフィールド走査読出しを
所定周期て繰り返すことてインターレースを実現する。
一方、フィールド蓄積モードのときは、奇数と偶数フィ
ールドの画素信号を混合させて1回のフィールド走査読
出しを行い、それを2回行って1フレームの画像を得て
いる。このとき、静止画撮像を行うと、動いている被写
体を撮像する場合に各フィールドの読出し時間差によっ
て、各フィールドの画像か異なり、再生画像かぶれて画
質か悪化する。更に、フィールド蓄積モード時には、2
行で1行分の信号を作るので、画素数の約1/2の垂直
解像度となる。
〔発明か解決しようとする課題〕
上述したように、従来のインターライン転送方式の電荷
結合型固体撮像装置では、静止画で動いている被写体を
撮像した場合に画像がぶれたり、垂直解像度か画素数の
約1/2に低下する問題かあった。
本発明はこのような課題を解決するために成されたもの
であり、インターレース走査読出しによる動画撮影の機
能と、ノンインターレースのフレーム走査読出しによる
静止画操影を行う機能とを有する新規な電荷結合型固体
撮像装置を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
このような目的を達成するために本発明は、画素に相当
する複数の光電変換素子を行方向及び列方向にマトリク
ス状に配列形成し、列方向に配列する各光電変換素子群
に隣接して垂直電荷転送路を形成し、光電変換素子に発
生した画素信号を垂直電荷転送路へ転送した後、該垂直
電荷転送路のゲート電極に所定タイミングのゲート信号
を供給することにより、画素信号を各行毎に垂直転送す
ると共に、水平電荷転送路によって各行毎の画素信号を
走査読出しする電荷結合型固体撮像装置において、前記
各充電変換素子に隣接して1対ずつのゲート電極を前記
垂直電荷転送路に設け、これらのゲート電極に所定タイ
ミングのゲート信号を印加して、2行分を1組として画
素信号を前記水平電荷転送路で混合しなから2回のフィ
ールド走査読出しを行うことにより、インターレース2
フィールド走査読出しの動画撮像を行うこととした。
又、画素に相当する複数の光電変換素子を行方向及び列
方向にマトリクス状に配列形成し、列方向に配列する各
光電変換素子群に隣接して垂直電荷転送路を形成し、光
電変換素子に発生した画素信号を垂直電荷転送路へ転送
した後、該垂直電荷転送路のゲート電極に所定タイミン
グのゲート信号を供給することにより、画素信号を各行
毎に垂直転送すると共に、水平電荷転送路によって各行
毎の画素信号を走査読出しする電荷結合型固体撮像装置
において、前記各光電変換素子に隣接して1対ずつのゲ
ート電極を前記垂直電荷転送路に設け、前記充電変換素
子に発生した画素信号を垂直電荷転送路へ転送するため
のフィールドシフト信号を奇数フィールドと偶数フィー
ルド夫々に独自のタイミングで供給する手段を設け、水
平電荷転送に最も近い側の画素信号から順次に垂直電荷
転送路に電荷転送させるゲート信号をゲート電極に供給
して、2回のフィールド走査読出しを行うことにより、
インターレース2フィールド走査読出しの動画撮像を行
うこととした。
又、画素に相当する複数の光電変換素子を行方向及び列
方向にマトリクス状に配列形成し、列方向に配列する各
充電変換素子群に隣接して垂直電荷転送路を形成し、光
電変換素子に発生した画素信号を垂直電荷転送路へ転送
した後、該垂直電荷転送路のゲート電極に所定タイミン
グのゲート信号を供給することにより、画素信号を各行
毎に垂直転送すると共に、水平電荷転送路によって各行
毎の画素信号を走査読出しする電荷結合型固体撮像装置
において、前記各光電変換素子に隣接して1対ずつのゲ
ート電極を前記垂直電荷転送路に設け、水平電荷転送に
最も近い側の画素信号から順次に垂直電荷転送路に電荷
転送させるゲート信号をゲート電極に供給して、2回の
フィールド走査読出しを行うことにより、インターレー
ス2フィールド走査読出しの動画撮像を行うこととした
〔作用〕
このような構成を存する本発明によれば、静止画撮像の
ためにノンインターレース走査読出しと、動画撮像のた
めのインターレース走査読出しの両方の機能を有する電
荷結合型固体撮像装置を提供することかできる。
〔実施例〕
以下、本発明による電荷結合型固体撮像装置の一実施例
を図面と共に説明する。尚、電子スチルカメラやカメラ
一体型のビデオテープレコーダ等に適用した場合を説明
する。
まず、これらのカメラの全体構造を第1図と共に説明す
ると、III図において、1は撮像レンズ等から成る撮
像光学系、2は機械式の絞り機構、3は本発明を適用し
た電荷結合型固体撮像装置であり、夫々か撮像光学系1
の光軸に合わせて順番に配列されると共に、被写体光学
像を電荷結合型固体撮像装置3の受光領域に入射する構
成となっている。
更に、4は信号処理回路、5は記録機構てあり、電荷結
合型固体撮像装置3から出力される画素信号を信号処理
回路4て色分離やγ補正や白バランス調整等を行うと共
に輝度信号と色差信号を形成し、記録機構5においてこ
れらの輝度信号と色差信号に対して記録可能な変調処理
を行ってから磁気記録媒体等に記録する。
そして、同期制御回路6か、絞り機4112、電荷結合
型固体撮像装置3の読出しタイミング、信号処理回路4
及び記録機構5の動作を同期制御することにより、撮像
から記録までの一連の動作を処理し、又、動画撮像と静
止画撮像の切換えを操作者か指示すると、夫々の撮像モ
ートへの切換え処理等を行う。
電荷結合型固体撮像装置3は第2図に示す構成となって
いる。
即ち、被写体光学像を受光するための受光領域7は、行
方向X及び列方向Yに沿ってマトリクス状に配列形成さ
れる画素に相当する複数のフォトダイオード(図中、P
て示す部分)と、列方向Yに配列される各フォトダイオ
−1・群に隣接して形成される垂直電荷転送路U、〜L
、か設けられている。
これらの垂直電荷転送路L1〜L。の夫々の終端部に水
平電荷転送路8か形成され、水平電荷転送路8の終端部
に出力アンプ9が形成されている。
更に、垂直電荷転送路り、〜L、には、後述するように
所定配置のケート電極か設けられ、更にそれらの上面に
は光の入射を阻止するための遮光層か積層されている。
これらのゲート電極には、垂直電荷転送路り。
〜L、に所定汐イミングに同期して電荷転送動作を行わ
せるだめの信号が第1.第2.第3の駆動回路10,1
1.12から供給される。尚、夫々の駆動回路10,1
1.12に供給されるタイミング信号φH,VL  φ
G φps、vs、  φ1φ2 φ3.φ4とスター
トパルス信号は同期制御回路6か発生する。
又、水平電荷転送路8は、垂直電荷転送路り。
〜Lゆから転送されてくる信号電荷を受信し、更に出力
アンプ8側へ水平転送するためのゲート電極か設けられ
ており、これらの動作を行うためにケート電極に印加す
るゲート信号α1 α2 α。
α4か同期制御回路6から供給される。
次に、受光領域7の構造及びそれに接続する駆動回路1
0,11.12の回路構成を第3図〜第6図と共に詳述
する。尚、第3図は第3の駆動回路12の回路図であり
、第4図は受光領域7の要部の構造を受光面側から見た
場合、第5図は第4図中のX−X線矢視縦断面図、第6
図は第4図のy−y線矢視縦断面図である。
まず、第3図に基ついて、第3の駆動回路12の回路構
成を説明する。駆動回路12は、スタートパルス信号φ
3を位相のずれた2相のクロック信号φ3とφ、に同期
して転送することにより、下位ヒツト出力から上位ビッ
ト出力へ順次に論理値“H”の駆動信号を発生させるシ
フトレジスタである。即ち、最初に駆動信号Sまたけか
“Hルベル、他の上位ビット出力は全て“L”レベルと
なり、次の周期では下位2ビツトの駆動信号S1と82
か“H”レベルで他の上位ビット出力は全て“L“レベ
ルとなり、更に次の周期では下位3ビツトの駆動信号S
1とS2及びS3か“H“レベルで他の上位ヒツト出力
は全て“L”レベルとなるというように、駆動信号の“
H”出力レベルか下位ビットから順次に上位ビットへ拡
がるように変化する。
第3図に示すように、各ヒツトはセル構造を存している
ので、第1ビツト目の回路を代表して回路を説明すると
、3個のMOSトランジスタu1u+t、U+3がソー
ス・ドレイン路を直列として電圧vLの信号線とクロッ
ク信号φ、の信号線間に接続し、トランジスタu13の
ゲート接点にはリセット信号R3の信号線か接続する。
トランジスタul+のゲート接点とドレイン接点間には
ブートストラップ用コンデンサε11か接続し、トラン
ジスタU+2のゲート接点とソース接点が共通接続する
と共に、他のMOSトランジスタur4のソース接点に
接続し、トランジスタu14のドレイン接点か電圧vL
の信号線、ゲート接点かクロック信号φ4の信号線に夫
々接続している。
更に、MO3hラントランジスタ、u+□、uU+4て
構成される回路と同一構成の回路かMOSトランジスタ
u2+ 、 u22. IJ23. LI21及びブー
トストラップ用コンデンサε21て形成され、トランジ
スタu12のトレイン接点(出力点)とトランジスタu
22のケート接点(入力点)か接続している。
そして、このヒント入力かトランジスタunのゲート接
点に相当し、ビット出力かトランジスタU22のトレイ
ン接点に相当する。そして、これらのビットセルの入力
と出力を従属接続することによりnピント出力のシフト
レジスタを構成し、最下位ヒツトセルへのスタートパル
ス信号φ5の入力は、クロック信号φいに同期して導通
状態となるアナログスイッチU。0を介して行うように
なっている。
次に、第4図〜第6図において構造を説明すると、n形
半導体基板13の表面側に、受光領域7を形成するため
のpウェル層14と、第1の駆動回路IOを形成するた
めのpウェル層15、及び第2.第3の駆動回路11.
12を形成するためのpウェル層16か埋設され、これ
らのpウェル層+4.15.16内に夫々所定の回路を
形成している。
まず、受光領域7は、pウェル層14内にn4形不純物
からなる複数の不純物層17を行方向X及び列方向Yに
沿ってマトリクス状に配列形成することにより、第2図
中のPて示すフォトダイオードか形成され、更に、列方
向Yに配列される各不純物層17に隣接してn形の不純
物層(第6図中の点線で示す部分)18を形成すること
により、第2図の垂直電荷転送路L1〜L、、か形成さ
れている。そして、第4図のTgで示す(1カ所だけ代
表して示す)トランスファゲートとなる部分とフォトダ
イオードの部分及び垂直電荷転送路の部分を除く周囲に
p°形の不純物層■9を形成することて、チャンネルス
トッパ領域(第4図の点線で囲む斜線部分)を形成して
いる。
尚、第4図では、第2図中のフォトダイオードPを各行
毎にP、、P2.P、、P、  −・−て示している。
更に、第4図において、垂直電荷転送路り、〜L0の上
面には、各行毎に配列されたフォトダイオードP、、P
2.P、、P4−−一に隣接する領域に、夫々図示する
ように、2本ずつの別個のポリシリコン層から成るゲー
ト電極G、1〜G4、Gl□〜G 41 、 G l 
ff−G42.・−−−・−〇 l t〜G 4 nか
積層され、更に、ゲート電極G 11を第1番目のケー
ト電極とすると、第4図及び第5図に示すように、奇数
番目のゲート電極G l l +  G 3 + + 
 G l 2G 22.  G 11+  G 31.
−・−の幅W1を狭くし、偶数番目のゲート電極G 2
 、、 G = 1. G =□、G4□G 2ff+
  G45− ”−・ の幅W2を広く形成しである。
そして、夫々のゲート電極に、後述する所定タイミング
のゲート信号φ11  φ2I  φ31  φ4φ1
□ φ2□ φ32  φ42を印加することにより、
各ゲート電極下の垂直電荷転送路に電荷転送のためのポ
テンシャル井戸(以下、転送ピクセルという)とボテン
ンヤル障壁を発生させる。又、偶数番目のゲート電極0
211 G + + + G 2□+ G42. G2
*。
G43.  −に所定の高電圧の信号を印加すると、ト
ランスファゲートTgか導通状態となって、各フォトダ
イオードP、、P2.P、、P4−−−−と夫々に隣接
する偶数番目のゲート電極G2.、 G4G2□、G4
□、 G2s+  G+s−・−の下に発生する転送ピ
クセルか導通状態となり、フォトダイオードから転送ピ
クセルへ信号電荷をフィールドソフトさせることかでき
る構造となっている。
更に、第4図に示すように、垂直電荷転送路L1〜L、
の終端部分に水平電荷転送路8か形成され、4相駆動力
式に準じたタイミングで信号電荷を水平方向へ転送する
ためのゲート電極か設けられている。
次に、第1の駆動回路IOの回路構成を第4図及び第6
図と共に説明する。水平電荷転送路8に最も近いゲート
電極G11を第1番目のゲート電極とすると、奇数番目
のゲート電極G Ill G11lG、、、c、□、 
G121  GI2.  ・・・−の各先端部かNM○
SトランジスタM + + + M 211 M + 
21 M 32 、 M +□。
M23.〜・−・を介して、信号vLの信号線に接続し
、偶数番目のゲート電極0211 G411 G2z、
 G42G 23+ G41  ・・−・の各先端部か
NMO3)ランジスタM 211 M411 M221
  M42. k+  M43を介して、駆動信号φ8
の信号線に接続している。
又、これらのトランジスタのケート接点には、駆動信号
φ。か供給される。
更に、偶数番目のケート電極G 211 G41.  
G221G 42.  G 2)+  G 4L −の
各先端部には、npnトランジスタQ2.、  Q、、
、 G22.  Q4□、G2゜G48. −の各エミ
ッタ接点か接続し、各npnトランノスタのヘース接点
には駆動信号φ18、コレクタ接点には電圧Vsか印加
される。
そして、これらのNMOSトランジスタは、第6図のp
ウェル層15内の構造に示すように、対のn゛形不純物
層20.21と、表面部分にゲート電極を積層した構造
から成り、トルイン接点となるn゛形不純物層20に駆
動信号φ8が印加され、ソース接点となるn°形不純物
層21か垂直電荷転送路上のゲート電極に接続している
。又、信号vLはpウェル層15に埋設されたp44形
不純物22に印加される。又、npn)ランジスタは、
pウェル層15に埋設されたp+形不純物層23とn+
形不純物層24及びn形の半導体基板13からから成り
、エミッタ接点となるn゛形不純物層24か各ゲート電
極に接続し、ベース接点となるpウェル層15及びp゛
形不純物層23にタイミング信号φ8か印加され、コレ
クタ接点となるn形の半導体基板13には基板13のバ
イアス電圧V、か印加される。
次に、第2の駆動回路11は、第4図に示すように、同
期制御回路6から供給されるタイミング信号φ1〜φ4
を第3の駆動回路I2からの駆動信号s、、s2.s、
、s、  −・−8゜に同期して切換え動作するNMO
Sトランジス7m + + 、 m 21 、 m 2
1m 、 、−−−−−から成り、4個ずつのNMOS
トランジスタを1組として、それらのゲート接点に順番
に第3の駆動回路12の駆動信号S1.82S、、S、
  −m−−・−か印加され、各組の第1番目のNIV
i○Sトランジスタm ++ 、 m +2 、 m 
Bm + +−〜−一のドレイン接点にタイミング信号
φ3、第2番目のNMOS)ランジスタm 21 、 
m 2□m2x、mz<・・−・−のドレイン接点にタ
イミング信号φ2、第3番目のNMOS)ランジスタm
3m3□ m 33 、 m 34’−””’−・−の
トレイン接点にタイミング信号φ3、第4番目のNMO
Sトランジスタm41.m4z 、mt3.m44−−
−−−−のトルイン接点にタイミング信号φ、か供給さ
れている。
尚、第4図中、NMOSトランジス7m + +、 m
 2m 31 、 m 4 + ””−の各ソース接点
側の信号φφ2. φ、1 m41  −かタイミング
信号φ1φ2φ3φ4に対応した信号である。
そして、図示するように、最も水平電荷転送路8に近い
ゲート電極G I +から順番に各N0M5 トランジ
スタのソース接点か接続している。
第3の駆動回路12は、上述したように所定タイミング
の駆動信号s、、s2.s、、s。
S6を出力するシフトレジスタて形成されている。
尚、これらの第2.第3の駆動回路11.12は、第6
図に示すpウェル層16中に形成したNMOS構造のト
ランジスタ及び電子素子で形成される。第6図のpウェ
ル層16中には、−例として、NMOSトランジスタを
構成するn゛形不純物層25.26及びゲート接点を示
している。
次に、かかる構造を有する電荷結合型固体撮像装置の作
動を説明する。
まず、静止画像を撮像する場合の動作を説明する。
静止画を撮影するための概略動作は第7図に示すような
時間的タイミングで行われる。
第7図において、同図中の成る時ガt、から画素信号の
走査読出しを開始するものとすると、その時点t1以前
に、全フォトダイオードと垂直電荷転送路り、〜L、及
び水平電荷転送路8に残存していた不要電荷か廃棄され
、そして、適宜の期間で露光か行われることによって、
フォトダイオードには被写体光学像に対応する画素信号
か発生する。
まず、NTSC等の標準テレビジョン方式の垂直ブラン
キング期間に相当する期1′!l!Tvgにおいて、全
フォトダイオードの画素信号を同時に垂直電荷転送路L
1〜L、の転送ビクセルへ転送し、次の水平ブランキン
グ期間に相当する期間T H11において、最も水平電
荷転送路8に近い側の転送ピクセルの画素信号を水平電
荷転送路8へ転送し、次に、水平走査期間(所謂、IH
明期間に相当する期間T I Hにおいて、水平電荷転
送路8か1行分の画素信号を水平転送することによって
第1行目の画素信号を読み出す。
そして、次の水平ブランキング期間に相当する期間T1
.Illにおいて、垂直電荷転送路L1〜L4か次の行
の画素信号を水平電荷転送路8へ転送し、更に、次の水
平走査期間に相当する期間T IHにおいて水平電荷転
送路8か水平転送することによって、第2行目の画素信
号を読み出す。
更に、次の水平ブランキング期間と水平走査期間に相当
する各期rI!iT、BとTIHにおいて第3行目の画
素信号を読出す。そして、残りの行の画素信号も同様の
処理を繰り返すことによって順番に読出し、最終的に1
フレ一ム画に対応する全画素信号を読み出す。
次に、第8図に示す各駆動信号及びタイミング信号につ
いてのタイミングチャートに基づいて静止画撮像時の走
査読出し動作を詳述する。尚、第8図中の期間T va
か垂直ブランキング期間、期間T Haか水平ブランキ
ング期間、期間T1Hか水平走査期間に対応している。
又、図中の符号“H”は12ポルト、“M”は0ボルト
、“L″は一8ボルト、“HH”は基板の電圧と等しい
約15〜25ポルトの電圧レベルを示す。
まず、垂直ブランキング期間に対応する期間TV11で
は、タイミング信号φ□は所定の時点t2て“H”レベ
ルとなる外は“M”レベルとなり、タイミング信号φ。
は常に“M″レベルなり、タイミング信号φ、3はタイ
ミング信号φ□か″H″レベルとなるのに同期して“H
″レベルなる外は“L”レベルとなり、第3の駆動回路
12から出力される全ての駆動信号S、〜Saは常に“
L“レベルとなる。
したかって、この期間T VBては、“M”レベルのタ
イミング信号φ。によって、第1の駆動回路10の全て
のNMOSトランジスタが導通状態となり、一方、第3
の駆動回路12の全ての駆動信号s、、s、、s、−s
、か“L”レベルとなるので、第2の駆動回路11中の
全てのNMOSトランジスタは非導通状態となり、全て
のゲート電極G z 、 G21 、 G21 、 G
41〜G Is 、 G 2* 、 G 3eG4゜は
第1の駆動回路10によって制御される。
即ち、タイミング信号φ□とφ、Sか“H′しベルとな
らないときは、奇数番目のゲート電極GG 31 、 
CI 2 、 G 22〜G io 、 02mに印加
されるゲート信号φ、1 φ、 φ、2 φ3□〜φ1
ゎ φ2.は、“Lルベルの信号VL(この信号は常に
一8ボルトに設定されている)と等しくなり、これらの
ゲート電極下の垂直電荷転送路L1〜L、にはポテンシ
ャル障壁か発生する。
一方、偶数番目のゲート電極G 21 、 G 41 
、 G’!2G42〜02a 、 G 4mに印加され
るゲート信号φ2φ41.φ22  φ42〜φ2、 
φ4.は、“M”レベルの信号φ8と等しくなり、これ
らのゲート電極下の垂直電荷転送路L1〜L、には転送
ピクセルか発生する。
したかって、トランスファゲートTgに隣接する部分(
第4図参照)か全て転送ピクセルとなり、これらの転送
ピクセルはポテンシャル障壁で分離された状態となる。
このような状態で、所定時点t2において、タイミング
信号φ8とφ、Sか“H”レベルとなると、全てのnp
n hランジスタQ 21 、 Q 41 、 Q @
l −”’か導通状態となり、偶数番目のゲート電極G
2G g+ 、022.0a2〜G2゜G4゜だけに約
12ボルトの“H”レベルの電圧かかかるので、全ての
トランスファゲートTgか導通状態となり、全てのフォ
トダイオードの画素信号は夫々隣りの転送ピクセルへ転
送される。
このように、期間Tvllでは、所謂フィールドシフト
動作が行われ、第12図中の時点t1に示すように、各
画素信号(黒印の部分が各画素信号を示す)か垂直転送
路へ移される。尚、第12図は、成る1つの垂直電荷転
送路の電荷転送動作を示している。
次に、最初の水平ブランキング期間に相当する期間T 
Heでは、タイミング信号φ6か常時“L”レベルと成
るので、第1の駆動回路10中の全てのNMOSトラン
ジスタか非導通状態となり、全てのゲート電極から分離
される。
一方、第3の駆動回路12の最初の出力端子の駆動信号
Sまたけか“H”レベル、他の駆動信号82〜Soは“
L”レベルとなることにより、第2の駆動回路11中の
駆動信号Slに関わる第1粗目のNMOSトランジスタ
m++ 、mx+ 、mz+m4.たけか導通状態とな
る。
そして、駆動信号Sまたけか“M”レベルとなる期間中
に、垂直電荷転送を行うための4相のタイミング信号φ
1 φ2 φ、 φ4か第2の駆動回路11に入力する
ので、第1〜第4番目の最初の組のゲート信号φ1. 
φ、I φ2. φ4.だけかタイミング信号φ、  
φ2.φ3  φ4と等しくなり、最初の組の第1〜第
4番目のゲート電極G I I 、 G 21 、 G
 21 、  G 41で電荷転送動作を行うこととな
る。尚、この期間T、、(時点t、〜t4まての期間)
の各信号波形を第9図に拡大して示す。
この結果、信号電荷は、第9図のゲート信号φ1. φ
21  φ、1 φ41のタイミング(符号の12.3
,4,5,6.7で示す)に合わせて第12図に示す第
1回目の転送のように水平電荷転送路8側へ移され、最
も水平電荷転送路8に近い第1行目の画素信号q++が
水平電荷転送路8へ転送されると共に、2行目の画素信
号q2+か第1行目の位置まで移動する。
次に、第1回目の水平走査期間T、、(時点t4〜t、
の期間)では、ゲート電極への信号の変化が停止し、一
方、水平電荷転送路8か4相駆動方式に準じた所定タイ
ミングのゲート信号α1〜α4に同期して水平転送を行
うことにより、最初の1行分の画素信号を読み出す。
次に、時点t5〜t7の期間において、時点t、〜t5
と同様の動作を繰り返すことにより、次の行の画素信号
の読出しを行う。但し、時点t、〜t4の水平ブランキ
ング期間T Haでは、第3の駆動回路12の駆動信号
S1と32が同時に“M”レベル、残りの駆動信号S、
〜S。が“L”レベルとなる。尚、この期間T、8ての
各ゲート信号の波形を第10図に拡大して示す。
この結果、第1〜第4番目の第1組のゲートを極Gll
〜G 11と、第5〜第8番目の第2組のケート電極0
12〜G4□か、タイミング信号φ、〜φ4に等しいケ
ート信号φ11〜φ41とφ1□〜φ42によって駆動
されることとなり、これらのゲート電極下の画素信号か
垂直転送される。
即ち、第10図に示すタイミングによると、第12図の
第2番目の垂直走査で示すように、第2行目の画素信号
q21か水平電荷転送路8へ移り、第3.第4行目の画
素信号Q21か2行分、画素信号Q41が1行分ずつ水
平電荷転送路8側へ転送される。
そして、時点t6〜t7の水平走査期間TIHにおいて
、水平電荷転送路8か第2行目の画素信号Q21を読み
出す。
次に、時点t7から第3回目の走査読出しを開始すると
、第3の駆動回路12の駆動信号S1、S2とS、か“
M”レベルとなり、残りの駆動信号84〜S、が“L”
レベルとなるので、第1〜第3組の第1番目〜第12番
目のゲート電極G〜G 41.01□〜G 42、G 
12〜G4jによって垂直電荷転送か行われる。したか
って、第12図の第3番目の転送のように第3行目の画
素信号Q31か水平電荷転送路8へ転送されると共に、
第4〜第7行目の画素信号q41.  QS+は2行分
、qarは1行分ずつ水平電荷転送路8側へ転送される
そして、水平電荷転送路8によって第3行目の画素信号
q21か読み出される。
以後は、各行の画素信号を読み出す毎に、第3の駆動回
路12の駆動信号84〜S、が順番に“M”レベルに反
転して行くことにより、駆動されるゲート電極が4個ず
つを組として順次に拡大していき、最後の水平ブランキ
ング期間T、11(時点t、〜t、。)では、第11図
に示すように、全てのゲート信号φ、〜φ4.かタイミ
ング信号φ〜φ4に等しい波形となり、最後の走査読出
しで最終行の画素信号を読み出すことができる。
第13図は、任意の順番、即ち第に番目と第に+1番目
の垂直電荷転送動作をボテンノヤルプロフィールで示し
ているか、図示するように、水平電荷転送路8側の転送
ピクセルから順番に拡大あるいは空状態の転送ピクセル
の間隔か増えていくことにより、水平電荷転送路8に近
い側の画素信号から順に読出していくこととなる。
このように、静止画撮像ては、全ての画素信号を1回の
フレーム走査読出して出力することかできると共に、従
来のように画素信号を混合しないて走査読出しすること
かできるので、フリッカや損色等の発生か無く高解像度
で鮮明な静止画を再生することかできる。
次に、動画撮像の動作を説明する。
まず、これは1行分ずれた関係にある奇数フィールドと
偶数フィールドをフィールド走査読出しすることにより
、インターレースを実現する。
各フィールド走査読出しの基本的な走査読出しタイミン
グは、第7図及び第8図に示すものと同様である。但し
、これらの図における水平ブランキング期間に相当する
期間THeての各信号のタイミンクたけか相違する。
即ち、奇数フィールドの走査読出しを行うときは、第8
図の期間t、〜t4を第14図のタイミングに置き換え
、第8図の期間t5〜t6を第15図のタイミングに置
き換え、第8図の期間t。
〜t1゜を第16図のタイミングに置き換え、水平走査
期間T IHのタイミングは変更しない。
又、偶数フィールドの走査読出しを行うときは、第8図
の期間t、〜t4を第17図のタイミングに置き換え、
第8図の期間t5〜t、を第18図のタイミングに置き
換え、第8図の期wit、〜tloを第19図のタイミ
ングに置き換え、水平走査期間TINのタイミングは変
更しない。
まず、奇数フィールドの走査読出しは、常時露光状態に
して、第8図の垂直ブランキング期間T□で全てのフォ
トダイオードの画素信号を隣接する垂直電荷転送路L1
〜L、の偶数番目のゲート電極62□ G、、、G2.
、G、□ 〜 G 2a 、 G 4s下の転送ピクセ
ルへ移す。
次に、最初の水平ブランキング期間(第14図参照)で
は、第3の駆動回路12の第1.第2の駆動信号S1と
82か、図示するように、2周期にわたって変化し、第
2の駆動回路llのタイミング信号φ1〜φ、を同期制
御回路6から各周期で2回供給する。したかって、この
期間t、〜t4ては、最初の周期で第1組目のゲート電
極G l l〜G 41のみにゲート信号φj1〜φ4
1か印加し、次の周期で、第1組目のゲート電極G l
 l〜G 41と第2組目のゲート電極G1□〜G4□
にゲート信号φ1□〜φ41、φ1.〜φ、2か印加す
る。
第14図に示すタイミングによれば、第1組目のゲート
電極G 21下の転送ピクセルと第2組目のゲート電極
G22下の転送ピクセルの画素信号か水平電荷転送路8
の転送ピクセルに移ってで混合する。
そして、最初の水平走査期間T 18で水平電荷転送路
8か水平走査することにより、混合された画素信号を時
系列的に出力する。
次に、第2回目の水平ブランキング期間(第15図参照
)では、第3の駆動回路12から第1〜第4の駆動信号
s、、S2.Ss、S、か2周期にわたって図示するよ
うに変化する。この結果、第3.第4組目のゲート電極
G 12〜G 43、G It〜G 41下の画素信号
か水平電荷転送路8に転送されて混合する。
そして、次の水平走査期間T + sで水平電荷転送路
8か水平走査することにより、混合された2行目の画素
信号を時系列的に出力する。
そして、同様の動作を各水平ブランキング期間及び水平
走査期間て繰り返すことによって、第3の駆動回路12
からの駆動信号S、〜Soか順次に拡かるように発生し
ていき、上記同様に、画素信号を水平電荷転送路8て混
合しなから全ての画素信号を出力する。
尚、第16図は、最終行の画素信号を読み出すときのタ
イミングを示す。
更に、第20図は、最初の水平ブランキング期間T、、
(時点t2〜1.)での第1〜第6組目のゲート電極に
おける電荷転送動作の様子を示すポテンシャルプロフィ
ールであり、0〜8,0〜6の各符号で示す各時点ての
ポテンシャルプロフィールの経時的変化を示す。
次に、偶数フィールドの走査読出しを説明すると、常時
露光状態にして、第8図の垂直ブランキング期間T v
Bで全てのフォトダイオードの画素信号を隣接する垂直
電荷転送路L1〜L、の偶数番目のケート電極G 21
 、 Ga+ 、 G22 、 G42〜G2゜G d
 n下の転送ピクセルへ移す。
次に、最初の水平ブランキング期間(第17図参照)で
は、第3の駆動回路12の第1の駆動信号S1か、図示
するように、2周期中で変化し、第2の駆動回路11の
タイミング信号φ1〜φ4を同期制御回路6から後の周
期で供給する。したかって、この期間t、〜t4ては、
ゲート電極G I l〜G 41のみにゲート信号φ1
1〜φ4.が印加する。
第17図に示すタイミングによれば、第1組目のゲート
電極Gel下の転送ピクセルの画素信号が水平電荷転送
路8の転送ピクセルに移る。
そして、最初の水平走査期間T INで水平電荷転送路
8か水平走査することにより画素信号を時系列的に出力
する。尚、この第1回目の走査読出しで出力した信号は
廃棄する。
次に、第2回目の水平ブランキング期間(第18図参照
)では、第3の駆動回路12から第1〜第3の駆動信号
S、、S2.S、か2周期にわたって図示するように変
化する。この結果、第1粗目のゲート電極G 21 +
 041と第2翅目のゲート電極GI2〜042下の画
素信号か水平電荷転送路8に転送されて混合する。又、
第3綴目のゲート電極GI2〜G 22下の画素信号が
第1粗目のゲート電極下まで転送される。
そして、次の水平走査期間T + sで水平電荷転送路
8が水平走査することにより、混合された2行目の画素
信号を時系列的に出力する。
そして、このような同様の動作を各水平ブランキング期
間及び水平走査期間で繰り返すことによって、第3の駆
動回路12からの駆動信号81〜S、が順次に拡がるよ
うに発生していき、上記同様に、画素信号を水平電荷転
送路8て混合しながら全ての画素信号を出力する。
尚、第19図は、最終行の画素信号を読み出すときのタ
イミングを示す。
更に、第21図は、第18図の水平ブランキング期間T
、、(時点t、〜tg)ての第1〜第6組目のゲート電
極における電荷転送動作の様子を示すポテンシャルプロ
フィールてあり、0〜8,0〜6の各符号で示す各時点
でのポテンシャルプロフィールの経時的変化を示す。
この動画撮像によれば、第20図及び第2I図から明ら
かなように、奇数フィールドと偶数フィールドの走査て
は、画素信号の混合組み合わせか1行分ずれるので、イ
ンターレースを実現している。
次に第2の実施例を説明する。まず、電荷結合型固体撮
像装置の構造を第4図に対応する第22図に示す。第4
図との構造上の相違点は、第1の駆動回路10のnpn
 )ランジスタQ41.Q42Q 42 − を第1の
フィールドソフト信号φF8Aて制御し、npn トラ
ンジスタQ 21 、 Q22 、 Qtz・・−を第
2のフィールドソフト信号φ18.て別個に制御する。
尚、これらの信号φFSA l  φFIBは同期制御
回路6か形成する。尚、他の構造は第2図、第3図、第
4図、第5図及び第6図と同様であり、又、カメラ等に
適用した場合は第1図と同様の構造である。
まず、静止画撮像は、第7図、第8図、第9図、110
図、第11図のタイミングと等しいタイミングで行う。
但し、第22図のフィールドシフト信号φFSAとφP
amは共に、第8図に示す信号φ、Sを使用する。即ち
、第22図中の全てのnpn トランジスタQ t+ 
、 Q41 、 Q22 、 Q42 、 (hs 、
 Chs・・は信号φ、3で制御され、静止画撮像時の
動作は、第1の実施例に等しい。又、画素信号の転送動
作の様子も第12図及び第13図のようになり、ノンイ
ンターレース・フルフレーム走査続出しか実現される。
次に、動画撮像を行う場合には、第3の駆動回路12の
全ての出力信号S、〜S、を“M″レベルして、全ての
トランジスタm 11. m 21 、 m )m a
 +〜m、。m2、m 1 n 、 m 4゜を導通状
態にする。そして、奇数フィールドの走査読出し時には
、第1のフィールドシフト信号φFSAを”H”レベル
第2のフィールドソフト信号φFSBを“L”レベルに
することて、奇数フィールドをフィールドソフトして、
タイミング信号φ1〜φ4の4相駆動力式に準した走査
読出しを行う。一方、偶数フィールドの走査読出し時に
は、第1のフィールドソフト信号φF□を“L“レベル
第2のフィールドソフト信号φFsBを“H”レベルに
することて、偶数フィールドをフィールドシフトして、
タイミング信号φ、〜φ4の4相駆動力式に準した走査
読出しを行う。これにより、インターレースの動画撮像
を実現する。
次に、更に第3の実施例を説明する。尚、この実施例の
電荷結合型固体搬像装置は、第2図〜第6図に示す構造
のものを適用する。
まず、静止画撮像は、第1の実施例と同様に行う。
次に、動画撮像の動作を説明する。尚、各信号のタイミ
ングは第8図と同様であるか、但し、第8図の垂直ブラ
ンキング期間TvB(時点t3〜14)でのタイミング
か、奇数フィールドの走査読出し時には第23図に示す
タイミング、偶数フィールドの走査読出し時には第24
図に示すタイミングに置き換える。
まず、奇数フィールド走査読出しては、垂直ブランキン
グ期間TVBに第23図に示すように、まず、フィール
ドシフトの信号φ、8を“H”レベルとすることによっ
て、全ての画素に対応する画素信号を各組の偶数番目の
ゲート電極下の転送ビクセルに転送する。次に、信号φ
G ′L”レベルにし、且つ第3の駆動回路12の全出
力S、〜S。
を“M”レベルにすることて全てのトランジスタm +
+ 、 m 2+ 、 m2+ 、 matA+m l
+  勇2s 、 m=。
m4nを導通状態にして、同図中の0. 1. 2. 
30の符号で示す時点に、タイミング信号φ、〜φ4に
対応するゲート信号φ11〜φ4oを各ゲート電極G 
l l〜G 4 uに印加すると、第25図に示すよう
なポテンシャルプロフィールの変化によって、結果的に
各組の2番目のゲート電極下の転送ピクセルに、2個の
画素信号ずつが混合して保持され、各組の4番目のゲー
ト電極下の転送ピクセルは空状態となる。
そして、次に第1実施例で示した静止画撮像時と同様の
タイミング(第8図参照)で走査読出しを行うことによ
り、奇数フィールド走査読出しか実現する。
一方、偶数フィールド走査読出しては、垂直ブランキン
グ期間T vsに第24図に示すように、まず、フィー
ルドシフトの信号φ1.を“H”レベルとすることによ
って、全ての画素に対応する画素信号を各組の偶数番目
のゲート電極下の転送ピクセルに転送する。次に、信号
φ。“L”レベルにし、且つ第3の駆動回路12の全出
力S、−S。
を“M”レベルにすることで全てのトランジスタm++
、m21.ms+、m4+′mll1.m2+1.m2
nmaeを導通状態にして、同図中の0. 1. 2.
 30の符号で示す時点に、タイミング信号φ1〜φ4
に対応するゲート信号φ3.〜φ4oを各ゲート電極G
 l l〜G 4 ++に印加すると、第26図に示す
ようなポテンシャルプロフィールの変化によって、結果
的に各組の2番目のゲート電極下の転送ピクセルに、2
個の画素信号ずつか混合して保持され、各組の4番目の
ゲート電極下の転送ピクセルは空状態となる。ここで、
この偶数フィールドにおいては、奇数フィールド時の画
素信号の混合の組み合わせか1行分ずれる。
そして、次に第1実施例で示した静止画撮像時と同様の
タイミング(第8図参照)で走査読出しを行うことによ
り、偶数フィールド走査読出しか実現する。
このように、第3の実施例では動画撮像時には、垂直電
荷転送路L1〜L1の転送ビクセル内で画素信号の混合
を行って、2フィールド走査読出しによりインターレー
スを実現する。
以上、これらの複数の実施例では、静止画撮像時には、
ノンインターレースの走査読出しによって鮮明な画像を
提供することができ、又、インク−レースの動画撮像も
可能にする。そして、これらの電荷結合型固体撮像装置
は、構造的にも駆動方式的にも新規である。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、静止画撮像のため
のノンインターレース走査読出しと、動画撮像のための
インターレース走査読出しの両機能を有する電荷結合型
固体撮像装置を提供することかできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を電子カメラに適用した場合
の構成図、 第2図は本発明による一実施例の電荷結合型固体撮像装
置の概略構成図、 第3図は駆動回路の回路図、 第4図は受光領域及び周辺回路の構成説明図、第5図と
第6図は第4図の要部縦断面図、第7図は撮像動作の概
略説明図、 第8図ないし第21図は一実施例の動作を説明するため
のタイミング図、 第22図は他の実施例の電荷結合型固体撮像装置の概略
構成図、 第23図ないし第26図は更に他の実施例の動作を説明
するためのタイミング図である。 図中の符号: 1・撮像光学系 2;機械式の絞り機構 3:電荷結合型固体撮像装置 4;信号処理回路 5、:記録機構 6・同期制御回路 7;受光領域 10.11.12;駆動回路 第20図 第21図 第23図 第25図 第26図 第24図 手続補正音 平成2年8月 9日

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)画素に相当する複数の光電変換素子を行方向及び
    列方向にマトリクス状に配列形成し、列方向に配列する
    各光電変換素子群に隣接して垂直電荷転送路を形成し、
    光電変換素子に発生した画素信号を垂直電荷転送路へ転
    送した後、該垂直電荷転送路のゲート電極に所定タイミ
    ングのゲート信号を供給することにより、画素信号を各
    行毎に垂直転送すると共に、水平電荷転送路によって各
    行毎の画素信号を走査読出しする電荷結合型固体撮像装
    置において、 前記各光電変換素子に隣接して1対ずつのゲート電極を
    前記垂直電荷転送路に設け、 これらのゲート電極に所定タイミングのゲート信号を印
    加して、2行分を1組として画素信号を前記水平電荷転
    送路で混合しながら2回のフィールド走査読出しを行う
    ことにより、インターレース2フィールド走査読出しの
    動画撮像を行うことを特徴とする電荷結合型固体撮像装
    置。
  2. (2)画素に相当する複数の光電変換素子を行方向及び
    列方向にマトリクス状に配列形成し、列方向に配列する
    各光電変換素子群に隣接して垂直電荷転送路を形成し、
    光電変換素子に発生した画素信号を垂直電荷転送路へ転
    送した後、該垂直電荷転送路のゲート電極に所定タイミ
    ングのゲート信号を供給することにより、画素信号を各
    行毎に垂直転送すると共に、水平電荷転送路によって各
    行毎の画素信号を走査読出しする電荷結合型固体撮像装
    置において、 前記各光電変換素子に隣接して1対ずつのゲート電極を
    前記垂直電荷転送路に設け、 前記光電変換素子に発生した画素信号を垂直電荷転送路
    へ転送するためのフィールドシフト信号を奇数フィール
    ドと偶数フィールド夫々に独自のタイミングで供給する
    手段を設け、 水平電荷転送に最も近い側の画素信号から順次に垂直電
    荷転送路に電荷転送させるゲート信号をゲート電極に供
    給して、2回のフィールド走査読出しを行うことにより
    、インターレース2フィールド走査読出しの動画撮像を
    行うことを特徴とする電荷結合型固体撮像装置。
  3. (3)画素に相当する複数の光電変換素子を行方向及び
    列方向にマトリクス状に配列形成し、列方向に配列する
    各光電変換素子群に隣接して垂直電荷転送路を形成し、
    光電変換素子に発生した画素信号を垂直電荷転送路へ転
    送した後、該垂直電荷転送路のゲート電極に所定タイミ
    ングのゲート信号を供給することにより、画素信号を各
    行毎に垂直転送すると共に、水平電荷転送路によって各
    行毎の画素信号を走査読出しする電荷結合型固体撮像装
    置において、 前記各光電変換素子に隣接して1対ずつのゲート電極を
    前記垂直電荷転送路に設け、 水平電荷転送に最も近い側の画素信号から順次に垂直電
    荷転送路に電荷転送させるゲート信号をゲート電極に供
    給して、2回のフィールド走査読出しを行うことにより
    、インターレース2フィールド走査読出しの動画撮像を
    行うことを特徴とする電荷結合型固体撮像装置。
JP2178656A 1990-07-06 1990-07-06 固体撮像装置 Pending JPH0468880A (ja)

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US08/372,667 US5705837A (en) 1990-07-06 1995-01-13 Solid-state image pick-up device of the charge-coupled device type synchronizing drive signals for a full-frame read-out
US08/971,292 US5894143A (en) 1990-07-06 1997-11-17 Solid-state image pick-up device for the charge-coupled device type synchronizing drive signals for a full-frame read-out

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