JPH0463633U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0463633U JPH0463633U JP10636190U JP10636190U JPH0463633U JP H0463633 U JPH0463633 U JP H0463633U JP 10636190 U JP10636190 U JP 10636190U JP 10636190 U JP10636190 U JP 10636190U JP H0463633 U JPH0463633 U JP H0463633U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cup
- waste liquid
- rotating
- type chemical
- rotary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 9
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 2
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Description
第１図及び第２図は本考案に係り、第１図は縦
断した状態を示す正面視説明図そして第２図は要
部を拡大した断面視説明図であり、また第３図及
び第４図は従来例に係り、第３図は縦断した状態
を示す図そして第４図ａ及びｂは回転処理カツプ
と廃液カツプの位置関係が異なつた場合の気流の
流れを示す部分図である。 ２……回転処理カツプ、５……廃液カツプ、イ
……回転処理カツプのテーパ面、ロ……廃液カツ
プのテーパ面。
断した状態を示す正面視説明図そして第２図は要
部を拡大した断面視説明図であり、また第３図及
び第４図は従来例に係り、第３図は縦断した状態
を示す図そして第４図ａ及びｂは回転処理カツプ
と廃液カツプの位置関係が異なつた場合の気流の
流れを示す部分図である。 ２……回転処理カツプ、５……廃液カツプ、イ
……回転処理カツプのテーパ面、ロ……廃液カツ
プのテーパ面。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 垂直軸芯廻りに回転される円盤状の回転処
理カツプとこれの外周を取り巻くように設置され
たリング状の廃液カツプからなる回転カツプ式薬
液処理装置であつて、回転処理カツプと廃液カツ
プの対向した一定半径個所の上面周辺の出来るだ
け広い範囲を段差のない平坦面になすと共に、回
転処理カツプの外周縁上部に上側の縮径されたテ
ーパ面を、そして廃液カツプの上面壁をなす部材
の内周縁をこれと同様の縮径されたテーパ面に形
成し、且つこれら二つのテーパ面を微小間隙下に
対向させたことを特徴とする半導体生成工程の回
転カツプ式薬液処理装置。 (2) 廃液カツプの底面壁をなす部材の内周縁を
回転処理カツプの半径内方向へ向う一定長さ範囲
で回転処理カツプの周縁と重なり合うように延長
させ、両者間隙が近接されることを特徴とする請
求項１記載の半導体生成工程の回転カツプ式薬液
処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990106361U JPH0537469Y2 (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990106361U JPH0537469Y2 (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0463633U true JPH0463633U (ja) | 1992-05-29 |
| JPH0537469Y2 JPH0537469Y2 (ja) | 1993-09-22 |
Family
ID=31852423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990106361U Expired - Lifetime JPH0537469Y2 (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0537469Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011238967A (ja) * | 2006-04-18 | 2011-11-24 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59120270A (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-11 | Fujitsu Ltd | スピン塗布装置 |
| JPH02219213A (ja) * | 1989-02-20 | 1990-08-31 | Fujitsu Ltd | レジスト塗布装置 |
-
1990
- 1990-10-08 JP JP1990106361U patent/JPH0537469Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59120270A (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-11 | Fujitsu Ltd | スピン塗布装置 |
| JPH02219213A (ja) * | 1989-02-20 | 1990-08-31 | Fujitsu Ltd | レジスト塗布装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011238967A (ja) * | 2006-04-18 | 2011-11-24 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0537469Y2 (ja) | 1993-09-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH037978U (ja) | ||
| JPH0463633U (ja) | ||
| JPS632736U (ja) | ||
| JPH0232127Y2 (ja) | ||
| JPS6346132Y2 (ja) | ||
| JPS5838323U (ja) | ベルマウス半製品の成型装置 | |
| JPH046252U (ja) | ||
| JPS6269431U (ja) | ||
| JPS6231973U (ja) | ||
| JPS63201629U (ja) | ||
| JPS6340598U (ja) | ||
| JPH0160023U (ja) | ||
| JPS648623U (ja) | ||
| JPS6331532U (ja) | ||
| JPS6227779U (ja) | ||
| JPS63154662U (ja) | ||
| JPH0472324U (ja) | ||
| JPS57181416A (en) | Disc rotation driving device | |
| JPH01170312U (ja) | ||
| GB1475904A (en) | Spinneret for wet spinning processes | |
| JPS63202451U (ja) | ||
| JPS61130045U (ja) | ||
| JPS62156382U (ja) | ||
| JPH02127371U (ja) | ||
| JPS61161246U (ja) |