JPH0462878A - 磁電変換装置及び変位検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は磁気抵抗索子等の磁電変換素子からなる磁電変
換装置に係り、特に無接点スイッチ、非接触ポリコーム
（ポテンショメータ）、磁気スケール、モータ等の回転
制御に最適な磁電変換装置に関する。

（従来技術） 従来、磁電変換素子として、半導体林料のポル効果を利
用したホール索子、半導体の磁気抵抗効果を利用した半
導体磁気抵抗素子、あるいは強磁性金属材の強磁性磁気
抵抗効果を利用しに強磁性磁気抵抗素子（以下抵抗素子
と称ｔ）等が良く知られている。

第１２図は従来の抵抗素子１ｏの一例を示す平面図、第
１３図は第１２図に示す抵抗素子の使用回路例を説明す
るだめの説明図である。

第１２図において、１１は例えばＳｉＯ＋等からなる基
板、１２．１３は感磁部であり、長さ１１幅ｗ２の強磁
性磁気抵抗薄膜をジグナグ状に形成したものである。

感磁部１２．１３は略同形の形状を右し、中心間距離Ｌ
１だけ離てて平行に基板１１上に配設されでぃる。王１
、Ｔ２は感磁部１２．１３の一端に設（Ｊられたターミ
ナル、Ｔ３は感磁部１２．１３の他端部を接続しＩこ中
点ターミナルである。

使用に際しては、例えば第１３図に示す様に、タミナル
王１、Ｔ２に温度特性を向上させるための直列抵抗Ｒ１
、Ｒ２、Ｒ３の端部を接続Ｊると共に、ターミナル丁１
、Ｔ２間に直流電圧Ｖｓを加え、中間ターミナルＴ３と
ボリューム抵抗Ｒ３の出力端Ｔ４どを差動増幅器Ａに接
続しする。被検出物体として磁石１４等を用いると、そ
の磁石の変位にＪ、つＣ生じる磁界の変化は感磁部１２
．１３の抵抗値の変化をもたらすｌ〔め、その抵抗値の
変化を差動増幅回路等を用いて電圧の変化として読み出
す事が出来る。

次に、直線的に変化する物体の変位量を検出する揚台を
説明Ｊる。

例えば、第１２図において図示しない被測定物の変位方
向をＸとするとき、Ｘ方向に対して垂直方向にＮ、Ｓ極
を右りる様に、磁石１４を被測定物に配設する。この時
、抵抗素子１０は感磁部の長さ（Ｌｌ）方向がＸ方向に
対して平行となる様に配設される。

被測定物の移動につれて、磁石１４が感磁部１３に近づ
いて来ると、磁石１４による磁界が感磁部１３の長さ方
向（Ｘ方向）に対して略垂直に加えられるため、強磁性
磁気抵抗効果により感磁部１３の電気抵抗値が減少し、
中点ターミナル１３とターミナル下２間の電圧、及び中
点ターミナル１３とターミナル１１間の電圧は変化する
から、これを差動増幅回路等を用いて取り出す。

第１４図は第１２図に示す磁石の変位と出力電圧どの関
係を示すグラフであり、横軸に磁石の変位、縦軸に出力
電圧を示′？１．＠磁部１２．１３の対称中心１５を０
点とづる時、この０点を境として点対称的に出力最大点
と最小点が生じる。そして、その中間領域であるＡ　１
３間は、磁石の変位と出力電圧との関係において直線性
の良好な領域どなる。

この直線性の良好な領域の変位幅ｉｏを広くとりたい場
合には、感磁部１２．１３の長さ１−１、両感磁部１２
．１３の中心間距離「２及び磁石幅１３等を大きくり−
ればＪ：い。

また、シャフト等の回転角の検出を行うには、例えば特
開昭５９−１００８１６号公報に見られるように、シャ
フトのまわりに単数、あるいは複数の磁石を設り、シ１
１フ１〜の回転による磁石の磁界の変化を検出する方法
が良く知られている。

（発明が解決しにうとする課題） 崖尋体月Ｙ１を利用１」る磁電変換装置はＧａＡｓ、或
いはＩ　１１３　ｂ等の材質から形成されているため、
温度の変化に対してキャリア数や移動度の変化が大きく
、また製造プロセス上、素子毎の抵抗値のバラツキが大
きいため、外部補償回路を用いる必要があった。また、
良好な直線性を得るためには、強磁界（数百０以上）が
必要となり、そのため強力な磁石を必要としたり、ある
いはバイアス磁界用の磁石を素子基板の裏側に設ける方
法がとられるため、複雑な形状となり、］ス１〜的にも
不利になる等の欠点があった。

また、従来の強磁性薄膜抵抗素子においては、直線領域
ｉｏを広くとりたい揚台、強磁性薄膜抵抗素子の形状そ
のものを大きくしたり、磁石の形状を大ぎくする必要が
あるため、半導体的プロセスにより形成される抵抗素子
の大型化は直ちに生産性の低下をもたらし、コスｌ〜高
を招くという欠点があった。

更に、最適変位領域で出力変化を最大にするには、それ
ぞれの目的とする使用方法により、特別な形状の素子や
磁石の段目を行う必要があるため、使用者にとっては不
便であり、しかも生産者にとっては量産効果が生まれず
、コスト高を招きやすいという不都合があった。

そのため、汎用性に富んだ、しかも抵抗素子の小型化が
可能な新しいタイプの磁電変換装置が望まれていた。

（課題を解決するための手段） 本発明は上記課題を解決するためになされたものであり
、磁界の変化を電圧の変化として取り出すための磁電変
換装置であって、磁気ギャップを右する磁気回路と、前
記磁気ギトツブ近傍に磁界を発生させるための磁界発生
手段と、感磁部を右Ｊる磁電変換素子どからなり、少な
くとも、前記感磁部の一部が前記磁気ギャップからの漏
れ磁界を検知可能な位置に、前記磁電変換素子を配設し
でなることを特徴とする磁電変換装置とそれを用いた新
しいタイプの変位検出装置を提供しＪ、うとリ−るもの
である。

（実施例）　第１図は本発明になる電磁変換装置３０の
１実施例の斜視図、第２図は第１図のＡＡ’切断線に沿
った断面図、第３図（ａ）〜（ｄ）は本発明に用いられ
る抵抗素子パターンの各実施例の平面図である。

以下、各図を用いて説明する。

第１図において、３１は磁気回路部であり、略］の字状
の一対の磁気」ア゛１′：体３２．３３と磁石３４とか
らなる。

磁気コア半体３２．３３は、例えばフ１ライ１へ材等か
らなる軟磁性拐からなり、コの字状の一端部に磁石３４
を介して突合され、他端部において、ギャップ長Ｗｇな
る磁気ギ１１ツ／Ｍｇを形成している。

３５は後述する強磁性磁気抵抗素子（以下抵抗素子）で
あり、一方の感磁部３８が磁気ギャップＭ（１からの洩
れ磁界［ｇを検知できる様に磁気ギャップＭｇの下方に
近接して設けられている。磁石３４は磁気ギャップＭ（
＋に洩れ磁界ｆｊｌを与えるための磁界発生源であり、
例えばマグネッ１〜シート（住友３Ｈ，ＮＧＯ−１３１
６）を磁気コア半体３２．３３との突合せ面に対して垂
直方向に着磁したものが使用される。

本実施例においては、抵抗素子として、第３図（ａ　）
に示すものが用いられている。

同図において、３Ｇは基板であり、３７．３８は基板３
６上に形成された感磁部である。　感磁部３７．３８は
例えば、Ｎｉ−Ｆｅ　、　Ｎｉ−Ｃｏ等からなる強磁性
磁気抵抗ａ！膜からなり、幅Ｗ２、長さＳｌの薄膜がジ
グザグに折り曲がった幅Ｗの同形の矩形形状を有し、Ｓ
２だ【ノ岨れて平行に基板３Ｇ十にパターン化されてい
る。感磁部３７．３８の幅Ｗは磁気ギャッ艮Ｗｇと等し
いか、或いはぞれより小さく形成されている。そして、
抵抗素子３５は、一方の感磁部３８の幅Ｗの中心と磁気
ギャップＭｑの幅の中心が略一致し、感磁部３８の長ざ
Ｓ１方向と磁気ギャップ長Ｗ（＋方向とが垂直となる様
に、そして他方の感磁部３７が磁気ギ１７ツプＷｑから
の洩れ磁界ｆ（Ｉの影響を受けない様に、磁気ギャップ
Ｗｏから離れて磁気ギャップＷ（＋の下方に配設されて
いる。

上記の構成にＪ３いて、感磁部３７．３８の厚さｔは数
百入・〜２４人、　幅Ｗ２は数μｍ〜数＋μｍ、長さＳ
ｌは幅Ｗ２の数１−倍以上に設定されている。

一方の感磁部３８に与える磁界の太さざは感磁部の磁気
飽和点に達する程度の磁界が望ましく、感磁部３８の磁
気飽和点を１−１　ｋとすると、Ｈｋ　＝に−ｔ／Ｗ２
　　・・・・・・・・・　（１）（但し、Ｋ；係数、　
ｔ：厚さ、　Ｗ２；幅）なる式に従う５゜ 感磁部に旧−「ｅ系合金を使用した場合、磁気飽和点１
−１には略２００Ｇ以下である。

次に、作用について説明する。

上記の構成においで、磁石３４からの磁束は磁気］ア半
導体３２．３３が作る磁気回路を流れるため、磁気ギＡ
ｌツブＷｇにおいて洩れ磁束「ｑが発生し、磁気ギ１１
ツブ近傍には磁界が形成されている。

この磁界は磁気ギャップＷｇ中においては、最も強く平
行で一様磁界を形成してｄ３す、磁気ギャップＷＱから
離れるに従って弱くなり、円弧状の等磁界曲線を形成し
ている。感磁部３８は磁気ギャップＷ９に極めて接近し
ているため、感磁部３８の長手方向に対して垂直方向に
磁気ギャップＭｇの磁界の作用を受けるから、感磁部３
８の電気抵抗Ｒ１は強磁性磁気抵抗効果により感磁部３
７の電気抵抗Ｒ２と比較するとＫｘ倍だり小となってい
るＫ　Ｘ−Ｒ＋　／　Ｒ２・・・・・・・・・（２）こ
の時、第２図に示す様に、例えばＸ方向から強磁性体か
らなる被検知物体３９が磁気ギャップＭｑに近づいて来
ると、洩れ磁束ｆｇは被検知物体３９に吸い寄せられる
結果、磁気ギ１１ツブＷ（＋中を流れる磁束ｆｇは減少
し、磁気ギャップＷ（＋中の一様磁界の強さも減少する
ため、感磁部３８に作用する磁界の強さは弱くなり、そ
の結果、感磁部３８の電気抵抗Ｒ１は増加する。　被検
知物体３９が磁気ギャップＷ（＋を完全に覆った時、電
気抵抗Ｒは最大（こなる。

今、ターミナルＴ’　＋　、Ｔ　２間の直流電圧をＶＯ
、ターミナルＴ３、Ｔ１間の出力電圧をｖ×とすれば、 ＶＸ−［Ｒ２／　（Ｒ＋　４−Ｒ２）］　　・Ｖ　Ｏ・
・・・・・（３）〈２）式を用いて（３）を占さなおづ
−と、Ｖｘ　−［１／　（Ｋｘ　＋　１　）］　・Ｖｏ
・−・−＝・・・・−・（４）が１１ノられる、。

磁気回路の形状（主として磁気ギャップの深さ寸法ｔ１
）、磁気飽和忌日１＜及び磁石の強さを適当に定めるこ
とＩＪＪ、す、磁気ギＩｌツブＭす」−の被検出物体３
９の位置に応じてに×の値を約０９７・〜１程度変化さ
けることは極めて容易であるから、（４）代により１１
ｖられる出力電圧ｖ×の低化を第１２図に示した差動ア
ンプ回路等を用いて増幅し取り出りことがＣ−さる３゜ 狛に、磁石のかわりに巻線コイルを磁気回路部分の一部
に設り、これに流す直流電流を制御することにより、磁
気ギＡ／ツブＭ＜］にちえる電磁を容易に調節−４るこ
とが出来ることは説明づるまでもない。

また、第３図（ｂ）に示す様に、抵抗素子４０の第１の
感磁部４１と第２の感磁部４２の長さ方向が互いに垂直
方向となる様に配設し、例えば第１の感磁部４１を磁気
ギャップＭｑの下方に洩れ磁束ｆｃＩに対して感応する
様に配設した場合、第２０感磁部４２は洩れ磁束ｆｇに
対して平行となるため感応することがなく、より精度の
高い電磁変換装置が得られる。

この時、湿度特性上、感磁部４１と４２の抵抗値が温度
特性上略同一になる様に抵抗索子４０を設８１すること
が重要どなる、。

第３図（Ｃ）に示す抵抗素子４３は、上記素子４０の変
形例であり、同様、第１の感磁部４４と第２の感磁部４
５とはＨいに垂直に配設されている。

第３図に示Ｊ−抵抗素子４６は、同図（Ｃ）に示す同様
の抵抗素子４７．４８を２個平行に基板に配設し、中点
ターミナルＴ３’　、Ｔ３からの出力を差動増幅するこ
とにより出力の倍増を計ったものである。

この場合、感磁部４７＋）　　、４８ｂ　ｂ＜磁気ギャ
ップＭｏからの洩れ磁束を検出する。１ 次に、本発明になるｖ１１電変換装買３０を用いた位置
検出装置の実施例について説明する。

〔実施例１〕 第４図は本発明になる磁電変換装置を用いた直線り向の
位置の検出装置の１実施例を示す平面図である、。

磁電変換装置には第１図のものを用いるため、同＝−の
構成要素には同一符号を１４し、説明を省略づる。

第４図において、５１はフエライ１〜、軟鉄等の軟磁性
体からなる板状の被検出板ひあり、Ｘ方向の直線運動が
可能な磁電変換素子３０の上方に微小間隔隔てて配設さ
れている。５１ａは磁気ギャップ長さＷｏ力方向対して
０なる傾斜角を有する傾斜部であり、被検出板５１のＸ
方向の移動に伴い、磁気ギＩＩツブＭ（］と交差し４ｆ
がら、被検出板５１が磁気ギＡ７ツプＭｑを完全に覆う
ことが出来るように形成されている。

今、被検出板５１が、磁気ギ１７ツプの長さＷｇ力方向
対して平行なＸ方向から近づいて来て、傾斜部５１ａが
磁気ギャップＭｇの第１のエツジ部Ｑ１近傍に到ると、
磁気ギャップＭｇからの洩れ磁束ｆｏが被検出板５１に
吸い寄せられ、磁気ギャップＭ（＋中の磁界は減少し始
める。（実線の第１の状態） 更に、被検出板５１が移動して、傾斜部５１ａ′ｂ（１
気ギＡ・ツブＭ（ｌの第２の１ジ部Ｑ２に達する第２の
状態から、第３の状態を経て第３のエツジ部Ｑ２に達づ
−る第４の状態までは、被検出板５１が磁気ギャップＭ
ｇを覆う面積はＸ方向の移動距離ｆｘに比例して増加す
るため、磁気ギャップＭ（Ｉの磁界はこれに略反比例し
て減少すると考えられるから、この区間ａＣ間におりる
感磁部３７の電気抵抗Ｒ１ど被検出板５１の移動距離Ｘ
どの関係は比較的良い直線性を保っている。

第５図は被検出板の移動距離と出力電圧との関係を示す
グラフであり、横軸に被検出板５１の移動距１１ｉ１１
×、縦軸には差動アンプを用いて取り出した出力電圧を
示す。（但し、横軸の原点は、傾斜部５１ａと１（杢１
気ギャップＷｇの第１のエツジ部Ｑ１との交点としであ
る３、） 同図から明らかな様に、移動区間ａＣは比較的直線性に
優れている領域であり、しかも、その長さは従来の様に
、二つの感磁部間の中心間距離で定まるものでは４「＜
、被検出板の傾斜部５１　ａの角ｌ良や磁気ギャップ長
Ｗ（＋で定まるため、抵抗素子そのものを小型化覆るこ
とが出来、しかも、汎用性に富むため量産が可能となり
、半導体的ブ］」レスによって製造される抵抗素子の生
産性を高めることが出来るものである。

〔実施例２〕 第６図（ａ＞は、本発明になる磁電変換素子を用いた回
転角の変位検出装置６０の平面図、同図（ｂ）は同図（
ａ）の正面図である。

同図において、６１は鉄等の軟磁性からなる円盤状の回
転板であり、回転軸６２に固定されている。

回転板６１の中心から外周までの距ｆＪＪ、　ｒは次の
式【こ従つ（順次変化し−（いる。

但し、ｘ、ｙ座標の原点は軸６２の中心にとり、０は初
期半径（最大半径）ｒｏと任意の半径ｒどのなす角とし
、ｒｌは最小半径を示している。

そして、本発明の磁電変換装置３０は、回転円板６１の
最大半径ｒ１に相当する円周面６１ａに対して所定の微
小間隔αだけ隔て、磁気ギャップＭ（ｌが対向する様に
配設されている。

上記の構成において、回転軸６２により回転板６１が回
転すると、円周面６１ａと磁気ギャップＭｇとの間隔α
が次第に広くなるため、磁気ギＡ／ツブの洩れ磁束は回
転円板６１からの影響を受けにくくなり、感磁部３８の
抵抗値はある最大価まで増加していく。この抵抗値の変
化を利用することにより、角度を出力電圧の変化として
求めることが出来る。

第７図は第６図の角度検出装置におＵる回転角と出力電
圧との関係を示すグラフであり、横軸に回転角、縦軸に
差動増幅器を用いた出力電圧を示す。

同図において、曲線６３は磁気ギャップ長Ｗ（＋が１ｍ
ｍの場合を示し、曲線６４は同条件において磁気ギ１ノ
ツプ長Ｗｏを０．５ｍｍと小さくした場合を示す。

磁気ギャップ長Ｗ（＋が小さくなると、Ｗ（＋の大さな
ものと比較して、磁気ギトツブＭ（Ｉからの洩れ磁束（
，１遠くまで届かないため、回転板６１の影響を受けに
くくなり、電圧が直線的に変化する角度の範囲（スｌ〜
ローク）が狭くなる。

この場合、磁気ギャップＭ（＋が小さい場合、直線特性
を向上させるには、最大半径ｒ　ｏと最小半径ｒ１と差
へｒを小さくすることにＪこつて解決されるが、この様
に本発明の磁電変換装置３０を用いると、段目の範囲が
広＜”ｃＫるため、思い通りの変位検出装置を設計可能
とする。

〔実施例３〕 第８図（ａ　）は本発明の磁電変換装置を用いた回転角
の変位検出装置の仙の実施例７０の平面図、同図（ｂ）
は同図（ａ）の正面図である。本実施例においては、磁
性体からなる回転板７１の下に本発明の磁電変換装置３
０を配設した例であり、回転板７１の半径ｒは、回転軸
７２の中心線からＲ，たけ離れて配設された磁気ギャッ
プＭ（］からの距饋が回転板７１の回転により順次変化
する様に形成されでいる。

〔実施例４〕 第９図は本発明の磁電変換装置を用いた回転角の変位検
出装置の他の実施例８０の平面図であり、磁性体からな
る　回転板には、長径２ｒｏ、ｙｙｊ径２ｒ１からなる
楕円形のｂを用い、　磁電変換装置３０を回転板８１の
外周面８１ａに近接して配設した例である。

〔実施例５〕 第１０図は本発明の磁電変換装置を用いた回転角の変位
検出装置の他の実施例９０の斜視図であり、回転軸９１
を半円状に加工し、その先端部の下方に接近して磁電変
換装置３０を配設した例と、回転輔９１の側面に接近し
て磁電変換装置３０を配設した例を示すものである。

この実施例の特徴は回転板を回転軸９１に取り付りる必
要がないため、極めて小型の回転角検出装置が可能とな
る。

［実施例６］ 第１１図は本発明の磁電変換装置を用いたテンションア
ームの回転角の変位検出装置の１実施例９５の斜視図で
ある。本実施例はビデＡデープレ］ダー等磁気ｊ−ブを
使用する機器において、磁気デーゾのアンジョンを１ノ
一ボ機構により直線制御するためのテンションアームの
変位角を検出するための変位検出装置である。

同図において、９６はテンションアームであり、その一
端部は軸９７に固定され、細端部にはテンションボール
９８が植立されている。

ラーンジョンアーム９６の下には、本発明の磁電変換装
置３０が軸９７からαだけ離れた位置に、テンションア
ームの側面端部９６ａど磁気ギ１７ツプＷ（＋とが略９
０°の角１徒で交差する様に配設されている。

使用に際して、テンションアーム９８に磁気テプ９９が
巻ぎ付けられ、磁気テープ９９がＸ方向に走行すると、
アンジョンポール９８にＸ方向のカが加わり、テンショ
ンアーム９６は反時計方向に変位するため、感磁部５７
の抵抗値は変化づるが、この変化を電圧の変化とし取り
出し、図示しないサーボ機構にフィードバックすること
により、テンションアーム９６を元の定位置にもどし、
常に一定のテンションを磁気テープ９つに）えることが
出来る。

上述の様に、電圧の変化はテンションアーム９６の変位
角として表されるが、制御可能な変位角の範囲を大ぎく
したい場合には、回転軸９７と抵抗素子３０との距離ｄ
を小さくすることにより容易に可能となることは説明す
るまでもない。

また、磁電変換装置３０の伯の配設方法として、ザーク
ルで囲／υだ様に、磁気ギャップＭｏとテンションアー
ムの側面端部９６ａとが９０°゛より小さな角度θで交
差する様に配設してもよい。この場合は角度０を変える
だりで制御可能な変位角の範囲を変更出来る。

１　つ 上述の様に磁気回路を使用し、その回路の磁気ギャップ
からの洩れ磁界の変化を抵抗素子が検知する様に構成し
たため、 （１）　　定対象物の変位量を決めるファクターとして
、抵抗素子の大きさだけではなく、磁気回路の大きさで
決めることが可能どなるため、抵抗素子そのものの形状
を小型化することが出来、抵抗素子の生産効率が高くな
る。

（２）　　閉ループからなる磁気回路を構成し、この磁
気回路の内側に抵抗素子を配設するため、高感度であり
ながら外部磁界ノイズの影響を受けにくい構造どするこ
とが出来、しかも外部の測定対象物に触れて破損するこ
とが無くなり、信頼性が飛躍的に向上する。

（３）　　磁気ギレップの磁界の方向は、主として磁気
ギャップ長方向に平行に発生するため、安定した磁界が
得られ、バランス抵抗を得るための抵抗素子部の設計が
自由となり、目的毎の最適形状の抵抗素子部の設計が可
能となる。

０）　磁気回路内にプラスチックマグネッ１−等の安価
な信号源を有するため、測定対象物が磁性材料であれば
よく、磁石等を用いる必要がないため、コスト的に安価
な検出装置が可能となる。

（５）　　測定対象物の変位が回転、あるいは直線的で
あっても、同じ磁電変換装置が利用出来るため、汎用性
の高い磁電変換装置となり、コスト低減に極めて右利と
なる。等の従来の磁電変換素子には見られない様々の特
徴を有するものである。

（発明の効果） 上述の様に、本発明の磁電変換装置によれば、磁界の変
化を電圧の変化として取り出すための磁電変換装置であ
って、磁気ギャップを有する磁気回路と、前記磁気ギャ
ップ近傍に磁界を発生させるための磁界発生手段と、感
磁部を有する磁電変換素子とからなり、少なくとも、前
記感磁部の一部が前記磁気ギャップからの洩れ磁界を検
知可能な位置に、前記磁電変換素子を配設する様に構成
したため、測定対象物の変位量を決めるファクタとして
抵抗素子の大きさだけではなく、磁気回路の各常数を用
いて定めることが可能となり、小型で汎用性に富み、ロ
ス１〜的に右利で、しかも、外部磁界による影響の少な
い信頼性の高い磁電変換装置の提供を可能とする。

また、上記の磁電変換装置において、磁気ギャップに磁
＋！１体からなる被測定物を１８近させることにより、
感電部の電気抵抗を変化させ、被測定物の変位量を前記
感磁部の出力電圧として取り出す様に変位検出装置を構
成し１こため、測定対象物は磁竹材利であればよく、磁
石等を用いる必要は１．Ｎく、また、測定対象物の変位
が回転、或い（よ直線的であっても、同じ磁電変換装置
を用いることが出来るため、汎用性の高い、しかも」ス
１〜的にイ１利な新しいタイプの変位検出装置の提供を
可能とする。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になる磁電変換装置の１実施例の斜視図
、第２図は第１図のＡΔ′切断線に沿った断面図、第３
図（ａ）・〜（ｄ）は本発明に用いられる抵抗素子パタ
ーンの各実施例の平面図、第４図は本発明になるｖ１１
雷変換装置を用いた直線力向の変位検出装置の１実施例
を示す平面図、第５図は第４図に示す被検出板の移動距
離と出力電圧との関係を示すグラフ、第６図（ａ）は本
発明になる磁電変換素子を用いた回転角の変位検出装置
の平面図、同図（ｂ）は同図＜ａ）の正面図、第７図は
第６図の回転角の変位検出装置における回転角と出力電
圧との関係を示づグラフ、第８図（ａ）は本発明の磁電
変換装置を用いた回転角の変位検出装置の他の実施例の
平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）の正面図、第９図及び
第１０図はそれぞれ本発明の磁電変換装置を用いた回転
角の変位検出装置の他の実施例の平面図及び斜視図、第
１１図は本発明の磁電変換装置を用いたテンションアム
の回転角の変位検出装置の１実施例の斜視図、第１２図
は従来の抵抗素子の１例を示す平面図、第１３図は第１
２図に示す抵抗素子の使用回路例を説明するための説明
図、第１４図ｔま第１２図に示す磁石の変位と出力電圧
との関係を示すグラフである。 ３０・・・・・・磁電変換装置、　３１・・・・・・磁
気回路部、３２．３３・・・・・・磁気コア半休、　３
４・・・・・・磁石、３５．４０．４３．４６．４７．
４８、・・・・・・抵抗素子、３６・・・・・・基板、 ３７．３８．４１．４２．４４．４５．４７ａ　、　４
７ｂ　、　４８ａ　。 ４８ｂ、・・・・・・感磁部、　３９・・・・・・被検
知物体、５０．６０．７０．８０．９０．９５・・・・
・・変位検出装置、５１・・・・・・被検出板、　５１
ａ・・・・・・傾斜部、６１．７１．８１・・・・・・
回転板、　６２．７２．９１．９７・・・・・・回転軸
、　９６・・・・・・７ンシ］ンアーム、９８・・・・
・・テンシ丁ｌンボール、　９９・・・・・・磁気テー
プ。 特泊出願人　　　　　１］本ビクター株式会社代表者　
　　　　　　垣木邦夫 囚 帛 す胸 （臂智模 傾〉揃鷲 Ｎ ■ 凶

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁界の変化を電圧の変化として取り出すための磁
   電変換装置であって、磁気ギャップを有する磁気回路と
   、前記磁気ギャップ近傍に磁界を発生させるための磁界
   発生手段と、感磁部を有する磁電変換素子とからなり、
   少なくとも、前記感磁部の一部が前記磁気ギャップから
   の洩れ磁界を検知可能な位置に、前記磁電変換素子を配
   設してなることを特徴とする磁電変換装置。
2. （２）請求項第１項記載の磁電変換装置において、磁気
   ギャップに磁性体からなる被測定物を接近させることに
   より、感磁部の電気抵抗を変化させ、被測定物の変位量
   を前記感磁部の出力電圧として取り出す事を特徴とした
   変位検出装置。