JPH046184Y2 - - Google Patents
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- JPH046184Y2 JPH046184Y2 JP18248184U JP18248184U JPH046184Y2 JP H046184 Y2 JPH046184 Y2 JP H046184Y2 JP 18248184 U JP18248184 U JP 18248184U JP 18248184 U JP18248184 U JP 18248184U JP H046184 Y2 JPH046184 Y2 JP H046184Y2
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- Japan
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- section
- winding
- low voltage
- potential section
- isolation transformer
- Prior art date
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- Expired
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- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 45
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 28
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 10
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 7
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この考案は、低電圧部と、この低電圧部より高
電位側にある加速電位部と、この加速電位部より
更に高電位側にあるイオン源電位部とを備えるイ
オン注入装置に関し、より具体的には、低電圧部
から加速電位部の機器及びイオン源電位部の機器
に電力を供給する絶縁変圧器の改良に関する。
電位側にある加速電位部と、この加速電位部より
更に高電位側にあるイオン源電位部とを備えるイ
オン注入装置に関し、より具体的には、低電圧部
から加速電位部の機器及びイオン源電位部の機器
に電力を供給する絶縁変圧器の改良に関する。
第４図は、イオン注入装置の構成の一例を示す
概略ブロツク図である。このイオン注入装置は、
概略的に言えば、低電圧（例えば200V程度）の
低電圧部２と、低電圧部２より加速電圧Va（例え
ば25〜375KV程度）だけ高電位側にある加速電
位部４と、それらの間にある加速管３と、加速電
位部４より更に引出し電圧Ve（例えば25〜35KV
程度）だけ高電位側にあるイオン源電位部６とか
ら成る。低電圧部２には、ウエハ２１、加速電源
２２、テレメータ２３等が設けられている。加速
電位部４には、質量分析マグネツト４１、分析マ
グネツト電源４２、引出し電源４３、テレメータ
４４、イオン源電位部６等が設けられている。イ
オン源電位部６には、イオン源６１、イオン源電
源６２、ガスボツクス６３等が設けられている。
そして、引出し電圧Veによつてイオン源６１か
ら引出されたイオンビーム５は、質量分析マグネ
ツト４１で質量分析され、加速電圧Vaによつて
加速管３中で加速されてウエハ２１に照射され
る。
概略ブロツク図である。このイオン注入装置は、
概略的に言えば、低電圧（例えば200V程度）の
低電圧部２と、低電圧部２より加速電圧Va（例え
ば25〜375KV程度）だけ高電位側にある加速電
位部４と、それらの間にある加速管３と、加速電
位部４より更に引出し電圧Ve（例えば25〜35KV
程度）だけ高電位側にあるイオン源電位部６とか
ら成る。低電圧部２には、ウエハ２１、加速電源
２２、テレメータ２３等が設けられている。加速
電位部４には、質量分析マグネツト４１、分析マ
グネツト電源４２、引出し電源４３、テレメータ
４４、イオン源電位部６等が設けられている。イ
オン源電位部６には、イオン源６１、イオン源電
源６２、ガスボツクス６３等が設けられている。
そして、引出し電圧Veによつてイオン源６１か
ら引出されたイオンビーム５は、質量分析マグネ
ツト４１で質量分析され、加速電圧Vaによつて
加速管３中で加速されてウエハ２１に照射され
る。
第５図は、従来の絶縁変圧器を用いたイオン注
入装置の概略構成図である。上述した加速電位部
４は、支持碍子２４，２５によつて低電圧部２か
ら絶縁して空中に支えられており、この加速電位
部４の中には（又は上には）イオン源電位部６が
それから絶縁して設置されている。そして低電圧
部２から、加速電位部４に設けられた各機器及び
イオン源電位部６に設けられた各機器に電力を供
給するために、低電圧部２には絶縁変圧器７が、
加速電位部４には絶縁変圧器８がそれぞれ設置さ
れている。尚、図中の符号７３はブツシングであ
る。
入装置の概略構成図である。上述した加速電位部
４は、支持碍子２４，２５によつて低電圧部２か
ら絶縁して空中に支えられており、この加速電位
部４の中には（又は上には）イオン源電位部６が
それから絶縁して設置されている。そして低電圧
部２から、加速電位部４に設けられた各機器及び
イオン源電位部６に設けられた各機器に電力を供
給するために、低電圧部２には絶縁変圧器７が、
加速電位部４には絶縁変圧器８がそれぞれ設置さ
れている。尚、図中の符号７３はブツシングであ
る。
第６図は、第５図の絶縁変圧器の結線図であ
る。低電圧部２からの電力は、絶縁変圧器７で適
当に変圧されて加速電位部４の機器及び絶縁変圧
器８に供給され、更に絶縁変圧器８で適当に変圧
されてイオン源電位部６の機器に供給される。
る。低電圧部２からの電力は、絶縁変圧器７で適
当に変圧されて加速電位部４の機器及び絶縁変圧
器８に供給され、更に絶縁変圧器８で適当に変圧
されてイオン源電位部６の機器に供給される。
上述の絶縁変圧器８は、例えば体積が0.1m3程
度あり、重さが50〜100Kg程度あるが、従来はこ
れを加速電位部４に設置しているため、加速電位
部４が大形かつ重くなると共に、支持碍子２４，
２５の強度もその分だけ強くしなければならない
等の問題がある。
度あり、重さが50〜100Kg程度あるが、従来はこ
れを加速電位部４に設置しているため、加速電位
部４が大形かつ重くなると共に、支持碍子２４，
２５の強度もその分だけ強くしなければならない
等の問題がある。
そこでこの考案は、絶縁変圧器を改良すること
によつて加速電位部の小形・軽量化を図ることを
主たる目的とする。
によつて加速電位部の小形・軽量化を図ることを
主たる目的とする。
この考案のイオン注入装置は、前記低電圧部か
ら電力が供給される１次巻線と、前記加速電位部
の機器に電力を供給するための２次巻線と、前記
イオン源電位部の機器に電力を供給するための３
次巻線と、これらの１次巻線、２次巻線および３
次巻線に共通の鉄心とを備える絶縁変圧器を前記
低電圧部に設置し、そしてこの絶縁変圧器の２次
巻線を前記加速電位部の機器に接続し、３次巻線
を前記イオン源電位部の機器に接続していること
を特徴とする。
ら電力が供給される１次巻線と、前記加速電位部
の機器に電力を供給するための２次巻線と、前記
イオン源電位部の機器に電力を供給するための３
次巻線と、これらの１次巻線、２次巻線および３
次巻線に共通の鉄心とを備える絶縁変圧器を前記
低電圧部に設置し、そしてこの絶縁変圧器の２次
巻線を前記加速電位部の機器に接続し、３次巻線
を前記イオン源電位部の機器に接続していること
を特徴とする。
低電圧部からの電力は、上記絶縁変圧器によつ
て適当に変圧されて、２次巻線から加速電位部の
機器に供給され、更に３次巻線からイオン源電位
部の機器に供給される。これによつて、従来のよ
うに加速電位部に絶縁変圧器を設置する必要が無
くなり、加速電位部の小形・軽量化が図られる。
て適当に変圧されて、２次巻線から加速電位部の
機器に供給され、更に３次巻線からイオン源電位
部の機器に供給される。これによつて、従来のよ
うに加速電位部に絶縁変圧器を設置する必要が無
くなり、加速電位部の小形・軽量化が図られる。
第１図は、この考案のイオン注入装置に用いて
いる絶縁変圧器の一例を示す記号図である。この
絶縁変圧器９は、例えば油入式の３相変圧器であ
り、前述した低電圧部２から電力が供給される１
次巻線９１と、前述した加速電位部４の機器であ
る例えば分析マグネツト電源４２、引出し電源４
３および各種リレー等に電力を供給する三つの２
次巻線９２と、前述したイオン源電位部６の機器
である例えばイオン源６１およびイオン源電源６
２等に電力を供給する二つの３次巻線９３と、こ
れらの１次巻線９１、２次巻線９２および３次巻
線９３に共通の鉄心９６とを備えている。
いる絶縁変圧器の一例を示す記号図である。この
絶縁変圧器９は、例えば油入式の３相変圧器であ
り、前述した低電圧部２から電力が供給される１
次巻線９１と、前述した加速電位部４の機器であ
る例えば分析マグネツト電源４２、引出し電源４
３および各種リレー等に電力を供給する三つの２
次巻線９２と、前述したイオン源電位部６の機器
である例えばイオン源６１およびイオン源電源６
２等に電力を供給する二つの３次巻線９３と、こ
れらの１次巻線９１、２次巻線９２および３次巻
線９３に共通の鉄心９６とを備えている。
なお、２次巻線９２および３次巻線９３の前記
のような数はあくまでも一例であり、それらの数
を幾らにするかとか、複数にする場合に定格（例
えば定格電圧、定格電流等）を互いに同じにする
か異ならせるか等は、例えば負荷となる機器の
数、容量、定格等に応じて決めれば良いのは勿論
である。
のような数はあくまでも一例であり、それらの数
を幾らにするかとか、複数にする場合に定格（例
えば定格電圧、定格電流等）を互いに同じにする
か異ならせるか等は、例えば負荷となる機器の
数、容量、定格等に応じて決めれば良いのは勿論
である。
１次巻線９１は少なくとも前述した低電圧の耐
圧を有しており、各２次巻線９２は少なくとも前
述した加速電圧Vaの耐圧を有しており、各３次
巻線９３は少なくとも前述した加速電圧Vaと引
出し電圧Veとの和（即ち、Va＋Ve）の耐圧を
有している。
圧を有しており、各２次巻線９２は少なくとも前
述した加速電圧Vaの耐圧を有しており、各３次
巻線９３は少なくとも前述した加速電圧Vaと引
出し電圧Veとの和（即ち、Va＋Ve）の耐圧を
有している。
１次巻線９１に印加される電圧は例えば200V
程度であり、各２次巻線９２の出力電圧は例えば
数十〜100V程度であり、各３次巻線９３の出力
電圧も例えば数十〜100V程度である。又、鉄心
９６及び各巻線９１〜９３間には、シールド板９
７〜９９が設けられている。そしてこれらの巻線
９１〜９３、鉄心９６等は、油入りの収納ケース
（図示省略）内に収納される。
程度であり、各２次巻線９２の出力電圧は例えば
数十〜100V程度であり、各３次巻線９３の出力
電圧も例えば数十〜100V程度である。又、鉄心
９６及び各巻線９１〜９３間には、シールド板９
７〜９９が設けられている。そしてこれらの巻線
９１〜９３、鉄心９６等は、油入りの収納ケース
（図示省略）内に収納される。
第２図は、第１図の絶縁変圧器を用いたイオン
注入装置の実施例を示す概略構成図である。前記
絶縁変圧器９は低電圧部２に設置されており、各
２次巻線９２はブツシング９４を通して引出され
て加速電位部４の各機器に接続されており、各３
次巻線９３はブツシング９５を通して引出され、
かつケーブル１０１によつてイオン源電位部６の
各機器に接続されている。
注入装置の実施例を示す概略構成図である。前記
絶縁変圧器９は低電圧部２に設置されており、各
２次巻線９２はブツシング９４を通して引出され
て加速電位部４の各機器に接続されており、各３
次巻線９３はブツシング９５を通して引出され、
かつケーブル１０１によつてイオン源電位部６の
各機器に接続されている。
従つてこのような絶縁変圧器９を用いれば、従
来のように加速電位部４に絶縁変圧器８を設置す
る必要が無くなり、加速電位部４の小形化及び軽
量化を図ることができる。又、支持碍子２４，２
５の強度もその分だけ下げることができる。更
に、絶縁変圧器が一台で済むため、イオン注入装
置の部品数が減ると共に組立作業工数も低減させ
ることができる。
来のように加速電位部４に絶縁変圧器８を設置す
る必要が無くなり、加速電位部４の小形化及び軽
量化を図ることができる。又、支持碍子２４，２
５の強度もその分だけ下げることができる。更
に、絶縁変圧器が一台で済むため、イオン注入装
置の部品数が減ると共に組立作業工数も低減させ
ることができる。
第３図は、絶縁変圧器の巻線の引出し部の他の
例を示す概略断面図である。第２図のような引出
し方とは別に、この図の様に、収納ケース１０３
に一本のブツシング１００を取り付け、その中を
各２次巻線９２のための引出し線１０２及び各３
次巻線９３のための絶縁された引出し線、例えば
ケーブル１０１を通すようにしてもよい。この場
合、ケーブル１０１は少なくとも前述した引出し
電圧Veの耐圧を有するものとする。このように
すると、巻線の引出し部が簡素化される。
例を示す概略断面図である。第２図のような引出
し方とは別に、この図の様に、収納ケース１０３
に一本のブツシング１００を取り付け、その中を
各２次巻線９２のための引出し線１０２及び各３
次巻線９３のための絶縁された引出し線、例えば
ケーブル１０１を通すようにしてもよい。この場
合、ケーブル１０１は少なくとも前述した引出し
電圧Veの耐圧を有するものとする。このように
すると、巻線の引出し部が簡素化される。
以上のようにこの考案によれば、従来のように
加速電位部に絶縁変圧器を設置する必要が無くな
るので、加速電位部の小形・軽量化を図ることが
できる。更に、絶縁変圧器が一台で済むため、当
該イオン注入装置の部品数及び組立作業工数の低
減をも図ることができる。
加速電位部に絶縁変圧器を設置する必要が無くな
るので、加速電位部の小形・軽量化を図ることが
できる。更に、絶縁変圧器が一台で済むため、当
該イオン注入装置の部品数及び組立作業工数の低
減をも図ることができる。
第１図は、この考案のイオン注入装置に用いて
いる絶縁変圧器の一例を示す記号図である。第２
図は、第１図の絶縁変圧器を用いたイオン注入装
置の実施例を示す概略構成図である。第３図は、
絶縁変圧器の巻線の引出し部の他の例を示す概略
断面図である。第４図は、イオン注入装置の構成
の一例を示す概略ブロツク図である。第５図は、
従来の絶縁変圧器を用いたイオン注入装置の概略
構成図である。第６図は、第５図の絶縁変圧器の
結線図である。 ２……低電圧部、４……加速電位部、６……イ
オン源電位部、９……絶縁変圧器、９１……１次
巻線、９２……２次巻線、９３……３次巻線、９
６……鉄心。
いる絶縁変圧器の一例を示す記号図である。第２
図は、第１図の絶縁変圧器を用いたイオン注入装
置の実施例を示す概略構成図である。第３図は、
絶縁変圧器の巻線の引出し部の他の例を示す概略
断面図である。第４図は、イオン注入装置の構成
の一例を示す概略ブロツク図である。第５図は、
従来の絶縁変圧器を用いたイオン注入装置の概略
構成図である。第６図は、第５図の絶縁変圧器の
結線図である。 ２……低電圧部、４……加速電位部、６……イ
オン源電位部、９……絶縁変圧器、９１……１次
巻線、９２……２次巻線、９３……３次巻線、９
６……鉄心。
Claims (1)
- 低電圧部と、この低電圧部から絶縁されて設け
られていて同低電圧部より高電位側にある加速電
位部と、この加速電位部から絶縁されて設けられ
ていて同加速電位部より更に高電位側にあるイオ
ン源電位部とを備えるイオン注入装置において、
前記低電圧部から電力が供給される１次巻線と、
前記加速電位部の機器に電力を供給するための２
次巻線と、前記イオン源電位部の機器に電力を供
給するための３次巻線と、これらの１次巻線、２
次巻線および３次巻線に共通の鉄心とを備える絶
縁変圧器を前記低電圧部に設置し、そしてこの絶
縁変圧器の２次巻線を前記加速電位部の機器に接
続し、３次巻線を前記イオン源電位部の機器に接
続していることを特徴とするイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18248184U JPH046184Y2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18248184U JPH046184Y2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6197820U JPS6197820U (ja) | 1986-06-23 |
| JPH046184Y2 true JPH046184Y2 (ja) | 1992-02-20 |
Family
ID=30740015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18248184U Expired JPH046184Y2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH046184Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4977563B2 (ja) * | 2007-09-06 | 2012-07-18 | ニチコン株式会社 | 三相乾式変圧器 |
-
1984
- 1984-11-30 JP JP18248184U patent/JPH046184Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6197820U (ja) | 1986-06-23 |
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