JP2599170Y2 - イオン注入装置 - Google Patents
イオン注入装置Info
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- JP2599170Y2 JP2599170Y2 JP1993072688U JP7268893U JP2599170Y2 JP 2599170 Y2 JP2599170 Y2 JP 2599170Y2 JP 1993072688 U JP1993072688 U JP 1993072688U JP 7268893 U JP7268893 U JP 7268893U JP 2599170 Y2 JP2599170 Y2 JP 2599170Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、イオン注入装置に関
し、より具体的には、その高電圧ボックスに印加される
加速電圧を測定する手段の改良に関する。
し、より具体的には、その高電圧ボックスに印加される
加速電圧を測定する手段の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、イオン注入装置の一例を部分的
に示す概略図であり、同様の構成が例えば実公平４−６
１８４号公報にも開示されている。
に示す概略図であり、同様の構成が例えば実公平４−６
１８４号公報にも開示されている。
【０００３】即ちこのイオン注入装置は、例えばイオン
源４、質量分析電磁石６、それら用の電源（図示省略）
等から成りイオンビーム５を発生させるイオンビーム発
生部２を備えており、これが箱状の高電圧ボックス８内
に収納されている。イオンビーム発生部２から引き出さ
れたイオンビーム５は、高電圧ボックス８と大地電位部
との間に設けられた加速管１２によって加速された後、
図示しないターゲットに導かれてイオン注入が行われ
る。
源４、質量分析電磁石６、それら用の電源（図示省略）
等から成りイオンビーム５を発生させるイオンビーム発
生部２を備えており、これが箱状の高電圧ボックス８内
に収納されている。イオンビーム発生部２から引き出さ
れたイオンビーム５は、高電圧ボックス８と大地電位部
との間に設けられた加速管１２によって加速された後、
図示しないターゲットに導かれてイオン注入が行われ
る。
【０００４】そのため、この高電圧ボックス８には、加
速電源１４によって、大地電位部から高圧（例えば数百
ＫＶ）の加速電圧Ｖａが印加される。この高電圧ボック
ス８は、複数本の支持碍子１０によって、その下の大地
電位部から絶縁された状態で支持されている。
速電源１４によって、大地電位部から高圧（例えば数百
ＫＶ）の加速電圧Ｖａが印加される。この高電圧ボック
ス８は、複数本の支持碍子１０によって、その下の大地
電位部から絶縁された状態で支持されている。
【０００５】また、大地電位部から、高電圧ボックス８
内のイオンビーム発生部２を構成する機器に電力（例え
ば数十Ｖ〜数百Ｖの電力）を供給するため、大地電位部
に絶縁変圧器２０が接地されている。２２はそのブッシ
ングである。
内のイオンビーム発生部２を構成する機器に電力（例え
ば数十Ｖ〜数百Ｖの電力）を供給するため、大地電位部
に絶縁変圧器２０が接地されている。２２はそのブッシ
ングである。
【０００６】
【考案が解決しようとする課題】上記のようなイオン注
入装置において、高電圧ボックス８ひいては加速管１２
に印加される加速電圧Ｖａは、加速電源１４に設けられ
ている電圧計１６によって測定することができるけれど
も、この加速電圧Ｖａは注入条件の内の重要なパラメー
タであるため、加速電源１４の電圧計１６以外にそれと
は独立した手段で加速電圧Ｖａを測定し、測定の正確を
期する必要がある。例えば、二つの測定器を比較して、
インターロックを取ること等を行う必要がある。
入装置において、高電圧ボックス８ひいては加速管１２
に印加される加速電圧Ｖａは、加速電源１４に設けられ
ている電圧計１６によって測定することができるけれど
も、この加速電圧Ｖａは注入条件の内の重要なパラメー
タであるため、加速電源１４の電圧計１６以外にそれと
は独立した手段で加速電圧Ｖａを測定し、測定の正確を
期する必要がある。例えば、二つの測定器を比較して、
インターロックを取ること等を行う必要がある。
【０００７】しかし、加速電圧Ｖａは例えば数百ＫＶと
いう非常に高電圧であるので、それを加速電源１４以外
の箇所で測定することは、大地電位部との間の絶縁破壊
を防止しつつ、高電圧の加速電圧Ｖａをうまく低圧に分
圧しなければならず、そのためには大きなブッシングや
多数の分圧抵抗等が必要になってコストが嵩むと共に、
大きなスペースが必要となるという問題がある。
いう非常に高電圧であるので、それを加速電源１４以外
の箇所で測定することは、大地電位部との間の絶縁破壊
を防止しつつ、高電圧の加速電圧Ｖａをうまく低圧に分
圧しなければならず、そのためには大きなブッシングや
多数の分圧抵抗等が必要になってコストが嵩むと共に、
大きなスペースが必要となるという問題がある。
【０００８】そこでこの考案は、高電圧ボックスに印加
される加速電圧を加速電源以外の箇所で測定することで
き、しかも省スペースおよび低コスト化を実現すること
ができるようにしたイオン注入装置を提供することを主
たる目的とする。
される加速電圧を加速電源以外の箇所で測定することで
き、しかも省スペースおよび低コスト化を実現すること
ができるようにしたイオン注入装置を提供することを主
たる目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に種々検討したところ、前述したような絶縁変圧器内に
は、通常は、その大地電位部側と高電圧ボックス側との
間に、互いに直列接続された多数の放電抵抗が設けられ
ていることが分かった。
に種々検討したところ、前述したような絶縁変圧器内に
は、通常は、その大地電位部側と高電圧ボックス側との
間に、互いに直列接続された多数の放電抵抗が設けられ
ていることが分かった。
【００１０】そこでこの考案は、この絶縁変圧器に、そ
の内部の放電抵抗の内で大地電位部側に近いものにつな
がる中間端子を設け、この中間端子と大地電位部との間
に、当該絶縁変圧器内の放電抵抗と協働して前記加速電
圧を分圧して低圧の計測用電圧を出力する計測用抵抗器
を接続し、更に同中間端子と大地電位部との間に避雷装
置を設けたことを特徴とする。
の内部の放電抵抗の内で大地電位部側に近いものにつな
がる中間端子を設け、この中間端子と大地電位部との間
に、当該絶縁変圧器内の放電抵抗と協働して前記加速電
圧を分圧して低圧の計測用電圧を出力する計測用抵抗器
を接続し、更に同中間端子と大地電位部との間に避雷装
置を設けたことを特徴とする。
【００１１】
【作用】上記構成によれば、絶縁変圧器内に元々設けら
れている放電抵抗と新たに設けた計測用抵抗器との協働
によって、加速電圧を分圧した低圧の計測用電圧が得ら
れる。この計測用電圧によって、高電圧ボックスに印加
される加速電圧を、加速電源以外の箇所で測定すること
ができる。
れている放電抵抗と新たに設けた計測用抵抗器との協働
によって、加速電圧を分圧した低圧の計測用電圧が得ら
れる。この計測用電圧によって、高電圧ボックスに印加
される加速電圧を、加速電源以外の箇所で測定すること
ができる。
【００１２】しかも、絶縁変圧器内に元々設けられてい
る放電抵抗を分圧抵抗に兼用しており、計測用の多数の
分圧抵抗を設けなくて済む。また、中間端子に出力され
る電圧は加速電圧を低圧に分圧した電圧であるため、中
間端子の部分に大きなブッシングは必要ない。避雷装置
も小形のもので済む。従って、省スペースおよび低コス
ト化を実現することができる。
る放電抵抗を分圧抵抗に兼用しており、計測用の多数の
分圧抵抗を設けなくて済む。また、中間端子に出力され
る電圧は加速電圧を低圧に分圧した電圧であるため、中
間端子の部分に大きなブッシングは必要ない。避雷装置
も小形のもので済む。従って、省スペースおよび低コス
ト化を実現することができる。
【００１３】
【実施例】図１は、この考案に係るイオン注入装置を構
成する絶縁変圧器周りの回路の一例を示す図である。イ
オン注入装置としての構成は、例えば先に図２で説明し
たものと同様であるので、それを参照するものとする。
成する絶縁変圧器周りの回路の一例を示す図である。イ
オン注入装置としての構成は、例えば先に図２で説明し
たものと同様であるので、それを参照するものとする。
【００１４】前述した絶縁変圧器２０は、例えばこの図
１に示すような構成をしている。
１に示すような構成をしている。
【００１５】即ちこの絶縁変圧器２０は、大地電位部か
ら電力が供給される一次巻線２６と、前述した高電圧ボ
ックス８内の機器に電力を供給するこの例では三つの二
次巻線２８と、これらの巻線が巻かれている鉄心２４と
を備えている。一次巻線２６には、端子３６が接続され
ており、各二次巻線２８には端子３８がそれぞれ接続さ
れている。端子３８は前述したブッシング２２内に出て
いる。一次巻線２６に印加される電圧は例えば２００Ｖ
程度であり、各二次巻線２８から出力される電圧は例え
ば数十Ｖ〜数百Ｖ程度である。
ら電力が供給される一次巻線２６と、前述した高電圧ボ
ックス８内の機器に電力を供給するこの例では三つの二
次巻線２８と、これらの巻線が巻かれている鉄心２４と
を備えている。一次巻線２６には、端子３６が接続され
ており、各二次巻線２８には端子３８がそれぞれ接続さ
れている。端子３８は前述したブッシング２２内に出て
いる。一次巻線２６に印加される電圧は例えば２００Ｖ
程度であり、各二次巻線２８から出力される電圧は例え
ば数十Ｖ〜数百Ｖ程度である。
【００１６】鉄心２４と一次巻線２６および二次巻線２
８との間には、シールド板３０および３２がそれぞれ設
けられており、シールド板３０は端子４０を介して接地
され、シールド板３２は端子４２を介して高電圧ボック
ス８に接続されている。
８との間には、シールド板３０および３２がそれぞれ設
けられており、シールド板３０は端子４０を介して接地
され、シールド板３２は端子４２を介して高電圧ボック
ス８に接続されている。
【００１７】この大地電位部側のシールド板３０と高電
圧ボックス８側のシールド板３２との間には、高電圧ボ
ックス８に印加する加速電圧Ｖａを切ったときに両シー
ルド板３０、３２間の残留電荷を速やかに放電させるた
めに、互いに直列接続された多数の放電抵抗３４が接続
されている。より具体的には、この例の絶縁変圧器２０
は加速電圧Ｖａの最大値が５００ＫＶ用のものであり、
各放電抵抗３４の抵抗値は２０ＭΩであり、それが２５
０本直列に接続されている。
圧ボックス８側のシールド板３２との間には、高電圧ボ
ックス８に印加する加速電圧Ｖａを切ったときに両シー
ルド板３０、３２間の残留電荷を速やかに放電させるた
めに、互いに直列接続された多数の放電抵抗３４が接続
されている。より具体的には、この例の絶縁変圧器２０
は加速電圧Ｖａの最大値が５００ＫＶ用のものであり、
各放電抵抗３４の抵抗値は２０ＭΩであり、それが２５
０本直列に接続されている。
【００１８】このように多数の放電抵抗３４を直列接続
しているのは、加速電圧Ｖａが非常に高電圧であり、抵
抗値を大きくして加速電圧Ｖａの印加時に放電抵抗３４
に流れる電流を小さくするためであるが、その場合、一
個の放電抵抗３４で非常に大きな抵抗値（例えば５００
０ＭΩ）を得ることは不可能である等の理由による。
しているのは、加速電圧Ｖａが非常に高電圧であり、抵
抗値を大きくして加速電圧Ｖａの印加時に放電抵抗３４
に流れる電流を小さくするためであるが、その場合、一
個の放電抵抗３４で非常に大きな抵抗値（例えば５００
０ＭΩ）を得ることは不可能である等の理由による。
【００１９】そして、この実施例では、このような絶縁
変圧器２０に、その内部の放電抵抗３４の内で最も大地
電位部側のものとその一つ上のものとの接続部３５につ
ながる中間端子４４を設けている。
変圧器２０に、その内部の放電抵抗３４の内で最も大地
電位部側のものとその一つ上のものとの接続部３５につ
ながる中間端子４４を設けている。
【００２０】かつ、この絶縁変圧器２０外において、こ
の中間端子４４と大地電位部との間に、内部の放電抵抗
３４と協働して加速電圧Ｖａを分圧して低圧の計測用電
圧Ｖｍを出力する計測用抵抗器４６を、この実施例では
可変抵抗器４８を直列に介して設けている。５０および
５２は出力端子である。計測用端子４６の抵抗値はこの
例では４９ＫΩであり、可変抵抗器４８の最大抵抗値は
この例では１ＫΩである。
の中間端子４４と大地電位部との間に、内部の放電抵抗
３４と協働して加速電圧Ｖａを分圧して低圧の計測用電
圧Ｖｍを出力する計測用抵抗器４６を、この実施例では
可変抵抗器４８を直列に介して設けている。５０および
５２は出力端子である。計測用端子４６の抵抗値はこの
例では４９ＫΩであり、可変抵抗器４８の最大抵抗値は
この例では１ＫΩである。
【００２１】このようにすれば、加速電圧Ｖａが５００
ＫＶ、放電抵抗３４が前述したように２０ＭΩで２５０
本の場合、中間端子４４に流れる電流Ｉは１００．４μ
Ａとなり、出力端子５０、５２間に得られる計測用電圧
Ｖｍは５Ｖとなる。即ち、加速電圧Ｖａを１／１０００
００に分圧することができる。可変抵抗器４８は、計測
用電圧Ｖｍの微調整用のものである。
ＫＶ、放電抵抗３４が前述したように２０ＭΩで２５０
本の場合、中間端子４４に流れる電流Ｉは１００．４μ
Ａとなり、出力端子５０、５２間に得られる計測用電圧
Ｖｍは５Ｖとなる。即ち、加速電圧Ｖａを１／１０００
００に分圧することができる。可変抵抗器４８は、計測
用電圧Ｖｍの微調整用のものである。
【００２２】このようにして得られる計測用電圧Ｖｍに
よって、高電圧ボックス８に印加される加速電圧Ｖａ
を、前述した加速電源１４以外の箇所で測定することが
できる。従って、この計測用電圧Ｖｍを、例えば前述し
たインターロック等の保護用に用いることができる。
よって、高電圧ボックス８に印加される加速電圧Ｖａ
を、前述した加速電源１４以外の箇所で測定することが
できる。従って、この計測用電圧Ｖｍを、例えば前述し
たインターロック等の保護用に用いることができる。
【００２３】更にここでは、中間端子４４と大地電位部
との間に避雷装置５４を設けている。この避雷装置５４
は、例えば放電ギャップであるが、その他、非直線抵抗
形避雷器等でも良い。この避雷装置５４によって、何ら
かの異常、例えば計測用抵抗器４６または可変抵抗器４
８の断線によって、出力端子５０に出力される電圧が異
常に上昇するのを防止することができる。この避雷装置
５４の保護開始電圧は、出力端子５０につながる回路や
機器の耐圧に応じたものに、より具体的には当該耐圧以
下にすれば良い。
との間に避雷装置５４を設けている。この避雷装置５４
は、例えば放電ギャップであるが、その他、非直線抵抗
形避雷器等でも良い。この避雷装置５４によって、何ら
かの異常、例えば計測用抵抗器４６または可変抵抗器４
８の断線によって、出力端子５０に出力される電圧が異
常に上昇するのを防止することができる。この避雷装置
５４の保護開始電圧は、出力端子５０につながる回路や
機器の耐圧に応じたものに、より具体的には当該耐圧以
下にすれば良い。
【００２４】以上のようにこのイオン注入装置では、絶
縁変圧器２０内に元々設けられている放電抵抗３４を分
圧抵抗に兼用しており、計測用の多数の分圧抵抗を設け
なくて済む。また、中間端子４４に出力される電圧は加
速電圧Ｖａを低圧に分圧した電圧であるため、より具体
的にはこの実施例では５Ｖ程度であるので、中間端子４
４の部分に大きなブッシングは必要ない。避雷装置５４
も小形のもので済む。従って、省スペースおよび低コス
ト化を実現することができる。
縁変圧器２０内に元々設けられている放電抵抗３４を分
圧抵抗に兼用しており、計測用の多数の分圧抵抗を設け
なくて済む。また、中間端子４４に出力される電圧は加
速電圧Ｖａを低圧に分圧した電圧であるため、より具体
的にはこの実施例では５Ｖ程度であるので、中間端子４
４の部分に大きなブッシングは必要ない。避雷装置５４
も小形のもので済む。従って、省スペースおよび低コス
ト化を実現することができる。
【００２５】なお、絶縁変圧器２０の巻線の結線の仕方
や構成は図１に示したようなものに限られるものではな
い。
や構成は図１に示したようなものに限られるものではな
い。
【００２６】
【考案の効果】以上のようにこの考案によれば、絶縁変
圧器内に元々設けられている放電抵抗と新たに設けた計
測用抵抗器との協働によって、加速電圧を分圧した低圧
の計測用電圧を得ることができ、それによって、高電圧
ボックスに印加される加速電圧を、加速電源以外の箇所
で測定することができる。
圧器内に元々設けられている放電抵抗と新たに設けた計
測用抵抗器との協働によって、加速電圧を分圧した低圧
の計測用電圧を得ることができ、それによって、高電圧
ボックスに印加される加速電圧を、加速電源以外の箇所
で測定することができる。
【００２７】しかも、絶縁変圧器内に元々設けられてい
る放電抵抗を分圧抵抗に兼用しており、計測用の多数の
分圧抵抗を設けなくて済むので、かつ中間端子に出力さ
れる電圧は加速電圧を低圧に分圧した電圧であるため中
間端子の部分に大きなブッシングは必要なく、また避雷
装置も小形のもので済むので、省スペースおよび低コス
ト化を実現することができる。
る放電抵抗を分圧抵抗に兼用しており、計測用の多数の
分圧抵抗を設けなくて済むので、かつ中間端子に出力さ
れる電圧は加速電圧を低圧に分圧した電圧であるため中
間端子の部分に大きなブッシングは必要なく、また避雷
装置も小形のもので済むので、省スペースおよび低コス
ト化を実現することができる。
【図１】この考案に係るイオン注入装置を構成する絶縁
変圧器周りの回路の一例を示す図である。
変圧器周りの回路の一例を示す図である。
【図２】イオン注入装置の一例を部分的に示す概略図で
ある。
ある。
２ イオンビーム発生部 ５ イオンビーム ８ 高電圧ボックス １０ 支持碍子 １２ 加速管 １４ 加速電源 ２０ 絶縁変圧器 ３０，３２ シールド板 ３４ 放電抵抗 ４４ 中間端子 ４６ 計測用抵抗器 ４８ 可変抵抗器 ５４ 避雷装置
Claims (1)
- 【請求項１】 イオンビームを発生させるイオンビーム
発生部と、このイオンビーム発生部を収納する高電圧ボ
ックスと、この高電圧ボックスを大地電位部から支持す
る複数本の支持碍子と、この高電圧ボックスと大地電位
部との間に設けられていてイオンビーム発生部からのイ
オンビームを加速する加速管と、前記高電圧ボックスに
大地電位部から高圧の加速電圧を印加する加速電源と、
前記高電圧ボックス内の機器に大地電位部から電流を供
給する絶縁変圧器であって、その内部において大地電位
部側と高電圧ボックス側との間に、互いに直列接続され
た多数の放電抵抗を有するものとを備えるイオン注入装
置において、前記絶縁変圧器に、その内部の放電抵抗の
内で大地電位部側に近いものにつながる中間端子を設
け、この中間端子と大地電位部との間に、当該絶縁変圧
器内の放電抵抗と協働して前記加速電圧を分圧して低圧
の計測用電圧を出力する計測用抵抗器を接続し、更に同
中間端子と大地電位部との間に避雷装置を設けたことを
特徴とするイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993072688U JP2599170Y2 (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | イオン注入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993072688U JP2599170Y2 (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | イオン注入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0741960U JPH0741960U (ja) | 1995-07-21 |
| JP2599170Y2 true JP2599170Y2 (ja) | 1999-08-30 |
Family
ID=13496566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993072688U Expired - Fee Related JP2599170Y2 (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | イオン注入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2599170Y2 (ja) |
-
1993
- 1993-12-17 JP JP1993072688U patent/JP2599170Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0741960U (ja) | 1995-07-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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