JPH0459938U - - Google Patents
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- JPH0459938U JPH0459938U JP10249490U JP10249490U JPH0459938U JP H0459938 U JPH0459938 U JP H0459938U JP 10249490 U JP10249490 U JP 10249490U JP 10249490 U JP10249490 U JP 10249490U JP H0459938 U JPH0459938 U JP H0459938U
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- Japan
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- nozzle
- substrate
- organic resist
- resist
- discharging
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- 238000001035 drying Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の断面図である。
１……スピンナー、２……基板、３……紫外線
ランプ、４……現像液吐出用ノズル、５……純水
吐出用ノズル、６……窒素吐出用ノズル。
ランプ、４……現像液吐出用ノズル、５……純水
吐出用ノズル、６……窒素吐出用ノズル。
Claims (1)
- 基板を保持して回転するスピンナーと、前記基
板の表面に塗布された有機レジストを感光させる
紫外線ランプと、感光した前記有機レジストを現
像するアルカリ現像液を吐出するノズルと、現像
されて溶解した前記有機レジストを洗浄する純水
を吐出するノズルと、前記基板を乾燥するための
窒素を吐出するノズルとを備えることを特徴とす
るレジスト剥離装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10249490U JPH0459938U (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10249490U JPH0459938U (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0459938U true JPH0459938U (ja) | 1992-05-22 |
Family
ID=31846792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10249490U Pending JPH0459938U (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0459938U (ja) |
-
1990
- 1990-09-28 JP JP10249490U patent/JPH0459938U/ja active Pending
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