JPS6094661U - レジスト塗布装置 - Google Patents

レジスト塗布装置

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JPS6094661U
JPS6094661U JP18594583U JP18594583U JPS6094661U JP S6094661 U JPS6094661 U JP S6094661U JP 18594583 U JP18594583 U JP 18594583U JP 18594583 U JP18594583 U JP 18594583U JP S6094661 U JPS6094661 U JP S6094661U
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JP
Japan
Prior art keywords
resist coating
substrate
fixing means
coating equipment
substrate fixing
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Pending
Application number
JP18594583U
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English (en)
Inventor
悟 和田
Original Assignee
株式会社リコー
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のレジスト塗布装置を表わす断面図、第２
図Ａ及びＢは第１図の装置によりレジスト塗布を行な？
た基板を表わす平面図及びエツジ部断面図、第３図は本
考案の一実施例を表わす断面図、第４図Ａ及びＢは第３
図の装置によりレジネト塗布を行なった基板を表わす平
面図及び断面図である。 ２・・・回転軸、３・・・基板、４・・・基板固着板、
５・・・レジスト溶剤用ノズル、１０・・・光ファイバ
ー、１１・・・光源、１２・・・現像液用ノズル、１３
・・・洗浄水用ノズル。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 回転軸の上端に基板固着手段を有し、該基板固着手段の
    上方にレジスト溶液滴下用のノズルを備えたスピンナ方
    式のレジスト塗布装置において、前記基板固着手段に固
    着される基板の上方に、その基板エツジ部を露光する手
    段と、露光された基板エツジ部上のレジストを現像する
    手段とを備えたことを特徴とするレジスト塗布装置。
JP18594583U 1983-12-01 1983-12-01 レジスト塗布装置 Pending JPS6094661U (ja)

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JP18594583U JPS6094661U (ja) 1983-12-01 1983-12-01 レジスト塗布装置

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JPS6094661U true JPS6094661U (ja) 1985-06-27

Family

ID=30401770

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