JPH0459135U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0459135U JPH0459135U JP10038190U JP10038190U JPH0459135U JP H0459135 U JPH0459135 U JP H0459135U JP 10038190 U JP10038190 U JP 10038190U JP 10038190 U JP10038190 U JP 10038190U JP H0459135 U JPH0459135 U JP H0459135U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- semiconductor wafer
- liquid processing
- processing
- processing apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
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- Weting (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例に係る液処理装置の
一部破断斜視図、第2図イ,ロは何れも同実施例
の液処理装置による液処理状態を示す第1図A−
A線に沿つた要部断面図、第3図は本考案の他例
を示す要部断面図、第4図は従来の液処理装置の
要部断面図である。 100……キヤリア、101……液処理槽、1
……回転ローラ、6……駆動部、W……半導体ウ
エーハ。
一部破断斜視図、第2図イ,ロは何れも同実施例
の液処理装置による液処理状態を示す第1図A−
A線に沿つた要部断面図、第3図は本考案の他例
を示す要部断面図、第4図は従来の液処理装置の
要部断面図である。 100……キヤリア、101……液処理槽、1
……回転ローラ、6……駆動部、W……半導体ウ
エーハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエーハを搭載したキヤリアを処理液の
充填された液処理槽内に浸漬して前記半導体ウエ
ーハに液処理を施す液処理装置において、 外部の駆動部と、処理液槽内に浸漬されたキヤ
リア内の半導体ウエーハに当接離反自在で上記駆
動部に連結されて回動自在となつた回転ローラと
を具備したことを特徴とする液処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10038190U JPH0459135U (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10038190U JPH0459135U (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0459135U true JPH0459135U (ja) | 1992-05-21 |
Family
ID=31842989
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10038190U Pending JPH0459135U (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0459135U (ja) |
-
1990
- 1990-09-25 JP JP10038190U patent/JPH0459135U/ja active Pending