JPH0455776A - 論理集積回路の故障診断装置 - Google Patents

論理集積回路の故障診断装置

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JPH0455776A
JPH0455776A JP2167293A JP16729390A JPH0455776A JP H0455776 A JPH0455776 A JP H0455776A JP 2167293 A JP2167293 A JP 2167293A JP 16729390 A JP16729390 A JP 16729390A JP H0455776 A JPH0455776 A JP H0455776A
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JP
Japan
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fault
tester
logic
expected value
general
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JP2167293A
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English (en)
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Hidetaka Okamoto
岡本 秀孝
Kiyoshi Matsumoto
清 松本
Takako Ishihara
隆子 石原
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ディジタル集積回路のテストにおいて、故障
回路部分を検出及び指摘する論理集積回路の故障診断装
置に関するものである。
〔従来の技術〕
故障診断を行う手法の一つとして、前もって故障シミュ
レーションを実施して故障辞書を作成し、汎用テスタの
測定結果(フェイルリスト)との照合を通して、故障箇
所を特定する方法が用いられてきた。故障辞書を用いる
手法については例えば可児賢二他著“超LSI  CA
Dの基礎”(オーム社1983年)に記述されている。
故障シミュレーションに要する計算機時間と故障辞書の
ファイル量は被試験回路のゲート規模が大きいと莫大に
なる。また、故障シミュレーションは単一縮退故障を前
提としてシミュレーションしているため、実際に多い多
重故障やブリッジ故障等については測定データと故障辞
書との対応がとれないので、これらの故障回路部分を指
摘できないという問題がある。
また、故障診断に内部配線電位の観測できる電子ビーム
テスタ(以下EBテスタという。)が最近使用されてき
ている。しかし、EBテスタではl配線にプローブし波
形を採取するのに要する時間が1分程度と長く、このプ
ローブを故障源と推定される配線に到達するまで波形を
採取する必要があるため、現状では汎用テスタと比べて
比較にならないほど測定時間が長いという問題がある。
また、設計者が汎用テスタでの測定結果から故障箇所を
推定し、EBテスタを用いて確認するという手法を用い
ているため、推定した結果がEBテスタで得られた結果
と一致するまで、推定とEBテスタによる評価を繰り返
す必要があるため、診断期間の長期化という問題がある
〔発明が解決しようとする課題〕
上述したように、従来の故障シミュレーションを実施し
た際に作成される故障辞書を用いた故障診断手法では、
対象としている故障モデルが単一縮退故障であるため非
現実的であり、また、故障辞書のファイルがぼう大なた
め測定結果と照合をとるにも時間がかかるといった問題
がある。
本発明の目的は、故障モデルとして単一縮退故障以外に
多重故障、ブリッジ故障、デイレイ故障等を扱え、かつ
時間のかかる故障シミュレーションを前もって実施する
必要や、ぼう大な故障辞書との照合を必要としない故障
診断の手段を提供し、故障診断に要する工数を大幅に削
減することである。
〔課題を解決するための手段〕
故障シミュレーションで、単一縮退故障だけでなく多重
故障やブリッジ故障を扱うことは可能であるが、回路全
体を故障シミュレーションするには扱う故障数が単一縮
退故障の場合と比較して何倍にも増加し、計算機時間を
考慮すると非現実的である。
そこで、測定結果(フェイルリスト)をもとに、設計者
が原因となる故障を推定し、この被疑対象故障を反映さ
せた論理シミュレーションから期待値を求める手段、及
び得られた期待値と測定結果との照合をとり、仮定した
故障が正解か否か判定する手段を用いて故障診断を可能
とする。
本発明は上記の目的を達成するため、第1の発明は被試
験対象の論理集積回路の機能を試験する汎用テスタの測
定結果と、あらかじめ設定した論理シミュレーションを
照合して該論理集積回路の故障を診断する論理集積回路
の故障診断装置において、汎用テスタの測定結果をもと
に被疑故障を測定した論理シミュレーション結果から期
待値を求める手段と、前記期待値を求める手段により得
られた期待値と汎用テスタの測定結果の情報との照合を
実施する手段を備えてなることを特徴とする。
また第2の発明は、被試験対象の論理集積回路の機能を
試験する汎用テスタの測定結果と、あらかじめ設定した
論理シミュレーションを照合して該論理集積回路の故障
を診断する論理集積回路の故障診断装置において、汎用
テスタの測定結果をもとに被疑故障を測定した論理シミ
ュレーション結果から期待値を求める手段と、前記期待
値を求める手段により得られた期待値と汎用テスタの測
定結果の情報との照合を実施する手段と、前記推定され
る故障の種類と推定される箇所をCRTの画面上に表示
される論理回路図上あるいはレイアウト図上の両方また
はどちらか一方で設定する手段を備えてなることを特徴
とする。
〔作  用〕
本発明により、汎用テスタの測定結果(フェイルリスト
)から被疑故障を推定することで、対象となる被疑故障
の数が大幅に削減できると共に、被疑故障を含めた論理
回路の動作を論理シミュレーションで求め、その結果と
前述した汎用テスタの測定結果(フェイルリスト)との
照合をとり、推定した被疑故障がフェイルの要因となる
のか否かチエツクすることで故障診断が可能となる。
なお推定した被疑故障を仮定して論理シミュレーション
を実行した結果と、汎用テスタの測定結果だけでなくE
Bテスタまたはレーザビームテスタまたは金属針等での
測定結果との比較照合を実施する手段により故障診断を
行うことも有効であり、本発明による故障診断の一態様
に含まれ、EBテスタを用いると論理回路の内部電位が
わかる。そこで、推定した被疑故障を仮定した論理シミ
ュレーションで論理回路内部動作をあらかじめもとめて
メモリにストアしておき、EBテスタの測定結果との比
較照合を実施すれば、推定した被疑故障がフェイルの要
因か否かより確実に判定できることになる。
また推定した被疑故障が故障の原因と推定された時、そ
れを検証するためにEBテスタまたはレーザビームテス
タまたは金属針等のプローブ手段を使用することも効果
的で、本発明による故障診断の一態様に含まれ、推定し
た被疑故障がフェイルの要因と判定された時、推定した
被疑故障が真の要因であるか否かをEBテスタを用いて
内部配線電位を測定することで検証する。
さらに汎用テスタの測定結果(フェイルリスト等)を参
照して被疑故障を設計者が推定し、CRTの画面上に表
示される論理回路図上でスタック故障、ブリッジ故障、
あるいはオープン故障等の被疑箇所の設定、及びそれに
対応した論理接続データの修正を容易化することができ
る。以下図面にもとづき実施例について説明する。
〔実 施 例〕
第1図は本発明の論理集積回路の故障診断装置の実施例
のハードウェアの全体構成図である。図において102
は被試験対象であるLSIが仕様通りの機能を有してい
るか否かテストする汎用L81テスタ、103は被試験
対象であるLSIの配線の電位情報を収集するための電
子ビームテスタ、104は被試験対象LSIにテストバ
タンを印加すると共に同期信号を電子ビームテスタに供
給するバタンジェネレータ、105はLSIの論理接続
情報とレイアウト情報とを有する設計データベース、1
06はLSIに印加するテストバタンと汎用テスタの測
定データと電子ビームテスタの測定データとを有するテ
ストデータベース、101は設計データベース105及
びテストデータベースを用いた各種データ処理、汎用テ
スタへのテストバタンの転送と測定データの収集、電子
ビームテスタへの電子ビーム照射位置データの転送と測
定データの収集、バタンジェネレータへのテストパタン
の転送を行うホストコンピュータ、107はホストコン
ピュータ101の制御及びデータ表示等を行う端末であ
る。
第2図は本発明による故障診断の第一の実施例のフロー
チャートを示している。図において1は論理接続データ
、2はCADシステムのテストバタン生成システム、3
はテストバタン、4は汎用テスタによる試験、5は汎用
テスタによる測定データ、6は故障があるか否かの故障
検出の判定、7は被疑故障箇所の設定、8は論理シミュ
レーション、9はLSIの出力と比較するための期待値
データ、10は汎用テスタの測定データ5と期待値デー
タ9との比較照合、11はフェイルの要因か否かの判定
、12はフェイルの要因であればストア、13は測定デ
ータと全て対応がつくかの判定、14及び15は終了、
16は変更した論理接続データである。故障診断の手順
についてこれをもとに説明する。
LSIが仕様通りに設計及び製造されているか否かをチ
エツクするためのテストバタンをCADシステムのテス
トバタン生成を用いて論理接続データをもとに生成する
。生成されたテストパタンを用いて汎用テスタによるテ
ストを実施して仕様通りか判定する。仕様通りでなけれ
ばどこかに故障があることになる。この故障箇所を見つ
けることが故障診断である。
汎用テスタによるテストでは、測定データとしてLSI
の出力とあらかじめ求めておいたLSIの期待値との対
応を調べ、テストパタンのどの箇所でフェイルしたかの
情報であるエラーのフェイルリスト等が得られる。得ら
れたエラーのフェイルリスト等をもとに、設計者は故障
の原因となるゲートや状態が推定できることが多い。従
ってこの推定を有効に活用することが故障診断工数削減
の近道である。設計者が推定した結果を反映できる手段
と、推定した結果が正しいか否かを検証するための手段
を用意することである。
フローチャートに示すように被疑故障箇所及び状態の設
定を行い、これに対応した論理接続データの変更後、汎
用テスタのテストで用いたテストパタンの入力バタンで
論理シミュレーションを実施する。この論理シミュレー
ションの結果をもとに、汎用テスタからLSIへ入力バ
タンを印加した時の応答をチエツクする期待値データを
作成しておき、先に汎用テスタで測定した測定データと
比較照合をする。LSIの論理接続データのみが変更さ
れ、LSIに印加する入力バタンは変更されていない。
従って、設定した被疑故障が原因であるならば、被疑故
障を仮定した論理シミュレーションから得た期待値デー
タと測定データとは−致するはずである。原因が1つで
あるならば、完全に期待値データと測定データとが一致
するはずである。しかし、多重故障であれば完全に一致
するわけではないが、フェイルリスト上のフェイルの個
数が減少すれば、要因の1つと考えられるので1要因と
してメモリにストアしておく。完全に一致しなければ他
にも要因があるはずであるから、他に考えられる故障の
候補について先に述べた被疑故障の設定、被疑故障を設
定した論理シミュレーション、比較照合等を実施して、
測定データと被疑故障を仮定して論理シミュレーション
して得られた結果と全て一致し説明がつくまで実行する
第3図に本発明による故障診断の第二の実施例のフロー
チャートを示す。第2図の実施例では汎用テスタによる
テスト結果のみを用いていたが、本実施例ではEBテス
タを故障診断に利用する方法を示したものである。故障
検出までのフローは第2図と同様なので省略し、その後
の故障診断のフローについて示したものである。第3図
において、21は被試験対象LSIの被疑故障エリアの
設定、22は論理接続データ、23はテストパタン、2
4は論理接続データ22とテストパタン23をもとにし
た論理シミュレーション、25は被試験対象LSIの被
疑故障エリアに対するEBテスタによるテスト、26は
被試験対象LSrの内部配線電位期待値、27はEBテ
スタによる測定データ、28はEBテスタによる測定デ
ータ27と被試験対象LSIの内部配線電位期待値26
との比較、29はEBテスタによる測定データ27と被
試験対象LSIの内部配線電位期待値26との比較によ
って得られたフェイルリスト、30は被疑故障の設定、
3Iは変更した論理接続データ、32は論理シミュレー
ション、33は被疑故障を設定した論理シミュレーショ
ン32によって得られた内部配線電位期待値、34はE
Bテスタによる測定データ27と被疑故障を設定した論
理シミュレーション32によって得られた内部配線電位
期待値33との比較、35はEBテスタによる測定デー
タ27と被疑故障を設定した論理シミュレーションによ
って得られた内部配線電位期待値33との比較によって
得られたフェイルリスト、36はEBテスタによる測定
データ27と被試験対象LSIの内部配線電位期待値2
6との比較によって得られたフェイルリスト29とEB
テスタによる測定データ27と被疑故障を設定した論理
シミュレーションによって得られた内部配線電位期待値
33との比較によって得られたフェイルリスト35との
照合、37はフェイルが減少したか否かの判定、38は
要因の1つとしてストア、39は測定データと全て対応
がつくか否かの判定、40は終了、41は被試験対象L
SIのレイアウトデータである。
第3図の故障診断のフローをもとに以下に故障診断の手
順を述べる。EBテスタでは1配線当りの波形データの
採取に時間を要するため、チップ内の全配線をテストす
るには長大な時間を要することを考慮して、汎用テスタ
の測定結果から被疑故障エリアを絞り込む。絞り込んだ
被疑故障エリアに対し、レイアウトデータ及び論理接続
データをもとに、テストパタンを印加しEBテスタを用
いて内部配線電位の測定データを収集する。あらかじめ
論理接続データと入力テストバタンから論理シミュレー
ションを実施して得た内部配線電位の期待値とEBテス
タによって得られた内部配線電位の測定データと比較し
フェイルリストを作成する。
この内部配線電位の一致、不一致のフェイルリストの情
報をもとに被疑故障の箇所及び状態の設定を行う。設定
した被疑故障に対応した論理接続データの変更を行い、
これと入力テストバタンから再度論理シミュレーション
を実施して、被疑故障を設定した場合の内部配線電位期
待値を求める。この期待値とEBテスタによって得られ
た測定データからフェイルリストを作成する。被疑故障
を設定した場合と設定しない場合のフェイルリストを比
較し、フェイルの個数が減少していれば故障の要因と考
えられるのでメモリにストアする。
減少せず増加していれば故障の原因と考えられず、他の
考えられる故障について被疑故障を設定して同様の手順
を実行する。
また、完全に一致すればここで終了するが、致しなけれ
ば他にも故障の要因がある。そこで他に考えられる被疑
故障を設定し、上述した論理接続データの変更、論理シ
ミュレーション、フェイルリストの作成、被疑故障を設
定した場合としない場合のフェイルリストの比較等を実
行し、測定データと全て対応がつきフェイルの原因が全
て確定するまで実行する。本発明による故障診断の第一
の実施例で得られた被疑故障を確認する意味で、例えば
ゲートのスタック故障であれば、対応する配線の電位を
EBテスタを用いて確認する手法に拡張できることは当
然である。
本発明による故障診断の第三の実施例について説明する
。第2図及び第3図の実施例で被疑故障の設定手段につ
いて述べていないので、ここでその手段について説明す
る。第4図は本発明による故障診断の第三の実施例の要
部手段を説明する図であるが、この図にもとづいて説明
する。本図はワークステーションや端末上の画面上に表
示される論理図及び選択メニューの1部を意味している
。第4図において51は2人力ANDゲート、52は2
人力ORゲート、53〜56は各ゲートの入力端子、5
7〜58は各ゲートの出力とする。
これらのゲートに被疑故障を設定する場合について説明
する。例えば入力端子53が0縮退故障を設定する場合
には、53をマウスでピックアップし右下にある0縮退
故障を選択する。1縮退故障であればメニューの1縮退
故障を選択する。また、例えば54と55のブリッジ故
障であれば、両者を選択しブリッジ故障を選択する。他
の故障についても同様に設定できる。このように論理図
上で被疑故障の箇所と状態を設定できれば設計者に理解
しやすいと共に設定の容易化が図れる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば汎用テスタ及びE
Bテスタでの測定結果から被疑故障を推定し、被疑故障
の箇所及び状態の設定が容易にできると共に、被疑故障
に対応した論理接続データの変更を行い論理シミュレー
ションして得られた期待値と、汎用テスタあるいはEB
テスタの測定結果との照合をとることで、想定した被疑
故障が故障の原因か否か判定できるので、故障診断時間
の大幅な短縮が図れる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の論理集積回路の故障診断装置の実施例
のハードウェアの全体構成図、第2図は本発明による汎
用テスタの測定データをもとにした故障診断の第一の実
施例フローチャート、第3図は本発明による故障診断に
EBテスタを用いた場合の故障診断の第二の実施例フロ
ーチャート、第4図は本発明による故障診断の第三の実
施例の被疑故障の設定手段を説明する図である。 l:論理接続データ、2:CADシステムのテストバタ
ン生成、3二テストバタン、4:汎用テスタによる試験
、5:汎用テスタによる測定データ、6:故障検出、7
:被疑故障箇所の設定、8:論理シミュレーション、9
:期待値データ、lO;比較照合、11:フェイルの要
因か、I2:フェイルの要因であればストア、】3:測
定データと全て対応がつくか、14及び15:終了、1
6:変更した論理接続データ、21:被疑故障エリアの
設定、22:論理接続データ、23;テストバタン、2
4:論理シミュレーション、25:EBテスタによるテ
スト、26:内部配線電位期待値、27:測定データ、
28:比較、29:フェイルリスト、30:被疑故障の
設定、31:変更した論理接続データ、32:論理シミ
ュレーション、33:内部配線電位期待値、34:比較
、35:フェイルリスト、36:照合、37:フェイル
が減少したか、38:要因の1つとしてストア39:測
定データと全て対応がつくか否か、40:終了、41ニ
レイアウドデータ、5I:2人力ANDゲート、52:
2人力ORゲート、53〜56:各ゲートの入力端子、
57〜58:各ゲートの出力、101:ホストコンピュ
ータ、102:汎用テスタ、103二電子ビームテスタ
、104:バタンジェネレータ、I05:設計データベ
ース、106;テストデータベース、107:端末 特許出願人 日本電信電話株式会社

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被試験対象の論理集積回路の機能を試験する汎用
    テスタの測定結果と、あらかじめ設定した論理シミュレ
    ーションを照合して該論理集積回路の故障を診断する論
    理集積回路の故障診断装置において、 汎用テスタの測定結果をもとに被疑故障を假定した論理
    シミュレーション結果から期待値を求める手段と、 前記期待値を求める手段により得られた期待値と汎用テ
    スタの測定結果の情報との照合を実施する手段を備えて
    なる ことを特徴とする論理集積回路の故障診断装置。
  2. (2)被試験対象の論理集積回路の機能を試験する汎用
    テスタの測定結果と、あらかじめ設定した論理シミュレ
    ーションを照合して該論理集積回路の故障を診断する論
    理集積回路の故障診断装置において、 汎用テスタの測定結果をもとに被疑故障を假定した論理
    シミュレーション結果から期待値を求める手段と、 前記期待値を求める手段により得られた期待値と汎用テ
    スタの測定結果の情報との照合を実施する手段と、 前記推定される故障の種類と推定される箇所をCRTの
    画面上に表示される論理回路図上あるいはレイアウト図
    上の両方またはどちらか一方で設定する手段を備えてな
    る ことを特徴とする論理集積回路の故障診断装置。
JP2167293A 1990-06-25 1990-06-25 論理集積回路の故障診断装置 Pending JPH0455776A (ja)

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