JPH0455276Y2 - - Google Patents
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- JPH0455276Y2 JPH0455276Y2 JP1986072565U JP7256586U JPH0455276Y2 JP H0455276 Y2 JPH0455276 Y2 JP H0455276Y2 JP 1986072565 U JP1986072565 U JP 1986072565U JP 7256586 U JP7256586 U JP 7256586U JP H0455276 Y2 JPH0455276 Y2 JP H0455276Y2
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- gas
- casing
- rotating body
- cylindrical casing
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- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 95
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
Classifications
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/056—Bearings
- F04D29/057—Bearings hydrostatic; hydrodynamic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C39/00—Relieving load on bearings
- F16C39/02—Relieving load on bearings using mechanical means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は、回転体をガスベアリングにより回転
可能に支持したターボ分子ポンプに関するもので
ある。
可能に支持したターボ分子ポンプに関するもので
ある。
（従来の技術）
従来のターボ分子ポンプを第３図により説明す
ると、１が回転体、１ａが同回転体１の駆動軸、
６が同駆動軸１ａに取付けたガスタービンブレー
ド、２ａ，２ｂが上記回転体１を取り囲むケーシ
ング、３，４が上記駆動軸１ａの周りの上記ケー
シング２ｂ内に設けたラジアル方向の多孔質金属
製ガスベアリング、５が上記ガスタービンブレー
ド６の上下の上記ケーシング２ｂ内に設けたスラ
スト方向の多孔質金属製ガスベアリング、３ａが
上記多孔質金属製ガスベアリング３の背後の上記
ケーシング２ｂを貫通したガス導入口、４ａが上
記多孔質金属製ガスベアリング４の背後の上記ケ
ーシング２ｂを貫通したガス導入口、５ａが上記
多孔質金属製ガスベアリング５の背後の上記ケー
シング２ｂを貫通したガス導入口、７が上記ガス
ベアリング部と吐出側真空室８とを遮断するシー
ル部材である。
ると、１が回転体、１ａが同回転体１の駆動軸、
６が同駆動軸１ａに取付けたガスタービンブレー
ド、２ａ，２ｂが上記回転体１を取り囲むケーシ
ング、３，４が上記駆動軸１ａの周りの上記ケー
シング２ｂ内に設けたラジアル方向の多孔質金属
製ガスベアリング、５が上記ガスタービンブレー
ド６の上下の上記ケーシング２ｂ内に設けたスラ
スト方向の多孔質金属製ガスベアリング、３ａが
上記多孔質金属製ガスベアリング３の背後の上記
ケーシング２ｂを貫通したガス導入口、４ａが上
記多孔質金属製ガスベアリング４の背後の上記ケ
ーシング２ｂを貫通したガス導入口、５ａが上記
多孔質金属製ガスベアリング５の背後の上記ケー
シング２ｂを貫通したガス導入口、７が上記ガス
ベアリング部と吐出側真空室８とを遮断するシー
ル部材である。
上記第３図に示すターボ分子ポンプでは、ガス
をガス導入口３ａ，４ａ，５ａから多孔質金属製
ガスベアリング３，４，５を経てケーシング２ｂ
内へ噴出して、回転体１及び駆動軸１ａを回転可
能に支持する一方、ガスをケーシング２ｂに設け
たタービンガス供給孔（図示せず）→ガスタービ
ンブレード６→ケーシング２ｂに設けたタービン
ガス吐出孔（図示せず）に通過させて、駆動軸１
ａ及び回転体１を高速回転させ、矢印A1→A2方
向に向かう排気作用を生じさせて、A1側に高真
空を発生させるようにしている。
をガス導入口３ａ，４ａ，５ａから多孔質金属製
ガスベアリング３，４，５を経てケーシング２ｂ
内へ噴出して、回転体１及び駆動軸１ａを回転可
能に支持する一方、ガスをケーシング２ｂに設け
たタービンガス供給孔（図示せず）→ガスタービ
ンブレード６→ケーシング２ｂに設けたタービン
ガス吐出孔（図示せず）に通過させて、駆動軸１
ａ及び回転体１を高速回転させ、矢印A1→A2方
向に向かう排気作用を生じさせて、A1側に高真
空を発生させるようにしている。
（考案が解決しようとする問題点）
前記第３図に示す従来のターボ分子ポンプで
は、回転体１及び駆動軸１ａの高速回転中、何等
かの原因でガスベアリング３，４，５へのガス供
給圧が低下したり、ガス供給管が破断したりし
て、同ガスベアリング３，４，５が支持力を失う
と、駆動軸１ａとガスベアリング３，４，５とが
接触して、同ガスベアリング３，４，５や駆動軸
１ａ、回転体１が破損するという問題があつた。
は、回転体１及び駆動軸１ａの高速回転中、何等
かの原因でガスベアリング３，４，５へのガス供
給圧が低下したり、ガス供給管が破断したりし
て、同ガスベアリング３，４，５が支持力を失う
と、駆動軸１ａとガスベアリング３，４，５とが
接触して、同ガスベアリング３，４，５や駆動軸
１ａ、回転体１が破損するという問題があつた。
本考案は前記の問題点に鑑み提案するものであ
り、その目的とする処は、ガスベアリングが作動
不能になつたときに発生していた回転体、ガスベ
アリング等の破損を防止できるターボ分子ポンプ
を提供しようとする点にある。
り、その目的とする処は、ガスベアリングが作動
不能になつたときに発生していた回転体、ガスベ
アリング等の破損を防止できるターボ分子ポンプ
を提供しようとする点にある。
（問題点を解決するための手段）
上記の目的を達成するために、本考案は、回転
体をガスベアリングにより回転可能に支持したタ
ーボ分子ポンプにおいて、前記回転体の上端部及
び下端部に常時非接触で対向する各球体と同各球
体を回転可能に支持する上側及び下側の球体支持
部材とよりなる危急軸受を有し、上側の球体支持
部材を前記回転体を取り囲むケーシングの上部に
取付け、ピストン状デイスクを下側の球体支持部
材に設けるとともに、同ピストン状デイスクを前
記ケーシングの下部に設けたシリンダ状ケーシン
グ内に昇降可能に嵌挿し、前記ガスベアリングへ
の供給ガスと同じ圧力のガスを前記シリンダ状ケ
ーシング内上部へ供給するガス供給口を同シリン
ダ状ケーシングの上部に設け、排気口を同シリン
ダ状ケーシングの底部に設け、前記シリンダ状ケ
ーシング内上部のガス供給圧が低下したときに前
記ピストン状デイスクを上方に押し上げるばねを
同ピストン状デイスクと前記シリンダ状ケーシン
グの底部との間に介装している。
体をガスベアリングにより回転可能に支持したタ
ーボ分子ポンプにおいて、前記回転体の上端部及
び下端部に常時非接触で対向する各球体と同各球
体を回転可能に支持する上側及び下側の球体支持
部材とよりなる危急軸受を有し、上側の球体支持
部材を前記回転体を取り囲むケーシングの上部に
取付け、ピストン状デイスクを下側の球体支持部
材に設けるとともに、同ピストン状デイスクを前
記ケーシングの下部に設けたシリンダ状ケーシン
グ内に昇降可能に嵌挿し、前記ガスベアリングへ
の供給ガスと同じ圧力のガスを前記シリンダ状ケ
ーシング内上部へ供給するガス供給口を同シリン
ダ状ケーシングの上部に設け、排気口を同シリン
ダ状ケーシングの底部に設け、前記シリンダ状ケ
ーシング内上部のガス供給圧が低下したときに前
記ピストン状デイスクを上方に押し上げるばねを
同ピストン状デイスクと前記シリンダ状ケーシン
グの底部との間に介装している。
（作用）
本考案のターボ分子ポンプは前記のように構成
されており、常時は、ガスをガスベアリングから
ケーシング内へ噴出して、回転体を回転可能に支
持する一方、ガスをガスタービンブレードへ供給
して、回転体を高速回転させる。このとき、上側
の球体支持部材の球体は、回転体の上端面に設け
た凹部に非接触で対向し、下側の球体支持部材の
球体は、回転体の下端面に設けた凹部に非接触で
対向している。この状態から、何等かの原因でガ
スベアリングが支持力を失うと、シリンダ状ケー
シング内上部のガス供給圧（ガスベアリングへの
ガス供給圧と同じ圧力のガス供給圧）も低下する
ため、ピストン状デイスク及び下側の球体支持部
材がばねにより押し上げられ、下側の球体支持部
材の球体が回転体の下端部に設けた凹部に接触し
て、回転体も押し上げられ、回転体の上端部に設
けた凹部が上側の支持部材の球体に接触して、回
転体がこれらの球体により回転可能に支持され
る。この状態になつたら、回転体を停止させる。
その後、ガスベアリングへのガス供給系が正常に
戻れば、シリンダ状ケーシング内上部のガス供給
圧もガスベアリングへのガス供給圧と同じ圧力に
戻つて、ピストン状デイスク及び下側の球体支持
部材がばねに抗し下降し、回転体も当初の位置ま
で下降して、ガスベアリングにより回転可能に支
持される一方、上下の球体が回転体から離れる。
されており、常時は、ガスをガスベアリングから
ケーシング内へ噴出して、回転体を回転可能に支
持する一方、ガスをガスタービンブレードへ供給
して、回転体を高速回転させる。このとき、上側
の球体支持部材の球体は、回転体の上端面に設け
た凹部に非接触で対向し、下側の球体支持部材の
球体は、回転体の下端面に設けた凹部に非接触で
対向している。この状態から、何等かの原因でガ
スベアリングが支持力を失うと、シリンダ状ケー
シング内上部のガス供給圧（ガスベアリングへの
ガス供給圧と同じ圧力のガス供給圧）も低下する
ため、ピストン状デイスク及び下側の球体支持部
材がばねにより押し上げられ、下側の球体支持部
材の球体が回転体の下端部に設けた凹部に接触し
て、回転体も押し上げられ、回転体の上端部に設
けた凹部が上側の支持部材の球体に接触して、回
転体がこれらの球体により回転可能に支持され
る。この状態になつたら、回転体を停止させる。
その後、ガスベアリングへのガス供給系が正常に
戻れば、シリンダ状ケーシング内上部のガス供給
圧もガスベアリングへのガス供給圧と同じ圧力に
戻つて、ピストン状デイスク及び下側の球体支持
部材がばねに抗し下降し、回転体も当初の位置ま
で下降して、ガスベアリングにより回転可能に支
持される一方、上下の球体が回転体から離れる。
（実施例）
次に本考案のターボ分子ポンプを第１図に示す
一実施例により説明すると、１が回転体、１ａが
同回転体１の駆動軸、６が同駆動軸１ａに取付け
たガスタービンブレード、２ａ，２ｂが上記回転
体１を取り囲むケーシング、３，４が上記駆動軸
１ａの周りの上記ケーシング２ｂ内に設けたラジ
アル方向の多孔質金属製ガスベアリング、５が上
記ガスタービンブレード６の上下の上記ケーシン
グ２ｂ内に設けたスラスト方向の多孔質金属製ガ
スベアリング、３ａが上記多孔質金属製ガスベア
リング３の背後の上記ケーシング２ｂを貫通した
ガス導入口、４ａが上記多孔質金属製ガスベアリ
ング４の背後の上記ケーシング２ｂを貫通したガ
ス導入口、５ａが上記多孔質金属製ガスベアリン
グ５の背後の上記ケーシング２ｂを貫通したガス
導入口、７が上記ガスベアリング部と吐出側真空
室８とを遮断するシール部材である。
一実施例により説明すると、１が回転体、１ａが
同回転体１の駆動軸、６が同駆動軸１ａに取付け
たガスタービンブレード、２ａ，２ｂが上記回転
体１を取り囲むケーシング、３，４が上記駆動軸
１ａの周りの上記ケーシング２ｂ内に設けたラジ
アル方向の多孔質金属製ガスベアリング、５が上
記ガスタービンブレード６の上下の上記ケーシン
グ２ｂ内に設けたスラスト方向の多孔質金属製ガ
スベアリング、３ａが上記多孔質金属製ガスベア
リング３の背後の上記ケーシング２ｂを貫通した
ガス導入口、４ａが上記多孔質金属製ガスベアリ
ング４の背後の上記ケーシング２ｂを貫通したガ
ス導入口、５ａが上記多孔質金属製ガスベアリン
グ５の背後の上記ケーシング２ｂを貫通したガス
導入口、７が上記ガスベアリング部と吐出側真空
室８とを遮断するシール部材である。
９が上記ケーシング２ａの上端部に取付けたケ
ーシング側部材、９ａが同ケーシング側部材９に
設けた吸気孔、８が危急軸受の上側の球体支持部
材、１１が同上側の球体支持部材８を上記ケーシ
ング側部材９に固定するナツト、１０ａが上側の
球体支持部材８の下端部に回転可能に支持された
球体で、同球体１０ａが上記回転体１の上端面に
設けた凹部に常時非接触で対向している。
ーシング側部材、９ａが同ケーシング側部材９に
設けた吸気孔、８が危急軸受の上側の球体支持部
材、１１が同上側の球体支持部材８を上記ケーシ
ング側部材９に固定するナツト、１０ａが上側の
球体支持部材８の下端部に回転可能に支持された
球体で、同球体１０ａが上記回転体１の上端面に
設けた凹部に常時非接触で対向している。
１３が上記ケーシング２ｂの下部に固定したシ
リンダ状ケーシング、１２が危急軸受の下側の球
体支持部材、１２′が同下側の球体支持部材１２
に固定したピストン状デイスクで、同ピストン状
デイスク１２′が上記シリンダ状ケーシング１３
内に昇降可能に嵌挿されている。また１０ｂが上
記下側の球体支持部材１２の上端部に回転可能に
支持された球体、１４が上記ピストン状デイスク
１２′と上記シリンダ状ケーシング１３の底部と
の間に介装したばね、１５がガスベアリング３，
４，５への供給ガスと同じ圧力のガスを上記シリ
ンダ状ケーシング１３内上部へ供給するガス供給
口、１６が上記シリンダ状ケーシング１３の底部
に設けた排気口で、ガス供給口１５からシリンダ
状ケーシング１３内上部へ上記圧力のガスが供給
され、ピストン状デイスク１２′及び下側の球体
支持部材１２がばね１４に抗し下降して、球体１
０ｂが駆動軸１ａの下端面に設けた凹部に常時非
接触で対向している。
リンダ状ケーシング、１２が危急軸受の下側の球
体支持部材、１２′が同下側の球体支持部材１２
に固定したピストン状デイスクで、同ピストン状
デイスク１２′が上記シリンダ状ケーシング１３
内に昇降可能に嵌挿されている。また１０ｂが上
記下側の球体支持部材１２の上端部に回転可能に
支持された球体、１４が上記ピストン状デイスク
１２′と上記シリンダ状ケーシング１３の底部と
の間に介装したばね、１５がガスベアリング３，
４，５への供給ガスと同じ圧力のガスを上記シリ
ンダ状ケーシング１３内上部へ供給するガス供給
口、１６が上記シリンダ状ケーシング１３の底部
に設けた排気口で、ガス供給口１５からシリンダ
状ケーシング１３内上部へ上記圧力のガスが供給
され、ピストン状デイスク１２′及び下側の球体
支持部材１２がばね１４に抗し下降して、球体１
０ｂが駆動軸１ａの下端面に設けた凹部に常時非
接触で対向している。
次に前記第１図に示すターボ分子ポンプの作用
を具体的に説明する。常時は、ガスをガス導入孔
３ａ，４ａ，５ａから多孔質金属製ガスベアリン
グ３，４，５を経てケーシング２ｂ内へ噴出し
て、回転体１及び駆動軸１ａを回転可能に支持す
る一方、ガスをケーシング２ｂに設けたタービン
ガス供給孔（図示せず）→ガスタービンブレード
６→ケーシング２ｂに設けたタービンガス吐出孔
（図示せず）に通過させて、回転体１及び駆動軸
１ａを高速回転させ、矢印A1→A2方向に向かう
排気作用を生じさせて、A1側に高真空を発生さ
せる。
を具体的に説明する。常時は、ガスをガス導入孔
３ａ，４ａ，５ａから多孔質金属製ガスベアリン
グ３，４，５を経てケーシング２ｂ内へ噴出し
て、回転体１及び駆動軸１ａを回転可能に支持す
る一方、ガスをケーシング２ｂに設けたタービン
ガス供給孔（図示せず）→ガスタービンブレード
６→ケーシング２ｂに設けたタービンガス吐出孔
（図示せず）に通過させて、回転体１及び駆動軸
１ａを高速回転させ、矢印A1→A2方向に向かう
排気作用を生じさせて、A1側に高真空を発生さ
せる。
このとき、回転体１及び駆動軸１ａが正常位置
にあるため、危急軸受の上側の球体１０ａが回転
体１の上端面に設けた凹部に非接触で対向してい
る。またガスベアリング３，４，５への供給ガス
と同じ圧力のガスがシリンダ状ケーシング１３の
上部内へ供給されるため、ピストン状デイスク１
２′及び下側の球体支持部材１２がばね１４に抗
し下降して、球体１０ｂが駆動軸１ａの下端面に
設けた凹部に非接触で対向している（第２図ａ参
照）。
にあるため、危急軸受の上側の球体１０ａが回転
体１の上端面に設けた凹部に非接触で対向してい
る。またガスベアリング３，４，５への供給ガス
と同じ圧力のガスがシリンダ状ケーシング１３の
上部内へ供給されるため、ピストン状デイスク１
２′及び下側の球体支持部材１２がばね１４に抗
し下降して、球体１０ｂが駆動軸１ａの下端面に
設けた凹部に非接触で対向している（第２図ａ参
照）。
この状態から、何等かの原因でガスベアリング
３，４，５へのガス供給圧が低下したり、ガス供
給管が破断したりして、同ガスベアリング３，
４，５が支持力を失うと、シリンダ状ケーシング
１３内上部のガス供給圧（ガスベアリングへのガ
ス供給圧と同じ圧力のガス供給圧）も低下するた
め、ピストン状デイスク１２′及び下側の球体支
持部材１２がばね１４により押し上げられ（第２
図ｂ参照）、下側の球体支持部材１２の球体１０
ｂが駆動軸１ａの下端部に設けた凹部に接触し
て、回転体１及び駆動軸１ａも押し上げられ、回
転体１の上端部に設けた凹部が上側の支持部材８
の球体１０ａに接触して、回転体１及び駆動軸１
ａがこれら上下の球体１０ａ，１０ｂにより回転
可能に支持される。この状態になつたら、回転体
１及び駆動軸１ａを停止させる。その後、ガスベ
アリング３，４，５へのガス供給系が正常に戻れ
ば、シリンダ状ケーシング１３内上部のガス供給
圧もガスベアリング３，４，５へのガス供給圧と
同じ圧力に戻つて、ピストン状デイスク１２′及
び下側の球体支持部材１２がばね１４に抗し下降
し、回転体１及び、駆動軸１ａも当初の位置まで
下降して、ガスベアリング３，４，５により回転
可能に支持させる一方、上下の球体１０ａ，１０
ｂが回転体１及び駆動軸１ａから離れる。
３，４，５へのガス供給圧が低下したり、ガス供
給管が破断したりして、同ガスベアリング３，
４，５が支持力を失うと、シリンダ状ケーシング
１３内上部のガス供給圧（ガスベアリングへのガ
ス供給圧と同じ圧力のガス供給圧）も低下するた
め、ピストン状デイスク１２′及び下側の球体支
持部材１２がばね１４により押し上げられ（第２
図ｂ参照）、下側の球体支持部材１２の球体１０
ｂが駆動軸１ａの下端部に設けた凹部に接触し
て、回転体１及び駆動軸１ａも押し上げられ、回
転体１の上端部に設けた凹部が上側の支持部材８
の球体１０ａに接触して、回転体１及び駆動軸１
ａがこれら上下の球体１０ａ，１０ｂにより回転
可能に支持される。この状態になつたら、回転体
１及び駆動軸１ａを停止させる。その後、ガスベ
アリング３，４，５へのガス供給系が正常に戻れ
ば、シリンダ状ケーシング１３内上部のガス供給
圧もガスベアリング３，４，５へのガス供給圧と
同じ圧力に戻つて、ピストン状デイスク１２′及
び下側の球体支持部材１２がばね１４に抗し下降
し、回転体１及び、駆動軸１ａも当初の位置まで
下降して、ガスベアリング３，４，５により回転
可能に支持させる一方、上下の球体１０ａ，１０
ｂが回転体１及び駆動軸１ａから離れる。
（考案の効果）
本考案のターボ分子ポンプは前記のように常時
は、ガスをガスベアリングからケーシング内へ噴
出して、回転体を回転可能に支持する一方、ガス
をガスタービンブレードへ供給して、回転体を高
速回転させる。このとき、上側の球体支持部材の
球体は、回転体の上端面に設けた凹部に非接触で
対向し、下側の球体支持部材の球体は、回転体の
下端面に設けた凹部に非接触で対向している。こ
の状態から、何等かの原因でガスベアリングが支
持力を失うと、シリンダ状ケーシング内上部のガ
ス供給圧（ガスベアリングへのガス供給圧と同じ
圧力のガス供給圧）も低下するため、ピストン状
デイスク及び下側の球体支持部材がばねにより押
し上げられ、下側の球体支持部材の球体が回転体
の下端部に設けた凹部に接触して、回転体も押し
上げられ、回転体の上端部に設けた凹部が上側の
支持部材の球体に接触して、回転体がこれらの球
体により回転可能に支持されるので、本考案のタ
ーボ分子ポンプによれば、ガスベアリングが作動
不能になつたときに発生していた回転体、ガスベ
アリング等の破損を防止できる効果がある。
は、ガスをガスベアリングからケーシング内へ噴
出して、回転体を回転可能に支持する一方、ガス
をガスタービンブレードへ供給して、回転体を高
速回転させる。このとき、上側の球体支持部材の
球体は、回転体の上端面に設けた凹部に非接触で
対向し、下側の球体支持部材の球体は、回転体の
下端面に設けた凹部に非接触で対向している。こ
の状態から、何等かの原因でガスベアリングが支
持力を失うと、シリンダ状ケーシング内上部のガ
ス供給圧（ガスベアリングへのガス供給圧と同じ
圧力のガス供給圧）も低下するため、ピストン状
デイスク及び下側の球体支持部材がばねにより押
し上げられ、下側の球体支持部材の球体が回転体
の下端部に設けた凹部に接触して、回転体も押し
上げられ、回転体の上端部に設けた凹部が上側の
支持部材の球体に接触して、回転体がこれらの球
体により回転可能に支持されるので、本考案のタ
ーボ分子ポンプによれば、ガスベアリングが作動
不能になつたときに発生していた回転体、ガスベ
アリング等の破損を防止できる効果がある。
第１図は本考案のターボ分子ポンプの一実施例
を示す縦断側面図、第２図はその作用説明図、第
３図は従来のターボ分子ポンプを示す縦断側面図
である。 １，１ａ……回転体、２ａ，２ｂ……ケーシン
グ、３，４，５……ガスベアリング、８……上側
の球体支持部材、１０ａ，１０ｂ……球体、１２
……下側の球体支持部材、１２′……ピストン状
デイスク、１３……シリンダ状ケーシング、１４
……ばね、１５……ガス供給口、１６……排気
口。
を示す縦断側面図、第２図はその作用説明図、第
３図は従来のターボ分子ポンプを示す縦断側面図
である。 １，１ａ……回転体、２ａ，２ｂ……ケーシン
グ、３，４，５……ガスベアリング、８……上側
の球体支持部材、１０ａ，１０ｂ……球体、１２
……下側の球体支持部材、１２′……ピストン状
デイスク、１３……シリンダ状ケーシング、１４
……ばね、１５……ガス供給口、１６……排気
口。
Claims (1)
- 回転体をガスベアリングにより回転可能に支持
したターボ分子ポンプにおいて、前記回転体の上
端部及び下端部に常時非接触で対向する各球体と
同各球体を回転可能に支持する上側及び下側の球
体支持部材とよりなる危急軸受を有し、上側の球
体支持部材を前記回転体を取り囲むケーシングの
上部に取付け、ピストン状デイスクを下側の球体
支持部材に設けるとともに、同ピストン状デイス
クを前記ケーシングの下部に設けたシリンダ状ケ
ーシング内に昇降可能に嵌挿し、前記ガスベアリ
ングへの供給ガスと同じ圧力のガスを前記シリン
ダ状ケーシング内上部へ供給するガス供給口を同
シリンダ状ケーシングの上部に設け、排気口を同
シリンダ状ケーシングの底部に設け、前記シリン
ダ状ケーシング内上部のガス供給圧が低下したと
きに前記ピストン状デイスクを上方に押し上げる
ばねを同ピストン状デイスクと前記シリンダ状ケ
ーシングの底部との間に介装したことを特徴とす
るターボ分子ポンプ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986072565U JPH0455276Y2 (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | |
| DE19873716221 DE3716221A1 (de) | 1986-05-16 | 1987-05-14 | Turbomolekularpumpe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986072565U JPH0455276Y2 (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62184191U JPS62184191U (ja) | 1987-11-21 |
| JPH0455276Y2 true JPH0455276Y2 (ja) | 1992-12-25 |
Family
ID=13493013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986072565U Expired JPH0455276Y2 (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0455276Y2 (ja) |
| DE (1) | DE3716221A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2634829B1 (fr) * | 1988-07-27 | 1990-09-14 | Cit Alcatel | Pompe a vide |
| DE19827606A1 (de) * | 1998-06-20 | 1999-12-23 | Schlafhorst & Co W | Lageranordnung für eine Offenend-Spinnvorrichtung |
| JP4578780B2 (ja) * | 2003-03-03 | 2010-11-10 | 財団法人国際科学振興財団 | 真空ポンプ |
| DE502004003752D1 (de) * | 2004-01-29 | 2007-06-21 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Gasreibungspumpe |
| JP2005344610A (ja) * | 2004-06-03 | 2005-12-15 | Boc Edwards Kk | 真空排気装置 |
| GB2588146A (en) * | 2019-10-09 | 2021-04-21 | Edwards Ltd | Vacuum pump |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5191008A (ja) * | 1975-02-07 | 1976-08-10 | ||
| JPS5612095A (en) * | 1979-05-21 | 1981-02-05 | Cambridge Thermionic Corp | Turbo molecular vacuum pump |
| JPS59162396A (ja) * | 1983-03-07 | 1984-09-13 | Hitachi Ltd | タ−ボ分子ポンプ |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1475765A (fr) * | 1966-01-31 | 1967-04-07 | Snecma | Perfectionnements aux appareils à arbre vertical tournant à grande vitesse |
| DE2524061C3 (de) * | 1975-05-30 | 1980-04-30 | Arthur Pfeiffer-Vakuumtechnik-Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Magnetisch gelagerte Turbovakuumpumpe mit Fanglager |
-
1986
- 1986-05-16 JP JP1986072565U patent/JPH0455276Y2/ja not_active Expired
-
1987
- 1987-05-14 DE DE19873716221 patent/DE3716221A1/de active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5191008A (ja) * | 1975-02-07 | 1976-08-10 | ||
| JPS5612095A (en) * | 1979-05-21 | 1981-02-05 | Cambridge Thermionic Corp | Turbo molecular vacuum pump |
| JPS59162396A (ja) * | 1983-03-07 | 1984-09-13 | Hitachi Ltd | タ−ボ分子ポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3716221C2 (ja) | 1990-05-10 |
| DE3716221A1 (de) | 1987-11-26 |
| JPS62184191U (ja) | 1987-11-21 |
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