JPH0452770A - 多角形群のリサイズ処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、集積回路の設計データを荷電ビーム露光装置
等の制御用データに変換する処理、あるいは、集積回路
の設訂データそのものの変更処理における。多角形群の
リサイズ処理方法に関するものである。

（従来の技術〕 ここでは、多角形群のリサイズ処理の例として集積回路
の設計データから荷電ビーム露光装置（以下ＥＢ装置と
いう）の制御用データを作成する際に実施するリサイズ
処理を例にとって説明する。

リサイズ処理の目的は、ＥＢ詰装置入力するバタンと製
造プロセスを通して形成されるバタンとのバタン変換差
を低減するため、あらかしめ、多角形図形の輪郭に対し
て、太らせ・細らゼ処理を行っておき、所望のバタンか
得られるようにすることである。一般に、集積回路の設
計データに含まれる図形は、形状の繰り返し性に着目し
て、同一形状のものをモジ１−ル化し２階層的に整理し
て、】つのモジュールはそれＣＸする図形と下位階層の
モジュールのコール情報とからなるデータ構造として表
現されている。このデータに対してリサイズ処理を実施
する場合、設計データの階層構造を活か１２．かつ、８
り返し利用されるモジュールの繰り返し性庖活かした処
理を実施すれば処理時間を大幅に削減できる。また、計
算機−Ｆで１回ムこ処理できる図形データ数には限りが
あるため、該モジｚ”−ルを図形処理単位領域Ｃコ分割
しリサイズ処理は、該図形処理の単位領域毎（、＝、該
図形処理単位領域間の接触関係を崩すことなく独−９！
こ行う必要がある。

これに対し、ｒ大久保、渡辺、和Ｂ１：”データ変ｍ１
ｊ＝”、特願昭６３へ５８９０１号」ニハ異なるモジゴ
ール間、または、異ｔ（る図形処理単位領域間に属する
図形に接触が存在する場合、それぞれの図形の接触部分
に、接Ｍ情報を４４与して、おき、モジブ、−ルｍ位毎
、および７図形処理単位領域間に、独立にリサイズ処理
を行うという発明が示されている、しかし２．大久保ら
の特許出願明１１こおいては、リサイズ処理の具体的な
方法は述べていない。りづイズ処理の具体的な方法はＦ
Ｋ、Ｋｏｍａｔｓｕ、　　Ｍ、５ｕｚｕｋｉ　　：　　
”Ｔｈｅ　０ｕｔｌｉｎｅＰｒｏｃｅｄｕｒｅ　ｉｎ　
Ｐａｔｔｅｒｎ　Ｄａｆ、ａ　Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ
　ＦｏｒＶｅｃｔｏｒ−５ｃａｎ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎ−
ＢｅａＩＩＩＬｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ”ＩＥＥＥ　　Ｔ
ｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ　　ｏｎ　　Ｃｏｍｐｕｔｅｒ
−八１ｄｅｄ　　Ｄｅｓｉｇｎｏｆ　Ｉｎｔｅｇｒａｔ
ｅｄ　Ｃ１ｒＣｕｉｔｓ　ａｎｄ　５ｙｓｔｅＩＩ１．
　Ｖｏｌ、　ＣＡＤ６、　ＮＯ，１，ＪＡＮ、１９８７
、Ｊに記載されている。第９図は当該従来の文献に記載
されでいるリサイズ処理手順を説明する図である。ここ
では、す→ノイズ処理は２ステツプで実施される。第１
のステップでは、まず、横向きの辺に対して、縦方向へ
のリサイズ処理が実施され、第２のステップで、紺向き
の辺に対して、横方同一、のリサイズ処理が実施されて
細らせ処理が行われる。第１０図は、該従来法を前述し
た大久保らの発明ｌ″、よるリサイズ処理に通用した場
合の処理例である。この例では、ステップ１よりも下方
の図ニ、）♂いては、太らせ処理と細らせ処理とを併記
して示している。通常の辺はリサイズすべき方向へ移動
させ、他方、接触情報を付与した辺はリサイズすべき方
向と逆の方向へ移動させることによって、所望のリサイ
ズ図形が得られる。

〔発明が解決しようとする課題〕

前述の従来法は、２ステツプからなるため、処理時間が
長いという問題があった。さらに、該従来法を前述した
大久保らの発明によるリサイズ処理に適用した場合、第
１１図に示すように、１つの辺上に、他のモジュールに
属する図形との接触情報を持つ部分と他の図形に接触し
ない部分がある場合には、　「接触ありＪ／ｆ接触なし
Ｊの情報を各線分に付与しただけでは、リサイズ処理後
に。

図示の最終図形において「重なり部分」や「不要部分」
が存在する如く１図形間の重複や、不要図形の発生を招
き１期待するリサイズ図形が得られないという問題があ
った。

〔課題を解決するための手段］ 本発明では、このような問題点を解決するため。

接触情報を付与する際に、必要な場所には長さ０の仮想
的な辺を挿入しておき、この仮想的な辺にも、必要に応
じて、接触情報を持たせておくようにしている。

〔作用〕

本発明では、上記の処理を、前もって実施しておくこと
により、リサイズによる図形間の重複や不要図形の発生
が起きないことを保証し、かつリサイズ実行時の処理を
以下のように簡略化できる。すなわち、多角形の各頂点
ごとに、該頂点を形成する両側の辺の属性を見て、頂点
の座標を。

その属性に応して１回だけ移動させる処理を、各多角形
図形毎に独立に実施することを可能とする。

（実施例〕 第１図および第２図は、接触する２多角形の内の何れか
一方の多角形の辺上に「接触エツジＡ２０を定義する方
法（片側マーキング法と呼ぶ）によるリサイズ処理の実
施例である。第１図では。

初期図形に対して、マーキングのステップにおいて示し
ている如く、ｒ通常エッジ』　（図中に属性を明示して
いないエツジはすべて通常エツジである）とｒ接触エッ
ジ』２０との境界点に、長さ０の「接触エッジ』３０を
挿入し、第２図では、同様にマーキングのステップにお
いて示している如く、同境界点に、長さ０の「通常エッ
ジ』４０を挿入している。何れの場合も２通常エツジは
リサイズすべき方向ヘリサイズ量だけ平行移動した直線
を想定し、かつｒ接触エツジｊはリサイズすべき方向と
逆の方向ヘリサイズ量だけ平行移動した直線を想定し、
想定した２直線の交点位置へ、各頂点を移動させる処理
をするようにして５所望の最終図形が得られることがわ
かる。

第３図および第４図は、接触する２多角形の両者の辺上
に、共に「連結エッジ』５０を定義する方法（両側マー
キング法と呼ぶ）によるリサイズ処理の実施例である。

第３図では、初期図形に対して、マーキングのステップ
において示している如＜、「通常エッジ』　（図中に属
性を明示していないエツジはすべて通常エツジである）
と「連結エッジ』５０との境界点に、長さ０のｒ接触エ
ッジ』３０を挿入し、第４図では、同様にマーキングの
ステップにおいて示している如く、同境界点に５長さＯ
の「通常エツジ、！１４０を挿入している。

何れの場合も１通常エツジはリサイズすべき方向ヘリサ
イズ量だけ平行移動した直線を想定し、かつ「接触エッ
ジ』はリサイズすべき方向と逆の方向ヘリサイズ量だけ
平行移動した直線を想定し。

ｒ連結エツジｊは該エツジを含む直線を想定し想定した
２−直線の交点位置へ、各頂点を移動させる処理をする
ようにして、所望の最終図形が得られることがわかる。

多角形間の接触部分に対する処理には、上述のように１
片側マーキング法９両側マーキング法共に使用可能であ
るが、以下の場合には、使い分けがを効である。

■階層の異なるモジュール間の図形に接触がある場合に
は７片側マーキング法を使用し、上位階層のモジュール
に含まれる図形側にマーキングをする。

■同一モジュールが繰り返し存在する場合で。

同一モジュール間の図形に接触がある場合には。

両側マーキング法を使用する。

■異なる図形処理単位領域に属する図形間に接触がある
場合には、どちらの方法を用いてもよい。

ここで２片側マーキング法を使用する場合ムこは例えば
１図形処理単位領域枠の右辺と上辺に接する図形側にマ
ーキングするようにする。

第５図は、多角形の輪郭を表す辺（長さ０のエツジも含
む）をベクトル記述した例である。多角形の内側をベク
トルの左に見るように定義するＡタイプと、多角形の内
側をベクトルの右に見るように定義するＢタイプが考え
られる。このように辺をベクトル記述した場合、リサイ
ズ処理は、以下のようになる。各頂点では、該頂点を構
成する２つのベクトルに対し、第７図に示す算出規則に
従って、移動方向決定ユニントベク［ルを求める。

第７図においては、ベクトルを「通常エンジュと「接触
エッジ』と「連結エッジ』とに対応してｒ移動方向決定
ユニットへクトル」を示している。

それぞれのユユソトヘクトルにそれぞれの方向へのリサ
イズ量を掛けた後、該２ヘク！・ルの合成ベクトルを求
める。各頂点では、この合成ヘクトル分だけ、座標を移
動させればよい。第６図は、この方法によるリサイズ処
理の実施例として、Ａタイプ記述の細らせ処理の場合を
記載した。

第８図（Ａ）（Ｂ）は片側マーキング法による太らせ処
理についての一実施例フローチャー１・を示す。第８図
（Ａ）は接触工・ノジを定義する処理に対応し、第８図
（Ｂ）はリサイズ処理に対応している。

処理■：マーキングをつける側の１つの多角形を入力し 処理■；該当するすべての多角形が入力されたかをチエ
ツクし 処理■；全辺を通常エツジと１．て仮に定義しておき 処理■：１つの辺を選択し 処理■：その辺が他の多角形と接触しているか否かをチ
エツクし。

処理■：接触していた場合に部分的な接触か否かをチエ
ツクし。

処理■：処理■でＹＥＳの場合に１辺を分割し。

全ての境界点に長さＯのエツジを挿入し。

処理■：接触部分のエツジを接触エツジに変更する。

処理■：処理■でＮｏの場合には、当該部分を接触エツ
ジに変更する。

処理＠）：処理■でＮＯの場合か、処理■が終了した場
合か、処理■が終了した場合に、全通終了か否かをブー
エンクされる。

処理■：１つの多角形を入力し 処理０：全多角形について終了したか否かをチエツクし
。

処理■：１つの頂点を選択し、第１エツジと第２エツジ
とを抽出し。

処理０：第１エツジが接触エツジか否かをチエツクし。

処理■：　ＹＥＳであれば、細らせ方向に移動し処理■
：ＮＯであれば、太らせ方向に移動し処理■：第２エン
ジが接触エツジか否かをチエツクし 処理■：　ＹＥＳであれば、細らせ方向に移動し処理■
：ＮＯであれば、太らせ方向に移動し処理Φ：交点を算
出し 処理（８）：全頂点について終了したか否かをチエツク
し 処理＠：全交点を接続して、リサイズ後の多角形を決定
する。

［発明の効果］ 本発明によれば、設計データの階層構造を利用したリサ
イズ処理を、すべての場合について、矛盾な〈実施する
ことが可能となるので、繰り返しモジュールが多い場合
、その代表モジュールにのみリサイズ処理をおこなえば
よく、リサイズ処理時間が大幅に短縮される。また１本
発明によればリサイズ処理は、多角形の各頂点に、それ
ぞれ１回だけ座標を移動させる処理を実施すればよいた
め、２ステツプ処理を実施していた従来法に比べて、処
理時間をほぼ１／２に短縮することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明によって、長さＯの接触エツジを挿入
する場合の１片側マーキング法による実施例。 第２図は２本発明によって、長さ０の通常エツジを挿入
する場合の片側マーキング法による実施例 第３図は１本発明によって、長さＯの接触エツジを挿入
する場合の両側マーキング法による実施例。 第４図は９本発明によって、長さＯの通常エツジを挿入
する場合の両側マーキング法による実施例 第６図は、多角形輪郭辺をベクトル記述した場合の、移
動ベクトルの算出と、細らせ処理後の図形の例 第７図は移動方向決定ユニットベクトルの算出規則。 第８図（Ａ）（Ｂ）は片側マーキング法による太らせ処
理についての一実施例フローチャート。 第９図は、従来法による細らせ処理の例第１０図は、従
来法に接触情報を持たせた場合の処理例で正常処理され
る例。 第１１図は、従来法に接触情報を持たせた場合の処理例
で異常処理される例 である。 図中、２０：接触エツジ、３０：長さＯの接触エンジ、
４０：長さＯの通常エツジ、５０：連結エツジ。 特許出願人　　日本電信電話株式会社 代理人　弁理士　　森　１）　寛 第５図は、多角形輪郭辺のベクトル記述例。 第 図（＾） 処ユニ１タリ（１） （北軍％　４里の１タリラ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）少なくとも１つ以上の接触を持つ、２つ以上の多
   角形を、もとの接触関係を保持しつつ、それぞれ独立に
   リサイズする処理方法において、該多角形群に含まれる
   各多角形の輪郭を表す各辺上に、他の多角形と接触しな
   い部分には『通常エッジ』を定義し、 他の多角形と接触する部分には、２多角形の内の何れか
   一方の多角形の辺上の接触部分に『接触エッジ』を、も
   う一方の多角形の辺上の接触部分に『通常エッジ』を定
   義した後、 『通常エッジ』と『接触エッジ』とが混在する辺につい
   ては、『通常エッジ』と『接触エッジ』とのすべての境
   界点に対して、その境界点に接触する相手多角形の２つ
   の辺のうちで、自多角形の接触辺に平行でない方の辺と
   同一方向でかつ長さが０のエッジを、『通常エッジ』ま
   たは『接触エッジ』として挿入しておき、 多角形の輪郭のリサイズを施す際に、該多角形の輪郭を
   表す各頂点において、該頂点を構成する２つのエッジに
   対して、 ［１］『通常エッジ』の場合にはリサイズすべき方向に
   リサイズ量だけ離れた平行直線を想定し、［２］『接触
   エッジ』の場合にはリサイズすべき方向と逆の方向にリ
   サイズ量だけ離れた平行直線を想定し、 想定した２直線の交点へ該頂点を移動させるようにした ことを特徴とする多角形群のリサイズ処理方法。
2. （２）少なくとも１つ以上の接触を持つ、２つ以上の多
   角形を、もとの接触関係を保持しつつ、それぞれ独立に
   リサイズする処理方法において、該多角形群に含まれる
   各多角形の輪郭を表す各辺上に、他の多角形と接触しな
   い部分には『通常エッジ』を定義し、 他の多角形と接触する部分には『連結エッジ』を定義し
   た後、 『通常エッジ』と『連結エッジ』とが混在する辺につい
   ては、『通常エッジ』と『連結エッジ』とのすべての境
   界点に対して、その境界点に接触する相手多角形の２つ
   の辺のうちで、自多角形の接触辺に平行でない方の辺と
   同一方向でかつ長さが０のエッジを、『通常エッジ』ま
   たは『連結エッジ』として挿入しておき、 多角形の輪郭のリサイズを施す際に、該多角形の輪郭を
   表す各頂点において、該頂点を構成する２つのエッジに
   対して、 ［１］『通常エッジ』の場合にはリサイズすべき方向に
   リサイズ量だけ離れた平行直線を想定し、［２］『連結
   エッジ』の場合にはエッジを含む直線を想定し、 想定した２直線の交点へ該頂点を移動させるようにした ことを特徴とする多角形群のリサイズ処理方法。