JPH0450812A - 顕微鏡装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、発光体の位置合せ等に使用される顕微鏡装置
に関する。

〔従来の技術〕

従来、例えばハイブリッド型半導体レーザアレイの組立
方法として、特開平１−２４１５０４号に記載のような
方法が知られている。本従来例では、顕微鏡装置によっ
て、発光体（レーザ）の近視野像のみを観察し、位置を
検出していた。位置検出後、発光体は所定の位置に固定
されていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術によれば発光体の発光点位置を検出するこ
とは可能であるが、遠視野像を観察する手段について配
慮がされておらず、発光体の光軸方向を検出できないと
いう問題があった。したがって、発光体を組み立てた場
合、光軸が所定の方向から傾くという問題があった。

本発明の目的は、発光体の近視野像と遠視野像を同時観
察できる顕微鏡装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、上記目的を達成するための第１の手段として
、顕微鏡装置の発光体側に受光体を設けたものである。

また、第２の手段として、顕微鏡装置において、近視野
像を観察する収束光学系とともに発光体からの出射光を
平行光束にする光学系を設けたものである。

〔作用〕

上記第１．の手段により、受光体へ入射する光量の分布
によって発光体の遠視野分布を得ることができ、発光体
の発光点位置と光軸方向を同時検出できる。

また、上記第２の手段により発光体の遠視野像が得られ
、発光体の発光点位置と光軸方向を同時検出できる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面と共に説明する。

第１図は本発明の顕微鏡装置の第１実施例を示す図、第
２図は第１実施例の顕微鏡装置を発光体側から見た図で
ある。本発明により、顕微鏡装置の発光体１００側、す
なわち対物レンズ１０２の下面に受光体１０１が設けで
ある。

発光体１００　（第１実施例では半導体レーザを用いた
）からの出射光は、対物レンズｌ　０２のレンズ面１１
１および受光体１０１に入射する。レンズ面１１１に入
射した光は、鏡筒１０３を経てＴ　Ｖカメラ１０４の撮
像面に結像する。ＴＶ左カメラ０４から出たビデオ信号
は、画像処理装置１０５を通ってＴＶモニタ１０６に伝
わる。ＴＶモニタ１０６の画面には、発光体１００の近
視野像１０７が写し出される。近視野像１０７上の点１
０８は、発光体１００の発光点である。１０９は画像処
理装置１０５によって表示された基準線、１１０は基準
線１０９上の光強度分布である。

受光体１０１（第１実施例ではホトダイオードを用いた
）面上の光量分布は、すなわち、発光体１００の遠視野
像である。受光体１００に入射した光は、光量に応じた
電気信号に変換され、互いに向い合う受光体１０１どう
しの電気信号がそれぞれ差動増幅器１１２．１１３に入
力される。差動増幅器１１２，１１３からの電気出力は
、信号処理装置１１４を経てＴＶモニタ１１５の画面に
表示される。画面上の点１１７の位置は、発光体１００
の光軸傾き角度に比例してＴＶモニタ内で表示する。１
１６は信号処理装置１１４によって表示された基Ｉ？！
線であり、その交点は光軸傾き角度Ｏ°の位置である。

本第１実施例によれば、発光体１００の発光点位置１０
８と同時に、光軸傾き角度（点１１７）を検出すること
ができる効果がある。また、発光体を所定の位置に組み
立てる必要がある場合などには、ＴＶモニタ画面を目視
しながら簡便に発光体の位置合せを行うことができるの
で特に有効である。点１０８，１１７の位置座標を画像
処理装置１０５や信号処理装置１１４から出力としてと
りだせば、自動位置合せを行うことができる。なお、第
１実施例では扇形状の４分割の受光体１０１を用いたが
、所望する場合に応じて分割数や形状を変更したり、非
分割型半導体装置検出素子を用いることも可能である。

第３図は本発明による第２実施例の顕微鏡装置の概略図
である。本実施例では、発光体２００の近視野像を観察
する収束光学系とともに、発光体２００からの出射光を
平行光束にする光学系が設けである。

発光体２００からの出射光は、対物レンズ２０１を通っ
て、鏡筒２０２内部のハーフミラ−２０３によって２つ
の光路に分けられる（鏡筒２０２内部の矢印は光線を表
す）。ハーフミラ−２０３を透過した光は、レンズ２０
４によって収束され、ミラー２０５で反射されてＴＶカ
メラ２０６の撮像面に結像する。ＴＶカメラ２０６から
出たビデオ信号は、画像処理装置２０８を通ってＴＶモ
ニタ２１０に伝わる。ＴＶモニタ２１０の画面には、発
光体２００の近視野像２１２が写し出される。

近視野像２１２上の点２１３は、発光体２００の発光点
である。２１４は画像処理装置２０８によって表示され
た基準線、２１５は基準線２１４上の光強度分布である
。

ハーフミラ−２０３によって反射された光は、平行光束
のままＴＶカメラ２０７に入射する。

ＴＶカメラ２０７の撮像面には発光体２００の遠視野像
が投影される。ビデオ信号はＴＶカメラ２０７から画像
処理装置２０９を経てＴＶモニタ２１１に伝わり、画面
上に発光体２００の遠視野像２１６が写し出される。２
１７は画像処理装置２０９によって表示された基準線、
２１８は基準線２１７上の光強度分布である。

本第２実施例によれば、発光体２００の近視野像２１２
と遠視野像２１６を同時観察でき、発光点位置と光軸方
向を同時検出できる効果がある。

第１実施例と同様、発光体の位置合せなどを行う際には
、ＴＶモニタ画面を目視しながら簡便に実施できる利点
がある。また１発光体の光軸方向の定義を変えたい場合
、例えば遠視野像の光強度ピーク、光強度の半値全角中
心、または１／ｅ２全角中心など所望する場合に応じて
、画像処理装置２０９を用いて光軸方向を画面上に表示
することが可能である。なお、本発明の要件は収束光学
系と平行光束光学系の両方を設けたことにあるのであっ
て、第３図中に示した光学系の構成によって規定される
ものではない。倍率を変えたり収差補正などを行うため
に、レンズやミラーの配置などを変更する場合が有り得
る。

第１実施例および第２実施例において、発光体として半
導体レーザを想定したが、例えば発光ダイオード、光フ
ァイバや光導波路の出射端面、○ＥＩＣなどの発光体に
対して本発明が効力を発揮することは言うまでもない。

〔発明の効果〕

本発明によれば、以上説明したように、発光体の発光点
位置と光軸方向を同時に検出できる効果がある。したが
って、複合光デバイスを組み立てる場合において、所定
の方向から光軸が傾くということがなくなり、組立を高
精度化できる効果がある。もちろん、発光点位置検出と
同様に光軸検出も簡便に行われるので、作業性が悪化す
ることはない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例の顕微鏡装置の概略図、第
２図は第１実施例の装置を発光体側から見た図、第３図
は第２実施例の顕微鏡装置の概略図である。 １００．２０（１・・発光体、１０１　＝−受光体、１
０２゜２０１・・・対物レンズ、１０３，２０２・・・
鏡筒。 １０７．２１２・・・近視野像、２１６・・遠視野像。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、発光体の近視野像を観察する顕微鏡装置において、
   該顕微鏡装置の前記発光体側に受光体を設け、該受光体
   への入射光量分布によって前記発光体の遠視野分布を得
   たことを特徴とする顕微鏡装置。 ２、発光体の近視野像を観察する顕微鏡装置において、
   前記近視野像を観察する収束光学系とともに前記発光体
   からの出射光を平行光束にする光学系を設け、前記発光
   体の遠視野像を得たことを特徴とする顕微鏡装置。