JP3300041B2 - 走査型光学顕微鏡 - Google Patents
走査型光学顕微鏡Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光源から発せられた光
で試料上を走査し、この試料からの透過光を光検出器で
検出して試料像を得るようにした走査型光学顕微鏡に関
する。
で試料上を走査し、この試料からの透過光を光検出器で
検出して試料像を得るようにした走査型光学顕微鏡に関
する。
【０００２】
【従来の技術】光源からのレーザ光を対物レンズで微小
なスポットに絞って試料上を走査し、この試料からの透
過光や反射光を光検出器で電気信号に変換してＣＲＴ上
に試料像を可視表示するようにした走査型レーザ顕微鏡
は、フレアの少ないコントラストの良い像が得られるこ
とや、検出光学系を工夫することで共集点、微分などの
特殊な検出が簡単に行なえる利点があり、広く実用に供
されている。このような走査型レーザ顕微鏡としては、
例えば特開昭６１−２１９９１９に開示されており、以
下に示すごとく構成されている。
なスポットに絞って試料上を走査し、この試料からの透
過光や反射光を光検出器で電気信号に変換してＣＲＴ上
に試料像を可視表示するようにした走査型レーザ顕微鏡
は、フレアの少ないコントラストの良い像が得られるこ
とや、検出光学系を工夫することで共集点、微分などの
特殊な検出が簡単に行なえる利点があり、広く実用に供
されている。このような走査型レーザ顕微鏡としては、
例えば特開昭６１−２１９９１９に開示されており、以
下に示すごとく構成されている。
【０００３】図４は、従来の走査型レーザ顕微鏡の一例
を示す概略構成図である。同図において、光源１から発
せられたレーザビーム２は、ビームスプリッタ３を通過
して光偏向用の第１のガルバノメータミラー４に入射
し、ここで所要の偏向を受けたのち瞳伝送レンズ５およ
び６を通って第２のガルバノメータミラー７へ入射され
る。上記ガルバノメータミラー４および７は、各々対物
レンズ１０の瞳位置と共役な位置に配置されており、ガ
ルバノメータミラー４は入射されたレーザビーム２をＸ
方向に、またガルバノメータミラー７は入射ビーム２を
Ｙ方向にそれぞれ走査する。
を示す概略構成図である。同図において、光源１から発
せられたレーザビーム２は、ビームスプリッタ３を通過
して光偏向用の第１のガルバノメータミラー４に入射
し、ここで所要の偏向を受けたのち瞳伝送レンズ５およ
び６を通って第２のガルバノメータミラー７へ入射され
る。上記ガルバノメータミラー４および７は、各々対物
レンズ１０の瞳位置と共役な位置に配置されており、ガ
ルバノメータミラー４は入射されたレーザビーム２をＸ
方向に、またガルバノメータミラー７は入射ビーム２を
Ｙ方向にそれぞれ走査する。
【０００４】このようにして２次元走査されたレーザビ
ーム２は、瞳投影レンズ８および結像レンズ９を通過し
て対物レンズ１０へ入射し、ここで回折で制限される点
状光（レーザスポット）を生じて試料１１上をＸ−Ｙ走
査する。試料１１が透過物体であれば、この試料１１を
透過した透過ビームはコンデンサレンズ１２を介して当
該コンデンサレンズ１２の瞳位置に配置されている光検
出器１３および１４によって検出される。これら光検出
器１３および１４からの検出信号は図示しないＣＲＴ等
の表示手段に供されて可視像化される。また、試料１１
が反射物体であれば、この試料１１を反射した反射ビー
ムは入射時と全く同じ経路を逆に通ってビームスプリッ
タ３へ到達し、このビームスプリッタ３および集光レン
ズ１５によって取り出された後、光検出器１６および１
７で検出される。この検出信号は、上述と同様にＣＲＴ
等に供給されて可視像化される。
ーム２は、瞳投影レンズ８および結像レンズ９を通過し
て対物レンズ１０へ入射し、ここで回折で制限される点
状光（レーザスポット）を生じて試料１１上をＸ−Ｙ走
査する。試料１１が透過物体であれば、この試料１１を
透過した透過ビームはコンデンサレンズ１２を介して当
該コンデンサレンズ１２の瞳位置に配置されている光検
出器１３および１４によって検出される。これら光検出
器１３および１４からの検出信号は図示しないＣＲＴ等
の表示手段に供されて可視像化される。また、試料１１
が反射物体であれば、この試料１１を反射した反射ビー
ムは入射時と全く同じ経路を逆に通ってビームスプリッ
タ３へ到達し、このビームスプリッタ３および集光レン
ズ１５によって取り出された後、光検出器１６および１
７で検出される。この検出信号は、上述と同様にＣＲＴ
等に供給されて可視像化される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、光検
出器１３および１４は、コンデンサレンズ１２の瞳位置
に配置されて試料１１からの透過ビームを検出する。こ
れは、試料１１上のレーザスポットの位置による明るさ
ムラを極力低減させるためである。一方、試料１１の観
察目的に合わせて数種類の対物レンズおよびコンデンサ
レンズの組合わせがあり、対物レンズに応じてコンデン
サレンズを変えるとその瞳位置も変化することになる。
出器１３および１４は、コンデンサレンズ１２の瞳位置
に配置されて試料１１からの透過ビームを検出する。こ
れは、試料１１上のレーザスポットの位置による明るさ
ムラを極力低減させるためである。一方、試料１１の観
察目的に合わせて数種類の対物レンズおよびコンデンサ
レンズの組合わせがあり、対物レンズに応じてコンデン
サレンズを変えるとその瞳位置も変化することになる。
【０００６】一般に、透過光用の光検出器１３および１
４は、特定のコンデンサレンズの瞳位置に合わせた状態
で配置されている。このため、コンデンサレンズを上記
特定のコンデンサレンズ以外のものと交換した場合に
は、光検出器１３および１４に対するコンデンサレンズ
の瞳位置がずれてしまい、試料像に明るさムラを生じる
という問題があった。
４は、特定のコンデンサレンズの瞳位置に合わせた状態
で配置されている。このため、コンデンサレンズを上記
特定のコンデンサレンズ以外のものと交換した場合に
は、光検出器１３および１４に対するコンデンサレンズ
の瞳位置がずれてしまい、試料像に明るさムラを生じる
という問題があった。
【０００７】本発明は上記事情に着目してなされたもの
で、その目的とするところは、コンデンサレンズを瞳位
置の異なるコンデンサレンズに交換した場合でも、これ
によって試料像に明るさムラが生じないようにすること
ができる走査型光学顕微鏡を提供することにある。
で、その目的とするところは、コンデンサレンズを瞳位
置の異なるコンデンサレンズに交換した場合でも、これ
によって試料像に明るさムラが生じないようにすること
ができる走査型光学顕微鏡を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、光源と、この光源から発せられた光を試料上
に集光するためのレンズ系と、このレンズ系と上記光源
との間の光路上に設けられ、上記光源からの光を偏向さ
せて上記試料上を走査するための光偏向器と、上記試料
を挟んで上記対物レンズと対向配置され、上記試料を透
過した透過光が入射するコンデンサレンズと、このコン
デンサレンズを介して上記試料からの光を検出する光検
出器とを備えた走査型光学顕微鏡において、前記コンデ
ンサレンズと前記検出器との間に配置され、上記コンデ
ンサレンズの瞳位置に対し光学的な共役位置に上記光検
出器が位置するように上記コンデンサレンズの瞳位置を
調整する瞳位置調整手段を備えるようにした。上記の走
査型光学顕微鏡において、前記瞳位置調整装置は、透過
検出ユニットとコンデンサレンズの間に配置され、前記
コンデンサレンズの透過検出ユニットが配置されている
側に取り付け可能なアダプタであることが好ましい。更
に、前記透過検出ユニットと前記コンデンサレンズは、
前記瞳位置調整手段であるアダプタを介挿して一体的に
取り付けるようにしたことが好ましい。
本発明は、光源と、この光源から発せられた光を試料上
に集光するためのレンズ系と、このレンズ系と上記光源
との間の光路上に設けられ、上記光源からの光を偏向さ
せて上記試料上を走査するための光偏向器と、上記試料
を挟んで上記対物レンズと対向配置され、上記試料を透
過した透過光が入射するコンデンサレンズと、このコン
デンサレンズを介して上記試料からの光を検出する光検
出器とを備えた走査型光学顕微鏡において、前記コンデ
ンサレンズと前記検出器との間に配置され、上記コンデ
ンサレンズの瞳位置に対し光学的な共役位置に上記光検
出器が位置するように上記コンデンサレンズの瞳位置を
調整する瞳位置調整手段を備えるようにした。上記の走
査型光学顕微鏡において、前記瞳位置調整装置は、透過
検出ユニットとコンデンサレンズの間に配置され、前記
コンデンサレンズの透過検出ユニットが配置されている
側に取り付け可能なアダプタであることが好ましい。更
に、前記透過検出ユニットと前記コンデンサレンズは、
前記瞳位置調整手段であるアダプタを介挿して一体的に
取り付けるようにしたことが好ましい。
【０００９】
【作用】上記手段を講じた結果、次のような作用が生じ
る。すなわち、使用され得る各種コンデンサレンズに応
じてその瞳位置を調整するための瞳位置調整手段が備え
られたことにより、各コンデンサレンズの瞳位置は光検
出器に対し常にその瞳を投影するべく調整されることに
なる。したがって、コンデンサレンズを瞳位置の異なる
他のコンデンサレンズに交換した場合でも、これによっ
て試料像に明るさムラが生じないようにすることができ
る。
る。すなわち、使用され得る各種コンデンサレンズに応
じてその瞳位置を調整するための瞳位置調整手段が備え
られたことにより、各コンデンサレンズの瞳位置は光検
出器に対し常にその瞳を投影するべく調整されることに
なる。したがって、コンデンサレンズを瞳位置の異なる
他のコンデンサレンズに交換した場合でも、これによっ
て試料像に明るさムラが生じないようにすることができ
る。
【００１０】
【実施例】図１は、本発明の一実施例に係わる倒立型顕
微鏡を示す概略構成図である。同図において、２２は透
過光検出ユニットであり、光路切換えミラー２２ａと、
瞳投影レンズ２２ｂと、光検出器２２ｃとを備えてい
る。このうち光路切換えミラー２２ａは、図示のごとく
光検出器２２ｃに対して前後に移動可能であり、透過照
明ランプ２１から発せられる光３３により試料２５の観
察を行なう場合には光検出器２２ｃに対して後方に、ま
た図示しない光源から発せられるレーザビーム３４によ
り試料２５の観察を行なう場合には光検出器２２ｃに対
して前方にそれぞれ切換えられて配置されるようになっ
ている。以下、この倒立型顕微鏡による試料２５の観察
手順について説明する。
微鏡を示す概略構成図である。同図において、２２は透
過光検出ユニットであり、光路切換えミラー２２ａと、
瞳投影レンズ２２ｂと、光検出器２２ｃとを備えてい
る。このうち光路切換えミラー２２ａは、図示のごとく
光検出器２２ｃに対して前後に移動可能であり、透過照
明ランプ２１から発せられる光３３により試料２５の観
察を行なう場合には光検出器２２ｃに対して後方に、ま
た図示しない光源から発せられるレーザビーム３４によ
り試料２５の観察を行なう場合には光検出器２２ｃに対
して前方にそれぞれ切換えられて配置されるようになっ
ている。以下、この倒立型顕微鏡による試料２５の観察
手順について説明する。
【００１１】先ず、この光路切換えミラー２２ａを光検
出器２２ｃに対して後方に切換え配置した状態におい
て、透過照明ランプ２１から発せられた光３３は透過光
検出ユニット２２を素通りし、コンデンサレンズ２４へ
入射されて試料２５を照射する。試料２５を透過した透
過光３３′は、対物レンズ２７を通り、第１の光路切換
えミラー２８で所定の偏向を受けた後、リレーレンズ２
９を経由して第２の光路切換えミラー３０へ到達する。
この第２の光路切換えミラー３０で再び偏向された透過
光３３′は、プリズム３１へ入射されて接眼レンズ３２
の直前で試料２５の像３５を結ぶ。
出器２２ｃに対して後方に切換え配置した状態におい
て、透過照明ランプ２１から発せられた光３３は透過光
検出ユニット２２を素通りし、コンデンサレンズ２４へ
入射されて試料２５を照射する。試料２５を透過した透
過光３３′は、対物レンズ２７を通り、第１の光路切換
えミラー２８で所定の偏向を受けた後、リレーレンズ２
９を経由して第２の光路切換えミラー３０へ到達する。
この第２の光路切換えミラー３０で再び偏向された透過
光３３′は、プリズム３１へ入射されて接眼レンズ３２
の直前で試料２５の像３５を結ぶ。
【００１２】一方、上記光路切換えミラー２２ａが光検
出器２２ｃに対して前方に切換え配置され、且つ光路切
換えミラー３０が光路上から除かれた状態において、図
示しない光源から発せられたレーザビーム３４はリレー
レンズ２９へ入射され、続いて光路切換えミラー２８で
その光路を変えられたのち、対物レンズ２７へ入射され
て試料２５上にレーザスポットを生じる。試料２５を透
過した透過ビーム３４′は、コンデンサレンズ２４を通
過したのち透過検出ユニット２２へ入射する。上述のご
とく、透過検出ユニット２２では光路切換えミラー２２
ａが光検出器２２ｃに対して前方に切換え配置されてお
り、透過検出ユニット２２へ入射された上記透過ビーム
３４′は光路切換えミラー２２ａでその光路が光検出器
２２ｃへ向けかうように変えられて、この光検出器２２
ｃで検出される。
出器２２ｃに対して前方に切換え配置され、且つ光路切
換えミラー３０が光路上から除かれた状態において、図
示しない光源から発せられたレーザビーム３４はリレー
レンズ２９へ入射され、続いて光路切換えミラー２８で
その光路を変えられたのち、対物レンズ２７へ入射され
て試料２５上にレーザスポットを生じる。試料２５を透
過した透過ビーム３４′は、コンデンサレンズ２４を通
過したのち透過検出ユニット２２へ入射する。上述のご
とく、透過検出ユニット２２では光路切換えミラー２２
ａが光検出器２２ｃに対して前方に切換え配置されてお
り、透過検出ユニット２２へ入射された上記透過ビーム
３４′は光路切換えミラー２２ａでその光路が光検出器
２２ｃへ向けかうように変えられて、この光検出器２２
ｃで検出される。
【００１３】図２は上述した倒立型顕微鏡の要部拡大図
であり、２２は透過検出ユニット、また２４Ａは瞳２４
Ａａを持つコンデンサレンズを示している。また、図中
２４Ｂは上記コンデンサレンズ２４Ａとは異なる瞳２４
Ｂａを持った他のコンデンサレンズであり、コンデンサ
レンズ２４Ａとの交換のために予備的に用意されている
ものである。上記透過検出ユニット２２とコンデンサレ
ンズ２４Ａとの間にはアダプタ２３Ａが挿入されてお
り、コンデンサレンズ２４Ａの瞳２４Ａａはアダプタ２
３Ａを介して瞳投影レンズ２２ｂにより光検出器２２ｃ
上に投影される。すなわち、本状態において、光検出器
２２ｃはコンデンサレンズ２４Ａの瞳２４Ａａと共役な
位置となるように配置されている。
であり、２２は透過検出ユニット、また２４Ａは瞳２４
Ａａを持つコンデンサレンズを示している。また、図中
２４Ｂは上記コンデンサレンズ２４Ａとは異なる瞳２４
Ｂａを持った他のコンデンサレンズであり、コンデンサ
レンズ２４Ａとの交換のために予備的に用意されている
ものである。上記透過検出ユニット２２とコンデンサレ
ンズ２４Ａとの間にはアダプタ２３Ａが挿入されてお
り、コンデンサレンズ２４Ａの瞳２４Ａａはアダプタ２
３Ａを介して瞳投影レンズ２２ｂにより光検出器２２ｃ
上に投影される。すなわち、本状態において、光検出器
２２ｃはコンデンサレンズ２４Ａの瞳２４Ａａと共役な
位置となるように配置されている。
【００１４】このような状態で、例えば対物レンズ２７
の交換により、上記コンデンサレンズ２４Ａを予備のコ
ンデンサレンズ２４Ｂに交換する場合について説明す
る。この場合、透過検出ユニット２２とコンデンサレン
ズ２４Ｂとの間には上記アダプタ２３Ａとは異なるアダ
プタ２３Ｂが挿入される。このアダプタ２３Ｂの内部に
は、コンデンサレンズの交換による瞳位置のずれを補正
するための調整用レンズ２３Ｂａが組込まれており、こ
の調整用レンズ２３Ｂａにより、コンデンサレンズ２４
Ｂの瞳２４Ｂａは光検出器２２ｃ上に投影される。すな
わち、コンデンサレンズの交換後も光検出器２２ｃをコ
ンデンサレンズ２４Ｂの瞳２４Ｂａと共役な位置に保持
することができる。
の交換により、上記コンデンサレンズ２４Ａを予備のコ
ンデンサレンズ２４Ｂに交換する場合について説明す
る。この場合、透過検出ユニット２２とコンデンサレン
ズ２４Ｂとの間には上記アダプタ２３Ａとは異なるアダ
プタ２３Ｂが挿入される。このアダプタ２３Ｂの内部に
は、コンデンサレンズの交換による瞳位置のずれを補正
するための調整用レンズ２３Ｂａが組込まれており、こ
の調整用レンズ２３Ｂａにより、コンデンサレンズ２４
Ｂの瞳２４Ｂａは光検出器２２ｃ上に投影される。すな
わち、コンデンサレンズの交換後も光検出器２２ｃをコ
ンデンサレンズ２４Ｂの瞳２４Ｂａと共役な位置に保持
することができる。
【００１５】このように本実施例であれば、使用するコ
ンデンサレンズの瞳位置に応じてそのずれを補正するた
めのアダプタを各コンデンサレンズ毎に用意し、更にこ
れらのアダプタをコンデンサレンズと透過光検出ユニッ
ト２２との間に介挿させて一体的に取付けるようにした
ので、各コンデンサレンズの瞳位置は光検出器２２ｃに
対して常に一定となるように調整される。したがって、
コンデンサレンズを瞳位置の異なる他のコンデンサレン
ズに交換した場合でも、光検出器２２ｃの位置は常にコ
ンデンサレンズの瞳と共役な位置となるように保持さ
れ、これによりコンデンサレンズの交換による試料像の
明るさムラを防止することができる。
ンデンサレンズの瞳位置に応じてそのずれを補正するた
めのアダプタを各コンデンサレンズ毎に用意し、更にこ
れらのアダプタをコンデンサレンズと透過光検出ユニッ
ト２２との間に介挿させて一体的に取付けるようにした
ので、各コンデンサレンズの瞳位置は光検出器２２ｃに
対して常に一定となるように調整される。したがって、
コンデンサレンズを瞳位置の異なる他のコンデンサレン
ズに交換した場合でも、光検出器２２ｃの位置は常にコ
ンデンサレンズの瞳と共役な位置となるように保持さ
れ、これによりコンデンサレンズの交換による試料像の
明るさムラを防止することができる。
【００１６】図３は、前記図１に示した倒立型顕微鏡に
おいて、瞳位置が概略等しいコンデンサレンズ２４Ｃお
よび２４Ｄを交互に使用する場合の実施例を説明するた
めの図である。同図において、２２Ａは透過検出ユニッ
トであり、その内部には図示のごとくストッパ２２ｄが
設けられている。
おいて、瞳位置が概略等しいコンデンサレンズ２４Ｃお
よび２４Ｄを交互に使用する場合の実施例を説明するた
めの図である。同図において、２２Ａは透過検出ユニッ
トであり、その内部には図示のごとくストッパ２２ｄが
設けられている。
【００１７】先ず、コンデンサレンズ２４Ｃを使う場合
においては、光路切換えミラー２２ａがストッパ２２ｄ
によって図３の（ａ）に示すごとく位置出しされる。そ
うすると、コンデンサレンズ２４Ｃの瞳２４Ｃａはこの
光路切換えミラー２２ａを経て、瞳投影レンズ２２ｂに
より光検出器２２ｃ上に投影される。すなわち、本状態
において、光検出器２２ｃはコンデンサレンズ２４Ｃの
瞳２４Ｃａと共役な位置になるように配置される。なお
図中２３Ｃはコンデンサレンズ２４Ｃと一体的に構成さ
れたアダプタである。
においては、光路切換えミラー２２ａがストッパ２２ｄ
によって図３の（ａ）に示すごとく位置出しされる。そ
うすると、コンデンサレンズ２４Ｃの瞳２４Ｃａはこの
光路切換えミラー２２ａを経て、瞳投影レンズ２２ｂに
より光検出器２２ｃ上に投影される。すなわち、本状態
において、光検出器２２ｃはコンデンサレンズ２４Ｃの
瞳２４Ｃａと共役な位置になるように配置される。なお
図中２３Ｃはコンデンサレンズ２４Ｃと一体的に構成さ
れたアダプタである。
【００１８】次に、図３の（ｂ）を参照しながらコンデ
ンサレンズ２４Ｄを使用する場合について説明する。こ
の場合には、コンデンサレンズ２４Ｄと一体的に構成さ
れたアダプタ２３Ｄに予め設けられたストッパ２３Ｄａ
によって、光路切換えミラー２２ａが位置出しされる。
このとき、コンデンサレンズ２４Ｄの取付け位置Ａ２
は、コンデンサレンズ２４Ｃの取付け位置Ａ１より所定
量だけ光検出器２２ｃに対して後方にずらされており、
このずれによる光路長の延長によりコンデンサレンズ２
４Ｃとの瞳位置のずれを補正している。すなわち、この
光路長の延長によって、前記コンデンサレンズ２４Ｃを
用いた際における取付け位置Ａ１と光検出器位置Ａ３と
の間の距離と、コンデンサレンズ２４Ｄを用いた際にお
ける取付け位置Ａ２と光検出器位置Ａ３との間の距離を
等しくすることができる。したがって、コンデンサレン
ズの交換後においても光検出器２２ｃはコンデンサレン
ズ２４Ｂの瞳２４Ｂａと共役な位置に保持されることと
なり、これによりコンデンサレンズ２４Ｄの瞳２４Ｄａ
は光検出器２２ｃ上に正確に投影される。
ンサレンズ２４Ｄを使用する場合について説明する。こ
の場合には、コンデンサレンズ２４Ｄと一体的に構成さ
れたアダプタ２３Ｄに予め設けられたストッパ２３Ｄａ
によって、光路切換えミラー２２ａが位置出しされる。
このとき、コンデンサレンズ２４Ｄの取付け位置Ａ２
は、コンデンサレンズ２４Ｃの取付け位置Ａ１より所定
量だけ光検出器２２ｃに対して後方にずらされており、
このずれによる光路長の延長によりコンデンサレンズ２
４Ｃとの瞳位置のずれを補正している。すなわち、この
光路長の延長によって、前記コンデンサレンズ２４Ｃを
用いた際における取付け位置Ａ１と光検出器位置Ａ３と
の間の距離と、コンデンサレンズ２４Ｄを用いた際にお
ける取付け位置Ａ２と光検出器位置Ａ３との間の距離を
等しくすることができる。したがって、コンデンサレン
ズの交換後においても光検出器２２ｃはコンデンサレン
ズ２４Ｂの瞳２４Ｂａと共役な位置に保持されることと
なり、これによりコンデンサレンズ２４Ｄの瞳２４Ｄａ
は光検出器２２ｃ上に正確に投影される。
【００１９】このように本実施例であれば、使用するコ
ンデンサレンズの各瞳位置に応じてコンデンサレンズの
透過検出ユニット２２Ａに対する取付け位置をずらし、
この状態で上記透過検出ユニット２２Ａあるいはアダプ
タ２３Ｃに設けたストッパ２２ｄまたは２３Ｄａにより
上記各コンデンサレンズの取付け位置に応じて光路切換
えミラー２２ｃの位置出しを行なうようにしたので、各
コンデンサレンズと光検出器２２ｃとの間の距離は常に
一定となるように調整される。したがって、コンデンサ
レンズを瞳位置の異なる他のコンデンサレンズに交換し
た場合でも、光検出器２２ｃの位置は常にコンデンサレ
ンズの瞳と共役な位置となるように保持され、これによ
りコンデンサレンズの交換による試料像の明るさムラを
防止することができる。
ンデンサレンズの各瞳位置に応じてコンデンサレンズの
透過検出ユニット２２Ａに対する取付け位置をずらし、
この状態で上記透過検出ユニット２２Ａあるいはアダプ
タ２３Ｃに設けたストッパ２２ｄまたは２３Ｄａにより
上記各コンデンサレンズの取付け位置に応じて光路切換
えミラー２２ｃの位置出しを行なうようにしたので、各
コンデンサレンズと光検出器２２ｃとの間の距離は常に
一定となるように調整される。したがって、コンデンサ
レンズを瞳位置の異なる他のコンデンサレンズに交換し
た場合でも、光検出器２２ｃの位置は常にコンデンサレ
ンズの瞳と共役な位置となるように保持され、これによ
りコンデンサレンズの交換による試料像の明るさムラを
防止することができる。
【００２０】なお本発明は上記実施例に限定されるもの
ではない。例えば上記実施例では倒立型顕微鏡を例にし
て説明したが、これを正立型顕微鏡に適用することも可
能である。また上述した各実施例、すなわち瞳位置調整
レンズによる瞳位置の補正と、光路長の調整による瞳位
置の補正とを組み合わせてなる瞳位置調整光学系を構成
し、これにより各種コンデンサレンズに応じた瞳位置の
補正を行なうようにしてもよい。その他、本発明の要旨
を逸脱しない範囲で種々変形して実施できる。
ではない。例えば上記実施例では倒立型顕微鏡を例にし
て説明したが、これを正立型顕微鏡に適用することも可
能である。また上述した各実施例、すなわち瞳位置調整
レンズによる瞳位置の補正と、光路長の調整による瞳位
置の補正とを組み合わせてなる瞳位置調整光学系を構成
し、これにより各種コンデンサレンズに応じた瞳位置の
補正を行なうようにしてもよい。その他、本発明の要旨
を逸脱しない範囲で種々変形して実施できる。
【００２１】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、使
用するコンデンサレンズに応じてその瞳位置を調整する
ための瞳位置調整手段をコンデンサレンズと検出器との
間に配置したので、使用中のコンデンサレンズを異なる
瞳位置を持つ他のコンデンサレンズに交換した場合で
も、これによって試料像に明るさムラが生じないように
することができる走査型光学顕微鏡を提供できる。
用するコンデンサレンズに応じてその瞳位置を調整する
ための瞳位置調整手段をコンデンサレンズと検出器との
間に配置したので、使用中のコンデンサレンズを異なる
瞳位置を持つ他のコンデンサレンズに交換した場合で
も、これによって試料像に明るさムラが生じないように
することができる走査型光学顕微鏡を提供できる。
【図１】本発明の一実施例に係わる倒立型顕微鏡を示す
概略構成図。
概略構成図。
【図２】図１に示した倒立型顕微鏡における透過検出ユ
ニットおよびその周辺の要部拡大図。
ニットおよびその周辺の要部拡大図。
【図３】本発明の一実施例に係わる倒立型顕微鏡におけ
る透過検出ユニットおよびその周辺の要部拡大図。
る透過検出ユニットおよびその周辺の要部拡大図。
【図４】従来に係わる走査型レーザ顕微鏡の一例を示す
概略構成図。
概略構成図。
２１…透過照明ランプ、２２，２２Ａ…透過光検出ユニ
ット、２２ａ…光路切換えミラー、２２ｂ…瞳投影レン
ズ、２２ｃ…光検出器、２２ｄ…ストッパ、２３，２３
Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ，２３Ｄ…アダプタ、２３Ｂａ…調
整用レンズ、２３Ｄａ…ストッパ、２４，２４Ａ，２４
Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄ…コンデンサレンズ、２４Ａａ，２
４Ｂａ，２４Ｃａ，２４Ｄａ…瞳、２５…試料、２６…
テーブル、２７…対物レンズ、２８…第１の光路切換え
ミラー、２９…リレーレンズ、３０…第２の光路切換え
レンズ、３１…プリズム、３２…接眼レンズ、３３…
光、３４…レーザビーム、３５…像、Ａ１，Ａ２…取付
け位置、Ａ３…光検出器位置。
ット、２２ａ…光路切換えミラー、２２ｂ…瞳投影レン
ズ、２２ｃ…光検出器、２２ｄ…ストッパ、２３，２３
Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ，２３Ｄ…アダプタ、２３Ｂａ…調
整用レンズ、２３Ｄａ…ストッパ、２４，２４Ａ，２４
Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄ…コンデンサレンズ、２４Ａａ，２
４Ｂａ，２４Ｃａ，２４Ｄａ…瞳、２５…試料、２６…
テーブル、２７…対物レンズ、２８…第１の光路切換え
ミラー、２９…リレーレンズ、３０…第２の光路切換え
レンズ、３１…プリズム、３２…接眼レンズ、３３…
光、３４…レーザビーム、３５…像、Ａ１，Ａ２…取付
け位置、Ａ３…光検出器位置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 19/00 - 21/00 G02B 21/04 - 21/36
Claims (3)
- 【請求項１】 光源と、 この光源から発せられた光を試料上に集光するためのレ
ンズ系と、 このレンズ系と前記光源との間の光路上に設けられ、前
記光源からの光を偏向させて前記試料上を走査するため
の光偏向器と、 前記試料を挟んで前記対物レンズと対向配置され、前記
試料を透過した透過光が入射するコンデンサレンズと、 このコンデンサレンズを介して前記試料からの光を検出
する光検出器とを備えた走査型光学顕微鏡において、前記コンデンサレンズと前記検出器との間に配置され、
前記コンデンサレンズの瞳位置に対し光学的な共役位置
に前記光検出器が位置するように前記コンデンサレンズ
の瞳位置を調整する瞳位置調整手段を具備したことを特
徴とする走査型光学顕微鏡。 - 【請求項２】 請求項１に記載の走査型光学顕微鏡にお
いて、前記瞳位置調整装置は、透過検出ユニットとコン
デンサレンズの間に配置され、前記コンデンサレンズの
透過検出ユニットが配置されている側に取り付け可能な
アダプタであることを特徴とする走査型光学顕微鏡。 - 【請求項３】 請求項２に記載の走査型光学顕微鏡にお
いて、前記透過検出ユニットと前記コンデンサレンズ
は、前記瞳位置調整手段であるアダプタを介挿して一体
的に取り付けるようにしたことを特徴とする走査型光学
顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18260792A JP3300041B2 (ja) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | 走査型光学顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18260792A JP3300041B2 (ja) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | 走査型光学顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0627384A JPH0627384A (ja) | 1994-02-04 |
| JP3300041B2 true JP3300041B2 (ja) | 2002-07-08 |
Family
ID=16121251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18260792A Expired - Fee Related JP3300041B2 (ja) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | 走査型光学顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3300041B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU2014363033B2 (en) * | 2013-12-12 | 2016-11-17 | Mes Medical Electronic Systems Ltd. | Home testing device |
-
1992
- 1992-07-09 JP JP18260792A patent/JP3300041B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0627384A (ja) | 1994-02-04 |
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