JPH04165318A - 合焦位置検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、カメラ、顕微鏡等の光学機器の合焦調節に用
いることのできる合焦位置検出装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の合焦位置検出装置は、第７図（ａ）に示すように
、被写体像を結像させる光学系りの結像面位置Ｆを挾む
光軸方向の前後に、受光素子列ＳＡおよびＳＢを、同じ
距離隔てかつその素子列を光軸に対して垂直になるよう
に配置し、この受光素子列ＳＡおよびＳＲからの出力信
号を所定の評価関数で評価値に変換して、その評価値に
基づいて合焦検出している。

第７図（ｂ）および同図（ｃ）に、倍率が異なる場合の
評価値と結像位置との関係をそれぞれ示す。同図（ｂ）
（ｃ）に示すように、受光素子列ＳＡから出力される出
力信号の評価値ｖＡと受光素子列ＳＲから出力される出
力信号の評価値ＶＢとの差Δ■が０となる位置が合焦位
置となる。そこで、従来の装置は、評価値ｖＡと評価値
Ｖ、を比較して、ＶＡ〉ＶＢであれば前ビン状態を、Ｖ
Ａ＜Ｖ、、であれば後ろビン状態を、ｖ、ｍｖＢであれ
ば合焦状態をそれぞれ検知するようにしている。

ところが、上記した合焦検出は、光学系りの倍率を変換
した際に、像側のＮ、Ａが大きく変化する為、光学系り
の倍率によっては受光素子列ＳＡおよびＳＢに対応した
評価値Ｖ＾、ＶＢの差ΔＶが小さくなり、前ビン、後ろ
ビンの判定が困難になったり、結像面位置Ｆでの評価値
ｖＦが小さな値となって合焦判定が困難になるといった
欠点がある。

例えば、第７図（ｃ）に示すように低倍率の光学系の倍
率に合わせて結像面Ｆとその前後に配置する一対の受光
素子列ＳＡ、Ｓ、の間隔を設定すると、光学系の倍率を
高倍率にした場合には、第７図（ｂ）に示すように、像
側のＮＡ（開口数）が低倍率のときに比べて大幅に小さ
くなり、像側焦点深度が大きくなる。その結果、評価値
ＶＡ。

Ｖ、の差ΔＶが小さくなり、ピントずれの方向を判断す
るのが困難になる。

また、逆に高倍率の光学系の倍率に合わせて結像面Ｆと
受光素子列ＳＡ、ＳＲの間隔を設定すると、光学系の倍
率を低倍率にした場合、像側のＮＡが高倍率の時に比べ
て大きくなり、像側焦点深度が小さくなるため、結像面
位置Ｆでの評価値が小さな値となり、しかも結像面Ｆ近
傍では連続的にΔＶ−０となる領域（デッドゾーン）が
生じるため、合焦判定が不可能になる。

そこで従来は、第８図（ａ）に示すように、結像面Ｆと
受光素子列ＳＡ、Ｓａの間隔ＩＩＡ、　１１Ｂを、光学
系りの倍率の切換えに応じて、上記１’　Ａ　１ｆ！Ｂ
を６ｇの範囲で可変にするようにしている。

すなわち、第８図（ｂ）に示すように光学系が低倍率の
時に、結像面Ｆと受光素子列ＳＡ、ＳＢの間隔を（ｌ　
Ａｌ＋　ＩＩ　Ｂ＋に設定すると、各受光素子列ＳＡ、
ＳＢの出力信号から計算される評価値ＶＡ。

ＶＢは第８図（ｃ）に示すように結像面Ｆ近傍に連続的
にΔ■−０となるデッドゾーンＤが生じる。

そこで、受光素子列ＳＡ、ＳＢの間隔をΔｐ移動させて
、Ｉ　Ａ２１１８２に変更する。これにより、第８図（
ｄ）に示すような評価値■＾、ＶＢが得られ、合焦位置
を検出するのに十分なΔＶが得られる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、２つの受光素子列ＳＡ、ＳＲがらの出力
信号による評価値を比較して合焦位置を検出するといっ
た合焦位置検出方式において、観察倍率に応じて受光素
子列ＳＡ、Ｓ、間の光路長を変化させる構造は、評価値
に誤差が含まれる可能性が高く合焦位置検出精度が低下
するという問題があった。

これは、受光素子列ＳＡ、ＳＢの移動機構の精度が悪く
、受光素子列ＳＡ、ＳＢの移動方向が少しでも光軸から
ずれている場合には、光路長を変化させることによって
、各受光素子列ＳＡ、ＳＲの対応する受光領域の像がそ
れぞれ物体の異なる位置からの像となってしまい、その
結果、２つの受光素子列ＳＡ、ＳＢの出力信号による両
評価値の差に基づいて検出される合焦位置が本来の合焦
位置とは異なったものとなるからである。

この現象は、受光素子列の画素サイズが微小の場合、−
次元受光素子列を使用する場答、受光素子からの出力信
号を演算する評価関数がパラメータとして画像の位置情
報を含んでいる場合などに起こりやすい。

また、合焦位置検出装置が、顕微鏡のように観察倍率の
範囲が広く、特に１００倍以上の拡大率を持つような光
学装置に適用される場合には、２つの受光素子列の移動
範囲を大きくとらねばならないことから、必然的に装置
自体が大型化するといった問題もあった。

本発明は以上のような実情に鑑みてなされたもので、観
察光学系の倍率変換に影響されることなく合焦位置を高
精度に検出でき、しかも装置の小型化を図ることができ
る合焦位置検出装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明による合焦位置検出
装置は、所定の観察倍率で被写体像を結像させる観察光
学系と、この観察光学系から光束を取出して前記被写体
像を再結像させる再結像光学系と、この再結像光学系の
光軸上に前記被写体像の再結像面を挟んで光学的に対向
配置される一対の受光素子０列と、これら一対の受光素
子列から出力される出力信号を所定の評伍関数に基づい
てそれぞれの評価値に変換し、両出力信号の評価値の差
から合焦位置を検出する演算手段とを備えた合焦位置検
出装置において、前記観察光学系の結像面から前記再結
像光学系の結像面までの投影倍率と前記観察光学系の観
察倍率とを乗じた値が所定の範囲内に収まるように、前
記観察光学系の観察倍率の変化に応じて前記再結像光学
系の投影倍率を変化させるものとした。

〔作用〕

本発明によれば、観察光学系の観察倍率の変化に応じて
再結像光学系の投影倍率を変化させるようにしたので、
観察光学系の観察倍率が変化しても再結像光学系の射出
側の開口数がほぼ一定に保たれる。よって、一対の受光
素子列の移動軸と光軸のずれによる誤差が含まれること
よく観察光学系の倍率変換に影響されない高精度な合焦
位置検出を行うことができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例について説明する。

第１図は本発明の第１実施例となる合焦位置検出装置の
構成を示す図である。本実施例は、被写体像を観察者の
瞳位置に結像させる観察光学系りと、この観察光学系り
から取出された光束によって被写体像を再結像させる再
結像光学系Ｒと、この再結像光学系Ｒによって再結像さ
れた被写体像から合焦位置を検出する信号処理系と、検
出された合焦位置に基づいて観察光学系を合焦駆動する
駆動系とからなる。

観察光学系りと再結像光学系Ｒとの構成を第２図（ａ）
に拡大して示す。同図に示す１は、観察光学系の対物レ
ンズであって標本からの光束が入射する。この対物レン
ズ１は、図示しないレボルバ−に取り付けられ、互いに
倍率の異なる複数の対物レンズの中から選択されたもの
が観察光学系りの光軸上に配置され、電動式で倍率の異
なる対物レンズに切換え可能に構成されている。この対
物レンズ１の出射側にはハーフミラ−２が配置されてい
る。ハーフミラ−２を透過した光は観察光学系りの接眼
レンズ３を介して観察者の眼４、或いは不図示のＴＶ左
カメラに導かれる。一方、ハーフミラ−２の反射側には
、ミラー５が配置されていて、このミラー５で反射され
た光はレンズ６に入射して平行光束に変換される。レン
ズ６の出射側には、ターレット７に保持された光束径変
換レンズ群８が配置されている。ターレット７は、互い
に変換光束径が異なる複数の光束径変換レンズ群８−１
〜８−〇（本例の場合は２つ）を保持していて、任意の
光束径変換レンズ群８を再結像光学系Ｒの光軸上に配置
する。光束径変換レンズ群８で所要の大きさの径に変換
された光束は、レンズ９を通ってハーフミラ−１０に入
射する。

ハーフミラ−１０の透過側の光軸上であって、レンズ９
の後側焦点面Ｆ２より手前に所定距離離れた位置にＣＣ
Ｄアレイ１１が配置されている。

また、ハーフミラ−１０の反射側にはミラー１２が配置
されている。このミラー１２の反射光軸上であって、レ
ンズ９の後側焦点面Ｆ２′から後側に所定距離隔てた位
置にＣＣＤアレイ１３が配置されている。レンズ９の後
側焦点面Ｆ２およびＦ２′が対物レンズ１による標本像
の再結像面となる。

ここで、ＣＣＤアレイ１１，１３と対応する各再結像面
との距離ｐは、対物レンズ１の最高倍率と最低倍率との
中間倍率であって、光束径変換レンズ群８の光束径拡大
率が等倍のものを使用した際に、後述する評価値を使用
して良好に合焦位置を検出できる距離に設定される。

信号処理系では、ＣＰＵ２１からＣＣＤアレイ１１．１
３の画素出力を時系列で読出すためにタイミング回路２
２ａ、２２ｂへ指令信号が与えられる。各タイミング回
路２２ａ、２２ｂは、各ＣＣＤアレイ１１，１３に対応
して設けられた撮像素子ドライバ２３ａ、２３ｂに対し
てタイミング信号を出力する。各ＣＣＤアレイ１１，１
３の蓄積電荷は、撮像素子ドライバ２３ａ、２３ｂによ
って映像信号として読出される。各ＣＣＤアレイ１］、
、１３から読出された映像信号は、各々対応するプリア
ンプ２４ａ、２４ｂに入力され、そこで増幅された後、
対応するＡ／Ｄ変換器２５ａ。

２５ｂに人力される。Ａ／Ｄ変換器２５ａ。

２５ｂの各々の出力はＣＰＵ２１に入力される。

このＣＰＵ２１には、さらに対物レンズ１の観察倍率を
検知する倍率検知装置２６より対物レンズ１の倍率デー
タか人力される。

ＣＰＵ２１は、上記入力データに基づいて次のような処
理を実行する。即ち、ターレット７に取付けられた複数
の光束径変換レンズ群８−１〜８−ｎの中から、再結像
光学系Ｒの射出ＮＡを所定の範囲内に抑え得る投影倍率
の光束径変換レンズ群８を、倍率データに基づいて選択
し、その光束径変換レンズ群８を光軸上に配置するため
の駆動信号を生成してターレット駆動装置２７へ８カす
る。また、Ａ／Ｄ変換器２５より入力する信号を所定の
評価関数に従って演算して前述した評価値に変換する。

さらに、この評価値と倍率データとから対物レンズ１の
デフォーカス量を算出し、この算出結果に基づいて対物
レンズ１をその合焦位置へ移動させる駆動信号を生成し
てレンズ駆動装置２８へ出力する。

ここで、ＣＰＵ２１における光束径変換レンズ群８の選
択条件について第３図（ａ）（ｂ）を参照して説明する
。

低倍率の対物レンズ１を用いた場合のＣＣＤアレイ１１
，１．３からの出力信号によるコントラスト等の評価値
ＶＡ、ＶＢ（以後、添字Ａ、ＢはＣＣＤアレイ１１．．
１Ｂにそれぞれ対応するものとする）は、光束変換を行
わない場合には、第３図（ａ）に−点鎖線で示されるよ
うな曲線となる。

両評価値Ｖ、、ＶＢの差をとると第３図（ｂ）に示す曲
線となる。即ち、光束変換を行わない場合には、第３図
（ｂ）に示されるように、合焦位置近傍で値が変化しな
いプツトゾーンが生じてしまい、正確な合焦位置を検出
することは困難である。

また、高倍率の対物レンズ１を用いた場合の評価値Ｖ、
、Ｖ、は、光束変換を行わない場合には、第３図（ａ）
に破線で示されるような曲線となる。

合焦位置を検出するために、両評価値の差をとると、そ
の曲線は、第３図（ｂ）に示すように、値そのものが小
さくなると共に合焦位置近傍での勾配が小さくなるため
に、正確な合焦位置を検出することは困難である。

そこで、本実施例では、予め設定した再結像面Ｆ２．Ｆ
２’と２つのＣＣＤアレイ１１，１３との距離ｐに対し
て、光束径拡大率が等倍で良好な合焦位置検出が可能と
なる中間倍率の対物レンズの射出のＮＡ値をＡ、とした
とき、射出のＮＡ値がＡ２であるような対物レンズに対
しては、光束径拡大率がＡ　１／　Ａ　２程度の光束径
変換レンズ群８を選択する。これによって、観察光学系
りの結像面から再結像光学系Ｒの結像面までの投影倍率
が可変となり、低倍率から高倍率までの種々の対物レン
ズに対して、常に２つのＣＣＤアレイ１１゜１３へ入射
する光のＮＡをほぼ一定にすることができる。

次に、以上のように構成された本実施例の動作について
説明する。

観察光学系の対物レンズ１を所望の倍率に切換えると、
例えば低倍率に切換えると、倍率検知装置２６によって
これが検知され、ＣＰＵ２１へ倍率データが入力される
。ＣＰＵ２１では、この倍率データに基づいて再結像光
学系Ｒの射出側ＮＡを一定の範囲内に抑え得る光束変換
レンズ群８を選択する。この場合には、対物レンズ１が
低倍率であるので光束径を小さくする光束径変換レンズ
群８−１が選択され、ターレット駆動袋Ｈ２７へ駆動信
号が出力されて、この選択された光束変換レンズ群８〜
１が光路上に挿入される。その結果、光路上に挿入され
た光束径を絞るように作用する光束径変換レンズ群８−
１によって、対物レンズ１の結像面Ｆ１から再結像面Ｆ
　２　ｒ　　Ｆ　２′　までの投影倍率が大きくなる。

即ち、低倍率の対物レンズ１から出射されるＮＡの大き
な光束が、レンズ６Ｉ　レンズ群８−１．レンズ９を通
過することによって、よりＮＡが小さな光束となり、設
定されたＣＣＤアレイ１１，４３と再結像面Ｆ２゜Ｆ２
′との距離に適した像側焦点深度を持つようになる。

一方、対物レンズ１を高倍率に切換えると、倍率検知装
置２６からＣＰＵ２１に倍率データか入力される。ＣＰ
Ｕ２１では、この倍率データから対物レンズ１か高倍率
であると判断して、光束径を大きくするように作用する
光束径変換レンズ群８−ｎを選択する。そして、ＣＰＵ
２１からターレット駆動装置２７へ駆動信号が出力され
て、選択された光束径変換レンズ群８−ｎが光路上に挿
入される。その結果、設定されたＣＣＤアレイ１．１．
１３と再結像面Ｆ　２　＋　Ｆ　２′　との距離に適し
た像側焦点深度を持つようになる。

したがって、対物レンズ１の倍率が変化しても、再結像
光学系Ｒの射出側ＮＡがほぼ一定に保たれ、ＣＣＤアレ
イ１１，１３を光軸方向へ移動させることなく合焦位置
検出する上で最適な評価値を得ることのできる像をＣＣ
Ｄアレイ１１，１３上に形成できる。

そして、ＣＰＵ２１では、ＣＣＤアレイ１１゜１３から
の出力信号を取込んで評価値を算出し、この評価値と倍
率データとから合焦位置を演算する。この演算結果に基
づいて生成された駆動信号がレンズ駆動装置２８へ出力
されて、対物レンズ１が合焦調節される。

この様に本実施例によれば、再結像光学系Ｒに各々異な
る光束径に変換する光束径変換レンズ群８−１〜８−ｎ
を挿脱自在に設け、良好な合焦位置検出が可能となる中
間倍率の対物レンズの射出のＮＡ値をＡ１としたとき、
射出のＮＡ値がＡ２であるような対物レンズに対しては
、光束径拡大率がＡ　＋　／　Ａ　２程度の光束径変換
レンズ群８を選択して、光路上に挿入するようにしたの
で、低倍率から高倍率までの様々な対物レンズに対して
、ＣＣＤアレイ１１，１３を固定したままで、常に２つ
のＣＣＤアレイ１１，１３へ入射する光のＮＡをほぼ一
定に保つことができ、対物レンズの倍率に影響されない
高精度な合焦位置検出を行うことができる。しかも、Ｃ
ＣＤアレイ１１，１３は固定されるので、装置の小型化
を図ることもできる。

なお、上記実施例では光束径変換レンズ群８−１〜８−
ｎの切換えにターレット７を使用していたが、スライダ
ーを使用して切換えるように構成することもできる。

次に、本発明の第２実施例について説明する。

第４図は第２実施例の全体構成を示す図である。

なお、第１図に示す装置と同一機能の部分には同一の符
号を付している。本実施例は、投影倍率変換機能を前記
第１実施例とは異なった再結像光学系によって実現して
いる。

第２図（ｂ）は、本実施例の光学系を示している。この
光学系は、対物レンズ１を通過した光束を分離するハー
フミラ−２の反射側に、レンズ３０が配置されている。

レンズ３０の出射側光軸上には、その光路上に挿脱自在
に設けられた切換えミラー３１と、固定ミラー３２とが
配置されている。切換えミラー３１は第１光路上に配さ
れる。

第１光路は、切換えミラー３１で反射された光がレンズ
３３を通過してハーフミラ−３４へ入射する光路である
。一方、固定ミラー３２は第２光路上に配置される。第
２光路は、固定ミラー３２で反射された光がレンズ３５
を通過してミラー３６に入射し、ここで反射されてハー
フミラ−３４に入射する光路である。

第１光路を通過した光はハーフミラ−３４で２分され、
透過光はレンズ３３による結像面Ｆ４よりも手前の光軸
上に配置されたＣＣＤアレイ３７に入射する。一方、ハ
ーフミラ−３４で反射された光は、ミラー３８で反射さ
れた後に、レンズ３３による結像面Ｆ４′よりも後ろの
光軸上に配置されたＣＣＤアレイ３９に入射する。

また、第２光路を通過した光はハーフミラ−３４で三方
され、反射光はＣＣＤアレイ３７に入射し、透過光はＣ
ＣＤアレイ３９に入射する。なお、第１光路と第２光路
との違いは、対物レンズ１とレンズ３０による結像面Ｆ
３がら再結像面Ｆ４．Ｆ４’　までの投影倍率が、レン
ズ３３（第ｌ光路）のほうがレンズ３５（Ｊ２光路）よ
りも小さくなっている。それぞれの光路を通過後の再結
像面Ｆ、、Ｆ、’は全く同じ位置に設定されている。

一方、本実施例の信号処理系は、各ＣＣＤアレイ３７，
３９の出力信号が、それぞれ接続されているプリアンプ
２４ａ、２４ｂに入力され、それぞれの出力がＡ／Ｄ変
換器２５ａ、２５ｂでＡ／Ｄ変換された後にＣＰＵ４０
に入力される。

また、ＣＰＵ４０には前記第１実施例と同様に対物レン
ズ１の倍率データが倍率検知装置２６から入力される。

ＣＰＵ４０は、ＣＣＤアレイ３７゜３９の出力信号から
評価値を算出して合焦位置を検出し、デフォーカス量に
応じた駆動信号をレンズ駆動装置２８へ出力するように
動作すると共に、倍率データに基づいてミラー駆動装置
４１へ駆動制御信号を送出し、切換えミラー３１を光路
に対して挿脱させるように動作する。切換えミラー３１
が第１光路上に配置されているときは、第１の光路が選
択され、切換えミラー３１が第１光路上から離脱された
時には第２の光路が選択される。

ここで、第１光路と第２光路との選択条件について第５
図を参照して説明する。なお、第５図に示す実線は対物
レンズ１の射出ＮＡを表し、破線はＣＣＤアレイ３７，
３９の入射ＮＡを表している。

対物レンズ１の倍率が低倍率Ｍ１から徐々に高倍率へと
変化すると、対物レンズ１の射出ＮＡおよびＣＣＤアレ
イ３７，３９の入射ＮＡともに徐々に小さくなっていく
。そして、対物レンズ１の倍率が設定倍率ＭＯと等しく
なると、ミラー駆動装置４１により切換えミラー３１が
第１光路に挿入され第１光路が選択される。その結果、
ＣＣＤアレイ３７．３９への入射ＮＡが大きくなる。さ
らに倍率が大きくなると、ＣＣＤアレイ３７゜３９への
入射ＮＡは再び小さくなる。

また、対物レンズ１の倍率の変化に伴う評価値ＶＣ，Ｖ
Ｄの変化を第６図に示す。なお、評価値ＶＣ，ＶＤは、
ＣＣＤアレイ３７．３９のそれぞれの評価値である（以
後、添字Ｃ，ＤはＣＣＤアレイ３７．３９にそれぞれ対
応するものとする）。

第６図（ａ）〜（ｃ）は、対物レンズ１の倍率Ｍ、、Ｍ
２．Ｍ、にそれぞれ対応している。

本実施例では、対物レンズの倍率Ｍ　ｌ”＝　Ｍ　３と
設定倍率ＭＯとの大小関係を比較して、その大小関係に
応じてミラー駆動装置４１を制御することにより光路を
選択して投影倍率を切換えて、ＣＣＤアレイ３７，３９
の入射ＮＡを一定の範囲（ＮＡ）ｎ〜（ＮＡ）　Ｌに収
めるようにしている。

次に、以上のように構成された本実施例の動作として、
再結像光学系の投影倍率切換え動作について説明する。

ＣＰＵ４０では、倍率検知装置２６から人力された倍率
データに基づいて、ＣＣＤアレイ３７．３９の入射ＮＡ
を一定の範囲（ＮＡ））１〜（ＮＡ）　Ｌに収める得る
投影倍率を判断し、第１または第２光路を選択する。第
１光路を選択した場合には、ミラー駆動装置４１へ駆動
制御信号を出力して切換えミラー３１を第１光路上に挿
入して、第１光路の設定と投影倍率でＣＣＤアレイ３７
．３９に像が形成される。また、第２光路を選択した場
合には、切換えミラー３１を第１光路上から離脱させて
固定ミラー３２に光束を入射せしめる。これにより、第
２光路に設定された投影倍率でＣＣＤアレイ３７，３９
に像が形成される。

以後の、合焦位置検出動作は前記第１実施例と同様であ
るのでここでは説明を省略する。

この様に本実施例によれば、互いに投影倍率の異なる第
１．第２の光路を設け、対物レンズ１の倍率に応じてＣ
ＣＤアレイ３７，３９の入射ＮＡを一定の範囲（ＮＡ）
Ｈ〜（ＮＡ）Ｌに収める得る投影倍率の光路を選択して
光束を導くようにしたので、上記実施例と同様に高精度
に合焦位置を検出することができる。。

なお、上記各実施例では低倍率と高倍率の２つの光路を
設けた例を示したが、本発明はこの様な２光路の切換え
に限定されるものではなく対物レンズの倍率に合わせて
種々変形される。

〔発明の効果〕・ 以上詳記したように本発明によれば、観察光学系の倍率
変換に影響されることなく合焦位置を高精度に検出でき
、しかも装置の小型化を図ることができる合焦位置検出
装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例に係る合焦位置検出装置の
構成図、第２図（ａ）は同実施例の光学系部分の構成図
、第２図（ｂ）は第２実施例の光学系部分の構成図、第
３図は投影倍率の切換え条件を説明するための図、第４
図は第２実施例に係る合焦位置検出装置の構成図、第５
図および第６図は同実施例における投影倍率選択条件を
説明するための図、第７図および第８図は従来の合焦位
置検出方法を説明するための図である。 １・・・対物ンズ、２，１０・・・ハーフミラ−１５・
・・ミラー、６，９・・・レンズ、７・・・ターレット
、８・・・光束径変換レンズ群、１１，１３．３７．３
９・・・ＣＣＤアレイ、３１・・・切換えミラー、３２
・・・固定ミラー。 出願人代理人　弁理士　坪井　　浮 筒２図（ａ） 第２図（ｂ） Ｆ２′ 第３図（ａ） 第３図（ｂ） □対物レノズ１の射出Ｎ、Ａ 箪５図 （ａ）　　　　　（ｂ）　　　　　（ｃ）第６図 轄イゑ位置 砧イ駅位置

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 所定の観察倍率で被写体像を結像させる観察光学系と、
   この観察光学系から光束を取出して前記被写体像を再結
   像させる再結像光学系と、この再結像光学系の光軸上に
   前記被写体像の再結像面を挟んで光学的に対向配置され
   る一対の受光素子列と、これら一対の受光素子列から出
   力される出力信号を所定の評価関数に基づいてそれぞれ
   の評価値に変換し、両出力信号の評価値の差から合焦位
   置を検出する演算手段とを備えた合焦位置検出装置にお
   いて、 前記観察光学系の結像面から前記再結像光学系の結像面
   までの投影倍率と前記観察光学系の観察倍率とを乗じた
   値が所定の範囲内に収まるように、前記観察光学系の観
   察倍率の変化に応じて前記再結像光学系の投影倍率を変
   化させることを特徴とする合焦位置検出装置。