JP3123765B2 - 合焦位置検出装置 - Google Patents
合焦位置検出装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、暗視野、位相差、微分
干渉、偏光、蛍光などの顕微鏡特殊検鏡法（以後、単に
特殊検鏡法と呼ぶ）にも対応可能な合焦位置検出装置に
関する。
干渉、偏光、蛍光などの顕微鏡特殊検鏡法（以後、単に
特殊検鏡法と呼ぶ）にも対応可能な合焦位置検出装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の光路差方式のコントラスト検出型
合焦位置検出装置は、図5（ａ）に示すように、被写体
像を結像させる光学系Ｌの結像面位置Ｆを挟む光軸方向
の前後に、受光素子列ＳA、およびＳBを、同じ距離隔て
かつその素子列を光軸に対して垂直になるように配置し
ている。この受光素子列ＳAおよびＳBからの出力信号は
所定の評価関数で評価値に変換され、その評価値に基づ
いて合焦判定を行っている。
合焦位置検出装置は、図5（ａ）に示すように、被写体
像を結像させる光学系Ｌの結像面位置Ｆを挟む光軸方向
の前後に、受光素子列ＳA、およびＳBを、同じ距離隔て
かつその素子列を光軸に対して垂直になるように配置し
ている。この受光素子列ＳAおよびＳBからの出力信号は
所定の評価関数で評価値に変換され、その評価値に基づ
いて合焦判定を行っている。
【０００３】合焦位置は、図５（ｂ）に示すように、受
光素子列ＳA から出力される出力信号の評価値ＶA と、
受光素子列ＳB から出力される出力信号の評価値ＶB と
の差ΔＶが０となる位置である。そこで、従来の装置
は、評価値ＶA と評価値ＶB を比較してＶA ＜ＶBであ
れば後ピン状態を、ＶA ＞ＶB であれば前ピン状態を、
ＶA ＝ＶB であれば合焦状態をそれぞれ検知していた。
光素子列ＳA から出力される出力信号の評価値ＶA と、
受光素子列ＳB から出力される出力信号の評価値ＶB と
の差ΔＶが０となる位置である。そこで、従来の装置
は、評価値ＶA と評価値ＶB を比較してＶA ＜ＶBであ
れば後ピン状態を、ＶA ＞ＶB であれば前ピン状態を、
ＶA ＝ＶB であれば合焦状態をそれぞれ検知していた。
【０００４】特公昭６１−６０４１３号は、上記の装置
を顕微鏡に応用したものであり、被写体像が最もコント
ラストがよく結像する位置において、この結像面の前方
の所定の距離だけ離れた位置に形成される光像と前記結
像面の後方の所定の距離だけ離れた位置に形成される光
像との夫々を光電検出するイメージセンサと両光像の光
強度に応じた電気信号の差信号が所定値になるように間
隔調整する手段と、倍率切り替えにともない前記所定の
結像面と前記イメージセンサとの間の光路長を可変にす
る手段を有している。
を顕微鏡に応用したものであり、被写体像が最もコント
ラストがよく結像する位置において、この結像面の前方
の所定の距離だけ離れた位置に形成される光像と前記結
像面の後方の所定の距離だけ離れた位置に形成される光
像との夫々を光電検出するイメージセンサと両光像の光
強度に応じた電気信号の差信号が所定値になるように間
隔調整する手段と、倍率切り替えにともない前記所定の
結像面と前記イメージセンサとの間の光路長を可変にす
る手段を有している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たような従来技術は、多種の検鏡法に対して対応でき得
るものでなかった。
たような従来技術は、多種の検鏡法に対して対応でき得
るものでなかった。
【０００６】すなわち、上記のような検出方法における
顕微鏡について、明視野で最適な差信号が得られるよう
に受光素子列ＳA，ＳBを最適位置に固定した状態で特殊
検鏡法に変更すると、正しい合焦判定が困難になってし
まう。
顕微鏡について、明視野で最適な差信号が得られるよう
に受光素子列ＳA，ＳBを最適位置に固定した状態で特殊
検鏡法に変更すると、正しい合焦判定が困難になってし
まう。
【０００７】なぜなら、特殊検鏡法は、明視野で見にく
い標本を観察するための検鏡法であり、標本の低周波成
分が多くなる。そのため受光素子列ＳA，ＳBから出力さ
れる出力信号の曲線が図６（ａ）のようにゆるくなって
しまい評価値ＶA，ＶBの差ΔＶが小さくなり、ピントず
れの方向を判断するのが困難になる。
い標本を観察するための検鏡法であり、標本の低周波成
分が多くなる。そのため受光素子列ＳA，ＳBから出力さ
れる出力信号の曲線が図６（ａ）のようにゆるくなって
しまい評価値ＶA，ＶBの差ΔＶが小さくなり、ピントず
れの方向を判断するのが困難になる。
【０００８】また逆に、特殊検鏡法に合わせて結像面Ｆ
と受光素子列ＳA ，ＳB の間隔を設定した状態で明視野
検鏡に戻した場合、受光素子列ＳA ，ＳB から出力され
る出力信号の曲線は図６（ｂ）のように交わらなくなっ
てしまい、結像面位置Ｆでの評価値が小さくなる。しか
も結像面Ｆ近傍では連続的にΔＶ＝０となる領域（デッ
ドゾーン）が生じるため、合焦位置判定が不可能にな
る。
と受光素子列ＳA ，ＳB の間隔を設定した状態で明視野
検鏡に戻した場合、受光素子列ＳA ，ＳB から出力され
る出力信号の曲線は図６（ｂ）のように交わらなくなっ
てしまい、結像面位置Ｆでの評価値が小さくなる。しか
も結像面Ｆ近傍では連続的にΔＶ＝０となる領域（デッ
ドゾーン）が生じるため、合焦位置判定が不可能にな
る。
【０００９】本発明はこのような課題に着目してなされ
たもので、その目的とするところは、特殊検鏡の切り替
え時に、結像位置と受光素子列ＳA ，ＳB との距離（光
路長）を可変するような手段を設けることによって、正
確な合焦位置を検出することが可能な合焦位置検出装置
を提供することにある。
たもので、その目的とするところは、特殊検鏡の切り替
え時に、結像位置と受光素子列ＳA ，ＳB との距離（光
路長）を可変するような手段を設けることによって、正
確な合焦位置を検出することが可能な合焦位置検出装置
を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】被写体像を結像させる光
学系の結像面あるいはその結像面と共役な像面を挾み光
軸方向の前後に所定距離隔てた位置に一対の受光素子列
を配置し、これら一対の受光素子列の各々から出力され
る出力信号を所定の評価関数にしたがって演算し、この
演算によって各々得られたお互いの評価値の差に基づい
て合焦位置を検出する顕微鏡等の合焦位置検出装置にお
いて、顕微鏡特殊検鏡法の切り替え時に受光素子列と結
像面との間の光路長を可変にする手段を有する。
学系の結像面あるいはその結像面と共役な像面を挾み光
軸方向の前後に所定距離隔てた位置に一対の受光素子列
を配置し、これら一対の受光素子列の各々から出力され
る出力信号を所定の評価関数にしたがって演算し、この
演算によって各々得られたお互いの評価値の差に基づい
て合焦位置を検出する顕微鏡等の合焦位置検出装置にお
いて、顕微鏡特殊検鏡法の切り替え時に受光素子列と結
像面との間の光路長を可変にする手段を有する。
【００１１】
【作用】すなわち、本発明においては、顕微鏡特殊検鏡
法の切り替え時に受光素子列と結像面との間の光路長を
可変にすることによって合焦検出が高精度になる。
法の切り替え時に受光素子列と結像面との間の光路長を
可変にすることによって合焦検出が高精度になる。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の第１の実施例
について説明する。
について説明する。
【００１３】図１は本発明の合焦位置検出装置の構成を
示す図である。本実施例は、被写体像を観察者の瞳位置
に結像される観察光学系と、この観察光学系から取出さ
れた光束によって被写体像を再結像させる再結像光学系
と、この再結像光学系によって再結像された被写体像か
ら合焦位置を検出する信号処理系と、検出された合焦位
置に基づいて観察光学系を合焦駆動する駆動系とからな
る。
示す図である。本実施例は、被写体像を観察者の瞳位置
に結像される観察光学系と、この観察光学系から取出さ
れた光束によって被写体像を再結像させる再結像光学系
と、この再結像光学系によって再結像された被写体像か
ら合焦位置を検出する信号処理系と、検出された合焦位
置に基づいて観察光学系を合焦駆動する駆動系とからな
る。
【００１４】図１において、１は観察光学系の対物レン
ズであって標本からの光束が入射する。この対物レンズ
１の射出側には特殊検鏡ユニット２およびハーフミラー
３が配置されている。ハーフミラー３を透過した光は観
察光学系の接眼レンズ４を介して観察者の眼５、あるい
は不図示のＴＶカメラなどに導かれる。一方ハーフミラ
ー３の反射側にはレンズ６が配置されており、このレン
ズ６により標本像はＦ１に結像される。レンズ６の射出
側光軸上には、その光路上にミラー７が配置されてい
て、このミラー７で反射された光はレンズ８を通りハー
フミラー９に入射される。ハーフミラー９の透過側の光
軸上であって、レンズ８の結像面Ｆ２より手前の所定距
離離れた位置にＣＣＤ１１が配置されている。またハー
フミラー９の反射側にはミラー１０が配置されている。
このミラー１０の反射光軸上であって、レンズ８の結像
面Ｆ２’より後側の所定距離隔てた位置にＣＣＤ１２が
配置されている。レンズ８の結像面Ｆ２およびＦ２’が
対物レンズ１による標本像の再結像面となる。
ズであって標本からの光束が入射する。この対物レンズ
１の射出側には特殊検鏡ユニット２およびハーフミラー
３が配置されている。ハーフミラー３を透過した光は観
察光学系の接眼レンズ４を介して観察者の眼５、あるい
は不図示のＴＶカメラなどに導かれる。一方ハーフミラ
ー３の反射側にはレンズ６が配置されており、このレン
ズ６により標本像はＦ１に結像される。レンズ６の射出
側光軸上には、その光路上にミラー７が配置されてい
て、このミラー７で反射された光はレンズ８を通りハー
フミラー９に入射される。ハーフミラー９の透過側の光
軸上であって、レンズ８の結像面Ｆ２より手前の所定距
離離れた位置にＣＣＤ１１が配置されている。またハー
フミラー９の反射側にはミラー１０が配置されている。
このミラー１０の反射光軸上であって、レンズ８の結像
面Ｆ２’より後側の所定距離隔てた位置にＣＣＤ１２が
配置されている。レンズ８の結像面Ｆ２およびＦ２’が
対物レンズ１による標本像の再結像面となる。
【００１５】ここでＣＣＤ１１，１２と対応する各結像
面との距離は、顕微鏡明視野検鏡測定の時に、後述する
評価値を使用して良好に合焦位置を検出できる距離に設
定される。
面との距離は、顕微鏡明視野検鏡測定の時に、後述する
評価値を使用して良好に合焦位置を検出できる距離に設
定される。
【００１６】信号処理系では、ＣＰＵ２１からＣＣＤ１
１，１２の画素出力を時系列で読み出すためにタイミン
グ回路２２ａ，２２ｂへ指令信号が与えられる。各タイ
ミング回路２２ａ，２２ｂは、各ＣＣＤ１１，１２に対
応して設けられた撮像素子ドライバ２３ａ，２３ｂに対
してタイミング信号を出力する。各ＣＣＤ１１，１２
は、撮像素子ドライバ２３ａ，２３ｂによってドライブ
され、前記ＣＣＤに蓄積された電荷は映像信号として読
出される。各ＣＣＤ１１，１２から読出された映像信号
は、各々対応するプリアンプ２４ａ，２４ｂに入力さ
れ、そこで増幅された後、対応するＡ／Ｄ変換器２５
ａ，２５ｂに入力される。Ａ／Ｄ変換器２５ａ，２５ｂ
の各々の出力はＣＰＵ２１に入力される。このＣＰＵ２
１には、さらに顕微鏡検鏡法を検知する検鏡法検知装置
２８より現在使用している顕微鏡検鏡法データが入力さ
れる。
１，１２の画素出力を時系列で読み出すためにタイミン
グ回路２２ａ，２２ｂへ指令信号が与えられる。各タイ
ミング回路２２ａ，２２ｂは、各ＣＣＤ１１，１２に対
応して設けられた撮像素子ドライバ２３ａ，２３ｂに対
してタイミング信号を出力する。各ＣＣＤ１１，１２
は、撮像素子ドライバ２３ａ，２３ｂによってドライブ
され、前記ＣＣＤに蓄積された電荷は映像信号として読
出される。各ＣＣＤ１１，１２から読出された映像信号
は、各々対応するプリアンプ２４ａ，２４ｂに入力さ
れ、そこで増幅された後、対応するＡ／Ｄ変換器２５
ａ，２５ｂに入力される。Ａ／Ｄ変換器２５ａ，２５ｂ
の各々の出力はＣＰＵ２１に入力される。このＣＰＵ２
１には、さらに顕微鏡検鏡法を検知する検鏡法検知装置
２８より現在使用している顕微鏡検鏡法データが入力さ
れる。
【００１７】ＣＰＵ２１は、上記入力データに基づいて
次のような処理を行う。即ち検鏡法データに基づいて駆
動信号を生成して光路長可変手段２６に出力する。この
駆動信号は、ＣＣＤ１１，１２を、結像面からＣＣＤ１
１，１２への光路長を後述する評価値を用いた良好な合
焦位置を検出できる距離に光軸上に沿って移動させるた
めのものである。また、Ａ／Ｄ変換器２５ａ、２５ｂよ
り入力される信号を所定の評価関数に従って演算して前
述した評価値に変換する。ＣＰＵ２１はさらに、この評
価値と検鏡法データとから対物レンズ１のデフォーカス
量を算出し、この算出結果に基づいて対物レンズ１をそ
の合焦位置へ移動させる駆動信号を作成してレンズ駆動
装置２７へ出力する。ここで、結像面からＣＣＤ１１，
１２への光路長の最適位置条件について図２（ａ），
（ｂ）を参照して説明する。
次のような処理を行う。即ち検鏡法データに基づいて駆
動信号を生成して光路長可変手段２６に出力する。この
駆動信号は、ＣＣＤ１１，１２を、結像面からＣＣＤ１
１，１２への光路長を後述する評価値を用いた良好な合
焦位置を検出できる距離に光軸上に沿って移動させるた
めのものである。また、Ａ／Ｄ変換器２５ａ、２５ｂよ
り入力される信号を所定の評価関数に従って演算して前
述した評価値に変換する。ＣＰＵ２１はさらに、この評
価値と検鏡法データとから対物レンズ１のデフォーカス
量を算出し、この算出結果に基づいて対物レンズ１をそ
の合焦位置へ移動させる駆動信号を作成してレンズ駆動
装置２７へ出力する。ここで、結像面からＣＣＤ１１，
１２への光路長の最適位置条件について図２（ａ），
（ｂ）を参照して説明する。
【００１８】顕微鏡明視野検鏡法の場合のＣＣＤ１１，
１２からの出力信号によるコントラストなどの評価値Ｖ
A ，ＶB （以降、添字Ａ，ＢはＣＣＤ１１，１２にそれ
ぞれ対応するものとする。）は、図２（ａ）に実線で示
されるような曲線となる。両評価値ＶA ，ＶB の差をと
ると図２（ｂ）の実線で示す曲線のようになる。この状
態が正確な合焦位置を検出しやすい。
１２からの出力信号によるコントラストなどの評価値Ｖ
A ，ＶB （以降、添字Ａ，ＢはＣＣＤ１１，１２にそれ
ぞれ対応するものとする。）は、図２（ａ）に実線で示
されるような曲線となる。両評価値ＶA ，ＶB の差をと
ると図２（ｂ）の実線で示す曲線のようになる。この状
態が正確な合焦位置を検出しやすい。
【００１９】ここで、特殊検鏡法に切り替えた場合、像
情報の低周波成分が多くなるため評価値ＶA，ＶBは、光
路長可変を行わない場合には、図２（ａ）の破線で示さ
れるような曲線となる。合焦位置を検出するために、両
評価値の差をとると、その曲線は、図２（ｂ）の波線に
示すように、値そのものが小さくなると共に合焦位置近
傍での勾配が小さくなるために、正確な合焦位置を検出
することは困難である。
情報の低周波成分が多くなるため評価値ＶA，ＶBは、光
路長可変を行わない場合には、図２（ａ）の破線で示さ
れるような曲線となる。合焦位置を検出するために、両
評価値の差をとると、その曲線は、図２（ｂ）の波線に
示すように、値そのものが小さくなると共に合焦位置近
傍での勾配が小さくなるために、正確な合焦位置を検出
することは困難である。
【００２０】そこで本実施例では、特殊検鏡法の切り替
え時に、予め、明視野検鏡に設定した再結像面Ｆ２，Ｆ
２′と２つのＣＣＤ１１，１２との距離を可変とする事
により各検鏡法について最適な位置にＣＣＤを持ってく
る事ができ、正確な合焦位置検出ができる。この場合の
評価値ＶA ，ＶB は図３（ａ）のように示され、差分信
号は図３（ｂ）のようになる。次に、図４を参照して本
発明の第２の実施例を説明する。本実施例は第１の実施
例の説明はほとんど同じなので、異なる点のみを以下に
述べる。
え時に、予め、明視野検鏡に設定した再結像面Ｆ２，Ｆ
２′と２つのＣＣＤ１１，１２との距離を可変とする事
により各検鏡法について最適な位置にＣＣＤを持ってく
る事ができ、正確な合焦位置検出ができる。この場合の
評価値ＶA ，ＶB は図３（ａ）のように示され、差分信
号は図３（ｂ）のようになる。次に、図４を参照して本
発明の第２の実施例を説明する。本実施例は第１の実施
例の説明はほとんど同じなので、異なる点のみを以下に
述べる。
【００２１】第２の実施例においては、ＣＣＤ１１，１
２への投影光路中のいずれか一方にガラス板を光軸と垂
直に配置し、２種類の光路差を実現できるようにしたも
のである。
２への投影光路中のいずれか一方にガラス板を光軸と垂
直に配置し、２種類の光路差を実現できるようにしたも
のである。
【００２２】すなわち、通常の明視野観察においては、
ＣＣＤ１２（後ピン位置）にガラス板２９を挿入してお
き、ＣＰＵ２１が検鏡法データを基にしてこのガラス板
の移動をＣＣＤ１２からＣＣＤ１１の前へ行うことによ
り結像位置とＣＣＤの光路長を２段階に切り換えること
を特徴とする。
ＣＣＤ１２（後ピン位置）にガラス板２９を挿入してお
き、ＣＰＵ２１が検鏡法データを基にしてこのガラス板
の移動をＣＣＤ１２からＣＣＤ１１の前へ行うことによ
り結像位置とＣＣＤの光路長を２段階に切り換えること
を特徴とする。
【００２３】この場合、ガラス板２９がＣＣＤ１２の前
（後ピン位置）から移動する事により第２結像面Ｆ２′
が手前になるため、結像面とＣＣＤ１２の距離は伸びる
方向へ行く。よって後ピン距離が大きくなる。また、ガ
ラス板２９がＣＣＤ１１（前ピン位置）に来ることによ
り第２結像面Ｆ２が後方に伸びるので、結像面Ｆ２とＣ
ＣＤ１１の距離は伸びる方向に行く。よって前ピン距離
が大きくなる。
（後ピン位置）から移動する事により第２結像面Ｆ２′
が手前になるため、結像面とＣＣＤ１２の距離は伸びる
方向へ行く。よって後ピン距離が大きくなる。また、ガ
ラス板２９がＣＣＤ１１（前ピン位置）に来ることによ
り第２結像面Ｆ２が後方に伸びるので、結像面Ｆ２とＣ
ＣＤ１１の距離は伸びる方向に行く。よって前ピン距離
が大きくなる。
【００２４】当発明者の実験によれば、２段階光路差切
り替えですべての検鏡法についてかなりの対応ができる
ので、本実施例の構成は非常に簡単となるとともに実施
効果は大である。なお、以上の実施例では、対物レンズ
を動かして合焦動作を行ったが、標本を載置するステ−
ジを駆動しても可能であることは言うまでもない。
り替えですべての検鏡法についてかなりの対応ができる
ので、本実施例の構成は非常に簡単となるとともに実施
効果は大である。なお、以上の実施例では、対物レンズ
を動かして合焦動作を行ったが、標本を載置するステ−
ジを駆動しても可能であることは言うまでもない。
【００２５】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、観
察光学系の顕微鏡特殊検鏡法の切り替えに影響される事
なく合焦位置を高精度に検出できる合焦位置検出装置を
提供できる。
察光学系の顕微鏡特殊検鏡法の切り替えに影響される事
なく合焦位置を高精度に検出できる合焦位置検出装置を
提供できる。
【図１】本発明の第１の実施例に係る合焦位置検出装置
の構成図。
の構成図。
【図２】図２（ａ）、（ｂ）は特殊検鏡法の切り替え条
件を説明するための図。
件を説明するための図。
【図３】図３（ａ）、（ｂ）は特殊検鏡法の切り替え条
件を説明するための図。
件を説明するための図。
【図４】本発明の第２の実施例に係る合焦位置検出装置
の構成図。
の構成図。
【図５】図５（ａ）、（ｂ）は従来の合焦位置検出方法
を説明するための図。
を説明するための図。
【図６】図６（ａ）、（ｂ）は従来の合焦位置検出方法
を説明するための図。
を説明するための図。
１…対物レンズ、２…特殊検鏡ユニット、３，９…ハー
フミラー、７，１０…反射ミラー、６，８…レンズ、１
１，１２…ＣＣＤ、２１…ＣＰＵ、２６…光路長可変手
段、２７…レンズ駆動装置、２８…検鏡法検知装置、２
９…ガラス板。
フミラー、７，１０…反射ミラー、６，８…レンズ、１
１，１２…ＣＣＤ、２１…ＣＰＵ、２６…光路長可変手
段、２７…レンズ駆動装置、２８…検鏡法検知装置、２
９…ガラス板。
フロントページの続き (72)発明者 高濱 康輝 東京都渋谷区幡ケ谷２丁目43番２号 オ リンパス光学工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−143709（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−133115（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−235808（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−190808（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−50851（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 7/28 - 7/40 G02B 19/00 - 21/00 G02B 21/06 - 21/36
Claims (1)
- 【請求項１】 被写体像を結像させる光学系の結像面あ
るいはその結像面と共役な像面を挾み光軸方向の前後に
所定距離隔てた位置に一対の受光素子列を配置し、これ
ら一対の受光素子列の各々から出力される出力信号を所
定の評価関数にしたがって演算し、この演算によって各
々得られたお互いの評価値の差に基づいて合焦位置を検
出する顕微鏡等の合焦位置検出装置において、顕微鏡特
殊検鏡法の切り替え時に前記の受光素子列と結像面との
間の光路長を可変にする手段を用いたことを特徴とする
合焦位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7979891A JP3123765B2 (ja) | 1991-04-12 | 1991-04-12 | 合焦位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7979891A JP3123765B2 (ja) | 1991-04-12 | 1991-04-12 | 合焦位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04314013A JPH04314013A (ja) | 1992-11-05 |
| JP3123765B2 true JP3123765B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=13700241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7979891A Expired - Fee Related JP3123765B2 (ja) | 1991-04-12 | 1991-04-12 | 合焦位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3123765B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6576765B2 (en) | 2000-04-03 | 2003-06-10 | Ihara Chemical Industry Co., Ltd. | Process for preparing amic acid esters |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3282226B2 (ja) * | 1992-08-20 | 2002-05-13 | アイシン精機株式会社 | 水温感応式粘性流体継手装置 |
-
1991
- 1991-04-12 JP JP7979891A patent/JP3123765B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6576765B2 (en) | 2000-04-03 | 2003-06-10 | Ihara Chemical Industry Co., Ltd. | Process for preparing amic acid esters |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04314013A (ja) | 1992-11-05 |
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