JPH04501172A - 単極誘導形変位センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 卑楊誘導形変位センサ 技術上の分野 本発明は軸の角変位または部材の線形変位を交流アナログ変位通路に沿って配列 された複数の巻線形磁極を有する誘導形センサは国際出願Ｗ０８８１０６７１６ に記載されているが、６と図７において、固定子と回転子の間のある与えられた 瞬間における磁束の方向は連続的な巻線形磁極の間で交番する。

これらの図面は同様の２個の装置を示すもので、各装置は１２個の凸極（ｋから Ｖまで）を有する環状固定子２１を備え、該凸極は交番極性の巻線を有し回転子 ２２に向けて半径方向の内側に伸びている。この回転子は相異なる実効透磁率の １８０゜部分を２個有するが、これは１８０°部分が相異なる材料の分割部分２ ３．２４（図２）であるからか、或は１分割部分が非磁性体の導体の遮蔽層を有 するからである。いづれの場合においても、１分割部分２３の対向面の磁極上の 巻線は他の磁極よりも高いリアクタンスを有するものである。回転子が回転する につれて磁極の巻線は回転子分割部分の間の界面が通過するので、リアクタンス の変化を受けることになる。したがって、固定子溝が分割部分２３．２４の間の 回転子界面に関し斜めであれば、又はその逆であれば、測定された電圧降下は段 階的に、もしくは平滑的に回転と共に変化する。直交する１対のタップ（ＡＣお よびＢＤ）の両端のアナログ電圧を監視することにより回転子角を表わす＋１８ ０°又は−１８０°のアナログ信号が導き出されることを許容する。

発明の開示 対照的に、本発明は相対的な角度変位に関する信号を与えるための同種極誘導型 装置を与えるものである。換言すれば、同種極の関係にある連続的磁極をもって 、変位経路に沿って配列された複数の巻線形磁極が存在する。一般的に云えば、 本発明に係る装置は、複数の直列接続コイル部分に分割される１個又はそれ以上 の中間タップを有つ単一巻線によりその磁極を設置したものである。別の特長に おいて、本発明は、このような信号を得るためにこのような装置を動作させる方 法を提供するものである。

こ＼で注意すべきことは、異種極構造装置は、上記の如く磁束の方向が隣接する 巻線形磁極間で交番するものである。

同種棒形装置においては、磁束の方向は隣接する巻線形磁極の間で同じである。

これは磁束の復帰経路に関係なく真実である。したがって、同種極装置は単一の 分割磁極であると考えることができる。

本発明によれば、経路に沿って相対的に変位可能である一対の部材（例えば回転 子と固定子、または線型変位可能である部材と固定子）を有するセンサが得られ 、該部材の第１の部分は複数のコイル部分を、経路に沿って設け、該経路に対し 横切るように伸びているそれらの軸に対し配列せしめたもので、付勢されたコイ ル部分にその他の部材の一部分が隣接している場合に、付勢されたコイル部分か らの磁束が他の部材の一部分に通過し得るようになっており、該コイルは同種極 の直列として隣接されている。該第２の部材は、コイル部分に関するその位置が そのコイル部分のインダクタンスに影響を与え、異なるコイル部分がそれとは違 って影響をうけるように配列されている。したがって、第２の部材は、コイル部 分のすべてに常に隣接している強磁性部材となり得るが、少くとも１部分から、 しかし必ずしもすべてのコイル部分からではなく、それを遮蔽する遮蔽部を有し ている。

それとは別に、第２の部材は、変位が隣接しているコイル部分を変更するように 、コイル部分のすべてに隣接して伸び得ないものである。

異種極デバイスにおいて、巻線形極の間の空隙によりＶ字形で特徴づけられ、し たがって可動部材（例えば回転子）はこれを除去するように曲げられねばならな い。この結果、その遷移点において特徴を丸みづけることになる。同種極デバイ スはこの欠点を受けることがない。

−形式の実施例において、磁束用の復帰経路は固定子の長さに沿っている。回転 部材の実施例において、これは±１８０゜までの角を検知するために好適であり 、２個のコイルのみが必要とされる（１８０°より小さい角が主要な関心である 多くの応用が存在する）。

第２の形式の実施例において、コイル部分は第１の部材の１部分のみに沿って設 けられ、その残余の部分は磁束の復帰経路を与える。

本発明の若干の実施例を、添付図面を参照して極めて詳細に説明するこきにしよ う。

図面の簡単な説明 図１と図２とは国際出願１１０８８１０６７１６の出題である発明の実施例を示 すものである； 図３Ａは、２個の１８０°コイルを用いる固定子を放射状に包囲する回転子を有 する本発明の第１の実施例による軸方向断面図である； 図３Ｂは第１の実施例の端部立面図である：図３Ｃは第１の実施例におけるコイ ルと遮蔽部の概略図である； 図４八と図４Ｂとは図３Ｂと図３Ｃとに類似する図面であるが、４個の９０”コ イルを用いる第２の実施例を示す図面である； 図５Ａと図５Ｂとは図４Ａと図４Ｂとに類似の図面であるが、４個のコイルをも つ他の装置を示す図面である：図６は図３Ａに類似の図面であるが、回転子と固 定子とが軸方向に隣接する第３の実施例を示す図面である；図７は図４の実施例 の動作を説明する図表である；図８は第１の実施例の変形を用いる概略回路図で ある；図９は実施例の線図であって、図９Ａは端部立面図、図９Ｂは固定子の側 面図、図９Ｃは２個の交番移動の部材を示す上面図である； 図１０Ａと図ＪＯＢとは、角度制限用の回転子実施例の端部立面図と軸方向断面 図であり、図１０Ｃはこの実施例のコイルとスクリーンの概略図である； 図１１は図１０の実施例の動作を図示する図表である：図１２は変形実施例を示 す図１０Ａに類似の図面である；図１３Ａと図１３Ｂとは別の変形実施例を示す 図１０Ａζ図１０Ｂに類似の図面である； 図１４は更に別の変形実施例を示す図１０Ａに類似の図面である；および 図１５から図１７までは制限角度回転子の実施例に類似の線図の側面図である。

発明を実施するためのモード 図３は内部固定子と外部回転子を備えた第１形式の実施例の例をを示す。磁気回 路は固定子１と円筒形環状回転子２を具備している。固定子１は巻枠（スプール ）形状で、大直径の軸方向端部１ａと、減少した直径の中間部１ｂとを有する。

固定子１はフェライトまたは同様の磁気特性の材料から構成され、円筒形環状回 転子２は同じ強磁性材料を有するが、その半分は例えば銅またはアルミニウムの 導電層１により遮蔽された半分の内部円周を有する。巻枠１は２個の直径に関し 対向するスロット（溝）４を１端部１ａにて切断している。

これらのスロットを通って、１８０°スパンの２個のコイルが巻回され、該コイ ルは与えられた極性の供給用の磁束が固定子から回転子まで外側に流れて、矢印 で示されるように巻枠の他端において空隙を介して復帰するように接続されてい る。

図３Ｂに示した立面図において、磁気回路部材のみが図示され、固定子の上半分 は端子ａとｂの間のコイルにより取囲まれている。交流電源がａとＣに接続され る場合、ａと５間の電圧降下はｂと０間よりは低くなるが、それは遮蔽板３の短 絡効果が上部断面のインダクタンスを減少させるからである。

１８０°を通して回転子を回転させることは状況を逆転させ、したがって中心タ ップｂとａとＣのいずれかとの間の電圧は、１８０°を超えた角度変位の基本的 に線形のアナログ値を表示することになる。

図３Ａは軸６に結合したハウジング５内で回転子がどのように支持されるかの方 法を示すもので、該軸６は封入されているハウジング８内の適切な軸受７におい て係合されており、実用上軸位置の変換器を形成している。

１８０°のトラバース（横移動）のどれがアナログ電圧レベルにより表わされる かを決定するために、第１の１８０°から９０°だけ変位された第２の１８０° アナログ値を導出することが必要である。これは、１８０°における２個のスロ ットの代りに、９０°における４個の巻線スロットを付与し、図４に示される如 く２個の１８０°の代りに、４個の９０°の磁極を巻回することにより達成され る。再び発生した磁束の方向が円周のまわりで一定に維持される。巻線は前と同 様１８０°において中間タップの２相接続となり、接続もまた９０°と２７０° の位置でＸとＹのタップとして行われる。タップＸ（！：Ｙの両端のアナログ出 力は、センタタップｂといずれかの電極端子間のアナログ出力に等しくなるが、 ９０°だけ変位される。その結果は図７に表わされた２つの曲線であり、曲線Ａ はセンタタップ電圧を、曲線ＢはＸ−Ｙ電圧を表わしている。之は中間点に関し 高いか低いかを決定することによって、単純な＋または−の論理信号に変換され 得るもので、したがって完全な３６０°のデータを与える。別の例は一般に図３ の実施例に類似の図５に示されるが、図３ａ、ｂ、ｃの１８０°のスパンのコイ ルの対は９０°におけるコイルｘ−ｙ−ｚにより２倍にされる。各対コイルは電 源両端に接続されて、共通の磁気回路と共通の電源レールを有し、一対の並列な 単巻変圧器が得られる。図４Ａの装置についての利点は、二つのアナログ出力は 同じ電源供給点を参照して導出され、電子信号処理回路を一層簡単なものにする ことである。

ここに示された構造は導電性スクリーンの使用を図示して回転子の実効透磁率に おける１８０°の非対称性を与えるけれども、同様の効果が達成されるのは強磁 性材料のみの存在又は非存在の使用により、例えば図３に遮蔽状態で示された半 分において回転子材料を完全に除去することによるものであることが理解されよ う。また回転子を内装とし固定子を外装とし、または図６に具体化された軸方向 に対向する固定子と回転子とをもつ設計を作成することも可能であり、図６にお いては基本的な部材と軸のみが示され、遮蔽板（スクリーン）３は回転子２０表 面より１８０°を超えているものである。同質極の設計をもった他の可能性は単 巻変圧器接続の代りに２重巻線を利用することにより、巻線間の絶縁を得ること である。コイル９が図３の固定子巻枠１の中心のまわりに巻回されれば、電源は この巻線を１次巻線として作用するようにこの巻線に接続され得るし、角度アナ ログ電圧は既に述べた単巻変圧器に関し位置づけられたスロットの両端の巻線か ら９０゜だケ変位した２個の１８０°スパンのいずれか、または双方から、２次 巻線および／または３次巻線として得られる。このことは、アロナグ信号を処理 するために用いられる電子回路が出力を電源接地接続から絶縁することにより利 益をうけ得る。図８はこの装置におけるセンサ電源と出力の接続図を表わす。

同じ同種極構造はまた図９に表わされる如く線型運動検知用に適用され得る。こ ＼で固定子１１はチャンネル断面の強磁性材料を有し、移動部材１２により、一 定の空隙の両端で対向しており、この移動部材は半固定子長の間、導電層１３に より遮蔽されている。固定子の１個の脚の面におけるスロット１４（もしくは１ ４．１４’　）は、回転子の実施例に対し説明したように、同じ単巻変圧器接続 を用いて、矢印により示される如く、半固定子長（または１／４固定子長）の巻 線をして、同じ相対方向における部材の磁化を可能ならしめる。図示のスクリー ン位置において、巻線部分ａ−ｂのインダクタンスはｂ−ｃより高くなるが、左 方への運動はこれと逆となり、センタータップ電圧は１／２固定子長の基本的に は線形のアナログ値となる。また１／２固定子長だけ距った２個の１７２長スク リーンは、もつより長い移動部材１５と共に、１／４巻線とタップＸとＹを含み 、１／２の長さだけ変位した２個のアナログ出力の導出を可能とし、したがって 図７の曲線ＡとＢのように曲線を発生し、再び＋／−の１／２固定子長、即ち固 定子の全体の長さを表わす出力を与えることを可能とする。

また図９Ａに示されるように固定子の中心リム（脚）の回りに１次巻線１６が設 けられれば、２重巻形式が可能である。

図３のコイル９または図９のコイル１６のもう一つ別の可能な使用法は、ａとＣ の両端の電源の単巻変圧器接続に帰因する名目的な固定した２次出力としてであ る。この固定した値はアナログ出力に対する基準値として使用可能で、例えば、 この２次巻線の名目的な固定の出力により分割されたアナログ出力の比をとるこ とにより行われるものである。結果としての合計は電源電圧と周波数変動に独立 であるべきであり、極限の確度が要求される場合には一層高価な電子処理システ ムが正当と認められるべきである。

国際出願Ｗ０８８１０６７１６の異種極デバイスに比較すると、本発明の第１の 形式の実施例の好適な例は次の如き利点を与え得るものである： １、角度に対する出力の無段変化、これによりスクリーンの曲げ ゆがみに対する必要を除去する。

２、固定子の極めて簡単な巻線−１８０°までに対して２コイルのみ、３６０° に対して４コイル。

３．５本から４本までの導線の減少 ４、二つの出力（曲線ＡとＢ）が共通の接地基準レベルから導出され、したがっ て電子装置を簡略化せしめる。

５、　もし電源の絶縁が必要ならば、２重巻線型変圧器の可能性を交互にする。

および ６、変換器のはるかに容器な微小化にする期待。

説明の実施例は回転形式において、回転子の機械的平衡が実用上の必要なもので ある軸角の検知に関係しているけれども、同じ原理は傾斜センサもしくは回転（ ロール）センサの構造にも適用可能である。このような場合に、回転子は故意に 不平衡となってその位置を固定子に関し重力の引力に関係するようにさせ、した がって回転子軸の回りの垂線に関係する固定子位置の偏位は導かれるべき±１８ ０°に比例した出力信号をひきおこすことになる。

実施例の第２の形式のいくつかの例は図１０ないし図１７を参照して説明するこ とにしよう。

図１０は角度検知の典型的な装置を示す。強磁性体固定子１０１は、そのまわり に（ベアリングと軸装置は、図示されていない。構造はまた通常の電気機器にお けるように、回転子の外側に固定子を移動するように変換される）回転するよう に枢軸係合された強磁性体回転子１０２を有する。固定子周縁は２個のアクティ ブな極１０３Ａと１０３　Ｂにおよび復帰極１０４とに分割される。アクティブ 極１０３は巻線１０５を有している。

これらの極は等しい寸法を有し、巻線１０５はまた相互に同等である。巻線は直 列接続され、したがっていかなる瞬間にも巻線の極性は同じである。これらのア クティブな極により発生される磁束はしたがって強磁性回転子１０２と復帰棒１ ０４を介して復帰せねばならない。

回転子はその表面の一部分が、例えば銅の導電性スクリーン１０６を重ね合せる ことにより、残余の部分より低い有効透磁率を有するように配列されている。ス クリーン（遮蔽板）１０６は１つのアクティブな極１０３により包囲された弧に 同等の長さを有する。このスクリーンが１つの極１０３ａをおおう場合に、その 巻線は他の極１０３Ｂのインダクタンスより低いインダクタンスを有することに なり、したがって巻線が端子ＡとＣにおいて交流で供給されれば、その両端には より低い電圧降下が生ずることになる。中間点タップＢとＣまたはＡの間の電圧 が、電圧Ｂ−Ｃに対して図１１に示されるように、いずれかヌ゛完全に遮蔽され る場合の制限値の間でスクリーンの回転と共に変化することになる。名目的な線 型のアナログ出力に対しての移動の制限が１つのアクティブな極１０３の制限で あることに注意されたい。別の移動は単に復帰棒を遮蔽するだけであるのでスク リーンだけはこれらの極を横断し、そのデバイスを有用な範囲外におくものであ る。

交番的な回転子構造は図１２により表わされ、その図において、１つの極１０３ のスパンに等しいスパンをおおう強磁性材料の存在しないことは透磁率を減少す るのに用いられ、回転子内のこの空間に結合する巻線のインダクタンスが続いて 発生する。回転子１０７は、復帰棒１０４プラス１個のアクティブ極１０３の長 さの和に等しい周囲長を有するものであり、回転子は高透磁率材料から製作され る。

また、回転は復帰棒１０４を能動極１０３Ａ、１０３Ｂのいずれかに完全に結合 させる状態を維持するように、能動極１０３のスパンに限定される。

線形アナログ値の出力に対する最大角度回転は、したがって、能動極１０３の対 により広げられた角度回転の１７２に等しい。これは順番に復帰棒１０４に対し 要求されるスパンにより制限され、このスパンは周波数、磁束密度および強磁性 材料の性質に従って可能の設計である。図１３に示されるように、遮蔽板１０６ のみが軸１０８上で回転されるならば、したがって、約１５０°の最大範囲を与 え、極１０３の対が３００”を占めるならば、復帰棒１０４の間の空隙をなくす ことによりスパンは最小化され得る。

小さな角度範囲にわたる高感度が必要とされる場合に、復帰棒１０４はより大き くなり、能動極１０３は対応するためにより小さくなり得る。約７０°より小さ な範囲に対して２対の能動極１０３と２個の復帰棒１０４とが存在する図１４の ように、システムが２倍にされ得るか、または更に小さな角度範囲が必要とされ る場合に、３極の等測的組合せにおいては更に多重の倍率化が可能である。

中心タップから導出される出力に対し能動極の対が直列に接続される場合、装置 は変刷子形回転可変式単巻変圧器を構成する。また当該技術の専門の技術者であ れば誘導リアクタンスの有効な変化を電気信号に変換する別の方法を、例えばイ ンダクタンスの変化を発振器回路の周波数変化に変換することにより、考案する ことが可能となる。

図１５は線形変位センサにおける本発明の典型的な実施例を示す。またスクリー ンのみが図１５Ｂの如く空隙なしで移動されれば、復帰棒１０４は空隙（図１５ Ａ）を介して移動される。

いずれの場合においても、鉄の存在しないことがインダクタンスを減少させる別 の遮蔽板なしの動作方法が使用されなければ、磁気回路の対称性は、復帰棒１０ ４が各端部において１個、２個の１７２部分に分割されることを暗示している。

これは図１６に具体化されており、２個の能動極１０３の間に中央に復帰棒１０ ４を有するもので、能動極のいずれかゾ復帰極１０４プラス１能動極１０３の長 さに等しい長さをもつ、移動式強磁性部材１０７により復帰棒１０４に結合され るものである。

なかんづく上記の巻線装置は、単巻変圧器形式における単一タップは巻線をして 変位に比例するアナログ出力を与えることを可能にする。また新しい形式の構造 をもつ応用を２重巻線型デバイスに拡張することも可能である。これは例えば図 ９Ａを参照すれば、上記の実施例の第１の形式の軸上の１次巻線に対応するもの である。極１０３　ａと１０３　ｂの両端の２次電圧はその場合、それらの結合 が遮蔽により変化するにつれて変位と共に変化することになり、或は図１２の如 く強磁性材料のないことにより変化することになる。必要ならば、極１０３Ａと １０３Ｂ上の巻線は直列接続で対向状態にあり、したかって出力は中心部が０で 位相はいずれかの側で逆である微分変圧器の出力である。

図２に示された出力が直線である間は、この考案を達成させるには、空隙に沿っ て磁界分布を線形化するために磁極の整形もしくは他の設計上の詳細な変更が必 要となるものである。

補正書の翻訳文提出書 （特許法第１８４条の８） 平成３年４月１１日

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. １．経路に沿った変位に関し電気的出力データを付与する誘導形変位センサであ って、該センサは：該経路に沿って相互に対向する第１および第２の部材（１， ２）を具備し、少くとも該第２の部材（２）の一部分は該経路に沿って該第１の 部材（１）に関し変位可能であるもの；該第１の部材（１）は該経路に沿って設 けられた複数のコイル部分（ａｂ，ｂｃ）を有し、 該第２の部材（２）は隣接するコイルのインダクタンスを増加する如く用いられ 、かつ残余の部分が低インダクタンスの状態にある間、与えられた時間に、該第 １の部材のコイル部分の小部分のみが該第２の部材のコア手段により高インダク タンス状態にある如く配列されており、該第２の部材（２）の上記少くとも１部 の相対的変位が有効に高インダクタンス状態を変位せしめて、該コイル部分（ａ ｂ，ｂｃ）の小部分を空間的に変化せしめる如く用いられるようになっており、 該コイル部分（ａｂ，ｂｃ）が同種極直列として接続されることを特徴とする誘 導形変位センサ。
2. ２．該コイル部分が単一巻線を構成する請求項１記載の誘導形変位センサ。
3. ３．該コイル部分は直列に接続され、該コイル部分に制限を与える１個またはそ れ以上の中間タップをもって単一巻線を構成し、コイルの整列部が単巻変圧器と して配列されている、請求項１記載の誘導形変位センサ。
4. ４．上記第２の部材（２）は該複数のコイル部分（ａｂ，ｂｃ）の占有する経路 の長さの小部分のみに対し、変位経路に沿って有効に伸びており、与えられた時 刻において、したがって高インダクタンス状態にあるコイル部分の小部分のみに 有効に隣接するようになっている強磁性鉄心（２）を具備する、請求項１記載の 誘導形変位センサ。
5. ５．該鉄心は該複数のコイル部分（ａｂ，ｂｃ）の占有する経路の全長に沿って 伸びているが、遮蔽板（３）によりその長さの一部分にわたって高インダクタン ス状態を発生するために有効でないようにされている、請求項４記載の誘導型変 位センサ。
6. ６．上記第２の部材は、複数のコイル部分が実質的に占有する経路の全体の長さ に対して該経路に沿って伸びている強磁性鉄心と、与えられた時刻において、該 コイル部分の小部分のみを強磁性鉄心から遮蔽する如く動作するように、該複数 のコイル部分の占有する径路の長さの小部分のみに対し、経路に沿って伸びてい る遮蔽板とを具備し、該遮蔽板は上記径路に沿って上記第１の部材に関して変位 可能である、請求項１記載の誘導形変位センサ。
7. ７．該第１の部材は上記径路に沿って伸びている鉄心手段（１）を備え、上記コ イル部分（ａｂ，ｂｃ）はその長さに沿ってコイル部分（ＡＢ，ＢＣ）により発 生される磁束に対する復帰経路（１ａ，１ｂ）を与えるように形成されている上 記鉄心手段の上に巻回されている、請求項１記載の誘導形変位センサ。
8. ８．該第１の部材の鉄心手段は巻枠状の磁束経路を規定する強磁性材料から成り 、該部材は大きな直径の軸方向端部（１ａ）とより小さな直径の中間部分（１ｂ ）とを有し、１個の端部（１ｂ）上に巻回されたコイル部分を備えているもので あり、かつ磁束復帰経路が該第２の端部（１ａ）を通って設けられている、請求 項７記載の誘導形変位センサ。
9. ９．変位経路は線形であり、該第１の部材の鉄心手段（１１）は底面部と２個の 腕を有するチャンネルを規定する強磁性材料から成り、一方の腕上に設けられた コイル部分（ａｂｃ）を備え、かつ他の腕は磁束復帰経路の部分を備える、請求 項５記載の誘導形変位センサ。
10. １０．該変位経路は少くとも一部円形であり、上記第１の部材は一般に、その円 柱状表面内のその軸方向長の開口に沿って伸びているスロット（４）をもつ円柱 状鉄心手段（１ａ）を備えており、各上記コイル部分（ａｂ，ｂｃ）はそれぞれ 対の上記スロットの間に巻回されてなる、請求項１記載の誘導形変位センサ。
11. １１．９０°の間隔における４個のスロットと４個のコイル部分とを有する、請 求項１０記載の誘導形変位センサ。
12. １２．上記４個のコイルの各々は、上記４個のスロットの相異なる隣接する対の 間に巻回されている、請求項１１記載の誘導形変位センサ。
13. １３．直径に関し対向するスロットの各対はそれぞれの１／２シリンダの回りに 巻回された一対の対向するコイル部分（ａｂｃ，ＸＹＺ）を備えている、請求項 １２記載の誘導形変位センサ。
14. １４．該第１の部材は上記経路に沿って伸びている鉄心手段（１０３，１０４） を具備し、上記コイル部分はその長さの小部分（１０３Ａ，１０３Ｂ）のみにわ たって上記鉄心手段上に巻回されており、その残余の部分（１０４）は該コイル 部分（ＡＢ，ＢＣ）により発生された磁束に対し復帰経路を与える、請求項１記 載の誘導形変位センサ。
15. １５．該変位経路は少くとも１部円形であり、上記第１の部材は、その円柱状表 面内のその軸方向長の開口に沿って伸びているスロット（４）をもつ円柱状鉄心 手段（１ａ）を一般に具備し、おのおのの上記コイル部分（ａｂ，ｂｃ）は上記 スロットのそれぞれの対の間に巻回されており、２個のスロット間の鉄心手段の セクタは上記磁束復帰経路を与える如く巻かれない状態に放置されている、請求 項１４記載の誘導形変位センサ。
16. １６．該変位径路は線形であり、該第１の部材の該鉄心手段（１０３，１０４） は横方向スロットをもつ細長い棒を規定する強磁性材料より成り、おのおのの上 記コイル部分（ＡＢＣ）はそれぞれの対の隣接スロットの間に巻回されており、 該棒の該長さの部分（１０４）はコイル部分を有さず、かつ該磁束復帰経路の一 部分を与えるように用いられる、請求項１２記載の誘導形変位センサ。