JPH0449683A - 固体レーザ装置 - Google Patents

固体レーザ装置

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JPH0449683A
JPH0449683A JP16016590A JP16016590A JPH0449683A JP H0449683 A JPH0449683 A JP H0449683A JP 16016590 A JP16016590 A JP 16016590A JP 16016590 A JP16016590 A JP 16016590A JP H0449683 A JPH0449683 A JP H0449683A
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JP
Japan
Prior art keywords
solid
state laser
power supplies
excitation lamp
power supply
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Pending
Application number
JP16016590A
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English (en)
Inventor
Hiroo Takenaka
武中　浩郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はパルス励起固体レーザ装置に関する。
〔従来の技術〕
従来のパルス励起固体レーザ装置は、レーザ共振器を構
成する一対の反射鏡と、この反射鏡間に配置された固体
レーザ素子と、固体レーザ素子の近傍に配置されて固体
レーザ素子を励起するフラッシュランプと、フラッシュ
ランプを駆動する励起ランプ電源とから成り、第３図（
ａ）に示すように、コンデンサとチョークコイルがら構
成されるＰＦＮに充電した電荷をフラッシュランプ８に
放電、または、第４図（ａ）に示すように、大容量コン
デンサに充電した電荷をフラッシュランプ８に放電する
ことにより、その放電電流の時間波形（第３図（ｂ）、
第４図（ｂ））に応じたレーザ出力を得ていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述したＰＦＮ充電又は大容量コンデンサ充電によるフ
ラッシュランプの放電電流波形は前者がコンデンサとチ
ョークコイルの定数により一義的に決定され、後者にお
いては大容量コンデンサの充電電圧と容量によって放電
電流波形が決定される。これらの様子は第３図（ｂ）と
第４図（ｂ）に示されている。このように従来の励起ラ
ンプ電源においては、放電波形、すなわち、レーザ出力
波形を時間的に任意に制御することはできなかった。
本発明の目的は、フラッシュランプの放電電流波形、す
なわち、レーザ出力波形を電気的に任意に制御できる固
体レーザ装置を得ることである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の固体レーザ装置は、レーザ共振器を構成する一
対の反射鏡と、この反射鏡間に配置した固定レーザ素子
と、固体レーザ素子に励起光を照射する励起ランプと、
前記励起ランプを駆動する励起ランプ電源とを少くとも
備え、励起ランプ電源が、複数の出力電圧をもつ直流電
源を有し、それぞれ励起ランプとの間にスイッチング素
子を有し、それらが、励起ランプに対し、並列に接続さ
れている構成になっている。
〔作用〕
スイッチング素子を閉にするとそれぞれの出力電圧に応
じた大きさの放電電流が励起ランプに流れるため、各ス
イッチング素子を制御することにより、励起ランプに流
れる放電電流を任意に制御でき、レーザ出力波形が制御
できる。
〔実施例〕
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す、第１図において１，
２．３はそれぞれｖｌ、Ｖ２．ｖ、の異なる出力電圧を
もつ直流電源、４，５．６はそれぞれの直流電源に接続
されたスイッチング素子、７は各電源を分離するための
ダイオード、８はフラッシュランプ、９はスイッチング
素子の開・閉を制御する制御回路、１０は一対の反射鏡
間に配置した固体レーザ素子で、図示の如く配置・接続
している。
第２図は各スイッチング素子の制御のタイムチャートと
それによってフラッシュランプに流れる放電電流を示す
。ここではＶｌ　＞Ｖ２　＞ＶＳと仮定している。制御
回路による各スイッチング素子の制御と、直流電源Ｖ１
　、Ｖ２　、Ｖ５の出力電圧の選択により、任意の放電
電流の制御が可能である。
実施例においては３１ｍの直流電源を示したが、直流電
源を増加することにより、さらに精密な放電電流の制御
ができる。
なお、直流電源、スイッチング素子、制御回路、固体レ
ーザ素子は、従来用いられているものを適宜選択して使
用すればよいので、それらの具体的な説明は省略する。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明は、複数の異なった出力電
圧をもつ直流電源に直列に接続した各スイッチング素子
をシーケンシャルに制御する構成なので、任意の放電電
流を励起ランプに供給することができ、ミリ秒オーダで
レーザ出力のピーク出力を高速に変化させることができ
る。
第１図は本発明による固体レーザ装置の一例を示す図、
第２図は励起ランプ電源の動作を示すタイムチャートで
ある。第３図（ａ）、第４図（ａ）はそれぞれ従来の励
起ランプ電源の回路図、第３図（ｂ）、第４図（ｂ）フ
ラッシュランプの放電電流波形図である。
第１図において、１，２．３はそれぞれ異なる電圧Ｖｌ
　、Ｖ２　、Ｖ３　　（Ｖｌ　＜Ｖ２　＜Ｖｘと仮定）
をもつ直流電源、４．５．６は各直流電圧に直列に接続
されたスイッチング素子、例えば、ＳＣＲ，ＧＴＯ，ト
ランジスタなどである。７は各電源を分離するためのダ
イオード、８はフラッシュランプ、１０は固体レーザ素
子である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. レーザ共振器を構成する一対の反射鏡と、この反射鏡間
    に配置した固定レーザ素子と、固体レーザ素子に励起光
    を照射する励起ランプと、前記励起ランプを駆動する励
    起ランプ電源とを少くとも備えた固体レーザ装置におい
    て、前記励起ランプ電源が、出力電圧を任意に設定でき
    る複数の直流電源と、それぞれの直流電源に直列に接続
    された任意の閉回路時間を設定できるスイッチング素子
    と、スイッチング素子の開・閉を制御する制御回路とを
    有し、各直流電源とスイッチング素子を、ダイオードを
    介して、励起ランプに並列に接続したことを特徴とする
    固体レーザ装置。
JP16016590A 1990-06-19 1990-06-19 固体レーザ装置 Pending JPH0449683A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0653579A (ja) * 1992-07-30 1994-02-25 Miyachi Technos Kk レーザ電源装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0653579A (ja) * 1992-07-30 1994-02-25 Miyachi Technos Kk レーザ電源装置

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