JPH1126860A - パルスレーザ制御装置 - Google Patents

パルスレーザ制御装置

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JPH1126860A
JPH1126860A JP18278097A JP18278097A JPH1126860A JP H1126860 A JPH1126860 A JP H1126860A JP 18278097 A JP18278097 A JP 18278097A JP 18278097 A JP18278097 A JP 18278097A JP H1126860 A JPH1126860 A JP H1126860A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
voltage
current
laser
waveform
shot
Prior art date
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Pending
Application number
JP18278097A
Other languages
English (en)
Inventor
Tsutomu Sakurai
努 桜井
Hiroshi Yasudo
洋志 安戸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP18278097A priority Critical patent/JPH1126860A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 リアルタイムで設定通りの任意の波形が得ら
れる波形制御を行う。 【解決手段】 基準電圧発生器1と抵抗分割器2にて複
数の設定電圧を発生し、これら複数の設定電圧をレーザ
ショット信号で起動される順次タイマ3にて順次切り換
えることにより所望のレーザ波形に対応する制御電圧V
I を得、得られた制御電圧VI を電圧−電流変換アンプ
5に入力して駆動電流Iに変換し、この駆動電流Iで発
光体6を点灯させるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は任意波形のパルス状
のレーザ光を励起させるパルスレーザ制御装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来の任意波形のレーザ光を発生させる
パルスレーザ制御装置としては、図6、図7に示すよう
なものが実用化されている。
【0003】図6、図7において、スイッチSW1、S
W2のオン・オフにて電源Dの電力をコンデンサC1、
C2に充電してV1、V2なる電圧を発生させ、その後
切換スイッチSW3にてc接点を基点としてレーザショ
ット内で順次a接点にT1時間、c接点にT2時間、b
接点にT3時間切り換えることにより出力波形Pのレー
ザ光を得るように構成されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のコンデンサバンク方式と呼ばれる構成ではコンデン
サC1、C2に充電するのに時間を要し、また切り換え
た後に充電電圧が変化するため、丸っこい波形となり、
正確な制御が困難であるという問題がある。
【0005】また、初回のレーザショットに対して2回
目以後のレーザショットの際には励起媒体が熱を持つた
めに発生する熱レンズ効果によりレーザ出力が変化す
る。そこで、熱レンズ効果の影響を避けるために、レー
ザ光の空打ちを行う必要があるという問題がある。
【0006】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、リア
ルタイムで設定通りの任意の波形が得られる波形制御が
でき、また各ショット毎にリアルタイムでレーザ出力を
制御できるパルスレーザ制御装置を提供することを目的
としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】第1発明のパルスレーザ
制御装置は、複数の設定電圧を発生する手段と、レーザ
ショット信号で起動される順次タイマとゲートにて複数
の設定電圧を順次切り換えて所望の波形の制御電圧を発
生する手段と、制御電圧を電流に変換する電圧−電流変
換アンプとを備え、電圧−電流変換アンプからの電流で
発光体を点灯させるようにしたものである。
【0008】これによると、各レーザショットパルス内
で設定電圧を順次切り換えて得た所望の波形の制御電圧
により発光体に供給する電流波形をリアルタイムに制御
することができ、かつYAGレーザ等ではしきい値電流
を越えるとレーザ出力と電流が比例するので電流設定と
同波形のレーザ光が得られ、かくして設定通りの任意の
波形のレーザ光を得ることができる。また、電圧−電流
変換アンプからの電流で発光体を点灯させるので、コン
デンサバンク方式のようにレーザ出力の変化のない状態
で各ショット毎にリアルタイムで出力波形を制御でき
る。
【0009】また、従来のコンデンサバンク方式では、
充電時間によって条件切換に数sec要していたのに対
して数msecに短くでき、また波形制御の繰り返し周
波数限界が約20Hz程度であったのに対して数KHz
〜数MHz以上でもリアルタイムで波形制御することが
できる。
【0010】第2発明のパルスレーザ制御装置は、複数
の基準電圧を発生するとともにその複数の基準電圧をレ
ーザショット毎に必要に応じて切り換えてパルス状の基
準電圧を発生する手段と、レーザショット毎にパルス状
の基準電圧から複数の設定電圧を発生する手段と、レー
ザショット信号で起動される順次タイマとゲートにて複
数の設定電圧を順次切り換えて所望の波形の制御電圧を
発生する手段と、制御電圧を電流に変換する電圧−電流
変換アンプとを備え、電圧−電流変換アンプからの電流
で発光体を点灯させるようにしたものである。
【0011】これによると、複数の基準電圧をレーザシ
ョット毎に必要に応じて切り換えてレーザショット毎に
パルス状の基準電圧を発生し、この基準電圧を用いて上
記第1発明のように複数の設定電圧を発生し、それを順
次切り換えて所望の波形の制御電圧を発生し、発光体に
供給する電流波形をリアルタイムに制御するので、レー
ザ出力の切換をレーザショット毎に行うことができ、従
来熱レンズ効果の影響を回避して初回より安定したレー
ザ出力が得られ、またレーザショット毎に出力設定でき
るため、種々の表面状態の違いに対してリアルタイムで
対応した加工を行うことができる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明のパルスレーザ制御
装置の第1の実施形態について図1〜図3を参照して説
明する。
【0013】図1、図2において、レーザショット指令
毎に基準電圧発生器1からパルス状の電圧波形のショッ
ト信号Wが出力される。このショット信号Wは、抵抗分
割器2により予めそれぞれ所定値に設定された設定電圧
信号I1〜I5に分割される。これらの設定電圧信号I
1〜I5が、ショット信号Wにより起動される順次タイ
マ3にて作動されるゲート4によって順次切り換えられ
ることにより任意波形の制御電圧VI が生成される。こ
の制御電圧VI は数10〜数100Aの容量を持った電
圧−電流変換アンプ5により任意波形の駆動電流Iに変
換されてランプ6を点灯する。これら抵抗分割器2、順
次タイマ3、ゲート4、及び電圧−電流変換アンプ5に
て波形制御回路11が構成されている。ランプ6から出
力された光はレーザ媒体7に入力し、レーザ媒体7と反
射ミラー8と出力ミラー9とからなる共振器により共振
されてレーザ光10が出力される。
【0014】この際、図3に示すように、しきい値電流
0 を越えた範囲では駆動電流Iとレーザ出力Pが比例
するため、しきい値を越えた範囲で任意に設定された波
形の制御電圧VI どおりのレーザ出力が得られる。
【0015】次に、本発明のパルスレーザ制御装置の第
2の実施形態について図4、図5を参照して説明する。
【0016】図4において、レーザショット指令毎に基
準電圧発生器1からパルス状の電圧波形のショット信号
Wが出力される。このショット信号Wは、抵抗分割器1
2により予めそれぞれ所定値に設定された基準電圧W
1、W2、W3に変化される。
【0017】一方、基準電圧発生器1からのショット信
号Wはカウンタ13にてカウントされ、そのカウントに
応じて切換スイッチ14が順次切り換えられることによ
り、図5に示すように、ショット信号Wからショット毎
にW1、W2、W3と変化するパルス状の電圧波形の基
準電圧信号W’が得られる。
【0018】この基準電圧信号W’を上記第1の実施形
態の波形制御回路11に入力することにより、図5に示
すように、ショット毎に相似波形でかつ出力が異なる制
御電圧VI が生成され、その制御電圧VI どおりのレー
ザ出力が得られる。
【0019】なお、上記実施形態では光源6としてラン
プを例示したが、半導体レーザでも同様の作用効果が発
揮されることは言うまでもない。また、基準電圧発生器
1がパルス状の波形のショット信号Wを出力する場合を
例示したが、連続した基準電圧信号を出力するようにし
ても上記構成にて同様に任意の波形を得ることができる
ことは明らかであり、さらに各設定電圧信号11〜I5
をそれぞれ出力する手段を設けてもよい。
【0020】
【発明の効果】第1発明のパルスレーザ制御装置によれ
ば、以上の説明から明らかなようにリアルタイムで任意
にレーザ光の波形制御ができる。
【0021】また、第2発明のパルスレーザ制御装置に
よれば、リアルタイムで任意にレーザ光の波形制御がで
きるとともに、各ショット毎にそのレーザ光のパワーを
変化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のパルスレーザ制御装置の第1の実施形
態の構成図である。
【図2】同実施形態における波形図である。
【図3】同実施形態におけるレーザ出力特性図である。
【図4】本発明のパルスレーザ制御装置の第2の実施形
態の構成図である。
【図5】同実施形態における波形図である。
【図6】従来例のパルスレーザ制御装置の構成図であ
る。
【図7】同従来例の波形図である。
【符号の説明】
1 基準電圧発生器 2 抵抗分割器 3 順次タイマ 4 ゲート 5 電圧−電流変換アンプ 6 ランプ 10 レーザ光 11 波形制御回路 12 抵抗分割器 13 カウンタ 14 切換スイッチ W ショット信号 I1〜I5 設定電圧信号 VI 制御電圧 I 駆動電流 W’ 基準電圧信号 W1、W2、W3 基準電圧

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の設定電圧を発生する手段と、レー
    ザショット信号で起動される順次タイマとゲートにて複
    数の設定電圧を順次切り換えて所望の波形の制御電圧を
    発生する手段と、制御電圧を電流に変換する電圧−電流
    変換アンプとを備え、電圧−電流変換アンプからの電流
    で発光体を点灯させるようにしたことを特徴とするパル
    スレーザ制御装置。
  2. 【請求項2】 複数の基準電圧を発生するとともにその
    複数の基準電圧をレーザショット毎に必要に応じて切り
    換えてパルス状の基準電圧を発生する手段と、レーザシ
    ョット毎にパルス状の基準電圧から複数の設定電圧を発
    生する手段と、レーザショット信号で起動される順次タ
    イマとゲートにて複数の設定電圧を順次切り換えて所望
    の波形の制御電圧を発生する手段と、制御電圧を電流に
    変換する電圧−電流変換アンプとを備え、電圧−電流変
    換アンプからの電流で発光体を点灯させるようにしたこ
    とを特徴とするパルスレーザ制御装置。
JP18278097A 1997-07-08 1997-07-08 パルスレーザ制御装置 Pending JPH1126860A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003515959A (ja) * 1999-12-06 2003-05-07 キャンデラ コーポレイション マルチパルス色素レーザ
JP2012134316A (ja) * 2010-12-21 2012-07-12 Furukawa Electric Co Ltd:The 半導体レーザ駆動回路および光ファイバパルスレーザ装置
WO2018096770A1 (ja) * 2016-11-25 2018-05-31 富士フイルム株式会社 光音響計測装置

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