JPH0448763A - 冷却構造 - Google Patents

冷却構造

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JPH0448763A
JPH0448763A JP2155267A JP15526790A JPH0448763A JP H0448763 A JPH0448763 A JP H0448763A JP 2155267 A JP2155267 A JP 2155267A JP 15526790 A JP15526790 A JP 15526790A JP H0448763 A JPH0448763 A JP H0448763A
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JP
Japan
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heat
lsi
cold plate
terminal
heating element
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JP2155267A
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English (en)
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Masahiro Mochizuki
優宏 望月
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73253Bump and layer connectors

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  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 冷却構造に係り、特に基板上に実装された発熱体が発す
る熱をコールドプレートに伝え、熱伝導によって上記発
熱体を冷却してなる冷却構造に関し、 冷却能力を向上しつつ、冷却モジュールの軽量化を図る
ことを目的とし、 発熱体が実装された基板と、内部に冷媒が流通する流路
を有し、該発熱体を熱伝導によって冷却するコールドプ
レートと、該発熱体の冷却面より突出する複数の雄体と
、該コールドプレートの該発熱体側面に取り付けられ、
該雄体と嵌合する複数の雌体と、を具備してなり、該発
熱体が発する熱を、該雄体および該雌体を介して該コー
ルドプレートに伝導してなるよう構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、冷却構造に係り、特に基板上に実装された発
熱体が発する熱をコールドプレートに伝え、熱伝導によ
って上記発熱体を冷却してなる冷却構造に関するもので
ある。
[従来の技術〕 従来は第13図に示すように、熱伝導性に優れた金属体
よりなる放熱ブロック25に、基板20上に実装された
発熱体であるLSI21の実装位置に対応して凹部を形
成し、その凹部にスプリング27を介して放熱スタッド
26を取りつける。
この放熱スタッド26はLSI21の冷却面と接触して
いる。
一方、基板20が取り付けられる面と反する面に、内部
に冷媒が流動する流路28が形成されたコールドプレー
ト22を配置する。
上記放熱ブロック25と上記基板20の間には、不活性
ガスが注入され、更に放熱ブロック25と基板20とは
フランジ23を介して接合され、内部の気密保持のため
、シール材24が取り付けられている。
LSI21から熱が発せられると、その熱は冷却面より
放熱スタッド26から放熱ブロック25を通じて、また
は放熱スタッド26からスプリング27更には放熱ブロ
ック25を通しることにより、コールドプレート22に
伝えられ、冷媒とのNWAによってかかるLSI21の
冷却が行われる。
尚、第13図中矢印は、冷媒の流れを示す。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、LSIの熱を伝える放熱スタ・ノドとL
SIの冷却面とは一点接触となっているため、熱伝導に
限界が生ずる。
また、放熱ブロックの板厚は、熱伝導を確保するために
、ある程度の厚みを有し、よって冷却モジュールの重量
が重くなる欠点があった。
従って、本発明は冷却能力を向上しつつ、冷却モジュー
ルの軽量化を図ることを目的とするものである。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は、発熱体2が実装された基板1と、内部に冷
媒が流通する流路8を有し、該発熱体2を熱伝導によっ
て冷却するコールドプレート3と、 該発熱体2の冷却面に取り付けられた複数の雄体5と、 該コールドプレート3の該発熱体2側面に取り付けられ
、該雄体5と嵌合する板バネ状の複数の雌体6と、 を具備してなり、 該発熱体2が発する熱を、該雄体5および該雌体6を介
して該コールドプレート3に伝導してなることを特徴と
する冷却構造、により達成される。
〔作用〕
以上の如く構成することで、本発明では、発熱体である
LSI単位に複数の雄体と複数の雌体との嵌合による多
点接触となり、熱伝導性が向上する。
上記熱伝導性が向上することによって、従来熱伝導を確
保するために必要だった冷却モジュールの板厚の分を、
上記多点接触によって補うことができるため、上記冷却
モジュールの板厚も薄くすることができる。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を第1図乃至第12図を用いて詳
細に説明する。
第1図乃至第12図において、1ば基板、2ばLSI、
3はコールドプレート、4は放熱ブロック、5はビン、
6ば板バネ状の端子、7はフランジ、8は流路、9はシ
ール材、10はハウジング。
11は突起、12ばフィン、13ばサブフィン。
14はカムアクチュエータ、15はボルトをそれぞれ示
す。 第1図乃至第12図を通じて、同一符号を付した
ものは同一対象物をそれぞれ示す。
■第1の実施例の説明 以下、本発明の第1の実施例について、第1図乃至第4
図を用いて詳細に説明する。
第1図に示すように、熱伝導性に優れた金属より構成さ
れた放熱ブロック4の一方の面に凹部を形成し、その凹
部が形成された面に、後述説明する基fIiI上に実装
されたLSI2の冷却面より突出してなるビン5の立植
位置に対応して、熱伝導性に優れた板バネ状の端子6を
、上記ビン5と嵌合されるように立植しておく。
上記端子6ば、第3図に示すように、例えば4×4の計
16本として放熱ブロック4より突出しており、放熱ブ
ロック4とばロウ付け、または熱伝導性に優れた接着剤
によって固着されている。
放熱ブロック4の他方の面には、その内部に冷却水等の
冷媒が流動してなる流路8が形成されたコールドプレー
ト3を放熱ブロック4と高い熱伝導性を得るために密着
させてお(。
尚、コールドプレート3に形成された流路8の端部には
それぞれ配管接続用のカプラが取り付けられている。
放熱ブロック4の一方の面には、上記凹部を密閉するよ
うに放熱ブロック4とはフランジ7を介して、複数のL
SI2が実装された基板Iが取り付けられる。
このLSI2の冷却面には、第2図に示すように例えば
4×4の計16本の熱伝導性に優れた金属からなるビン
5が適宜の間隔をもって、複数本突出しており、冷却面
とはロウ付け、または熱伝導性に優れた接着剤によって
固着されている。
更に、基板lと放熱ブロック4との空間には、チッ素ま
たはヘリウム等の不活性ガスが注入されており、外気と
の気密保持のため、フランジ7と放熱ブロック4とはシ
ール材9を介して接合されている。
上記構成を有する本実施例の冷却モジュールにオイて、
LSI2が熱を発すると、その熱はLSI2の冷却面か
ら突出する複数のビン5に伝わり、更に熱はそのと、ン
5と嵌合する端子6に伝わる。
この時、ビン5と端子6ば少なくとも第2図および第3
図の開示から明らかなように、1ピンにつき端子は2か
所の接点を有する二点接触となっており、よって、1つ
のLSIについてみれば、4X4X2の計32の接触点
を得ることができる。
端子6に伝わった熱は、放熱ブロック4を介してコール
ドプレート3に伝わり、コールドプレート3の内部を流
動する冷媒との温度置換によって、かかる熱を冷却モジ
ュールの外部に放出する。
尚、基板1上に実装されたLSI2の実装上のバラツキ
、つまり基板1のLSI実装面と垂直方向のバラツキは
、ビン5の側面を端子6がスライドすることでその許容
が成される。
よって、LSI2の熱を放熱ブロック4に伝える部分が
多点接触となっているため、熱伝導性が向上し、熱伝導
性が向上することで、放熱ブロック4の板厚によって熱
伝導を確保していた分が無くなるため、冷却モジュール
の軽量化も図れる。
上記第1の実施例の変形例として、第4図のようなもの
がある。
これは、第1の実施例の冷却モジュールの重量を更に軽
量化成らしめるものであって、上記第1の実施例におい
ては、放熱ブロック4は一方の面に凹部が形成されたも
のとして説明したが、この放熱ブロック4(以下、本変
形例ではハウジング10と称する)を枠状体とし、上記
第1の実施例において、放熱ブロック4の取り付けられ
ていた複数の端子6をコールドプレート3に直接取りつ
けたものである。
更に、上記ハウジング1oの断面中程には、枠状体であ
るハウジング10の内周に向かって突出する突起11が
形成されており、その突起11を境に2つのシール材9
,9′がフランジ7およびコールドプレート3との気密
性を保持するために形成されている。
上記のような変形例とすることで、軽重量化を図ること
は勿論のこと、直接端子6からコールドプレート3にL
12の熱が伝導されることとなるので、熱伝導性も向上
し、冷却能力も向上する。
■第2の実施例の説明 以下、本発明の第2の実施例を第5図乃至7図を用いて
詳細に説明する。
尚、第1の実施例と構造上同一の部分についてはその説
明を省略する。
第5図に示すように、上記第1の実施例と本実施例とが
異なる点は、ビン5に代えて第6図に示すように4本の
山を有するフィン12とした点である。
このフィン12ば、LSIの冷却面とはロウ付け、また
は熱伝導性に優れた接着剤、またはサーマルコンパウン
ド等によって密着されており、端子6と嵌合するもので
ある。
一方、放熱ブロック側に取り付けられる端子は上記第1
の実施例と同様の構成としても良いし、またはフィン1
2から突出する4本の山と対応するよう、長手方向に延
長した形の4本の端子としてもよい。4本の例では、点
接触ではなく線接触となるため、熱伝導性に更に優れた
ものとなる。
上記のように構成されたフィン12と端子6との嵌合に
よって、LSI2から発された熱は、フィン12および
端子6を介して放熱ブロック4に伝わり、コールドプレ
ート3の冷媒によって、その熱を奪うことができる。
更に、第2の実施例においては、端子6と嵌合するのは
フィン12であるため、上記チッ素またはヘリウム等の
不活性ガスの低温がフィン12に伝わり、更に優れた冷
却能力が期待できる。
尚、上記第1の実施例の変形例として説明した構造、ハ
ウジングを枠状体とする構成は本実施例においても通用
可能である。
■第3の実施例の説明 以下、本発明の第3の実施例を第8図乃至第10図を用
いて詳細に説明する。
尚、第2の実施例と構造上同一の部分についてはその説
明を省略する。
第8図に示すように、上記第2の実施例と本実施例とが
異なる点は、第9図および第10図に示すように、放熱
ブロック4にサブフィン13を取り付け、そのサブフィ
ンエ3の谷部に、列方向に複数本まとめた端子6゛を固
着させ、LSI2の冷却面に取り付けられたフィン12
と互い違いに噛み合わせて、フィン12と端子6″とを
接触させた点である。
上記端子6′はサブフィン13の各仕切り板13bの内
側根本にミゾ13aを切り欠き、このミゾ13aをガイ
ドとして端子6゛が挿入されるものである。
本例の如く、LSI2に取り付けられたフィン12と、
放熱ブロック4に取り付けられた端子6を有するフィン
13とを互い違いに噛み合うように配置させることは、
端子6″とフィン12との多点接触となり、熱伝導性が
向上すると共に、放熱ブロック4と基板Iとの間に注入
された不活性ガスが接する面積が多くなるので、その分
冷却能力が向上する。
尚、上記第1の実施例の変形例として説明した構造、ハ
ウジングを枠状体とする構成は本実施例においても通用
可能である。
■第4の実施例の説明 以下、本発明の第4の実施例について第11図を用いて
詳細に説明する。
尚、第1の実施例と構造上同一の部分についてはその説
明を省略する。
本実施例は、第11図に示すように、第1の実施例の構
造に、カムアクチュエータ14と呼ばれる構成を付加し
た点が第1の実施例と比較して異なる。
このカムアクチュエータ14はLSI2の冷却面より突
出してなるビン5の突出位置の部分のみが開口された四
角体で、これも熱伝導性に優れた金属より構成されてい
る。
更に、カムアクチュエータ14の端部にはボルト15が
形成され、このボルト15の締付は力によって、上記開
口が間隔が挟まり、ピン5と端子6の接触性を向上でき
る一方、ボルト15の締付は力を弱めることによって、
ピン5に端子6を挿入する際の挿入力を低減することが
できる。
このカムアクチュエータエ4ば、ピン5と端子6との接
触部分に位置させるためには、予め、カムアクチュエー
タ14を緩めた状態で且つ放熱ブロック4の端子6側に
カムアクチュエータ14を挿入しておく。そして、放熱
ブロック4と基板1の合体時にピン5を端子6に挿入し
くこの時は、カムアクチュエータ14が緩められた状態
にあるので、ゼロ挿入となっている)、合体固定後に端
子6側にあるカムアクチュエータ14をピン5側に移動
させることによって、上記の如くピン5と端子6とのコ
ンタクトを確保することができる。
尚、上記第1の実施例の変形例として説明した構造、ハ
ウジングを枠状体とする構成は本実施例においても適用
可能である。
■第5の実施例の説明 以下、第5の実施例を第12図を用いて詳細に説明する
本例は、第2の実施例に第4の実施例において説明した
カムアクチュエータを組み合わせた構造であるため、そ
の説明は省略する。
尚、上記第4の実施例の変形例として説明した構造、ハ
ウジングを枠状体とする構成は本実施例においても適用
可能である。
上記第1乃至第5の実施引金てにおいて、LSI側にピ
ン5またはフィン12を取り付け、放熱ブロック側に端
子6を取り付けたものとして説明を行ったが、この構成
に限定されるものでなく、両者が反対の構成となっても
何も問題はない。
〔発明の効果〕
以上詳細に説明したように本発明においては、発熱体が
発する熱をコールドプレートに熱伝導にて伝える際に、
雄体と雌体とが多点接触となるため、熱伝導性が向上す
る。
更に、熱伝導性が向上することによって、従来放熱ブロ
ックの板厚によって熱伝導を確保するために必要だった
冷却モジュールの板厚の分を、上記多点接触によって補
うことができるため、上記冷却モジュールの板厚も薄く
することでき、冷却モジュールのセット時の作業性が向
上する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の第1の実施例を示し、第2図は、第
1の実施例におけるLSIの斜視図を示し、 第3図は、第1の実施例における放熱ブロックの一部斜
視図を示し、 第4圀は、第1の実施例の変形例を示し、第5図は、本
発明の第2の実施例を示し、第6図は、第2の実施例に
おけるLSIの斜視図を示し、 第7図は、第2の実施例における放熱ブロックの一部斜
視図を示し、 第8図は、本発明の第3の実施例を示し、第9図は、第
3の実施例におけるLSIの斜視図を示し、 第10図は、第3の実施例における放熱ブロックの一部
斜視図を示し、 第11図は、本発明の第4の実施例を示し、第12図は
、本発明の第5の実施例を示し、第13図は、従来例を
示す図である。 図において、 !・・・・・−・−−一−−−−−−−−基板。 2 ・−・−・・・・−・・・・・・−・発熱体(LS
I)。 3・・・・−−−−−−−−−m−−−−−−コールド
プレート。 4−・−・・・−・−・−・・−放熱ブロック。 5−・・−一−−−−−−−〜・・−雄体(ピン)。 6・・・−−−−−−・−・−−−−−−−一雌体(端
子)。 8−−−−−−・・−−−−−・−・・流路。 12 ・−・−−−−−一−−−−−−雄体(フィン)
。 14−・・−・−−一−−−−・−カムアクチュエータ
。 をそれぞれ示す。 11:突起 / 第1の実施4クリの突形げりΣ手亨口 第4 図 5′ビン 第 図 第1−嗅]階JヂlI=五・(す3於充り6ン2鼾音p
宋り9pjI 3 図 4、紋毫さヲ′O77 /1−繁θ目の第2の突片イタ1は示す図315図 122イン 第 図 第 図 不発θ目の2743の実峰例りホエロ 第8図 不介四(71第4の実施イ刈含示す口 第11図 不発e凸のf45の実施例1がT口 25 af、;ブOツ2 22 フーーレV’y’b−* イメを一束イタ11壇、テ31[≧〕 @ 13図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 〔1〕発熱体(2)が実装された基板(1)と、 内部に冷媒が流通する流路(8)を有し、該発熱体(2
    )を熱伝導によって冷却するコールドプレート(3)と
    、 該発熱体(2)の冷却面に取り付けられた複数の雄体(
    5)と、 該コールドプレート(3)の該発熱体(2)側面に取り
    付けられ、該雄体(5)と嵌合する板バネ状の複数の雌
    体(6)と、 を具備してなり、 該発熱体(2)が発する熱を、該雄体(5)および該雌
    体(6)を介して該コールドプレート(3)に伝導して
    なることを特徴とする冷却構造。 〔2〕発熱体(2)が実装された基板(1)内部に冷媒
    が流通する流路(8)を有し、該発熱体(2)を熱伝導
    によって冷却するコールドプレート(3)と、 該発熱体(2)の冷却面に取り付けられた板バネ状の複
    数の雌体(6)と、 該コールドプレート(3)の該発熱体(2)側面に取り
    付けられ、該雌体(6)と嵌合する複数の雄体(5)と
    、 を具備してなり、 該発熱体(2)が発する熱を、該雌体(6)および該雄
    体(5)を介して該コールドプレート(3)に伝導して
    なることを特徴とする冷却構造。
JP2155267A 1990-06-15 1990-06-15 冷却構造 Pending JPH0448763A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6681840B1 (en) 1999-10-19 2004-01-27 International Business Machines Corporation Heat sink with enhanced heat spreading and compliant interface for better heat transfer
US8027463B2 (en) 2008-02-29 2011-09-27 Nec Infrontia Corporation Fixed telephone set capable of preventing howling and temperature rise of a handset
JP2012005191A (ja) * 2010-06-15 2012-01-05 Denso Corp 電力変換装置
JP2013239676A (ja) * 2012-05-17 2013-11-28 Toyota Industries Corp 冷却器及び冷却器の製造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6681840B1 (en) 1999-10-19 2004-01-27 International Business Machines Corporation Heat sink with enhanced heat spreading and compliant interface for better heat transfer
US8027463B2 (en) 2008-02-29 2011-09-27 Nec Infrontia Corporation Fixed telephone set capable of preventing howling and temperature rise of a handset
JP2012005191A (ja) * 2010-06-15 2012-01-05 Denso Corp 電力変換装置
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