JPH0448077A - ダイヤモンド被覆切削工具及びその製造方法 - Google Patents
ダイヤモンド被覆切削工具及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH0448077A JPH0448077A JP2157615A JP15761590A JPH0448077A JP H0448077 A JPH0448077 A JP H0448077A JP 2157615 A JP2157615 A JP 2157615A JP 15761590 A JP15761590 A JP 15761590A JP H0448077 A JPH0448077 A JP H0448077A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diamond
- coated
- cutting edge
- cutting tool
- mask material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010432 diamond Substances 0.000 title claims abstract description 92
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 91
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 83
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 51
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 36
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 7
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims 3
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 claims 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims 1
- -1 oxides Chemical class 0.000 claims 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 6
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 abstract description 3
- 238000004050 hot filament vapor deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000010730 cutting oil Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 239000011152 fibreglass Substances 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 2
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 2
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
被覆したことを特徴とする切削工具に関し、さらに詳し
くは、切削工具の切れ刃部および切れ刃部の近傍を中心
とする切削工具の作用部にのみダイヤモンド膜を被覆る
ことによって、切り屑の処理性能を向上させ、さらに切
削工具基体の変形を無くすると共に、切れ刃部のダイヤ
モンド膜の中心線平均粗さを0.5μm以下にしたこと
によって切れ味を向上させたことを特徴とするダイヤモ
ンド被覆切削工具に関する。
メントCVD法、特開昭58−110494号公報など
に示されるマイクロ波プラズマCVD法、特開昭63−
85094号公報などに示される直流放電プラズマCV
D法、特開昭64−33096号公報に示される熱プラ
ズマCVD法などのダイヤモンドの気相合成方法が発明
されて以来、例えば特開昭60−208473号公報あ
るいは雑誌ニューダイヤモンド;Vo13.Mo、3.
p26−31(1987)に示されるようにこの方法の
切削工具への応用に関する開発が盛んに行われてきた。
で得られる自形面を持った多結晶質のダイヤモンド膜と
、その他の方法で得られ非晶質炭素が主成分であるダイ
ヤモンド様膜がある。一般に前者のダイヤモンド族は後
者に較べ硬度が高く、高い耐摩耗性が要求される切削工
具の被膜として適するものである0本発明は前者のダイ
ヤモンド膜を切削工具基体上へ被覆した切削工具に関す
るものである。
覆すると、被覆しない切削工具に較べ切り屑の流れが悪
くなり切れ味も悪くなるという欠点があった。また、必
要な部分以外へも被覆されることにより切削工具が所定
の寸法から外れるという問題点もあった。
り被覆されたダイヤモンド膜が自形面を持った多結晶質
であるため、表面の凹凸が大きく、したがって切り屑と
ダイヤモンド族の間の摩擦係数が大きくなるためである
。この影響は膜厚の増大とともに大きくなり表面の面粗
さが1μm以上でその影響が顕著となる。また、ダイヤ
モンド膜被覆による切れ味低下の原因は被覆により切れ
刃が丸みをおびる点にある。切れ刃の丸みは膜厚ととも
に増大し、その結果膜厚とともに切れ味は悪くなる。ま
た、切削工具が所定の寸法から外れる要因としては、被
覆したダイヤモンド膜が厚すぎることの他にダイヤモン
ド族に生ずる内部応力のため切削工具が湾曲することが
挙げられる。
合には現在のところダイヤモンド膜の表面が粗くなり切
り屑の流れが悪くなるのは止むをえない現象である。ま
た、膜厚の増加とともに切れ刃が丸みをおびる現象や被
覆したダイヤモンド族に生ずる内部応力で肉厚の薄い切
削工具が湾曲する現象・もダイヤモンドを被覆したこと
により不可避的に起きる現象である。
、本発明では必要部具外にダイヤモンドが被覆されない
かあるいは被覆されても後の処理工程で容易に除去でき
るような方法を発明し、その実施を試みた。
従来より行われてきたが、この中からダイヤモンドとの
間で高い付着強度が得られる材料は比較的少ないことが
判っている。高い付着強度が得られる材料としては、例
えばTa、 W、Mo、Siなどの元素および炭化タン
グステンあるいは窒化珪素などのセラミックスがあげら
れる。そこで、これらを除く材料、すなわちダイヤモン
ドとの間の付着強度の低い材料(マスク材)をダイヤモ
ンド被覆処理の前に切削工具基体上に被覆し、次いで付
着強度高くダイヤモンド族を被覆したい部位すなわち切
れ刃および切れ刃部近傍のマスク材を研磨あるいは化学
的な方法による溶解で除去し、切削工具基体の生地を出
す。あるいは切れ刃部近傍に予めマスク材被覆防止材を
被覆し、マスク材被覆後、マスク材被覆防止材を除去す
ることによって切れ刃部及び切れ刃部近傍のみを生地の
ままとする。しかる後にダイヤモンド被覆処理を行うこ
とによって、切れ刃近傍に付着性良くダイヤモンドを被
覆し、他の部分すなわちマスク材の残っている部分につ
いては付着強度が低いためにダイヤモンド膜被覆処理後
ダイヤモンド膜と切削工具基体との熱膨張係数差による
応力のため自然に剥離するか、あるいは小さな力を加え
ることによって簡単に除去することができる。
モンド膜との間で高い付着強度が得られる材料から成っ
ている必要がある。本発明ではその基体として、切削工
具材料として広く用いられており、かつダイヤモンド膜
との間で高い付着強度の得られる材料として炭化タング
ステン基超硬合金を母材として用いた。
度が高くない材料であり、かつダイヤモンド躾合成温度
(600〜1000°C)まで安定に基体表面に残って
いる材料であれば何でも構わない。ちなみに、マスク材
として用いられる材料及びマスク材とならない材料とそ
れらの特性を第1表に示した。また、マスク材の被覆は
真空蒸着法、イオンブレーティング法、スパッタ蒸着法
などの物理蒸着法、熱CVD法、プラズマCVD法など
の各種CVD法、溶射法、印刷法および鍍金法などの様
々な公知の方法で行うことができる。
屑の流れる部位へのダイヤモンド膜の被覆を防止するこ
とにより切り屑の流れは大幅に改善される。しかし、ダ
イヤモンドの膜厚が例えば5μm程度までのときは膜表
面の中心線平均粗さを0.5μm以下に被覆できるので
問題がないのであるが、これを越えると膜厚とともに切
れ刃近傍のダイヤモンド膜の面粗さのため切り屑の流れ
は悪くなり、また膜厚とともに切れ刃の丸みが大きくな
り切れ味が悪くなる。
覆後、切れ刃のすくい面に相当する部分もしくは逃げ面
に相当する部分またはその両方のダイヤモンド膜を研磨
し、その面粗さを1μm以下とすることによって切り屑
の流れが良く切れ味の良いダイヤモンド被覆切削工具を
製造することができた。また、切れ刃部以外へのダイヤ
モンド膜の被覆を制限することによって切削工具の変形
を最小限に留めることができた。以下にその詳細を実施
例をもって示す。
表面にイオンブレーティング法によりマスク材としての
炭化チタン膜を3μmの厚さに被覆した。
−までのマージン部の炭化チタン膜を研削により除去し
、しがるのちこのドリルにマイクロ波プラズマCVD1
によりダイヤモンド被覆処理を行った。ダイヤモンド被
覆処理中はマスク材を被覆した部分および除去した部分
ともにダイヤモンドが付着していたが、被覆処理を絆え
てドリルを室温まで冷却した後はマスク材表面のダイヤ
モンド膜はすべて剥離し、マスク材を除去した部分のダ
イヤモンド膜のみが残っていた。この処理によりドリル
のマスク材を除去した部分に被覆されたダイヤモンドの
膜厚は5μmであった。
ダイヤモンド被覆処理を行い、ドリルの先端から12−
一までの表面全体にダイヤモンド膜を5μmの厚さで被
覆した。
者を用いてアルミ合金板の穴明は加工を行った。加工の
条件は以下の通りである。
12會1 回転数 8000rρ− 送り速度 4000mm/sin 切削油 水溶性エマルジョン 加工試験の結果、本発明のドリルは切り屑の流れが良く
、穴の精度も安定していた。これに対し、比較ドリルは
切り屑が太く曲がり、詰まり気味となるとともに切削抵
抗も増えた。
e−Cr合金をスパッタ蒸着法にて3μmの厚さで被覆
した。次いで、このドリルの主切れ刃の第1逃げ面およ
び先端から6−までのマージン部のマスり材を研削によ
り除去し、しかる後にマイクロ波CVD法にてダイヤモ
ンドを15μmの厚さで被覆した。
ら浮き上がっており、軽く力を加えることにより容易に
除去できた。ダイヤモンド被覆軒了後、このドリルに被
覆されたダイヤモンド裏表面を研磨し膜の表面を平滑に
し、かつダイヤモンド被覆により丸みをおびた切れ刃を
鋭利にした。
せずに先端から6厘−の部分にダイヤモンドを15μ寵
の厚さで被覆した。
ガラス繊維強化プラスチックの穴加工試験を行った。加
工条件は以下のとおりである。
3膳1 回転数 40000rp■ 送り速度 500−/@in 切削油剤 なし 試験の結果、本発明ドリルはガラス繊維の切断性能と切
り屑の排出性が良く、その結果穴の寸法精度も高かった
。これに対し、比較ドリルは切れ刃が丸みをおびている
ため繊維の切断性能が悪く穴の出口側にパリを生じた。
は本発明および従来法によるドリルとも約20000穴
であった。
ー刃1を準備し、第2図に示す手順にてダイヤモンド被
覆カッター刃を作成した。すなわち、まず第2図aに示
す切れ刃2の先端から同図すのように両側1■■の範囲
を熱可塑性樹脂3で被覆し、次いで同図Cのようにカッ
ター刃全体に2μmの厚さのNi鍍金4を施した。その
後、同図dに示すようにカッター刃の切れ刃部を被覆し
ていた樹脂を剥し、熱フイラメントCVD法により同図
eのようにダイヤモンドの被覆処理を行った。カッター
刃1の切れ刃部2には約15μmのダイヤモンドll1
5が合成され、鍍金部のダイヤモンド族は被覆処理後金
て剥離していた。さらに同図fのようにダイヤモンド膜
の表面を研磨し、その中心線平均粗さを0.5μm以下
とした。
膜厚のダイヤモンド膜を被覆したところ刃が湾曲して寸
法が規格外となった。これはダイヤモンド族がカッター
刃の両面に等しい厚さで被覆されないため、ダイヤモン
ド膜と超硬合金の熱m張係数差による熱応力が刃の両面
で大きく違うことによるものである。切れ刃近傍のみに
ダイヤモンドを被覆した本発明の方法ではこの熱応力の
影響が小さいため湾曲せず、その後の工程のダイヤモン
ド族の表面研磨加工も容易に行うことができ切削性能の
優れたカッター刃を得ることができた。
ダイヤモンド膜を被覆することができ、したがって切り
屑の流れを阻害する要因やダイヤモンド膜を被覆したこ
とによる切削工具の変形を最小限に抑えることができた
。さらにこれらの切削工具の切れ刃に被覆されたダイヤ
モンド膜の逃げ面倒あるいはすくい面側ないしはその両
側を研磨によりその表面を平滑にすることにより切り屑
の流れが良く切れ味の優れた切削工具を提供することが
でき、産業上非常に有益である。
同図口は同図イのA−A線による断面図、第2図a及至
fは本発明のダイヤモンド被覆カッター刃の被覆処理工
程を示した概略図である。 1・・・・・カッター刃基体 2・・・・・カッター刃の切れ刃 3・・・・・熱可塑性樹脂 4・・・・・Ni鍍金層 5・・・・・ダイヤモンド膜
Claims (4)
- (1)超硬合金製の切削工具基体の切れ刃部及び切れ刃
部近傍にのみダイヤモンド被覆膜を形成し、該ダイヤモ
ンド被覆膜の膜表面の中心線平均粗さを0.5μm以下
としたことを特徴とするダイヤモンド被覆切削工具。 - (2)超硬合金製の切削工具基体表面にダイヤモンドと
の付着強度の低いマスク材を被覆し、次いで基体の切れ
刃部および切れ刃部近傍に被覆されたマスク材を除去し
、次いでCVD法にてダイヤモンド被覆処理を施して、
マスク材を除去した部分にのみダイヤモンドを付着強度
高く被覆せしめることを特徴とするダイヤモンド被覆切
削工具製造方法。 - (3)超硬合金製の切削工具基体表面の切れ刃部及び切
れ刃部近傍にマスク材付着防止材を被覆したのち、基体
表面にダイヤモンドとの付着強度の低いマスク材を被覆
し、次いでマスク材付着防止材を除去し、しかるのちに
CVD法にてダイヤモンド被覆処理を施し切れ刃部及び
切れ刃部近傍にのみダイヤモンドを被覆せしめることを
特徴とするダイヤモンド被覆切削工具の製造方法。 - (4)前記マスク材は元素周期律表の4A族、Taを除
く5A族、MoおよびWを除く6A族、8族および1B
族元素、並びにB、AlおよびSi各元素の単体もしく
は二種以上の合金、あるいは前記元素の一種または二種
以上の炭化物、酸化物、窒化物、炭窒化物、酸窒化物お
よび黒鉛の一種からなる単層、または二種以上からなる
単層または複層から構成されている請求項2または3記
載のダイヤモンド被覆切削工具の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2157615A JP2717594B2 (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | ダイヤモンド被覆切削工具及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2157615A JP2717594B2 (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | ダイヤモンド被覆切削工具及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0448077A true JPH0448077A (ja) | 1992-02-18 |
JP2717594B2 JP2717594B2 (ja) | 1998-02-18 |
Family
ID=15653604
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2157615A Expired - Lifetime JP2717594B2 (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | ダイヤモンド被覆切削工具及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2717594B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998017838A1 (fr) * | 1996-10-23 | 1998-04-30 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Materiau recouvert et son procede de fabrication |
JP2005224914A (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corp | 難削材の高速切削が可能な軸物切削工具 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03215669A (ja) * | 1990-01-18 | 1991-09-20 | Mitsubishi Materials Corp | 人工ダイヤモンド被覆スローアウェイチップおよびその製造法 |
-
1990
- 1990-06-18 JP JP2157615A patent/JP2717594B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03215669A (ja) * | 1990-01-18 | 1991-09-20 | Mitsubishi Materials Corp | 人工ダイヤモンド被覆スローアウェイチップおよびその製造法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998017838A1 (fr) * | 1996-10-23 | 1998-04-30 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Materiau recouvert et son procede de fabrication |
US6214479B1 (en) | 1996-10-23 | 2001-04-10 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Covered member and method of producing the same |
JP2005224914A (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corp | 難削材の高速切削が可能な軸物切削工具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2717594B2 (ja) | 1998-02-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
AU615202B2 (en) | A coated cemented carbide tool | |
US4755399A (en) | Process for the production of a cutting tool | |
US20090116913A1 (en) | Polycrystalline Diamond Cutting Tool with Coated Body | |
US11027338B2 (en) | Cutting insert, cutting tool, and method for manufacturing machined product | |
JP5111379B2 (ja) | 切削工具及びその製造方法並びに切削方法 | |
JPH05148068A (ja) | ダイヤモンドまたはダイヤモンド状炭素被覆硬質材料 | |
JPH04210315A (ja) | 回転切削工具 | |
JP2964664B2 (ja) | ダイヤモンド被覆マイクロドリル | |
JP2003025117A (ja) | ダイヤモンド被覆切削工具 | |
JPH0448077A (ja) | ダイヤモンド被覆切削工具及びその製造方法 | |
JP3196510B2 (ja) | 硬質蒸着層がすぐれた耐剥離性を有する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製エンドミル | |
JP2004066358A (ja) | 小径ドリル | |
JP2964669B2 (ja) | 窒化ホウ素被覆硬質材料 | |
JP2982476B2 (ja) | 硬質被覆層の密着性にすぐれた表面被覆切削工具 | |
JPS60123209A (ja) | 電子集積回路積層基板の穴明け加工用切削工具 | |
JP2829310B2 (ja) | 気相合成ダイヤモンド工具の製造方法 | |
JP3519431B2 (ja) | 硬質炭素膜被覆ドリル | |
JPH11347805A (ja) | ダイヤモンド被覆工具部材およびその製造方法 | |
JPH11193479A (ja) | 耐剥離性に優れたダイヤモンド膜被覆硬質部材 | |
JP3019298B1 (ja) | 表面被覆ドリル | |
JP2004160561A (ja) | マイクロドリル | |
JP2617326B2 (ja) | ドリル | |
JP2987964B2 (ja) | 窒化ホウ素被覆硬質材料 | |
WO2021241499A1 (ja) | 被覆工具及びこれを備えた切削工具 | |
JP2006130578A (ja) | ダイヤモンドコーティング工具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081114 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081114 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091114 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091114 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101114 Year of fee payment: 13 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101114 Year of fee payment: 13 |