JPH0447973Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0447973Y2 JPH0447973Y2 JP14939285U JP14939285U JPH0447973Y2 JP H0447973 Y2 JPH0447973 Y2 JP H0447973Y2 JP 14939285 U JP14939285 U JP 14939285U JP 14939285 U JP14939285 U JP 14939285U JP H0447973 Y2 JPH0447973 Y2 JP H0447973Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- sccm
- insulating layer
- electrodes
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 15
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 8
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 3
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Facsimile Heads (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
技術分野
この考案は、アモルフアスシリコンa−Si膜を
光受光部に用いてなるフアクシミリ、デジタル複
写機等における画像情報読取り用のa−Si等倍光
センサーに関する。
光受光部に用いてなるフアクシミリ、デジタル複
写機等における画像情報読取り用のa−Si等倍光
センサーに関する。
従来技術
従来、この種のa−Si等倍光センサーにあつて
は、第5図に概略的に示すように、絶縁性基板1
上にa−Si膜2を形成した後、このa−Si膜2を
所望の形にパターン化して、その上に一対の電極
3,4を設けてなるものである。5は保護層であ
る。又、第6図に示すように、a−Si膜2と電極
3,4との間にオーミツク層6を形成したものも
ある。何れにしても、原稿からの反射光は電極
3,4側から入射され、又は基板1がガラス等の
透明材料による場合にはこの基板1側から入射さ
れ得る。
は、第5図に概略的に示すように、絶縁性基板1
上にa−Si膜2を形成した後、このa−Si膜2を
所望の形にパターン化して、その上に一対の電極
3,4を設けてなるものである。5は保護層であ
る。又、第6図に示すように、a−Si膜2と電極
3,4との間にオーミツク層6を形成したものも
ある。何れにしても、原稿からの反射光は電極
3,4側から入射され、又は基板1がガラス等の
透明材料による場合にはこの基板1側から入射さ
れ得る。
このようなa−Si膜2の光導電性を利用した等
倍光センサーにおいては、a−Si膜2の成膜条件
によつては連続光照射(104時間予想)により光
導電率が数%〜10%低下するという特性劣化が見
られるものである。このような低下量は基板1側
から光照射する場合、より低下したものである。
倍光センサーにおいては、a−Si膜2の成膜条件
によつては連続光照射(104時間予想)により光
導電率が数%〜10%低下するという特性劣化が見
られるものである。このような低下量は基板1側
から光照射する場合、より低下したものである。
目 的
この考案は、このような点に鑑みなされたもの
で、長時間の使用に対しても特性劣化を低減させ
ることができるa−Si等倍光センサーを得ること
を目的とする。
で、長時間の使用に対しても特性劣化を低減させ
ることができるa−Si等倍光センサーを得ること
を目的とする。
構 成
この考案は、上記目的を達成するため、絶縁性
基板上にa−Si膜とこのa−Si膜に光受光部を形
成するように所定間隔を持つて離れた一対の電極
とによる1ドツト分の構造を複数個一次元に配列
してなる画像情報読取り用のa−Si等倍光センサ
ーにおいて、少なくとも絶縁a−Si膜に接する絶
縁層をボロンを含む酸化珪素を主成分として形成
したことを特徴とするものである。
基板上にa−Si膜とこのa−Si膜に光受光部を形
成するように所定間隔を持つて離れた一対の電極
とによる1ドツト分の構造を複数個一次元に配列
してなる画像情報読取り用のa−Si等倍光センサ
ーにおいて、少なくとも絶縁a−Si膜に接する絶
縁層をボロンを含む酸化珪素を主成分として形成
したことを特徴とするものである。
以下、この考案の第一の実施例を第1図ないし
第3図に基づいて説明する。まず、第2図はこの
実施例の対象とするa−Si等倍光センサーの概略
を示すもので、絶縁性基板8上にa−Si膜による
光電変換素子列9が形成されている。このような
光電変換素子列9に対して共通電極10と個別側
電極群11とが形成され、個別側電極群11は
MOSスイツチ12によつて選択制御される。第
3図はその内2ビツト分について拡大して示すも
ので、a−Si膜13に対し電極10,11は副走
査方向にある距離離間しており、a−Si膜13に
光受光部13aが形成されている。そして、a−
Si膜13と電極10,11との間にはオーミツク
層14が形成されている。又、電極10,11上
には保護層15が形成されている。このような1
ビツト構造が主走査方向に数百〜数千ビツト分設
けられている。
第3図に基づいて説明する。まず、第2図はこの
実施例の対象とするa−Si等倍光センサーの概略
を示すもので、絶縁性基板8上にa−Si膜による
光電変換素子列9が形成されている。このような
光電変換素子列9に対して共通電極10と個別側
電極群11とが形成され、個別側電極群11は
MOSスイツチ12によつて選択制御される。第
3図はその内2ビツト分について拡大して示すも
ので、a−Si膜13に対し電極10,11は副走
査方向にある距離離間しており、a−Si膜13に
光受光部13aが形成されている。そして、a−
Si膜13と電極10,11との間にはオーミツク
層14が形成されている。又、電極10,11上
には保護層15が形成されている。このような1
ビツト構造が主走査方向に数百〜数千ビツト分設
けられている。
しかして、この実施例では絶縁性基板8上にボ
ロンBを含む酸化珪素を主成分とする絶縁層16
を形成して、この上に前述したようなa−Si膜1
3等を形成するようにしたものである。
ロンBを含む酸化珪素を主成分とする絶縁層16
を形成して、この上に前述したようなa−Si膜1
3等を形成するようにしたものである。
ここで、このようなセンサーの作成方法、作成
条件等について説明する。まず、絶縁性基板8と
してはパイレツクス7740(コーニング)ガラスが
用いられる。この絶縁性基板8上に形成される絶
縁層16はプラズマCVD法によるものである。
この時の条件は、高周波電力:50W、ガス流量:
100SCCM(SiH4:40SCCM,N2O:50SCCM,B2H6/
H2:10SCCM(B2H6 1%))、膜厚:5000〓であ
る。この絶縁層16上のa−Si膜13はプラズマ
CVD法によるSiH4ガスの分解により作成される。
この時の条件は高周波電力:20W、ガス流量:
20SCCM(SiH4のみ)、膜圧:1μmである。更に、こ
のa−Si膜13上に形成されるオーミツク層14
もプラズマCVD法により形成される。この時の
条件は、高周波電力:20W、ガス流量:20SCCM
(SiH4中のPH3濃度は5000ppmである)である。
そして、電極10,11はNiCrを用い、真空蒸
着法により膜厚5000〓に形成される。又、保護層
15はSi3N4を用いたプラズマCVD法により形成
される。この時の条件は、高周波電力100W、ガ
ス流量:50SCCM(SiH4:10SCCM,NH3:30SCCM)で
ある。なお、a−Si膜13、オーミツク層14、
電極10,11のパターン化は、IC又はLSI等に
おいて使用されている写真製版技術が用いられ
る。
条件等について説明する。まず、絶縁性基板8と
してはパイレツクス7740(コーニング)ガラスが
用いられる。この絶縁性基板8上に形成される絶
縁層16はプラズマCVD法によるものである。
この時の条件は、高周波電力:50W、ガス流量:
100SCCM(SiH4:40SCCM,N2O:50SCCM,B2H6/
H2:10SCCM(B2H6 1%))、膜厚:5000〓であ
る。この絶縁層16上のa−Si膜13はプラズマ
CVD法によるSiH4ガスの分解により作成される。
この時の条件は高周波電力:20W、ガス流量:
20SCCM(SiH4のみ)、膜圧:1μmである。更に、こ
のa−Si膜13上に形成されるオーミツク層14
もプラズマCVD法により形成される。この時の
条件は、高周波電力:20W、ガス流量:20SCCM
(SiH4中のPH3濃度は5000ppmである)である。
そして、電極10,11はNiCrを用い、真空蒸
着法により膜厚5000〓に形成される。又、保護層
15はSi3N4を用いたプラズマCVD法により形成
される。この時の条件は、高周波電力100W、ガ
ス流量:50SCCM(SiH4:10SCCM,NH3:30SCCM)で
ある。なお、a−Si膜13、オーミツク層14、
電極10,11のパターン化は、IC又はLSI等に
おいて使用されている写真製版技術が用いられ
る。
このように形成したセンサーを用い、絶縁性基
板8側から500lxの白色光を連続照射しながら光
電流を測定したところ、初期値1.5μAに対して
500時間後には1.4μAとなつたものである。ちな
みに、ボロンを含む酸化珪素を主成分とする絶縁
層16を有しない従来のセンサー(第6図参照)
による場合には、同一条件で光電流値を測定した
ところ、初期値1.6μAが500時間後には1.3μAに低
下したものである。
板8側から500lxの白色光を連続照射しながら光
電流を測定したところ、初期値1.5μAに対して
500時間後には1.4μAとなつたものである。ちな
みに、ボロンを含む酸化珪素を主成分とする絶縁
層16を有しない従来のセンサー(第6図参照)
による場合には、同一条件で光電流値を測定した
ところ、初期値1.6μAが500時間後には1.3μAに低
下したものである。
つづいて、この考案の第二の実施例を第4図に
より説明する。この実施例の場合、構造的には第
5図に示したものと同一であるが、保護層17を
ボロンBを含む酸化珪素を主成分とする絶縁層と
して形成したものである。この保護層17はプラ
ズマCVD法によるもので、この時の条件は、高
周波電力:20W、ガス流量:80SCCM(SiH4:
30SCCM,N2O:40SCCM,B2H6/H2:10SCCM(B2H6
1%))、膜厚:1.5μmである。
より説明する。この実施例の場合、構造的には第
5図に示したものと同一であるが、保護層17を
ボロンBを含む酸化珪素を主成分とする絶縁層と
して形成したものである。この保護層17はプラ
ズマCVD法によるもので、この時の条件は、高
周波電力:20W、ガス流量:80SCCM(SiH4:
30SCCM,N2O:40SCCM,B2H6/H2:10SCCM(B2H6
1%))、膜厚:1.5μmである。
このようなセンサーを用い、前記実施例の場合
と同一条件(ただし、光照射方向は絶縁性基板8
側とする)で光電流値を測定したところ、初期値
1.4μAが1000時間後も1.4μAとなり、誤差範囲内
で変化がなかつたものである。
と同一条件(ただし、光照射方向は絶縁性基板8
側とする)で光電流値を測定したところ、初期値
1.4μAが1000時間後も1.4μAとなり、誤差範囲内
で変化がなかつたものである。
このようにして、ボロンを含む酸化珪素を主成
分とする絶縁層16又は保護層17を少なくとも
a−Si膜13に接するように設けることにより、
長時間の光照射に対するセンサーの劣化を低減さ
せることができる。なお、このような効果を発揮
させるためには、絶縁層16、保護層17中のボ
ロンの量は、その下限が50ppm、リーク電流が大
きくなる点を考慮して上限は5%である。
分とする絶縁層16又は保護層17を少なくとも
a−Si膜13に接するように設けることにより、
長時間の光照射に対するセンサーの劣化を低減さ
せることができる。なお、このような効果を発揮
させるためには、絶縁層16、保護層17中のボ
ロンの量は、その下限が50ppm、リーク電流が大
きくなる点を考慮して上限は5%である。
効 果
この考案は、上述したようにa−Si膜に接する
絶縁層をボロンを含む酸化珪素を主成分として形
成したので、長時間の光照射に対する光電流値の
低下を低減させることができ、長寿命のセンサー
とすることができるものである。
絶縁層をボロンを含む酸化珪素を主成分として形
成したので、長時間の光照射に対する光電流値の
低下を低減させることができ、長寿命のセンサー
とすることができるものである。
第1図はこの考案の第一の実施例を示す断面
図、第2図はセンサーの外観斜視図、第3図はそ
の一部を拡大して示す平面図、第4図はこの考案
の第二の実施例を示す断面図、第5図及び第6図
は従来例を示す断面図である。 8……絶縁性基板、10,11……電極、13
……a−Si膜、16……絶縁層、17……保護層
(絶縁層)。
図、第2図はセンサーの外観斜視図、第3図はそ
の一部を拡大して示す平面図、第4図はこの考案
の第二の実施例を示す断面図、第5図及び第6図
は従来例を示す断面図である。 8……絶縁性基板、10,11……電極、13
……a−Si膜、16……絶縁層、17……保護層
(絶縁層)。
Claims (1)
- 絶縁性基板上にa−Si膜とこのa−Si膜に光受
光部を形成するように所定間隔を持つて離れた一
対の電極とによる1ドツト分の構造を複数個一次
元に配列してなる画像情報読取り用のa−Si等倍
光センサーにおいて、少なくとも前記a−Si膜に
接する絶縁層をボロンを含む酸化珪素を主成分と
して形成したことを特徴とするa−Si等倍光セン
サー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14939285U JPH0447973Y2 (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14939285U JPH0447973Y2 (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6258052U JPS6258052U (ja) | 1987-04-10 |
JPH0447973Y2 true JPH0447973Y2 (ja) | 1992-11-12 |
Family
ID=31064554
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14939285U Expired JPH0447973Y2 (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0447973Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-09-30 JP JP14939285U patent/JPH0447973Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6258052U (ja) | 1987-04-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH022692A (ja) | 赤外線検知用溝付きショットキーバリアホトダイオード | |
JPH0447973Y2 (ja) | ||
US4567374A (en) | Photoelectric converting device with a plurality of divided electrodes | |
JPH0456351U (ja) | ||
JPS6322074B2 (ja) | ||
JPS6184860A (ja) | 光電変換装置 | |
US4502203A (en) | Method for fabricating semiconductor photodetector | |
JPS6211792B2 (ja) | ||
JPS61292961A (ja) | イメ−ジセンサ | |
JPS6258550B2 (ja) | ||
JPH02132860A (ja) | 密着型イメージセンサ | |
JPH021866Y2 (ja) | ||
JPS6322465B2 (ja) | ||
JPH021166A (ja) | 密着型イメージセンサ | |
JP2501107B2 (ja) | 光電変換装置 | |
JPH021865Y2 (ja) | ||
JPS58199561A (ja) | 薄膜受光素子 | |
JPH029168A (ja) | 完全密着型光センサー | |
JPS63155A (ja) | 光検出装置およびその製造方法 | |
JPS6184859A (ja) | 光検出装置 | |
JPH01302762A (ja) | 密着型イメージセンサ | |
JPS6167258A (ja) | 光電変換素子 | |
JPS63314863A (ja) | 受光素子アレイ | |
JPS6372154A (ja) | 密着型イメ−ジセンサの製造方法 | |
JPS62252968A (ja) | 非晶質シリコンイメ−ジセンサ |