JPH0447644Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、半導体パツケージや小型電子部品
等、気密性が必要な試験体を気密封止試験に供す
るため、気密封止試験体にガスを強制封入する気
密封止試験用ガス封入装置に関するものである。

〔従来の技術〕

半導体パツケージは、パツケージ内の半導体素
子等を保護するため、高度な気密封止が要求さ
れ、製造後に気密封止試験に供される。

係る気密封止試験は、ヘリウム、フロリナート
等の加圧ガスを試験体内に強制封入した後、試験
体を真空室内にセツトしたり、液体中に浸漬した
りして、試験体から漏出するガスを検知すること
により行われる。

従つて、気密封止試験に先だつて、試験体内に
ガスを強制封入する必要があり、従来よりガス封
入装置が使用されている。

従来のガス封入装置は、圧力容器と、この圧力
容器の内部に積層して複数収納されるトレイと、
このトレイに整列して配置される矩形を露呈した
複数の試験体とを備え、圧力容器の内部に加圧ガ
スを充填して、試験体内にガスを強制封入してい
る。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、強制封入されるガスは約７気圧
程度に加圧されるため、ガスによる圧力集中を防
止する必要があり、圧力容器の内部が球面構造と
なつている。

一方、試験体は、半導体パツケージのように矩
形状を基調としており、トレイに整列配置され圧
力容器の内部にセツトされた場合には、有効に活
用できない空間が大きくなる。

このため、従来のガス封入装置では、加圧ガス
の消費量が増大するとともに、有効に活用できな
い空間によつてガスの圧力損失が生じ、有効な量
のガスを強制封入し得ないという問題点があつ
た。

本考案は上記にかんがみなされたもので、有効
に活用できない空間を縮小して、ガスの消費量の
節約と圧力損失をはかることができる気密封止試
験用ガス封入装置することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案においては上述の目的を達成するため、
有底円筒形に構成され上面が開口した圧力容器
と、この圧力容器の開口上面に着脱自在に冠着さ
れる蓋体と、該圧力容器の内部に複数積層して遊
嵌収納され複数の試験体をそれぞれ収納するトレ
イとを備え、該圧力容器の内部に密封充填される
ガスを試験体に強制充填するものにおいて、上記
トレイを、ガスの流通可能な通気性材質から構成
された底板と、この底板に載置された略碁板目形
の仕切壁と、この仕切壁に囲繞形成され複数の試
験体を整列させて収納する複数の収納空間と、該
底板に重置され仕切壁を囲繞する略リング形の外
枠とから円盤形に構成し、該複数の収納空間の試
験体が収納さない未収納部には、ガスの消費量を
削減する第１のスペーサを試験体の代わりに着脱
自在に挿入するとともに、該複数のトレイの最上
位に位置するトレイには、当該最上位のトレイと
圧力容器の蓋体間の残余空間を占有してガスの消
費量を削減する円盤形の第２のスペーサを着脱自
在に配置することを特徴としている。

〔作用〕

本考案によれば、複数の収納空間の未収納部
に、ガスの消費量を削減する第１のスペーサを試
験体の代わりに着脱自在に挿入するとともに、複
数のトレイの最上位に位置するトレイには、当該
最上位のトレイと圧力容器の蓋体間の残余空間を
占有してガスの消費量を削減する第２のスペーサ
を着脱自在に配置するので、圧力容器の球面構造
にも拘らず、ガスの消費量を削減し、しかも、圧
力損失を防止することができる。

〔実施例〕

以下、添付図面を参照して本考案の一実施例を
詳述する。尚、図面の説明において同一の要素に
は同一符号を付し、重複説明を省略する。

第１図ａは本考案に係る気密封止試験用ガス封
入装置の一実施例を示す一部破断断面図であり、
同図ｂは本考案に係る気密封止試験用ガス封入装
置の内部の斜視図であり、第２図ａ及びｂは本考
案に係るトレイの平面図及び側面図であり、同図
ｃは同図ａにおける−線断面図である。

本考案に係る気密封止試験用ガス封入装置は、
圧力容器１と、蓋体３と、トレイ４とを備え、圧
力容器１の内部に密封充填されるガスを試験体Ａ
に強制封入するようにしている。そして、トレイ
４を、底板７、仕切壁９、複数の収納空間９ａ及
び外枠８から構成し、複数の収納空間９ａの試験
体Ａが収納されない未収納部には、ガスの消費量
を削減する第１のスペーサ１２を試験体Ａの代わ
りに着脱自在に挿入するとともに、複数のトレイ
４の最上位に位置するトレイ４には、最上位のト
レイ４と圧力容器１の蓋体３間の残余空間を占有
してガスの消費量を削減する第２のスペーサ１３
を着脱自在に配置するようにしている。

上記圧力容器１は、上面が開口した球面構造を
有する中空円筒形の本体２と、この本体２の開口
上面に着脱自在に冠着されて本体２の内部を密封
状態に維持する平面円形の蓋体３とを備え、丸ま
つた最下部の中心には、コツク５を介してホース
６が接続されており、このホース６が図示しない
ポンプ及び加圧ガスタンクに接続されている。

従つて、本体２の開口上面に蓋体３を冠着して
圧力容器１を密閉し、コツク５を開いた状態でポ
ンプを作動させると、圧力容器１の内部に図示し
ない加圧ガス（例えばヘリウム、フロリナート）
が充満し、加圧ガスの強制封入が行われる。

また、上記トレイ４は、ガスの流通可能な通気
性材質（例えば多孔質セラミツク）から略円盤形
に構成された底板７と、ガスの流通可能な通気性
材質（例えば多孔質セラミツク）が複数交差する
ことにより構成され底板７に載置された略碁板目
形の仕切壁９と、この仕切壁９に平面矩形に囲繞
形成され平面矩形を露呈した複数の試験体Ａを整
列させて１つづつ遊嵌収納する複数の収納空間９
ａと、ガスを吸収しない材質（例えば金属、ガラ
ス）から略リング形に構成され底板７に着脱自在
に配置されて仕切壁９を囲繞する外枠８とを備
え、圧力容器１の球面構造に応じて略円盤形に構
成されており、圧力容器１の本体２内に複数積層
（段積み）して遊嵌収納されるようになつている。

底板７及び外枠８は本体２よりも縮径に構成さ
れ、本体２の内周面との間に僅かな隙間が生じる
ようになつている。また、底板７及び外枠８の外
周面には、ガス流路となる半円弧形のガス溝１０
が90度間隔で垂直に複数形成されるとともに、外
枠８の上面には、ガス溝１０に連通して収納空間
９ａの試験体Ａにガスを流入させる導入溝１１が
複数形成されている。そして、外枠８は、上面が
試験体Ａの上面よりも上位に位置するよう高く構
成され、その内周面が仕切壁９の外周面形状に応
じて形成されており、仕切壁９の外周面との間に
大きな隙間が生じないようになつている。

さらに、略碁板目板を露呈した仕切壁９は、複
数の試験体Ａが位置ずれして衝突し、複数の試験
体Ａが損傷するのを防止する機能を有している。
さらにまた、収納空間９ａは、試験体Ａとの間に
小さな隙間が生じるように囲繞形成され、試験体
Ａにガスを円滑に流入させる機能を有している。

一方、上記第１のスペーサ１２は、ガスを吸収
しない材質（例えばアルミニウム、ガラス）から
試験体Ａと略同じ形状に構成され、複数の収納空
間９ａが試験体Ａで全て埋まる場合には使用され
ず、複数の収納空間９ａに空きが生じる場合に
は、その未収納の収納空間９ａに着脱自在に収納
されるようになつている。

然して、第１のスペーサ１２は、未収納の収納
空間９ａ、換言すればトレイ４の残余空間を埋め
て未収納の収納空間９ａに充満させるのに必要な
ガスを不要ならしめ、圧力損失を防止する機能を
有している。従つて、ガスの消費量を削減するこ
とができるとともに、試験体Ａへの強制封入を効
率良く行うことができる。

他方、上記第２のスペーサ１３は、ガスを吸収
しない材質（例えばアルミニウム、ガラス）から
圧力容器１の球面構造に応じて略円盤形に構成さ
れ、その外周面には、ガス溝１０と連通してガス
流路となる半円弧形のガス溝１４が90度間隔で垂
直に複数形成されており、圧力容器１の内部にガ
スを流通させる機能を有している。

この第２のスペーサ１３は、圧力容器１の本体
２内に複数積層して遊嵌収納されたトレイ４の積
層数が少なく、最上位に位置するトレイ４と蓋体
３との間に空間が生じる場合にのみ使用され、最
上位に位置するトレイ４に単数又は複数着脱自在
に積層配置されて該空間を占有し、ガスの消費量
を削減するとともに、圧力損失を防止する機能を
有している。

従つて、試験体Ａの気密封止試験を行う場合に
は、先ず、仕切壁９の複数の収納空間９ａに試験
体Ａをそれぞれ挿入するが、この収納の際、複数
の収納空間９ａに空きが生じる場合には、その未
収納の収納空間９ａに、第１のスペーサ１２を挿
入してトレイ４の残余空間を埋めるようにする。

次いで、圧力容器１の本体２内に複数のトレイ
４を順次嵌入して積層するとともに、この複数の
トレイ４のガス溝１０を縦一列に並べるが、この
積層の際、本体２の開口上面と最上位に位置する
トレイ４の間に空間が生じる場合には、最上位に
位置するトレイ４に第２のスペーサ１３を単数又
は複数重合配置してガス溝１０にガス溝１４を位
置決めし、該空間を埋めるようにする。こうし
て、該空間が埋まつたら、本体２の開口上面に蓋
体３を冠着して圧力容器１を密閉する。

然して、コツク５を開いてポンプを作動させ、
圧力容器１の内部に図示しない加圧ガスを充填す
る。すると、加圧ガスは、圧力容器１内の下部か
ら縦一列に並んだガス溝１０及びガス溝１４を経
由して圧力容器１内の上部に流動するとともに、
ガス溝１０から導入溝１１を経由して複数の収納
空間９ａの試験体Ａにそれぞれ円滑に強制封入さ
れ、圧力容器１の内部に充満する。こうして、ガ
スの消費量を抑制しつつ試験体Ａの気密封止試験
が行なわれる。

上記構成によれば、複数の収納空間９ａの未収
納部に、ガスの消費量を削減する第１のスペーサ
１２を試験体Ａの代わりに着脱自在に挿入すると
ともに、複数のトレイ４の最上位に位置するトレ
イ４には、当該最上位のトレイ４と圧力容器１の
蓋体３間の残余空間を占有してガスの消費量を削
減する第２のスペーサ１３を着脱自在に配置する
ので、圧力容器１の球面構造にも拘らず、ガスの
消費量を削減し、しかも、圧力損失を防止するこ
とができる。

また、仕切壁９が略碁板目形に構成されている
ので、極めて容易に複数の試験体Ａを整列状態に
収納することができるとともに、複数の試験体Ａ
が衝突して損傷し、ガスの消費量が大幅に増加す
るのを防止することが可能となる。

尚、上記実施例ではトレイ４又は第２のスペー
サ１３にガス溝１０又はガス溝１４をそれぞれ４
本形成したものを示したが、３本以下であつて
も、５本以上であつても良い。また、球面構造で
あれば、上記圧力容器１の構造に何等限定される
ものではない。さらに、底板７に外枠８を固定す
るようにしても良いのは言うまでもない。

〔考案の効果〕

以上のように本考案によれば、トレイを、ガス
の流通可能な通気性材質から構成された底板と、
この底板に載置された略碁板目形の仕切壁と、こ
の仕切壁に囲繞形成され複数の試験体を整列させ
て収納する複数の収納空間と、該底板に重置され
仕切壁を囲繞する略リング形の外枠とから円盤形
に構成し、該複数の収納空間の試験体が収納され
ない未収納部には、ガスの消費量を削減する第１
のスペーサを試験体の代わりに着脱自在に挿入す
るとともに、該複数のトレイの最上位に位置する
トレイには、当該最上位のトレイと圧力容器の蓋
体間の残余空間を占有してガスの消費量を削減す
る円盤形の第２のスペーサを着脱自在に配置する
ので、圧力容器の球面構造にも拘らず、ガスの消
費量を大幅に削減し、しかも、圧力損失を確実に
防止することができるという顕著な効果がある。

さらに、仕切壁が略碁板目形に構成されている
ので、極めて容易に複数の試験体を整列状態に収
納することができるとともに、複数の試験体が衝
突して損傷し、この損傷に伴いガスの消費量が大
幅に増加するのを確実に防止することが可能にな
るという顕著な効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図ａは本考案に係る気密封止試験用ガス封
入装置の一実施例を示す一部破断断面図、同図ｂ
は本考案に係る気密封止試験用ガス封入装置の内
部を示す要部斜視図、第２図ａは本考案に係る気
密封止試験用ガス封入装置のトレイを示す平面
図、同図ｂは第２図ａの側面図、同図ｃは第２図
ａの−線断面図である。 １……圧力容器、２……本体、３……蓋体、４
……トレイ、７……底板、８……外枠、９……仕
切壁、９ａ……収納空間、１２……第１のスペー
サ、１３……第２のスペーサ、Ａ……試験体。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 有底円筒形に構成され上面が開口した圧力容器
   と、この圧力容器の開口上面に着脱自在に冠着さ
   れる蓋体と、該圧力容器の内部に複数積層して遊
   嵌収納され複数の試験体をそれぞれ収納する円盤
   形のトレイと、ガスの流通可能な通気性材質から
   構成され該トレイの一部を構成する底板と、この
   底板に載置された略碁板目形の仕切壁と、この仕
   切壁に囲繞形成され複数の試験体を整列させて収
   納する複数の収納空間と、該底板に重置され仕切
   壁を囲繞する略リング形の外枠と、該複数の収納
   空間の試験体が収納されない未収納部に試験体の
   代わりに着脱自在に配置されガスの消費量を削減
   する第１のスペーサと、該複数のトレイの最上位
   に位置するトレイに着脱自在に配置され当該最上
   位のトレイと蓋体間の残余空間を占有してガスの
   消費量を削減する円盤形の第２のスペーサとを備
   え、該圧力容器の内部に密封充填されるガスを試
   験体に強制充填することを特徴とする気密封止試
   験用ガス封入装置。