CN210972009U - 一种晶圆垫片 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种晶圆垫片，包括填充装有晶圆的包装盒多余空间的第一垫片和第二垫片；所述第二垫片的厚度大于所述第一垫片的厚度；所述第一垫片包括第一环状主体；所述第一环状主体上设有至少一个第一吸合面，以在晶圆自动化包装时供吸盘吸附于其上；所述第二垫片包括第二环状主体；所述第二环状主体上设有至少一个第二吸合面，以在晶圆自动化包装时供吸盘吸附于其上。通过设置第一垫片、第二垫片，从而可填充装有晶圆的包装盒的多余空间，避免晶圆在运输途中被污染和划伤，此外，通过第一吸合面和第二吸合面，从而可在晶圆自动化包装时供吸盘吸附于其上，便于自动化包装的进行，进而可降低包装成本以及提高包装效率。

Description

一种晶圆垫片

技术领域

本实用新型涉及晶圆保护结构，更具体地说，涉及一种晶圆垫片。

背景技术

目前市场上用于隔离晶圆的产品为圆形泡沫垫片，因此在包装时与晶圆完全接触，当多片晶圆叠在一起包装后，在运输途中晶圆易被污染、划伤，此外包装盒可放置1～25片晶圆，由于放置晶圆数量的不同，导致余下的空间需要用大量的圆形泡沫垫片来填充，还有，圆形泡沫垫片也不适用于自动化包装，加大了客户的包装成本。

有鉴于此，急需对现有的晶圆垫片的结构进行改进，以防止晶圆在存取和运输过程中被污染以及减小客户的包装成本。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种改进的晶圆垫片。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种晶圆垫片，包括填充装有晶圆的包装盒多余空间的第一垫片和第二垫片；所述第二垫片的厚度大于所述第一垫片的厚度；

所述第一垫片包括第一环状主体；所述第一环状主体上设有至少一个第一吸合面，以在晶圆自动化包装时供吸盘吸附于其上；

所述第二垫片包括第二环状主体；所述第二环状主体上设有至少一个第二吸合面，以在晶圆自动化包装时供吸盘吸附于其上。

优选地，所述第一环状主体顶壁上设有若干隔离槽；所述若干隔离槽间隔设置；

所述第一吸合面为多个，其对应设置在相邻设置的两个所述隔离槽之间。

优选地，所述隔离槽的纵切面呈H形。

优选地，所述第一环状主体上设有至少一个第一通孔。

优选地，所述第二环状主体的顶壁开设有若干卡接槽；所述若干卡接槽间隔设置；相邻设置的两个卡接槽之间设有连接相邻设置的两个所述卡接槽的隔台；

所述第二吸合面为多个，其对应设置在每个所述隔台的顶面。

优选地，每个所述卡接槽中设有至少一个第二通孔。

优选地，每个所述卡接槽中设有至少一个支撑筋，以在多个所述第二垫片叠合时支撑位于上部的所述第二垫片。

优选地，所述第二环状主体的顶壁内凹形成所述卡接槽；

所述第二环状主体的底壁上设有与所述卡接槽设置的卡接凸台；

所述卡接凸台与所述卡接槽一一对应设置，以在多个所述第二垫片叠合时卡入位于下部的所述第二垫片的所述卡接槽中。

优选地，所述卡接槽的外侧壁至少部分向外延伸形成与所述包装盒内壁面配合定位的定位凸缘。

优选地，所述第二吸合面为平面；

和/或，所述第一吸合面为平面。

实施本实用新型的晶圆垫片，具有以下有益效果：通过设置第一垫片、以及厚度大于该第一垫片的第二垫片，从而可填充装有晶圆的包装盒的多余空间，使其与晶圆的高度适配，避免晶圆在运输途中被污染和划伤，此外，通过在该第一垫片的第一环状主体上设置至少一个第一吸合面，在第二垫片的第二环状体上设置至少一个第二吸合面，从而可在晶圆自动化包装时供吸盘吸附于其上，便于自动化包装的进行，进而可降低包装成本以及提高包装效率。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型一些实施例晶圆垫片的分解示意图；

图2是图1所示第一垫片的结构示意图；

图3是图2所示第一垫片的局部结构放大示意图；

图4是图3所示第一垫片局部剖视图；

图5是图1所示第二垫片的结构示意图；

图6是图5所示第二垫片的A-A剖视图；

图7是图5所示第二垫片的B-B剖视图；

图8是图5所示第二垫片的局部结构放大示意图；

图9是图8所述第二垫片局部结构的纵向剖视图；

图10是当晶圆为一个时包装盒填充的晶圆垫片的剖视图；

图11是图10所示I部分的放大示意图；

图12是图10所示G部分的放大示意图；

图13是当晶圆为多个时包装盒填充的晶圆垫片的剖视图；

图14是图13所示M部分的放大示意图；

图15是图13所示N部分的放大示意图；

图16是多个第二垫片叠合在一起的局部剖视图。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

图1示出了本实用新型晶圆垫片的一些优选实施例。该晶圆垫片可用于填充装有晶圆100的包装盒200的多余空间，使得该晶圆100与包装盒200高度适配，进而可对晶圆100进行保护，防止其受到污染和划伤。该晶圆垫片可适用于自动化包装，其具有结构简单、包装效率高的优点。

如图1所示，该晶圆垫片可包括第一垫片10和第二垫片20；该第一垫片 10和该第二垫片20可相互叠合，其可用于填充装有晶圆100的包装盒200。在一些实施例中，该第二垫片20的厚度可大于该第一垫片10的厚度，在实际使用时，可根据包装盒200多余空间的高度增加第一垫片10和/或第二垫片20 的数量。

如图2至图4所示，进一步地，在一些实施例中，该第一垫片10可包括第一环状主体11；该第一环状主体11可呈片状。该第一环状主体11内边缘可为一个整圆，其外边缘部分向内延伸设置，部分向外延伸设置，其向外延伸形成的凸部了与包装盒200的内侧壁抵接，以对该第一垫片进行定位。

进一步地，在一些实施例中，该第一环状主体11上的顶壁可设置若干隔离槽12；该若干隔离槽12可为多个，其可沿该第一环状主体11的周向间隔设置，该隔离槽12的纵切面可呈H形。可以理解地。进一步地，在一些实施例中，该第一环状主体11上可设置至少一个第一吸合面121；在一些实施例中，该第一吸合面121可为多个，其可设置在相邻设置的两个隔离槽之间。该第一吸合面121可用于供吸盘吸附于其上，以便于晶圆100自动化包装的进行，从而可提高包装效率。在一些实施例中，该第一吸合面121可为平面。通过将该第一吸合面121设置为平面，可便于吸盘吸附。

进一步地，在一些实施例中，该第一环状体11上可设置多个第一通孔13；该多个第一通孔13可沿该第一环状体11的周向间隔设置，其可沿该第一环状体11的厚度方向贯穿该第一环状体11。可以理解地，在其他一些实施例中，该第一通孔13的数量可不限于多个，其可以为一个。在一些实施例中，该第一通孔13可以为圆形通孔，在一些实施例中，其也可以为条形孔。在一些实施例中，该多个第一通孔13中部分为圆形通孔，部分为条形孔。该第一通孔 13可有效地减轻了整体重量，并且在生产过程中，其还可起到引流的作用，其可节约生产成本，提高生产效率。

如图5至图9所示，进一步地，在一些实施例中，该第二垫片20可包括第二环状主体21；该第二环状主体21的厚度大于该第一环状主体11的厚度。该第二环状主体21的最大径向尺寸可与该包装盒200的径向尺寸相当，该第二环状主体21的外侧壁至少部分向外延伸，以形成定位凸缘211，该定位凸缘211可用于与该包装盒200内壁面配合定位，进而可便于该第二垫片20的固定，使得整体结构紧凑，并且可优化内部空间。

进一步地，在一些实施例中，该第二环状主体21的顶壁可开设若干卡接槽22；该若干卡接槽22可沿该第二环状主体21的周向间隔设置。该若干卡接槽22可为多个，其可在多个第二垫片20叠合时，供位于上部的第二垫片 20卡入。该卡接槽22可由该第二环状主体21的顶壁凹陷形成，其纵截面可呈V型，该定位凸缘211可设置在该卡接槽22的外侧壁，其可由该卡接槽22 的外侧壁至少部分向外延伸形成。在一些实施例中，该第二环状体21的底壁上设有卡接凸台；该卡接凸台与该卡接槽22对应设置，具体地，该卡接凸台与该卡接槽22一一对应设置，当多个第二垫片20叠合时，位于上部的第二环状主体21的卡接凸台可卡入位于下部的第二垫片的卡接槽22中，从而便于实现多个第二垫片20的限位，进而可提高叠合的稳定性。

进一步地，在一些实施例中，相邻设置的两个卡接槽22之间可设置隔台 23；该隔台的两侧可分别与相邻设置的两个卡接槽22连接。在一些实施例中，该第二环状主体21上设有至少一个第二吸合面231，具体地，在一些实施例中，该第二吸合面231可为多个，其可对应设置在每个隔台23的顶面，其可用于供吸盘吸附于其上，以便于晶圆100自动化包装的进行，从而提高包装的效率。在一些实施例中，该第二吸合面231可为平面，进而可便于该吸盘吸附，可提高吸附的稳定性。

进一步地，在一些实施例中，每个卡接槽22中设有至少一个第二通孔24；该第二通孔24可以为多个，其可与该第一通孔13对应设置，以在该第一垫片 10和该第二垫片20叠合时，与该第一通孔13配合，起到引流的作用。在一些实施例中，该第二通孔14还可用于减轻该该第二环状主体21的重量，可节约生产成本，提高生产效率。

如图5及图16所示，进一步地，在一些实施例中，每个卡接槽22中设有支撑筋25；该支撑筋25可以为一个或者多个。该支撑筋25可沿径向方向设置，其两端可分别与该卡接槽22两相对设置的内侧壁连接，当多个第二垫片 20叠合时，位于上部的第二垫片20的底部可位于该支撑筋25上，该支撑筋 25可起到支撑该第二垫片20的作用。

如图10至图12所示，当该包装盒200中装入的晶圆100为一个时，该包装盒200的多余空间可通过该第一垫片10和该第二垫片20填充。该包装盒 200的底层可装入一个第二垫片20，该晶圆100可位于该第二垫片20上，再将该第一垫片10盖合在该晶圆100上，然后再依次叠加第二垫片20和第一垫片10直至第二垫片20、第一垫片10、晶圆100的总高度与该包装盒200内部空间的高度一致，从而可避免晶圆100被污染和划伤。可以理解地，在其他一些实施例中，该第一垫片20和该第一垫片10不限于一一配合使用，其可根据晶圆100数量搭配使用，仅需保持整体的高度与该包装盒200内部空间高度一致即可。

如图13至15所示，当该包装盒200中装入的晶圆100为一个时，该第二垫片20可为多个，该第一垫片10可为一个，该第一垫片10可位于最上层，该第二垫片20可从该包装盒200内的底面开始堆叠。该晶圆100可位于该第一垫片10的下方。

在一些实施例中，每片晶圆100的高度可以为3.5mm,每片第二垫片20的厚度可为17.5mm,每片第一垫片10的厚度可为3.5mm，该包装盒200内部总高度可为108.5mm，该晶圆100数量与该第一垫片10和该第二垫片20配合的数量可参见下表。

可以理解的，以上实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围；因此，凡跟本实用新型权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本实用新型权利要求的涵盖范围。

Claims (10)

1.一种晶圆垫片，其特征在于，包括填充装有晶圆(100)的包装盒(200)多余空间的第一垫片(10)和第二垫片(20)；所述第二垫片(20)的厚度大于所述第一垫片(10)的厚度；

所述第一垫片(10)包括第一环状主体(11)；所述第一环状主体(11)上设有至少一个第一吸合面(121)，以在晶圆(100)自动化包装时供吸盘吸附于其上；

所述第二垫片(20)包括第二环状主体(21)；所述第二环状主体(21)上设有至少一个第二吸合面(231)，以在晶圆(100)自动化包装时供吸盘吸附于其上。

2.根据权利要求1所述的晶圆垫片，其特征在于，所述第一环状主体(11)顶壁上设有若干隔离槽(12)；所述若干隔离槽(12)间隔设置；

所述第一吸合面(121)为多个，其对应设置在相邻设置的两个所述隔离槽(12)之间。

3.根据权利要求2所述的晶圆垫片，其特征在于，所述隔离槽(12)的纵切面呈H形。

4.根据权利要求1所述的晶圆垫片，其特征在于，所述第一环状主体(11)上设有至少一个第一通孔(13)。

5.根据权利要求1所述的晶圆垫片，其特征在于，所述第二环状主体(21)的顶壁开设有若干卡接槽(22)；所述若干卡接槽(22)间隔设置；相邻设置的两个卡接槽(22)之间设有连接相邻设置的两个所述卡接槽(22)的隔台(23)；

所述第二吸合面(231)为多个，其对应设置在每个所述隔台(23)的顶面。

6.根据权利要求5所述的晶圆垫片，其特征在于，每个所述卡接槽(22)中设有至少一个第二通孔(24)。

7.根据权利要求5所述的晶圆垫片，其特征在于，每个所述卡接槽(22)中设有至少一个支撑筋(25)，以在多个所述第二垫片(20)叠合时支撑位于上部的所述第二垫片(20)。

8.根据权利要求5所述的晶圆垫片，其特征在于，所述第二环状主体(21)的顶壁内凹形成所述卡接槽(22)；

所述第二环状主体(21)的底壁上设有与所述卡接槽(22)对应设置的卡接凸台；

所述卡接凸台与所述卡接槽(22)一一对应设置，以在多个所述第二垫片(20)叠合时卡入位于下部的所述第二垫片(20)的所述卡接槽(22)中。

9.根据权利要求5所述的晶圆垫片，其特征在于，所述卡接槽(22)的外侧壁至少部分向外延伸形成与所述包装盒(200)内壁面配合定位的定位凸缘(211)。

10.根据权利要求1所述的晶圆垫片，其特征在于，所述第二吸合面(231)为平面；

和/或，所述第一吸合面(121)为平面。

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