JPH0445064B2 - - Google Patents

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JPH0445064B2
JPH0445064B2 JP1095085A JP1095085A JPH0445064B2 JP H0445064 B2 JPH0445064 B2 JP H0445064B2 JP 1095085 A JP1095085 A JP 1095085A JP 1095085 A JP1095085 A JP 1095085A JP H0445064 B2 JPH0445064 B2 JP H0445064B2
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JP
Japan
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optical system
point
light source
flare
measured
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JP1095085A
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English (en)
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JPS61170635A (ja
Inventor
Mitsumasa Masutani
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOEICHO GIJUTSU KENKYU HONBUCHO
Original Assignee
BOEICHO GIJUTSU KENKYU HONBUCHO
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Publication date
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Priority to JP1095085A priority Critical patent/JPS61170635A/ja
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Publication of JPH0445064B2 publication Critical patent/JPH0445064B2/ja
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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties
    • G01M11/0285Testing optical properties by measuring material or chromatic transmission properties

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、光学系(可視光又は非可視光)のフ
レア(ベーリンググレアともいう)を測定する方
法及びその装置に関する。
(従来の技術) フレアは、光学系内のレンズエレメントなどで
の光散乱により映像のコントラストを悪くする原
因であり、暗視装置や赤外線装置の光学系では分
解能とともに重要な評価要素である。
従来、この種の光学系フレアの測定法及び装置
として、可視光学系に関する第3図に示す構成が
知られている。この第3図において、1はスクリ
ーンで、該スクリーン1上には暗黒部2が設けら
れている。3はスクリーン1上を一様に照らす照
明装置、5は被測定光学系である。この被測定光
学系5の標的が前記暗黒部2を有するスクリーン
1であり、6は被測定光学系の映像面、6aは測
定された映像面の光強度を表す像面信号強度分布
である。
ここで、可視光学系に用いられている第3図に
示した従来のフレアの測定方法について説明す
る。被測定光学系5の視野より十分に大きなスク
リーン1の中に光の反射のない穴等によつて形成
された暗黒部2を設けておき、このスクリーン1
を均一に照明する。このスクリーン1を被測定光
学系5により観測し、その映像面6の光強度を測
定する。そのとき、映像面の光強度を表す像面信
号強度分布6aのスクリーン像に対応する暗黒部
I(b)と明るい部分I(o)との信号強度比I(b)/I(o)
をもつて被測定光学系のフレアとする。
(発明が解決しようとする問題点) ところで、従来のフレア測定装置は、可視光学
系について構成されているので、被測定光学系の
標的として大きなスクリーンを用いているが、赤
外線光学系のフレア測定の場合、このような光源
は製作できない。たとえ、大きなヒートパネルを
作りこの中に暗黒部を設けても、この暗黒部を絶
対零度(−273℃)にしなければならず、このよ
うな標的は実現不可能である。
(問題点を解決するための手段) 本発明は、上記のような従来の欠点を除去する
ためになされたもので、点光源を標的として用
い、被測定光学系(可視光、非可視光)によつて
結像された映像面の点像強度分布に関してその積
分値を求め、該積分値から前記第3図のスクリー
ン(面光源)における暗黒部に相当する部分を差
し引いた点像強度分布の残りの部分と、前記積分
値との比を計測することによつて、従来の測定と
同じ測定ができ、しかも赤外線光学系のように可
視光の場合のごとき標的の作れない光学測定にお
いても正確なフレア測定ができる光学系フレアの
測定法及び装置を提供しようとするものである。
まず、本発明の原理的説明を第1図について行
う。この図において、21は標的としての点光
源、25は被測定光学系、26は被測定光学系の
映像面、27はポイント検出器、26aは映像面
を検出器27によりx、y方向2次元に計測した
点像強度分布である。なお、点線で示すスクリー
ン1及び暗黒部2は本発明の測定では不必要であ
るが、従来の第3図の構成で使用したスクリーン
とその暗黒部の位置を表している。
さて、点光源21の光(可視光、又は赤外線、
紫外線等の非可視光)は被測定光学系25を通
り、その映像面26に点光源の点像分布を作る。
その映像面をポイント検出器27によつて縦横2
次元に走査し、映像面上の点像強度分布26aの
関数G(x、y)を測定する。このとき、ポイン
ト検出器27の大きさ内の光信号は検出器自身が
積分しているので、計測はポイント検出器サイズ
のピツチで2次元に走査する。従来の第3図の場
合に用いられる面光源(照明されたスクリーン)
は点光源の集合であるから、従来の場合の暗黒部
を埋めるフレア量I(b)/I(o)は、本発明では式(1)
に示すように、点像強度の全積分値を求め、全積
分値から暗黒部に対応する部分(第1図の幅dの
部分)を差し引いた残りの部分(第1図の斜線
部)と、前記全積分値との比で表すことができ
る。但し、前記幅dの値は通常光学系の視角のお
よそ1度乃至2度に選ばれる。
I(b)/I(o)=∫∫-∞G(x、y)dx、dy−
∫∫d/2-d/2G(x、y)dx、dy/∫∫-∞G(x
、y)dx、dy……(1) ここで、I(b)/I(o)が式(1)で示される理由につ
いて第4図を用いて説明する。この図は、面光源
像と点光源像の関係を理解しやすいように示した
もので、図中、 F(x、y):理想像 G(x、y):点像分布関数 D(x、y):測定により得られる像 とする。
可視領域のフレア測定における標的面(ターゲ
ツト面)および光学系によつて作られるその映像
の性質を考えてみると、光学系を通つた後の第4
図bの映像D(x、y)は同図dの点像分布G
(x、y)の集まりであるから(同図c参照)、そ
の関係は以下の式で表される。
重ね合わせの原理が成り立ちアイソプラナテイ
ツクな点像分布系で考えと、映像面は、 D(X、Y)=∫ -∞ -∞F(x、y) G(X−x、Y−y)dxdy ……(2) と表される。ここで従来の第3図の可視測定で用
いられる標的の暗黒部を一辺dの正方形とする
と、 F(x、y)=O(−d/2<x<d/2、かつ−
d/2<y<d/2) P(その他の領域) であるから、光学系を通つた像面D(X、Y)は
点像の集まりがF(x、y)=Pで広がつている全
体の像面から暗黒部分を差し引いたものとなり D(X、Y)=∫ -∞ -∞PG(X−x、Y−y)dx
dy −∫d/2 -d/2d/2 -d/2PG(X−x、Y−y)dxdy……
(3) =P∫ -∞ -∞G(X−x、Y−y)dxdy −P∫d/2 -d/2d/2 -d/2G(X−x、Y−y)dxdy…
…(4) と表される。ここで暗黒部中央I(b)はD(O、O)
であるから D(O、O)=P∫ -∞ -∞G(−x、−y)dxdy −P∫d/2 -d/2d/2 -d/2G(−x、−y)dxdy……(5) =P∫ -∞ -∞G(x、y)dxdy −P∫d/2 -d/2d/2 -d/2G(x、y)dxdy ……(6) と表される。一方、可視測定における明部I(o)は
暗黒部から充分離れてその影響を無視できる位
置、つまり(4)式の第1項に比べて第2項が充分小
さくなるX、Yの位置では(4)式の第2項を無視し
て I(o)=D(X、Y) =P∫ -∞ -∞G(X−x、Y−y)dxdy……(7) =P∫ -∞ -∞G(x、y)dxdy ……(8) と考えることができる。従つて、 フレア=I(b)/I(o)=D(O、O)/D(X、
Y) =∫-∞-∞G(x、y)dxdy−
d/2-d/2d/2-d/2G(x、y)dxdy/∫-∞
-∞G(x、y)dxdy……(9) 従つて、式(9)は従来の可視光領域で測定される
フレア量がD(O、O)/D(X、Y)であり、こ
れは点像G(x、y)を全部積分したものに対す
る点像から暗黒部を除いた裾の部分を積分したも
の(第4図dの斜線部分)との比で表されること
を意味している。
なお、上記式(1)を導くのに、アイソプラナテイ
ツクな条件で重ね合わせの原理が成り立つとして
説明したが、点光源の像面に対する寄与の仕方が
違う場合は、(3)式を導くための説明において光学
系を通つた像面D(x、y)は点像の集まりがF
(x、y)=Pなる常数で広がつているとした仮定
は適当ではないことになる。しかし、実際に光学
系フレアを測定する信号レベルは、点像のピーク
値に対して6桁程度小さい点像分布の裾部分のレ
ベルが中心であり、cosine4乗則等による像面の
不均一は無視できること、また、実際の光学系で
は、多数枚のレンズ構成が殆どで、レンズの光軸
と光軸外での輝度分布の違いや収差による点像強
度分布の違いはフレア測定の信号レベルでは無視
でき、像面も一様であると仮定しても差し支えな
い。
(実施例) 次に、第2図で本発明の実施例の構成について
説明する。この第2図において、点光源31から
の赤外線は、赤外線を断続するチヨツパー32に
より断続光にされた後、光源を必要な大きさに
(十分小さな点状となるように)規定するアパー
チヤ33から光学フイルター34を経て放射され
る。被測定光学系35を通つた赤外線は光学系映
像面36に点像分布を作る。赤外線検出器37は
コントローラ38によつてx、y方向の2次元走
査を自動的に行うXY微動ステージ39上に設け
られ、前記映像面を走査し点像強度分布を計測す
る。このとき、走査のピツチは赤外線検出器サイ
ズで行う。この計測信号はロツクインアンプ40
に入力される。ロツクインアンプ40は前記チヨ
ツパー32よりの同期信号Sを受け、チヨツパー
32を赤外線が通過している期間のみ増幅動作を
行うものである。ロツクインアンプ40の出力は
さらにログアンプ(対数増幅器)41で増幅され
た後、AD変換器42でデイジタル信号に変換さ
れ、計算機43で積算される。該計算機43は前
述の式(1)に基づきフレア量を算出し、プリンタ
ー、プロツター等の表示装置44に表示する。
なお、上記実施例では、赤外線光学系のフレア
を測定する場合を例示したが、本発明は赤外線光
学系のみならず、紫外線あるいは可視光の光学系
のフレア測定も可能であることは明らかである。
(発明の効果) 以上説明したように、本発明によれば、点光源
を用いてフレアを測定するように構成したので、
紫外線や赤外線光学系など、従来の構成では実現
できなかつたものが簡単な方法で容易に測定可能
になるなどの効果があり、また測定精度も高いも
のが得られる。さらに、標的は点光源であるので
製作が容易であり、可視光の測定に応用しても装
置が安価でコンパクトにできる等の効果もある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による光学系フレア測定の原理
図、第2図は本発明の光学系フレアの測定装置の
実施例を示すブロツク図、第3図は従来の光学系
フレア測定の原理図、第4図は面光源像と点光源
像の関係を示す説明図である。 1……スクリーン、2……暗黒部、3……照明
装置、5,25,35……被測定光学系、6,2
6,36……映像面、6a……像面信号強度分布、
21,31……点光源、26a……点像強度分
布、27,37……検出器、32……チヨツパ
ー、33……アパーチヤ、34……光学フイルタ
ー、38……コントローラ、39……XY微動ス
テージ、40……ロツクインアンプ、41……ロ
グアンプ、42……AD変換器、43……計算
機、44……表示装置。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 点光源を標的として用い、被測定光学系によ
    り結像された点像強度分布に関してその積分値を
    求め、該積分値から面光源における暗黒部に対応
    する部分を差し引いた残りの部分と、前記積分値
    との比をもつて前記被測定光学系のフレア量とす
    ることを特徴とする光学系フレアの測定法。 2 点光源と、該点光源の光を断続するチヨツパ
    ーと、被測定光学系を通つた光による光学系像面
    上の点像強度分布を前記光学系像面を走査するこ
    とにより計測する検出器と、該検出器の計測信号
    を前記チヨツパーの動作に同期して増幅するロツ
    クインアンプを有する増幅演算手段とを備え、該
    増幅演算手段により前記点像強度分布に関してそ
    の積分値を求め、該積分値から面光源における暗
    黒部に対応する部分を差し引いた残りの部分と、
    前記積分値との比を演算することを特徴とする光
    学系フレアの測定装置。
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