JPH0444808A - セラミック薄膜生シートの供給方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、キャリアフィルム上に形成されたセラミック
薄膜生シート上に＋［Ｉｉ影形成の加工をし、焼成する
ことによりセラミックを製造する電子産業分野で、セラ
ミックの加工機に直結することをねらい、自動化による
無人化を指向したセラミック薄膜生シートの供給方法に
関するものである。

従来の技術 第７図に示すように、キャリアフィルム１上にセラミッ
ク薄膜生シート２を形成したシートフィルム３をフィル
ム送すローラ３９．シート剥離ローラ４０．シート送り
ロー２４１を通過させることによりセラミック薄膜生シ
ート２がキャリアフィルム１より剥離され、除電装Ｎ４
２により静電気をセラミック生シート２より除去後、セ
ラミック薄膜生シート２の自重を利用してセラミック薄
膜生シート２を垂直にたらし、吸着プレート４３で真空
吸着された後、固定刃４４と回転刃４５にてセラミック
薄膜生シート２を定寸切断し、吸着パット４６ヘセラミ
ツク薄模生ンート２を吸着プレート４３より移し替え、
加工機４７に供給するようになっていた。

全問が解１失しようとする課題 従来のセラミック薄膜生シートの供給力法で□・」７，
４セラミック薄膜士シ・−１−２の自重を利用し１、て
いるので、セラミック薄膜生シー＝１・２の厚みが薄く
なるにしまたがい、外部からの影響を受けや−すく、し
わ、折れか、多発するとい、った間萌由、がち〕た。

よっ１石本発Ｉす１つ目的は、セラミック薄膜生シート
のし７わ、折れＯない状態で安定し２て供給するセラミ
ック薄膜１−ニジ・−トの供給方法を提供することにあ
る。

課題を解決゛するための手段 上記課題全解決するために本発明・２〕セラミツク薄摸
生ソートの供給方法は、キャリアフィルムとにセラミッ
ク薄膜生シー・トを形成したシートフィルムを巻いたリ
ールより、シートフィルムが巻キ出され、巻き出し時に
シートフィルム上に発生した静電（を除電バーにより除
去後、クラウン曲線を有したローラを通過し、て、固・
定吸着バ、シト１移ｅ咥着バントで真空吸着された後、
剥甫スライダーにてセラミック薄膜狙）−１をキャリア
フィルムより剥離し、定寸切断後、移載吸着バラ１で、
セラミック薄膜生シートを供給し、剥離後のキャリアフ
ィルムは、空のリールにより巻き取る刃尖としたもので
ある。

作用 シートフィルムは、クラウン曲線を有しまたローラを設
′けることにより、蛇行による位置のばらつきを数陥以
内におさえる。

′！た、シートフィルム巻出しリール、シート剥離部分
、フィルム巻取りリール周辺には、静電気除電バーを設
置］、７、充分に除電を行い、セラミック薄膜生シート
と各々のローラ間とのまつわりつきを防止する１、 さらに、巻き出しリールより巻き出されたシートフィル
ムは、セラミック薄膜生シートを剥離する前に、固定吸
着パット、移載吸着パット全面に真空吸着することによ
り、剥離、吸着時に発′ｌ　Ｌやすいセラミック薄膜生
シートのしわ、折れ金なくし、剥離スライダーにて、セ
ラミック薄摸生シー１をキャリアフィルムより剥・離さ
れた後、セラミック薄膜生シートを定寸切断する。

切功・は、シート端面より切り＜−ｒを発生さぜないた
６、切断刃、ｉ、回転可能な刃を適切な押し７カを−も
えて、押し切りをする。

これにより、完全に切断、分離された移載吸着パットに
・つセラミック薄膜生シートは、しわ、折れを全土させ
ずに供給できることになる。

実施例 以Ｆに本発明の一￥施列を図面にもとづき説明する。−
１ 第２図は、キャリアフィルム１上にセラミック薄膜生シ
ート２が形成されたシートフィルム３が巻き取られてい
る状態を示す。

第１図、第３図、第４図、第６図において、２８、′ｒ
ｉ架台で、本体２４は回転［コーラ２５を介して架台２
８上を移動できる構造となっている。４（は空気吹き込
み式の静電気の除電バー、６・はロー２．６まクラウン
「コーラ、７は剥離スライダーで、８１はフィルム送り
ローラ、９は押えローラ、１ｏは固定吸着パット、１１
は移載吸着パット、１２は回転刃、１３はレバー、１４
はスライドブロック、１５（ｊバネ、１６はロッド、１
７はエアーシリンダ、１８は空気吹き込み式の静電気の
除電バー１９はビー−オン、２０は電磁クラッチ、２１
は電磁フレーキ、２２ｊ４レバー、２３．１エアーンリ
ンダ、２４は本体、２６は回転ローラ、２６は連結ビン
、２７は位置決めレバー、２８は架台、２９は加Ｔ′、
機、、３０は油汗／・イローター、３１は巻き取すリー
ル、３２はシートフィルムリール、３３はラック、３４
は空気吹き込み式の静電気の・余゛直バー、３６は連結
棒、３　ｅ　；’ルバー、３７はテンションローラ、３
８はパルスモータ−である。

次に本発明の動作について説明する。

第１図に示されるように、シートフィルムリール３２よ
り、巻き出されたシートフィルム３ば、ローラ６、テン
ションローラ３７に支持サレ、クラウン曲線ラ６を通過
して、固定吸着パット１０と移載吸音パット１１で真空
吸着された後、剥離スライダー７にてセラミック薄膜生
シート２をキャリアフィルム１より剥離し、回転刃１２
に↓す定寸切断される。剥＠後のキャリアフィルム１は
、巻き取りリール３１へ巻き取られる。移載吸着パット
１１上の定寸切断されたセラミック薄膜生シート２は、
加工機２９に設けられている吸着テーブル（加工機２９
）へ供給される。

まず、シートフィルムリール３２より巻き出されたシー
トフィルム３には、静電気が発生し、空気吹き込み式辞
電気除電バー４を配置することで、静電気を除去できる
。除電されたシートフィルム３は、ローラ６、テンショ
ンローラ３７に支持され、クラウン曲線を有するクラウ
ンローラ６に通過することにより、蛇行による位置のバ
ラツキを数ｍｍにおさえることができる。

次に、シートフィルム３は、第３図に示される剥離・供
給部分へ進む。クラウンローラ６を通過したシートフィ
ルム３は、固定吸着パラ）１０と移載吸着パット１１で
真空吸着され、剥離スライダー７に堆り付けられている
フィルム送りローラ８とキャリアフィルム１に対し、摩
擦係数の高い押えローラ９でキャリアフィルム１を上下
にばさみ、油田ハイローター３０により剥離スライダー
７が、左方向に移動する際、第４図に示されるように、
本体２４に固定されているラック３３とかみ合っている
ビニオン１９で電磁クラッチ２０（連結）、電磁ブレー
キ２１（解除）の状態にあるフィルム送りローラ８は、
剥離スライダー７の移動に同期してキャリアフィルム１
を送シ呂すことができ、セラミック薄膜生シート２より
キャリアフィルム１を第６図ａに示す状態から第６図す
に示す状態に安定して剥離することができる。また、剥
離スライダー７に取り付けられたレバー２２をエアーシ
リンダ２３のロッドを押し出すことで剥離スライダー７
が、さらに、左方向に移動し、セラミック薄膜生シート
で、キャリアフィルム１の剥離（事前剥離）を行う。

次に、キャリアフィルム１をセラミック薄膜生シート２
より剥離するとキャリアフィルム１．セラミック薄膜生
シート２に静電気が発生し、剥離部分に空気吹き込み式
辞電気除電バー１８を配置することで、剥離されたキャ
リアフィルム１及びセラミック薄膜生シート２の静電気
を除去する。

さらに、第５図に示されるように、回転刃１２はバネ１
６により、レバー１３とスライドブロック１４にて保持
されており、エアーシリンダ１７のロッドが引き込むこ
とにより、バネ１６のたわみ力を得た後、スライドブロ
ック１４が、パルスモータ−３８にて左方向に移動する
ことにより、回転刃１２は、移載吸着パット１１の表面
をころがり回転し、第６図す、ｃに示すようにセラミッ
ク薄膜生シート２を押し切って切断する。そして、事前
剥離動作を行ったエアーシリンダ２３のロッドを引き込
むことにより、剥離スライダー７が、第６図ｄに示すよ
うに事前剥離動作量のみ右方向に移動し、セラミック薄
膜生シート２とキャリアフィルム１を再度貼り合せられ
、次の剥離動作を容易にする。

移載吸着パット１１上にある切断された定寸のセラミッ
ク薄膜生シート２は、第６図ｇに示すように持ち上げら
れて加工機２９へ移動し、供給することができる。また
、固定吸着パット１０は、第６図ｅ、ｆに示すように真
空吸着を断ち、微圧の空気を送り込むことでセラミック
薄膜生シート２を固定吸着バソＭＯから完全に引き離す
ことができる。

次に、剥離スライダー７が、油圧ノ・イローター３ｏに
より右方向に移動する際、電磁クラッチ２０（解除）、
電磁ブレーキ２１（作動）の状態に６るフィルム送りロ
ーラ８は、キャリアフィルム１を保持している。

次に、剥離されたキャリアフィルム１は、空気吹き込み
式静電気除電パー３４を通過して、巻き取りリール３１
に巻き取られる。その後、切断したセラミック薄膜生シ
ート２を加工機２９に供給した移載吸着パット１１が固
定吸着パット１０側に第６図ｇに示すように復帰し、第
６Ｎａの状態に戻る。

また、第１図に示されるように、本体２４に設置されて
いる位置決めレバー２７により架台２８に取シ付けられ
ている連結ビン２６に連結されている。本体２４は、回
転ローラ２６により架台２８上へ支持されていて、位置
決めレバー２７の開放にて、加工機２９より離し、シー
トフィルム３２及び巻き取りリール３１の交換等の作業
を容易にしている。

なお、剥離スライダー７の移動に、油田ノ・イロータ−
３０を採用しているが、モ・−ターで駆動してもよい。

また、架台２Ｂ１位置決めレバー２７．連結ビン２６を
用いないで、本体２４を加工機２９に直接取付けてもよ
い。

発明の効果 以上の実施例から明らかなように、本発明によれば、シ
ートフィルムの供給にクラウン曲線を有したローラを設
けることにより、シートフィルムを蛇行せずに供給でき
、シートフィルム巻き出しリール部、シート剥離部、フ
ィルム巻き取りリール周辺に静電気除電バーを設置して
いるので、セラミック薄膜生シートとローラ間とがまつ
わり付かない。さらに、巻き出されたシートフィルムは
固定吸着パット、移載吸着パット全面に真空吸着するこ
とにより、セラミ・ツク薄膜生シートのしわや折れが発
生せず、セラミック薄膜生シートを供給する加工機の無
人稼動への指向を可能なものとし、さらに、シート供給
に関する不良率を大幅に改善することができ、その効果
は、大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のセラミック薄膜生シートの供給方法の
一実施例を示すセラミック生シートの剥離、供給装置の
全体を示す正面図であり、第２図はシートフィルムの斜
視図であり、第３図はシートフィルムからセラミック生
シートを剥離、切断。 供給を示す詳細図で、第４図はフィルム送りローラ付込
の構造を示す断面図で、第６図は回転刃付込の構造を示
す側面図であシ、第６図泣シートフィルムからセラミッ
ク生シートを剥離、切断、供給動作の概略図で、第７図
は従来のシート供給方法を示す図である。 １・・・・・キャリアフィルム、２・・・・・・セラミ
ック薄膜生シート、３・・・・・・シートフィルム、４
・す・静電気の除電バー、６・・・・・ローラ、ｅ・・
・・・・クラウンローラ、７・・・・・・剥離スライダ
ー、８・・・・・・フィルム送シローラ、９・・・・・
・押えローラ、１０・・・・・・固定吸着パット、１１
・・・・・・移載吸着パット、１２・・・・・回転刃、
１３・・・・・・レバー、１４・・・・・スライドブロ
ック、１６・・・・バネ、１６・・・・・・ロッド、１
７・・・・・エアーシリンダ、１８・・・・・空気吹き
込み式辞電気除電バ１９・・・・・・ヒニオン、２ｏ・
・・・・電磁クラッチ、２１・・・・・・電磁ブレーキ
、２２・・・・・・レバー、２３　・・・エアーシリン
ダ、２４・・・・・・本体、２５・・・・回転ローラ、
２６・・・・・連結ピン、２７・・・・・位置レバー２
８・・・・・架台、２９・・・・・・加工機、３０・・
・・・・油田ハイｏ−タ、３１・・・・・・巻き取シリ
ール、３２・・・・・セラミック生シートリール、３３
・・・・・ラック、３４・・・・・・空気吹き込み式静
電気除電バー、３６・・・・・・連ｕ　棒、３ａ・・・
・・レバー、３ア・・・・テンシタンローラ、３８・・
・・・・パルスモータ−１３９・・・・・フィルム送り
ローラ、４０−・・・・シート剥離ローラ、４１・・・
・シート送りローラ、４２・・・・・除電装置、４３・
・・・・吸着フ”レート、４４・・・・・・固定刃、４
６・・・・・・回転刃、 ４６・・・・・吸着パット、 ４７・・・・−加工機。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　キャリアフィルム上に形成されたセラミック薄膜生シ
   ートからなるシートフィルムを巻き出すリールと、巻き
   出されたシートフィルムより静電気を除去する除電バー
   と、セラミック薄膜生シートを吸着する固定吸着パット
   と、セラミック薄膜生シートをキャリアフィルムより剥
   離する剥離スライダーと、セラミック薄膜生シートを一
   定寸法に切断する切断部分と、切断されたセラミック薄
   膜生シートを吸着しながら移載される移載吸着パットと
   、剥離されたキャリアフィルムを巻き取るリールとで構
   成され、切断されたセラミック薄膜生シートをセラミッ
   クの加工機に供給するセラミック薄膜生シートの供給方
   法。