JPH0443949A - 酸素センサ - Google Patents
酸素センサInfo
- Publication number
- JPH0443949A JPH0443949A JP2151838A JP15183890A JPH0443949A JP H0443949 A JPH0443949 A JP H0443949A JP 2151838 A JP2151838 A JP 2151838A JP 15183890 A JP15183890 A JP 15183890A JP H0443949 A JPH0443949 A JP H0443949A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive plate
- ion conductive
- heater
- electrodes
- oxygen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 102000004190 Enzymes Human genes 0.000 title 1
- 108090000790 Enzymes Proteins 0.000 title 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 34
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 34
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 21
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 claims description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 abstract description 37
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 4
- -1 oxygen ions Chemical class 0.000 abstract description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 abstract description 2
- 150000002926 oxygen Chemical class 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910002076 stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 3
- 235000015278 beef Nutrition 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 206010021143 Hypoxia Diseases 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野J
本発明は、地下トンネルの酸欠事故防止等に用いられる
酸素センサに係わり、特に消費電力が少なく、かつ信頼
性の高い酸素センサに関する。
酸素センサに係わり、特に消費電力が少なく、かつ信頼
性の高い酸素センサに関する。
[従来の技術]
近年、安定化ジルコニアからなる固体電解質を用いた限
界電流式の酸素センサか実用化されている。
界電流式の酸素センサか実用化されている。
この酸素センサは、第5図、第6図に示すように、安定
化ジルコニア等のイオン4電性を有する固体電解質によ
り形成されたイオン導電板1と、該イオン導電板1の両
面にそれぞれ設けられて、所定電圧が印加される多孔質
の電極2A、2Bと、前ldイオン導電板1の一方の面
を屡う誹うに設jすられた密封キャップ3J:、該密封
牛ヤ、プ3の外表面に配置されたヒータ4とからなり、
イオン導電板1及び電極2A、2Bの中央部に拡散律速
を生じさせる拡散孔5か形成されたものである。
化ジルコニア等のイオン4電性を有する固体電解質によ
り形成されたイオン導電板1と、該イオン導電板1の両
面にそれぞれ設けられて、所定電圧が印加される多孔質
の電極2A、2Bと、前ldイオン導電板1の一方の面
を屡う誹うに設jすられた密封キャップ3J:、該密封
牛ヤ、プ3の外表面に配置されたヒータ4とからなり、
イオン導電板1及び電極2A、2Bの中央部に拡散律速
を生じさせる拡散孔5か形成されたものである。
そして、リード線4b、4Cを介してヒータ4に電圧を
印加してイオン導電板1を昇温させた状態で、図示して
いないリート線を介して電極2A2Bに電圧を印加し、
この際電極2A、2B開に流れる電流の値から雰囲気の
酸素濃度を検知するものである。
印加してイオン導電板1を昇温させた状態で、図示して
いないリート線を介して電極2A2Bに電圧を印加し、
この際電極2A、2B開に流れる電流の値から雰囲気の
酸素濃度を検知するものである。
「発明が解決しようとする課題]
ところで、この酸素センサには、キャップ3によってイ
オン導電板1の一側面側に中空部6が形成されているこ
とか必須構成であるが、従来、前記ヒータ4の発熱部4
aはこの中空部6の表面側に位置するキャップ3の薄肉
部3a上に配設されていた。
オン導電板1の一側面側に中空部6が形成されているこ
とか必須構成であるが、従来、前記ヒータ4の発熱部4
aはこの中空部6の表面側に位置するキャップ3の薄肉
部3a上に配設されていた。
このため、厚肉部3bにおいてキャップ3と接合するイ
オン導電板1に発熱部4aの熱が伝わり難く、イオン導
電板1を所望の温度(通常、400°C〜600℃)に
維持するためにはヒータ4に多量の電力を供給しなけれ
ばならなかった。
オン導電板1に発熱部4aの熱が伝わり難く、イオン導
電板1を所望の温度(通常、400°C〜600℃)に
維持するためにはヒータ4に多量の電力を供給しなけれ
ばならなかった。
また、キャップ3の薄肉部3bの外表面が極端に高温に
なるため、キャップ3の温度分布が不均一になり易く、
長期間断続的に使用された場合には牛ヤノブ3にクラッ
クか発生する恐れがあった。
なるため、キャップ3の温度分布が不均一になり易く、
長期間断続的に使用された場合には牛ヤノブ3にクラッ
クか発生する恐れがあった。
特に、薄肉部3bの外表面と内表面との間におおきな温
度差を生し易く、この薄肉部3bにクラックか発生する
可能性が有った。クラックが発生すると、拡散孔5以外
から中空部6内に外気か流入する可能性かあるため、適
正な酸素濃度の測定がなされないことになり問題であっ
た。
度差を生し易く、この薄肉部3bにクラックか発生する
可能性が有った。クラックが発生すると、拡散孔5以外
から中空部6内に外気か流入する可能性かあるため、適
正な酸素濃度の測定がなされないことになり問題であっ
た。
本発明は上記従来の問題点に鑑みなされたものであって
、消費電力か少なくかつ信頼性の高い限界電流式酸素セ
ンサを提供することを目的としている [課題を解決するための手段] 本発明の酸素センサは、固体電解質よりなるイオン導電
板の一方の面に密封キャップを被冠し、該密封キャップ
の外表面にヒータの発熱部を形成してなる限界電流式の
酸素センサてあって、前記発熱部は、前記イオン導電板
に接合させられる前記密封キャップの厚肉部表面にも張
り出すように形成されていることを特徴としている。
、消費電力か少なくかつ信頼性の高い限界電流式酸素セ
ンサを提供することを目的としている [課題を解決するための手段] 本発明の酸素センサは、固体電解質よりなるイオン導電
板の一方の面に密封キャップを被冠し、該密封キャップ
の外表面にヒータの発熱部を形成してなる限界電流式の
酸素センサてあって、前記発熱部は、前記イオン導電板
に接合させられる前記密封キャップの厚肉部表面にも張
り出すように形成されていることを特徴としている。
[作用J
上記構成であると、発熱部の熱がイオン導電板に伝わり
易いので、加熱効率が良くなって少ない電力でイオン導
電板を所望の温度に昇温し維持することかできる。
易いので、加熱効率が良くなって少ない電力でイオン導
電板を所望の温度に昇温し維持することかできる。
また、密封キャンプ全体が均一に加熱されることになる
ので、密封キャップにおいて大きな温度差が生じなくな
る。したかつて、クラック発生が起き難くなり、信頼性
か向上する。
ので、密封キャップにおいて大きな温度差が生じなくな
る。したかつて、クラック発生が起き難くなり、信頼性
か向上する。
特に、密封キャップにおける薄肉部の外表面と内表面と
の間の温度差か低減され、・この薄肉部にクラックか発
生する可能性が格段に低減される。
の間の温度差か低減され、・この薄肉部にクラックか発
生する可能性が格段に低減される。
[実施例。
以下、本発明の一実施例を第1図〜第2図により説明す
る。
る。
第1図は酸素センサの平面図、第2図は側断面図である
。
。
この酸素センサは、安定化ジルコニア(例えば、Z r
0p−8YtOs)等のイオン導電性を有する固体電
解質により形成されたイオン導電板11と、このイオン
導電板11の両面に形成されて所定電圧(例えば、2ボ
ルト程度)が印加される多孔質の電極12A、12Bと
、イオン導電板11の上面(この場合電極12A側の面
)を覆う密封キャップ13と、該密封キャップI3の上
面(外表面)に配設されたヒータ14とから構成されて
いる。
0p−8YtOs)等のイオン導電性を有する固体電
解質により形成されたイオン導電板11と、このイオン
導電板11の両面に形成されて所定電圧(例えば、2ボ
ルト程度)が印加される多孔質の電極12A、12Bと
、イオン導電板11の上面(この場合電極12A側の面
)を覆う密封キャップ13と、該密封キャップI3の上
面(外表面)に配設されたヒータ14とから構成されて
いる。
密封キャップ13は、一方何の電極12Aを覆うように
設けられたアルミナ粉末等の多孔質焼成体15と、さら
にこの多孔質焼成体15を覆うように設けられたガラス
層16とから構成されている。
設けられたアルミナ粉末等の多孔質焼成体15と、さら
にこの多孔質焼成体15を覆うように設けられたガラス
層16とから構成されている。
この密封キャップ13は、周縁に厚肉部13bか中央に
薄肉部+33か形成された形状となっており、厚肉部+
3bにおいてイオン導電゛阪11と接合されており、こ
れによって、この密封キャップ13とイオン導電板11
との間には中空部17が形成されている。
薄肉部+33か形成された形状となっており、厚肉部+
3bにおいてイオン導電゛阪11と接合されており、こ
れによって、この密封キャップ13とイオン導電板11
との間には中空部17が形成されている。
イオン導電板11と電極12A、12Bとには前記中空
部17内を外気に連通させる気体拡散孔18が形成され
ており、この気体拡散孔18によって、外気の取り入れ
を制限して拡散律速を生じさせるようになっている。
部17内を外気に連通させる気体拡散孔18が形成され
ており、この気体拡散孔18によって、外気の取り入れ
を制限して拡散律速を生じさせるようになっている。
ヒータ14は、密封キャップ13の上面(外表面)に印
刷あるいはメ、牛等により設けられたもので、発熱部1
4aと電極部14b、14cとよりなる。
刷あるいはメ、牛等により設けられたもので、発熱部1
4aと電極部14b、14cとよりなる。
電極部14b、14Cは、密封キャップ13の周縁に配
置され、接続の便宜を図るため幅広な形状とされている
。
置され、接続の便宜を図るため幅広な形状とされている
。
また、発熱部14aは、帯状のパターンに形成されたも
ので、両端か電極14bあるいは電極14Cに連結され
、電極14b、14Cに電圧か印加されるとその抵抗値
に応じて発熱するものである。
ので、両端か電極14bあるいは電極14Cに連結され
、電極14b、14Cに電圧か印加されるとその抵抗値
に応じて発熱するものである。
そして、この発熱部14aは、その複数箇所か密封牛ヤ
ソブ13の周縁に向かって広がるように配置されたもの
で、密封牛ヤソプ13の厚肉部13bの表面に位置する
張出部分20a、 20b、 20c、 20d。
ソブ13の周縁に向かって広がるように配置されたもの
で、密封牛ヤソプ13の厚肉部13bの表面に位置する
張出部分20a、 20b、 20c、 20d。
20eを有する。
なお、第1図において符号21−.22で小すものは、
やはり密封牛ヤノブ13の上面に印刷あるいはメツキ等
により設けられたもので、図示していない導体層あるい
は導線により電極12A、12Bに接続された電極であ
る。
やはり密封牛ヤノブ13の上面に印刷あるいはメツキ等
により設けられたもので、図示していない導体層あるい
は導線により電極12A、12Bに接続された電極であ
る。
また、この場合、前記電極部14b、14cとこの電極
21.22とは、互いに隣合うようにして、密封キャッ
プ13の四隅にそれぞれ配置されており、前記発、熱部
14aの張出部分20a、 20b、 20c。
21.22とは、互いに隣合うようにして、密封キャッ
プ13の四隅にそれぞれ配置されており、前記発、熱部
14aの張出部分20a、 20b、 20c。
20d、 20eはこれらの閂に位置して形成されてい
る。
る。
今、電極部14b、14cを介してヒータ4に電圧を印
加してイオン導電板11を昇温させた状態で、電極21
.22間(すなわち、電極12A12B間)に流れる電
流の値を計測すれば、従来同様この電流の値から雰囲気
の酸素濃度を知ることかできる。
加してイオン導電板11を昇温させた状態で、電極21
.22間(すなわち、電極12A12B間)に流れる電
流の値を計測すれば、従来同様この電流の値から雰囲気
の酸素濃度を知ることかできる。
すなわち、イオン導電板11を昇温させた状態て電極1
2A、12B間に電圧を印加すると、イオン導電板11
内であって電極I2A、12Bの間においては、気体拡
散孔I8を通して中空部17内に流入した外気中の酸素
イオノを担体とするイオン電流か酸素ポンピング作用に
よV流れ、このイオン電流の飽和値(限界電LA)から
雰囲気の酸素濃度を知ることかできる。
2A、12B間に電圧を印加すると、イオン導電板11
内であって電極I2A、12Bの間においては、気体拡
散孔I8を通して中空部17内に流入した外気中の酸素
イオノを担体とするイオン電流か酸素ポンピング作用に
よV流れ、このイオン電流の飽和値(限界電LA)から
雰囲気の酸素濃度を知ることかできる。
そして、この際、イオン導電板11の加熱は、ヒータ1
4によって効率良くしかも密封牛ヤ、713の局部的な
温度上昇を伴わすに行われる。
4によって効率良くしかも密封牛ヤ、713の局部的な
温度上昇を伴わすに行われる。
スナワチ、発熱部14aの張出部分2Qa、 20b、
20c。
20c。
20d、 20eによって、イオン導電板11と接合さ
れる密封牛ヤノブI3の厚肉部+3bも直接加熱される
ことになるので、発熱部+43の熱かイオン導電板11
に伝わり易く、少ない電力でイオン導電板IIか所望の
4度に昇温され維持される。
れる密封牛ヤノブI3の厚肉部+3bも直接加熱される
ことになるので、発熱部+43の熱かイオン導電板11
に伝わり易く、少ない電力でイオン導電板IIか所望の
4度に昇温され維持される。
また、密封キャップ]3の薄肉部J3aたけか直接加熱
されていた従来に比へ、密封キャップI3全体か均一に
加熱された状態で上記イオン導電板11°の加熱か行わ
れるので、特に、密封牛ヤ。
されていた従来に比へ、密封キャップI3全体か均一に
加熱された状態で上記イオン導電板11°の加熱か行わ
れるので、特に、密封牛ヤ。
プ13における薄肉部13aの外表面と内表面とに大き
な温度差か生じない。
な温度差か生じない。
以上の説明から明らかなように、本実施例の酸素セッサ
は、イオン導電板]]か効率良く加熱されて密封牛ヤノ
ブj3の局部的な温度上昇を伴わずに良好に動作するの
で、長期間に渡って断続的に使用された場合ても密封キ
ャップ13にクラックか発生する恐れかない。したかっ
て、この酸素センサによると、少ない消費電力で信頼性
の高い酸素濃度計測が可能になるという効果か奏される
。
は、イオン導電板]]か効率良く加熱されて密封牛ヤノ
ブj3の局部的な温度上昇を伴わずに良好に動作するの
で、長期間に渡って断続的に使用された場合ても密封キ
ャップ13にクラックか発生する恐れかない。したかっ
て、この酸素センサによると、少ない消費電力で信頼性
の高い酸素濃度計測が可能になるという効果か奏される
。
また、本実施例の酸素センサの場合、電圧を印加するた
めの電極21.22.14b、14cが、すへて密封牛
ヤlブ13の上面に形成されているため、この酸素セ/
すを基板等に実装する場合の電源回路への接続か容易で
あるという効果も有する。
めの電極21.22.14b、14cが、すへて密封牛
ヤlブ13の上面に形成されているため、この酸素セ/
すを基板等に実装する場合の電源回路への接続か容易で
あるという効果も有する。
なお、本発明は上記実施例に限られず、多種な変形か有
り得る。例えば、第3図に示すように、発熱部24aか
十字状に広かって張出部分30a、 30b3(lc、
30d、 30eか形成すれたヒータ24を備えるも
のであってもよい。
り得る。例えば、第3図に示すように、発熱部24aか
十字状に広かって張出部分30a、 30b3(lc、
30d、 30eか形成すれたヒータ24を備えるも
のであってもよい。
また、第、4図に示すように、発、熱部34aの張圧部
分40a、 40b、 40c、 40dか蛇行するよ
うなパターン形状とされたヒータ34を備えるものであ
ってもよい。この場合、張出部分40a、 40b、
40c、 40dの粗密(蛇行間隔)により、烹1jキ
ャップj3の温度分布を最適に調整できるという効果も
ある。
分40a、 40b、 40c、 40dか蛇行するよ
うなパターン形状とされたヒータ34を備えるものであ
ってもよい。この場合、張出部分40a、 40b、
40c、 40dの粗密(蛇行間隔)により、烹1jキ
ャップj3の温度分布を最適に調整できるという効果も
ある。
「発明の効果二
本発明の酸素センサは、イオン導電板か効率良く加熱さ
れて塞封牛ヤ、ブの局部的な温度上昇を伴わずに良好に
動作するので、長期間に渡って断続的に使用された場合
ても密封キャップにクラ。
れて塞封牛ヤ、ブの局部的な温度上昇を伴わずに良好に
動作するので、長期間に渡って断続的に使用された場合
ても密封キャップにクラ。
りが発生する恐れがない。したかって、この酸素センサ
によると、少ない消費電力で信頼性の高イ酸素濃度計測
が可能になるという効果がある。
によると、少ない消費電力で信頼性の高イ酸素濃度計測
が可能になるという効果がある。
第1図〜第2図は本発明の一実施例を示す図であって、
第1図は酸素センサの平面図、第2図は酸素センサの側
断面図である。 第3図、第4図は本発明の変形実施例を示す図であって
、それぞれ酸素センサの平面図である。 第5図、第6図は従来技術を示す図であって、第5図は
酸素センサの平面図、第6図は酸素センサの側断面図で
ある。 11・・・・・・イオン導電板、 12A、12B・・・・・・電極、 13・・・・・・密封キヤ、プ、 13b・・・・・・厚肉部、 14.24.34・・・・・・ヒータ、14a、24a
、34a・・・・・・発熱部。 第1図
第1図は酸素センサの平面図、第2図は酸素センサの側
断面図である。 第3図、第4図は本発明の変形実施例を示す図であって
、それぞれ酸素センサの平面図である。 第5図、第6図は従来技術を示す図であって、第5図は
酸素センサの平面図、第6図は酸素センサの側断面図で
ある。 11・・・・・・イオン導電板、 12A、12B・・・・・・電極、 13・・・・・・密封キヤ、プ、 13b・・・・・・厚肉部、 14.24.34・・・・・・ヒータ、14a、24a
、34a・・・・・・発熱部。 第1図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 固体電解質よりなるイオン導電板の一方の面に密封キャ
ップを被冠し、該密封キャップの外表面にヒータの発熱
部を形成してなる限界電流式の酸素センサであって、 前記発熱部は、前記イオン導電板に接合させられる前記
密封キャップの厚肉部表面にも張り出すように形成され
ていることを特徴とする酸素センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2151838A JPH0443949A (ja) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | 酸素センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2151838A JPH0443949A (ja) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | 酸素センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0443949A true JPH0443949A (ja) | 1992-02-13 |
Family
ID=15527404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2151838A Pending JPH0443949A (ja) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | 酸素センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0443949A (ja) |
-
1990
- 1990-06-11 JP JP2151838A patent/JPH0443949A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6804367B2 (ja) | センサ素子及びガスセンサ | |
JP2002310988A (ja) | ガスセンサ | |
DK161177C (da) | Apparat til opvarmning af et elektrisk ledende stroembart medium | |
US4528086A (en) | Oxygen sensor with heater | |
JPH0443949A (ja) | 酸素センサ | |
JPS5876757A (ja) | 酸素濃度検出装置 | |
JP2769494B2 (ja) | 酸素センサ並びにその製造法 | |
JP2788640B2 (ja) | 気体濃度検出用センサ | |
JPS60171450A (ja) | 燃焼機器用安全検出装置 | |
JP2812530B2 (ja) | 酸素センサ | |
JPH0450646A (ja) | 限界電流式酸素センサ | |
US20030029861A1 (en) | Heating device, in particular for a sensor element for the analysis of gases | |
JPH03277959A (ja) | ガス濃度センサ | |
JPH03265505A (ja) | 沿面放電オゾナイザ | |
JPH02198353A (ja) | 酸素センサ | |
JPS56157845A (en) | Oxygen sensor | |
JPH0249566Y2 (ja) | ||
KR20000028089A (ko) | 고체전해질을 이용한 후막형 이산화탄소 가스센서 제조방법 및그 센서 구조 | |
JPH02179464A (ja) | 酸素センサ | |
JPS595943A (ja) | 酸素濃度センサ− | |
JPH0587773A (ja) | ガスセンサ | |
JPS60129661A (ja) | 酸素センサ | |
JPS57154050A (en) | Oxygen sensor element | |
JPS63298145A (ja) | ガスセンサ | |
JPH0686069U (ja) | 酸素センサ |