JPH044302A - 空気圧駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は圧縮空気源を駆動源として動作を行なう空気圧
駆動装置に関する。

従来の技術 近年空気圧駆動装置ζよ　動作部の出力／重量比が高い
ため動作部を小型・軽量化できべ　安価であゑ　駆動源
から動作部へ配管により容易に動力を伝達できシステム
構築の際の自由度が大きい等の長所を生かして広〈産業
分野等で利用されている。　　産業界においては主に生
産・組立システムにおける部品等の移転　組み付けに用
いられている力（これまでは機械的な位置規制手段（例
えば位置決めピン等）による位置決め方式が用いられて
おり、固定された２点間の位置決めしか実現できず生産
・組立のフレキシブル化への対応が困難であっ島　　そ
こで機械的な位置規制手段を用いずに空気室の圧力を制
御することにより任意の位置において高速かつ高精度な
位置決めを実現する空気圧駆動装置が本発明人によって
提案されている（特願平１５０３２２号）。

以下図面を参照しながら上述した空気圧駆動装置の一例
について説明する。

第４図はこの空気圧駆動装置の一例を示すものである。

第４図において１は空気室を有するシリンジ′、　２は
シリンダ１内を気密性を保ちながら移動できるピストン
、　１ａ、　１ｂはピストン２によって分割された空気
室　４は圧縮空気淑　５はピストン２と負荷６を接続す
るロッドミ　３ａ、３ｂはそれぞれ空気室１ａ、ｌｂに
空気を流入　流出させるために弁部の開口面積を指令値
に応じて変化させる機能を有する制御弁、　７は負荷６
の位置を検出する位置センサ、　８ａ、８ｂはそれぞれ
空気室１ａ、ｌｂの内部圧力を検出する圧力センサ、９
は位置センサ７、圧力センサ８ａ、　８ｂの信号と目標
位置信号を取り込へ　制御弁３ａ、　３ｂの開口量に対
応する駆動信号を出力する制御能　１０は位置センサ７
、圧力センサ８ａ、８ｂの信号を取り込みピストン２に
加わる外乱力である摩擦力を推定する外乱力推定部　１
１は外乱力推定部１０の出力を用いて推定した摩擦力を
打ち消すような補償入力に対応する制御弁３ａ、　３ｂ
への駆動信号を出力する外乱力補償部　１２は制御部９
と外乱力補償部１１からの駆動信号をそれぞれ加算し制
御弁３ａ、　３ｂへ出力する駆動信号加算部である。

以上のように構成された空気圧駆動装置について以下第
４巨　第５図を用いてその動作を説明する。

まず第５図は第４図における制御部９の内部構成を示す
詳細説明図である。第５図において９ａは微分ｔ　　９
ｂ、　９ｃは増幅器である。増幅器９ｂ、　９Ｃの出力
はそれぞれ動作部の目標位置に対する位置偏差、動作部
の速度、空気室１ａ、　１ｂの平衡圧力からの圧力偏差
のフィードバック成分でありこれらはシリンダ１、　ピ
ストン２、ロッド５、負荷６を含む空気圧駆動系の状態
フィードバック制御系を構成している。従ってこの状態
フィードバック制御によって空気の圧縮性が位置決め動
作に及ぼす影響を抑制して動作部の任意の位置での位置
決め動作を実現できる。

次に第４図における外乱力検出部１０と外乱力補償部１
１の詳細について以下に説明する。まず外乱力検出部１
０は検出した空気室１ａ、　１ｂの圧力差を入力とし　
圧力差から負荷６の位置までのピストン２の運動に関す
る動特性モデルと、ピストン２に加わる摩擦力を一定で
あると仮定した摩擦力の動特性モデルとを用いた外乱推
定オブザーバであり、位置センサ７の出力と推定したピ
ストン２の位置の差を外乱推定オブザーバ内でフィード
バックすることにより摩擦力を推定するものである。次
に外乱力補償部１１（戴　外乱力検出部１０で推定した
摩擦力の値を用いて実際にピストン２に加わっている摩
擦力を打ち消すために必要な制御弁３ａ、３ｂへの開口
量の指令値に対応する駆動信号を出力するものであり、
これによりピストン２に加わる摩擦力を高速に補償する
ことができる。

次に第４図における駆動信号加算部１２は制御部９と外
乱力補償部１１からの制御弁３ａ、　３ｂへの駆動信号
をそれぞれ加えて制御弁３ａ、　３ｂへ駆動信号を出力
するものでこれによりピストン２に加わる摩擦を高速に
補償しながら、状態フィードバック制御によって空気圧
駆動装置の位置決め動作に及ぼす空気の圧縮性の影響を
抑制するような制御系を構成しており空気圧駆動装置に
おける動作部の任意の位置での高速・高精度位置決め動
作を実現している。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような構成では次のような問題点が
生じる。すなわ板　空気の圧縮性や外乱力である摩擦力
の補償を実際に行なう制御弁の不感帯やヒステリシスな
どの非線形性、不確定性による制御弁特性のモデル誤差
がある場合瓶　実際の補償量に誤差が生じ外乱力である
摩擦力が完全には補償されないため位置決め誤差が生し
　位置決め精度が低下するという問題点が生ずる。

本発明は上記問題点に鑑へ　任意の目標位置に対する位
置決め等の動作を高速・高精度に実現する空気圧駆動装
置を提供するものである。

課題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明の空気圧駆動装置（
よ　空気室と、この空気室内を気密性を保ちながら移動
可能な動作部とを有する空気圧アクチュエータと、前記
動作部により分割された空気室群のそれぞれに入力信号
に応じて空気を流入あるいは流出させることができる制
御弁群と、前記動作部に加わる流体力を検出する流体力
検出部と、前記動作部の動作状態を検出する動作状態検
出部と、前記動作状態検出部の出力信号と前記流体力検
出部の出力信号、及び目標動作状態信号を入力として前
記動作部が前記目標動作状態信号に従って移動するため
に必要な制御量である前記制御弁群の開口量を演算し　
この開口量に対応する駆動信号を出力する動作制御部と
、前記動作部に加わる外乱力を推定あるいは測定する外
乱力検出部と、この外乱力検出部の出力信号を入力とし
前記外乱力を補償するために必要な制御量である前記制
御弁群の開口量を演算し　前記開口量に対応する駆動信
号を出力する外乱力補償部を有し　この外乱力補償部の
出力信号の増幅を行ない外部信号により増幅率を変化さ
せることができる駆動信号増幅部と、該駆動信号増幅部
の出力信号と前記動作制御部の出力信号を加算し前記制
御弁群に出力する弁駆動信号加算部と、前記動作部に加
わる外乱力を含まない前記動作部に加わる流体力と前記
動作部の動作状態の関係を表わす動特性モデルを有する
状態推定器によって推定動作状態信号を演算しこの推定
動作状態信号と前記動作状態検出器の出力信号の差を演
算することで前記外乱力の未補償量を検出する未補償量
検出部と、検出した前記未補償量と前記外乱力検出部に
よって推定あるいは検出した外乱力とを補償するために
必要な駆動信号を前記制御弁群に出力するように前記駆
動信号増幅部の増幅率を補正する補正信号を出力する補
正部とからなる外乱力補償補正部とを備え　この外乱力
補償補正部と、前記外乱力検出部がともに前記流体力検
出部の出力信号と前記動作状態検出部の出力信号を入力
し　前記外乱力検出部　前記外乱力補償部で前記動作部
に加わる外乱力を検出し　この外乱力を補償するための
前記制御弁群への駆動信号を出力し　前記外乱力補償補
正部で前記外乱力の未補償量を検出し　この未補償量の
値に基づいて前記駆動信号を前記駆動信号増幅部によっ
て補正するような階層構造とした構成としたものである
。

作用 本発明は上記した構成によって制御弁の非線形性、不確
定性等に起因して生じる摩擦力の未補償量を検出し　そ
の値に応じて外乱力補償部の出力信号を補正することで
実際に動作部に加わっている摩擦力を正確に補償し位置
決め精度を向上させることができ、従って任意の目標位
置に対する位置決め等の動作を高速・高精度に実現する
ことができる。

実施例 以下本発明の一実施例の空気圧駆動装置について、図面
を参照しながら説明する。

第１図は本発明の一実施例における゛空気圧駆動装置の
構成を示す全体図である。　　第１図において１は空気
室を有するシリンダ　２はシリンダ１内を気密性を保ち
ながら移動できるピストン、　１ａ、ｌｂはピストン２
によって分割された空気室４は圧縮空気棟　５はピスト
ン２と負荷６を接続するロッド、　３ａ、３ｂはそれぞ
れ空気室１　ａ。

１ｂに空気を流入、流出させるために弁部の開口面積を
指令値に応じて変化させる機能を有する制御弁、　７は
負荷６の位置を検出する位置センサ、８ａ、　８ｂはそ
れぞれ空気室１ａ、ｌｂの内部圧力を検出する圧力セン
サ、９は位置センサ７、圧力センサ８ａ、８ｂの信号と
目標位置信号を取り込へ　制御弁３ａ、　３ｂの開口量
に対応する駆動信号を出力する制御部　１０は位置セン
サ７、圧力センサ８ａ、８ｂの信号を取り込みピストン
２に加わる外乱力である摩擦力を推定する外乱力検出部
　１１は外乱力推定部１０の出力を用いて推定した摩擦
力を打ち消すような補償入力に対応する制御弁３ａ、　
３ｂへの駆動信号を出力する外乱力補償部　１３は外乱
力補償部の出力信号を外部信号に応じて変化させること
ができる増幅率で増幅する駆動信号増幅部　１２は制御
部９と駆動信号増幅部１３からの駆動信号をそれぞれ加
算し制御弁３ａ、　３ｂへ出力する駆動信号増幅部１４
は位置センサ７、圧力センサ８ａ、８ｂの出力信号と外
乱力検出部１０の出力信号である推定外乱力の値を取り
込みピストン２に加わる摩擦力の未補償量を求めその値
に応じて駆動信号増幅部１３の増幅率を補正する外乱力
補償補正部である。

以上のように構成された空気圧駆動装置について以下第
１諷　第２図を用いてその動作を説明ず２に加わる摩擦
力をＴｆとすると、 まず第２図は第１図における制御部９の内部構成を示す
詳細説明図である。第２図において９ａは微分縁９ｂ、
　９Ｃは増幅器である。増幅器９ｂ、　９Ｃの出力はそ
れぞれ動作部の目標位置に対する位置側ム　動作部の速
度、空気室１ａ、　１ｂの平衡圧力からの圧力偏差のフ
ィードバック成分でありこれらはシリンダ１、ピストン
２、ロッド５、負荷６を含む空気圧駆動系の状態フィー
ドバック制御系を構成している。従ってこの状態フィー
ドバック制御によって空気の圧縮性が位置決め動作に及
ぼす影響を抑制して動作部の任意の位置での位置決め動
作を実現できる。

次に第１図における外乱力検出部１０の内部構成につい
て以下に説明する。

まず空気室１ａ、　ｌｂ内の圧力をｐｌ、ｐ２．　　ピ
ストン２とロッド５、負荷６全体の質量をＭ、ピストン
２の空気室１ａ側の受圧面積をＡ１、空気室ｌｂ側の受
圧面積をＡ２．　　ピストン２の中央位置を原点に取っ
た場合のピストン位置をＸｌ　　ピストンＭｘ＝　　（
Ａｌｐｌ−Ａ２ｐ２）＋Ｔｆ　　　　　　（１）の関係
が成り立つ。ここで「・」は時間微分を表わす。　（１
）式において摩擦力Ｔｆが一定であると仮定し 状態変数ベクトルｘｅを（ｘ、　　ｘ、　　Ｔｆ）、入
力変数Ｕを（Ａｌｐｌ−Ａ２ｐ２）、出力変数ｙをＸと
おくと、上式のシステムに対する状態方程式と出力方程
式（よ ｘｅ＝Ａｅｘｅ十ｂｅｕ ｙ　　　＝ｃｅｘｅ 但し く２） となる。　（２）式に示したピストン２の運動に関する
圧力ｐ１、ｐ２からピストン２の位置Ｘまでのシステム
は線形システムであるので下記のような構造を持つオブ
ザーバ（状態推定器）が構成できる。すなわち、 １ｅ＝Ａｅｘｅ＋ｂｅｕ＋ｋｅ　（ｙ−Ｖ）　　　　　
（３）↑ｆ＝　ｃ　を交ｅ 但し　ｃｔ＝［ｏｏ１コ である。ここで’ｘｅ、　　’ｙ、↑ｆはそれぞれｘａ
、　　ｙ、Ｔｆの推定ｆｉｆｔｋｅはオブザーバのゲイ
ンベクトルである。このゲインベクトルを適切に決める
ことによりｘｅと　ｘｅは速やかに一致し　従ってｘｅ
に含まれる摩擦力Ｔｆの推定ができる。外乱力検出部１
０は（３）式で表わされるオブザーバを電気回路　ある
いはソフトウェア等で実現したものである。

次に外乱力補償部１１の内部構成について以下に説明す
る。外乱力補償部１１は外乱力検出部１０で推定した摩
擦力の値を用いて実際にピストン２に加わっている摩擦
力を打ち消すために必要な制御弁３ａ、３ｂへの開口面
積の指令値を出力するものであり、外乱力補償部１１か
らの出力をＳ　Ｉｇｈ、　　Ｓ　２ｇｈとすると、Ｓ　
Ｉｇｈ＝　　ｋ　ｇｈｌ・↑ｆ／　２　　　　　　　　
（４）Ｓ　２ｇｈニーｋ　ｇｈ２・↑ｆ／　２　　　　
　　　　　　（５）となる。ここでｋｇｈｌ、ｋ　ｇｈ
２は制御弁３ａ、３ｂへの入力であるＳ　Ｉｇｈ、　　
Ｓ　２ｇｈから位置センサ７の出力であるＸまでの空気
圧駆動装置全体の動特性を表わす数式モデルを用いて決
定した外乱補償ゲインである。

次に第１図における外乱力補償補正部１４の内部構成に
ついて、説明する。

まず第１図における１４ａは圧力センサ８　ａ。

８ｂからの出力信号と外乱力検出部ｌＯの出力信号、位
置センサ７の出力信号を入力として摩擦力Ｔｆの未補償
量を検出する未補償量検出部であり、１４ｂは求めた未
補償量と外乱力検出部１０によって推定した外乱力とを
補償するために必要な駆動信号を制御弁３ａ、　３ｂに
出力するように駆動信号増幅部１３の増幅率を補正する
補正信号を出力する補正部である。

次に第３図は第１図における未補償量検出部１４ａの内
部詳細図で、第３図において１４ａａは流体力演算１１
４ａｂは状態推定部である。第３図において流体力演算
部１４ａａＬＬ、　　圧力センサー８ａ、８ｂの出力ｐ
１、ｐ２と外乱力推定部１０の出力Ｔｆから、 ｕｌ　　＝　　　（Ａｌｐｌ−Ａ２ｐ２）−Ｔｆにより
摩擦力Ｔｆが補償された場合のピストン２に加わる力ｕ
１を演算する。次に状態推定部１４ａｂはｕｌを入力と
ＩＡ　ｕｌからピストン２の位置Ｘ（ｙ）までの動特性
のモデノｋ ｘｒ＝Ａｘｒ＋ｂｕｌ ｙ　　　＝ｃｘｒ 但し く６） ｘｒ−［ｘ　　ｘ］ ｃ＝［１０］ を用いたオブザーバを構成し　ピストン２の位置Ｘの推
定値Ｘを（６）式を用いて求める。この推定値Ｘは制御
弁３ａ、３ｂに非線形性、不確定性がなく外乱力補償に
誤差を生じなければ実際のピストン２の位置Ｘに一致す
る。すなわち推定値Ωと検出値Ｘの差が外乱の未補償量
に対応している。

従って未補償量検出部１４ａの出力Ｘ−Ωを用いて第１
図における補正部１４ｂｉ＆ ｚ＝１＋α・　（ｘ−ｘ） を演算しくαは一定値の係数）駆動信号増幅部１３へ増
幅率の補正信号として出力する。これにより実際に動作
部に加わっている摩擦力を正確に補償し位置決め精度を
向上させることができ、その結果任意の目標位置に対す
る位置決め等の動作を高速・高精度に実現することがで
きる。

以上のように本実施例によれば　動作部に加わる外乱力
である摩擦力による影響を高速に外乱力補償部で抑制し
　かつ動作制御部によって空気の圧縮性による影響を抑
制し　さらに外乱力補償補正部により動作部に加わる摩
擦力の未補償量を検出し制御弁への駆動信号を補正する
ことで、任意の目標位置への位置決め等の動作を高速・
高精度に実現することができる。

なお本実施例において、外乱力補償部における外乱力推
定部を（３）式に示した同一次元オブザーバで構成した
力丈　必ずしもこの構成に限るものではなく、例えば最
小次元オブザーバなど他の状態観測器の構成でもよしも
　また駆動信号増幅部で〜外乱力補償部の出力を増幅す
るように構成した力丈駆動信号増幅部を外乱力検出部の
出力の増幅をおこない外乱力補償部へ出力するように構
成してＬ外乱力補償補正部の補正係数を変えることで同
様の効果を得ることができ必ずしもこの構成に限るもの
ではな（を 発明の効果 以上のように本発明の空気圧駆動装置は　空気室と、こ
の空気室内を気密性を保ちながら移動可能な動作部とを
有する空気圧アクチュエータと、前記動作部により分割
された空気室群のそれぞれに入力信号に応じて空気を流
入あるいは流出させることができる制御弁群と、前記動
作部に加わる流体力を検出する流体力検出部と、前記動
作部の動作状態を検出する動作状態検出部と、前記動作
状態検出部の出力信号と前記流体力検出部の出力信号、
及び目標動作状態信号を入力として前記動作部が前記目
標動作状態信号に従って移動するために必要な制御量で
ある前記制御弁群の開口量を演算し　この開口量に対応
する駆動信号を出力する動作制御部と、前記動作部に加
わる外乱力を推定あるいは測定する外乱力検出部と、こ
の外乱力検出部の出力信号を入力とし前記外乱力を補償
するために必要な制御量である前記制御弁群の開口＝２
１ −η− 量を演算し　前記開口量に対応する駆動信号を出力する
外乱力補償部を有し　この外乱力補償部の出力信号の増
幅を行ない外部信号により増幅率を変化させることがで
きる駆動信号増幅部と、該駆動信号増幅部の出力信号と
前記動作制御部の出力信号を加算し前記制御弁群に出力
する弁駆動信号加算部と、前記動作部に加わる外乱力を
含まない前記動作部に加わる流体力と前記動作部の動作
状態の関係を表わす動特性モデルを有する状態推定器に
よって推定動作状態信号を演算し　この推定動作状態信
号と前記動作状態検出器の出力信号の差を演算すること
で前記外乱力の未補償量を検出する未補償量検出部と、
検出した前記未補償量と前記外乱力検出部によって推定
あるいは検出した外乱力とを補償するために必要な駆動
信号を前記制御弁群に出力するように前記駆動信号増幅
部の増幅率を補正する補正信号を出力する補正部とから
なる外乱力補償補正部とを備え　この外乱力補償補正部
と、前記外乱力検出部がともに前記流体力検出部の出力
信号と前記動作状態検出部の出カー幻− 信号を入力し　前記外乱力検出部　前記外乱力補償部で
前記動作部に加わる外乱力を検出し　この外乱力を補償
するための前記制御弁群への駆動信号を出力し　前記外
乱力補償補正部で前記外乱力の未補償量を検出し　この
未補償量の値に基づいて前記駆動信号を前記駆動信号増
幅部によって補正するような階層構造とした構成をとる
ことで、任意の目標位置への位置決め等の動作を高速・
高精度に実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例における空気圧駆動装置の全体
諷　第２図は同空気圧駆動装置における制御部の詳細は
　第３図は同空気圧駆動装置における未補償量検出部の
内部詳細諷　第４図は先に提案した空気圧駆動装置の全
体＠　第５図は同空気圧駆動装置における制御部の詳細
説明図である。 １・・・空気圧シリンダ　２・・・ピストン、３ａ、３
ｂ・・・制御弁、　７・・・位置センサ、８ａ、８ｂ・
・・圧力センサ、　９・・・制御部１０・・・外乱力検
出Ｒ，１１・・・外乱力補償部

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）空気室と、この空気室内を気密性を保ちながら移
   動可能な動作部とを有する空気圧アクチュエータと、前
   記動作部により分割された空気室群のそれぞれに入力信
   号に応じて空気を流入あるいは流出させることができる
   制御弁群と、前記動作部に加わる流体力を検出する流体
   力検出部と、前記動作部の動作状態を検出する動作状態
   検出部と、前記動作状態検出部の出力信号と前記流体力
   検出部の出力信号、及び目標動作状態信号を入力として
   前記動作部が前記目標動作状態信号に従って移動するた
   めに必要な制御量である前記制御弁群の開口量を演算し
   、この開口量に対応する駆動信号を出力する動作制御部
   と、前記動作部に加わる外乱力を推定あるいは測定する
   外乱力検出部と、この外乱力検出部の出力信号を入力と
   し前記外乱力を補償するために必要な制御量である前記
   制御弁群の開口量を演算し、前記開口量に対応する駆動
   信号を出力する外乱力補償部を有し、この外乱力補償部
   の出力信号の増幅を行ない外部信号により増幅率を変化
   させることができる駆動信号増幅部と、この駆動信号増
   幅部の出力信号と前記動作制御部の出力信号を加算し前
   記制御弁群に出力する弁駆動信号加算部と、前記動作部
   に加わる外乱力を含まない前記動作部に加わる流体力と
   前記動作部の動作状態の関係を表わす動特性モデルを有
   する状態推定器によって推定動作状態信号を演算し、こ
   の推定動作状態信号と前記動作状態検出器の出力信号の
   差を演算することで前記外乱力の未補償量を検出する未
   補償量検出部と、検出した前記未補償量と前記外乱力検
   出部によって推定あるいは検出した外乱力とを補償する
   ために必要な駆動信号を前記制御弁群に出力するように
   前記駆動信号増幅部の増幅率を補正する補正信号を出力
   する補正部とからなる外乱力補償補正部とを備え、この
   外乱力補償補正部と、前記外乱力検出部がともに前記流
   体力検出部の出力信号と前記動作状態検出部の出力信号
   を入力し、前記外乱力検出部、前記外乱力補償部で前記
   動作部に加わる外乱力を検出し、この外乱力を補償する
   ための前記制御弁群への駆動信号を出力し、前記外乱力
   補償補正部で前記外乱力の未補償量を検出し、この未補
   償量の値に基づいて前記駆動信号を前記駆動信号増幅部
   によって補正するような階層構造とした構成であること
   を特徴とする空気圧駆動装置。
2. （２）流体力検出部の出力信号、動作状態検出部の出力
   信号、および外乱力検出部の出力信号を入力とし、動作
   部に加わる外乱力を含まない前記動作部に加わる流体力
   と、前記動作部の動作状態の関係を表わす動特性モデル
   を有する状態推定器によって演算された推定動作状態信
   号と前記動作状態検出器の出力信号の差に基づいて演算
   することで前記外乱力の未補償量を検出する未補償量検
   出部と、検出した前記未補償量と前記外乱力検出部によ
   って推定あるいは検出した前記外乱力とを補償するため
   に必要な駆動信号を制御弁群に出力するように駆動信号
   増幅部の増幅率を補正する補正信号を出力する補正部を
   そなえたことを特徴とする請求項１記載の空気圧駆動装
   置に用いる外乱力補償補正部。
3. （３）外乱力補償補正部の状態推定器により推定した推
   定動作状態信号と動作状態検出器の出力信号の差を係数
   倍した補正信号を出力することを特徴とする請求項２記
   載の外乱力補償補正部。
4. （４）流体力検出部の出力信号、動作状態検出部の出力
   信号、および外乱力検出部の出力信号を入力とし、動作
   部に加わる外乱力を含まない前記動作部に加わる流体力
   と前記動作部の動作状態の関係を表わす動特性モデルを
   有する状態推定器によって演算された推定動作状態信号
   と動作状態検出器の出力信号の差によって前記動作部に
   加わる外乱力の未補償量を検出することを特徴とする請
   求項２記載の外乱力補償補正部に用いる未補償量検出部
   。
5. （５）外乱力補償部が、空気圧駆動装置の動作部に加わ
   る流体力と前記動作部の動作状態の関係を表わす動特性
   モデルと、外乱力の動特性モデルとからなる外乱推定型
   状態推定器によって前記外乱力を推定することを特徴と
   する請求項１記載の空気圧駆動装置。
6. （６）流体力検出部が空気室群のそれぞれの圧力を検出
   する圧力検出装置群によって構成されている請求項１記
   載の空気圧駆動装置。
7. （７）動作状態検出部が位置、速度、加速度を検出する
   手段のいずれか、あるいはその組合せにより構成されて
   いる請求項１記載の空気圧駆動装置。