JPH04370688A - コロナ放電器 - Google Patents
コロナ放電器Info
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- JPH04370688A JPH04370688A JP17324091A JP17324091A JPH04370688A JP H04370688 A JPH04370688 A JP H04370688A JP 17324091 A JP17324091 A JP 17324091A JP 17324091 A JP17324091 A JP 17324091A JP H04370688 A JPH04370688 A JP H04370688A
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Landscapes
- Electrostatic Charge, Transfer And Separation In Electrography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、オゾン発生器等に使用
されるコロナ放電器に関する。
されるコロナ放電器に関する。
【0002】
【従来の技術】オゾン(O3)は極めて強い酸化力を有
し、自然界に存在する酸化剤の中ではふっ素につぐ強い
酸化力をもつ。そのためにオゾンは悪臭除去、排ガス処
理等に有効利用されている。オゾンは自然界では光化学
作用や放射線作用で生成されるが人工的には主に放電の
作用で生成される。
し、自然界に存在する酸化剤の中ではふっ素につぐ強い
酸化力をもつ。そのためにオゾンは悪臭除去、排ガス処
理等に有効利用されている。オゾンは自然界では光化学
作用や放射線作用で生成されるが人工的には主に放電の
作用で生成される。
【0003】放電作用によるオゾン発生器には、例えば
特開昭61−231573号のコロナ放電器が知られて
いる。
特開昭61−231573号のコロナ放電器が知られて
いる。
【0004】図9は従来のコロナ放電器の概略断面図で
あり、コロナ放電器100はセラミック等からなり内部
に第1電極101を有する誘電体基板102と、この誘
電体基板101の上表面に付設された第2電極103と
からなる。
あり、コロナ放電器100はセラミック等からなり内部
に第1電極101を有する誘電体基板102と、この誘
電体基板101の上表面に付設された第2電極103と
からなる。
【0005】図示する如く第1電極101と第2電極1
03とをリード線104で結び、このリード線104に
介設した高周波高圧電源105にて高周波高電圧が印加
されると想像線Cで示すコロナ放電が形成され、このコ
ロナ放電Cによってオゾンが生成される。
03とをリード線104で結び、このリード線104に
介設した高周波高圧電源105にて高周波高電圧が印加
されると想像線Cで示すコロナ放電が形成され、このコ
ロナ放電Cによってオゾンが生成される。
【0006】上記コロナ放電器100は、発生するオゾ
ンの強力な脱臭作用に基いて、トイレ内の臭気の脱臭に
用いられることがある。トイレシステム中の排臭管に介
設される場合には、トイレ内のアンモニア系の臭気を排
出するものであるが、例えば塩素系洗剤で便器を掃除す
る際には、この塩素系ガスが排臭管を通り、排臭管内部
の水滴と結合して塩酸を生成し、この塩酸が図9の第2
電極103やリード線104を腐食する恐れがある。
ンの強力な脱臭作用に基いて、トイレ内の臭気の脱臭に
用いられることがある。トイレシステム中の排臭管に介
設される場合には、トイレ内のアンモニア系の臭気を排
出するものであるが、例えば塩素系洗剤で便器を掃除す
る際には、この塩素系ガスが排臭管を通り、排臭管内部
の水滴と結合して塩酸を生成し、この塩酸が図9の第2
電極103やリード線104を腐食する恐れがある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従って、上記第2電極
103やリード線104を保護する必要があり、これら
に適当な保護膜でコーティングする試みが為されつつあ
る。
103やリード線104を保護する必要があり、これら
に適当な保護膜でコーティングする試みが為されつつあ
る。
【0008】しかし、リード線104の一端部分104
aの処理が難かしく、この部分104aの耐食性が弱く
なることからその有効な対策が求められている。
aの処理が難かしく、この部分104aの耐食性が弱く
なることからその有効な対策が求められている。
【0009】仮に、リード線104の一端部分104a
を誘電体基板102に埋設しようとすると、第1電極1
01が邪魔であり、スルーホールの形成が極めて難かし
く製造コストが嵩む。
を誘電体基板102に埋設しようとすると、第1電極1
01が邪魔であり、スルーホールの形成が極めて難かし
く製造コストが嵩む。
【0010】そこで本発明の目的は、塩素雰囲気でも使
用可能なるように電極を保護すること並びに保護層を形
成し易いように電極を配列することにある。
用可能なるように電極を保護すること並びに保護層を形
成し易いように電極を配列することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく本
発明は、交流電圧が印加されるところの2枚以上の誘導
電極を同一面に一定の間隔を保って配置した状態で誘電
体基板に内包し、この誘電体基板に放電電極を添え、こ
の放電電極を絶縁材保護層でカバーすることでコロナ放
電器を構成する。
発明は、交流電圧が印加されるところの2枚以上の誘導
電極を同一面に一定の間隔を保って配置した状態で誘電
体基板に内包し、この誘電体基板に放電電極を添え、こ
の放電電極を絶縁材保護層でカバーすることでコロナ放
電器を構成する。
【0012】前記保護層厚みをδ(μm)、誘導電極と
放電電極とのギャップに相当する絶縁層厚みをd(μm
)とし、誘導電極に印加される電圧V(kVpp)が与
えられた場合に、d+2δが次式を満足する範囲に設定
されることが望ましい。 V>0.03(d+2δ)+2.2
放電電極とのギャップに相当する絶縁層厚みをd(μm
)とし、誘導電極に印加される電圧V(kVpp)が与
えられた場合に、d+2δが次式を満足する範囲に設定
されることが望ましい。 V>0.03(d+2δ)+2.2
【0013】また、前記保護層厚みをδ(μm)、誘導
電極と放電電極とのギャップに相当する絶縁層厚みをd
(μm)とし、誘導電極に印加される電圧が3.5〜6
kVppの範囲で与えられた場合に、絶縁層厚みdが2
5〜70μmで且つ保護層厚みδが7〜20μmの範囲
とされることが望ましい。
電極と放電電極とのギャップに相当する絶縁層厚みをd
(μm)とし、誘導電極に印加される電圧が3.5〜6
kVppの範囲で与えられた場合に、絶縁層厚みdが2
5〜70μmで且つ保護層厚みδが7〜20μmの範囲
とされることが望ましい。
【0014】更に、交流電圧が印加されるところの2枚
以上の誘導電極を同一面に一定の間隔を保って配置した
状態で誘電体基板に内包し、この誘電体基板に放電電極
を添え、この放電電極を絶縁材保護層でカバーし、且つ
この保護層に金属またはセラミックスを塗布することで
コロナ放電器を構成する。
以上の誘導電極を同一面に一定の間隔を保って配置した
状態で誘電体基板に内包し、この誘電体基板に放電電極
を添え、この放電電極を絶縁材保護層でカバーし、且つ
この保護層に金属またはセラミックスを塗布することで
コロナ放電器を構成する。
【0015】
【作用】放電電極が保護層で保護されるので塩素雰囲気
などの腐食性の環境中でも十分な耐食性を発揮する。
などの腐食性の環境中でも十分な耐食性を発揮する。
【0016】そして、V>0.03(d+2δ)+2.
2の数式によって保護層厚みδと絶縁層dが決定され、
設計時間は短縮される。
2の数式によって保護層厚みδと絶縁層dが決定され、
設計時間は短縮される。
【0017】V=3.5〜6kVppの場合に、d=2
5〜70μmの範囲にて好ましいコロナ放電器が容易に
得られる。
5〜70μmの範囲にて好ましいコロナ放電器が容易に
得られる。
【0018】又、保護層に更に金属または半導体セラミ
ックスを塗布することで放電開始時間が大幅に短縮され
、コロナ放電器の即応性が改善される。
ックスを塗布することで放電開始時間が大幅に短縮され
、コロナ放電器の即応性が改善される。
【0019】
【実施例】本発明の実施例を添付図面に基いて以下に説
明する。図1は本発明に係るコロナ放電器の平面図、図
2は図1の2−2線断面図である。
明する。図1は本発明に係るコロナ放電器の平面図、図
2は図1の2−2線断面図である。
【0020】コロナ放電器1は、図2に示す通り、左右
一対の誘導電極2,3をセラミック等の誘電体基板4に
内包し、その一表面に放電電極5を配置し、この放電電
極5をアルミナ等の絶縁物からなる保護層6でカバーし
てなり、上記2枚の誘導電極2,3にリード線7,8を
介して高周波高圧電源9を接続してなる。
一対の誘導電極2,3をセラミック等の誘電体基板4に
内包し、その一表面に放電電極5を配置し、この放電電
極5をアルミナ等の絶縁物からなる保護層6でカバーし
てなり、上記2枚の誘導電極2,3にリード線7,8を
介して高周波高圧電源9を接続してなる。
【0021】このように、本発明に係る放電電極5は保
護層6で被覆されていることに特徴があり、これによっ
て塩素雰囲気にも耐久性を有する。
護層6で被覆されていることに特徴があり、これによっ
て塩素雰囲気にも耐久性を有する。
【0022】そして、この保護層6の被覆は放電電極5
がリード線7,8と無関係に配置されていることによっ
て初めて可能になったものである。即ち、所謂バイポー
ラ型配列に誘導電極2,3及びリード線7,8を配列し
たことで、本発明の保護層6が自在な厚さに施工可能に
なったことを特徴とする。
がリード線7,8と無関係に配置されていることによっ
て初めて可能になったものである。即ち、所謂バイポー
ラ型配列に誘導電極2,3及びリード線7,8を配列し
たことで、本発明の保護層6が自在な厚さに施工可能に
なったことを特徴とする。
【0023】上記放電電極5は、誘導電極2,3から寸
法d(便宜上、「絶縁層厚みd」と言う)だけ離され、
且つ平面視的には図1に示す通り誘導電極2,3の双方
にブリッヂの如く部分的に重なるように配置されている
。
法d(便宜上、「絶縁層厚みd」と言う)だけ離され、
且つ平面視的には図1に示す通り誘導電極2,3の双方
にブリッヂの如く部分的に重なるように配置されている
。
【0024】上記構成によるコロナ放電器の作用を述べ
る。図2の高周波高圧電源9で誘電体基板4内の一対の
誘導電極2,3に高周波電圧を印加すると、これら誘導
電極2,3に電界が生ずる。
る。図2の高周波高圧電源9で誘電体基板4内の一対の
誘導電極2,3に高周波電圧を印加すると、これら誘導
電極2,3に電界が生ずる。
【0025】図3は本発明の放電電極の作用図であり、
上記電界に放電電極5がおかれると、電界はこの放電電
極5に集中し、この放電電極5と誘導電極2,3との間
に大きな電位差が生じ、この電位差によって放電電極5
に矢印A(図3)で示すコロナ放電が生じる。
上記電界に放電電極5がおかれると、電界はこの放電電
極5に集中し、この放電電極5と誘導電極2,3との間
に大きな電位差が生じ、この電位差によって放電電極5
に矢印A(図3)で示すコロナ放電が生じる。
【0026】図3において、保護層の厚みδは大きいほ
ど耐食性が増すがコロナの放電性は悪くなる可能性があ
り、又、絶縁層の厚みdは電極間距離に係る重要な値で
あって小さ過ぎると絶縁不良となり又大き過ぎると放電
電圧が過大になる恐れがある。
ど耐食性が増すがコロナの放電性は悪くなる可能性があ
り、又、絶縁層の厚みdは電極間距離に係る重要な値で
あって小さ過ぎると絶縁不良となり又大き過ぎると放電
電圧が過大になる恐れがある。
【0027】そこで本発明は保護層の厚みδ、絶縁層の
厚みd及び放電電圧の関係を調べ、その結果好適値を見
出すことに成功したので、以下にその内容を述べる。
厚みd及び放電電圧の関係を調べ、その結果好適値を見
出すことに成功したので、以下にその内容を述べる。
【0028】図2で高周波高電圧Vが印加された時、図
3に示す誘電体中に発生する電界強度Edと、空間に発
生する電界強度Egと、各層厚みd,δと、空間放電路
の距離Xとの間に次式が成立する。但し、誘電体内の電
界ベクトルは垂直方向に延びているものとする。 V/2=Ed・(d+2δ)+Eg・X
3に示す誘電体中に発生する電界強度Edと、空間に発
生する電界強度Egと、各層厚みd,δと、空間放電路
の距離Xとの間に次式が成立する。但し、誘電体内の電
界ベクトルは垂直方向に延びているものとする。 V/2=Ed・(d+2δ)+Eg・X
【0029】一
方、絶縁層(誘電体基板4)並びに保護層6を誘電率1
0.0のアルミナセラミックスとし、誘導電極3並びに
放電電極5をタングステンで構成して、保護層6と絶縁
層との厚みの和(d+2δ)を変化させて、放電開始電
圧を実験で調べたところ、図4(本発明にコロナ放電器
における放電電圧と(d+2δ)の関係図)の通りであ
った。
方、絶縁層(誘電体基板4)並びに保護層6を誘電率1
0.0のアルミナセラミックスとし、誘導電極3並びに
放電電極5をタングステンで構成して、保護層6と絶縁
層との厚みの和(d+2δ)を変化させて、放電開始電
圧を実験で調べたところ、図4(本発明にコロナ放電器
における放電電圧と(d+2δ)の関係図)の通りであ
った。
【0030】これの回帰式は概ねV=0.03(d+2
δ)+2.2であった。但し、y軸のkVppはピーク
・ツー・ピーク電圧である。
δ)+2.2であった。但し、y軸のkVppはピーク
・ツー・ピーク電圧である。
【0031】この回帰式より上側(高電圧側)が放電領
域であるからV>0.03(d+2δ)+2.2を満足
する電圧が印加されれば放電可能であることが分かった
。
域であるからV>0.03(d+2δ)+2.2を満足
する電圧が印加されれば放電可能であることが分かった
。
【0032】次に、保護層厚みδについて述べる。
【0033】
【表1】
【0034】表1は塩素雰囲気における腐食試験の結果
をまとめたものであり、アルミナセラミックスからなる
保護層の厚みδを3μmから12μmまで段階的に変化
させて放電電極5の腐食状況を調べたところ、7μm以
上で十分な耐食性があることが分かった。
をまとめたものであり、アルミナセラミックスからなる
保護層の厚みδを3μmから12μmまで段階的に変化
させて放電電極5の腐食状況を調べたところ、7μm以
上で十分な耐食性があることが分かった。
【0035】図5は絶縁層厚みと絶縁破壊電圧の関係図
であり、絶縁層厚みdが25μm以下では絶縁破壊強度
が保たれないことが分かった。
であり、絶縁層厚みdが25μm以下では絶縁破壊強度
が保たれないことが分かった。
【0036】絶縁層厚みdを25μm、保護層厚みδを
7μmとすれば、(d+2δ)は39μmであり、この
時の放電開始電圧は、図4によれば約3.5kVppで
ある。
7μmとすれば、(d+2δ)は39μmであり、この
時の放電開始電圧は、図4によれば約3.5kVppで
ある。
【0037】一方、図4に示す通り、(d+2δ)に比
例して印加電圧は増加する。しかしリード線7,8等電
気部品の耐圧性や電源設備の面から6kVppが実用上
の限界であると言われている。この6kVppの場合、
図4から(d+2δ)は110μmになる。
例して印加電圧は増加する。しかしリード線7,8等電
気部品の耐圧性や電源設備の面から6kVppが実用上
の限界であると言われている。この6kVppの場合、
図4から(d+2δ)は110μmになる。
【0038】図6は保護層厚みと放電開始時間を示す図
であり、放電開始時間は20秒以内(好しくは15秒)
といわれているので、保護層厚みδは20μmが上限で
ある。
であり、放電開始時間は20秒以内(好しくは15秒)
といわれているので、保護層厚みδは20μmが上限で
ある。
【0039】従って、印加電圧が6kVpp、保護層厚
みδが20μm、絶縁層厚みdが70μm(110−2
×20=70)が上限値群となる。
みδが20μm、絶縁層厚みdが70μm(110−2
×20=70)が上限値群となる。
【0040】以上の結果、コロナ放電器は絶縁層厚みd
が20〜70μm、保護層厚みδが7〜20μm、印加
電圧が3.5〜6kVppの範囲に設定すればよいこと
が分った。
が20〜70μm、保護層厚みδが7〜20μm、印加
電圧が3.5〜6kVppの範囲に設定すればよいこと
が分った。
【0041】ところで放電開始には、その空間に放電開
始電圧以上の電圧が印加されていることと同時に、電界
に従って移動できる荷電粒子が存在することとが必要で
ある。荷電粒子としては、金属からの自由電子、空間中
のイオン、宇宙線による電離粒子等が可能である。
始電圧以上の電圧が印加されていることと同時に、電界
に従って移動できる荷電粒子が存在することとが必要で
ある。荷電粒子としては、金属からの自由電子、空間中
のイオン、宇宙線による電離粒子等が可能である。
【0042】しかしながら、本発明の如く絶縁体保護層
でコロナ放電面を覆ったコロナ放電器では、近傍に金属
や半導体がないと放電開始電圧に至っていても放電開始
が遅れる恐れがある。
でコロナ放電面を覆ったコロナ放電器では、近傍に金属
や半導体がないと放電開始電圧に至っていても放電開始
が遅れる恐れがある。
【0043】そこで、本発明者は種々の実験を重ねたと
ころ放電電極上の保護層に金属や半導体セラミックスを
塗付して、自由電子の供給源とすることが有効であるこ
とを見出した。
ころ放電電極上の保護層に金属や半導体セラミックスを
塗付して、自由電子の供給源とすることが有効であるこ
とを見出した。
【0044】
【表2】
【0045】表2は塗膜有りコロナ放電器(実施例1,
2)と塗膜無しコロナ放電器(比較例)との放電開始時
間を調べた結果を示す。実施例1,2はアルミナセラミ
ックスにTiO2を0.8wt%添加してなるセラミッ
クスペーストを3μm程度塗布したものである。実施例
1,2は放電開始時間がほぼ0秒であったのに対し比較
例は4.3秒を要するという顕著な差があり、もって塗
膜には放電開始時間の短縮効果が認められた。この塗膜
の材料はタングステン等の金属でも良い。
2)と塗膜無しコロナ放電器(比較例)との放電開始時
間を調べた結果を示す。実施例1,2はアルミナセラミ
ックスにTiO2を0.8wt%添加してなるセラミッ
クスペーストを3μm程度塗布したものである。実施例
1,2は放電開始時間がほぼ0秒であったのに対し比較
例は4.3秒を要するという顕著な差があり、もって塗
膜には放電開始時間の短縮効果が認められた。この塗膜
の材料はタングステン等の金属でも良い。
【0046】図7は図2の別実施例図であり、このコロ
ナ放電器11は誘導電極2,3、誘電体基板4、放電電
極5及びリード線7,8は図2と同一であって、保護層
12のみが変更されている。
ナ放電器11は誘導電極2,3、誘電体基板4、放電電
極5及びリード線7,8は図2と同一であって、保護層
12のみが変更されている。
【0047】即ち、保護層12は放電電極5をカバーす
るに足りるだけの面積とされている。この構造によれば
、図7に矢印Bで示したコロナ放電は1回だけ保護層1
2を通過する(図3では2回であった。)。
るに足りるだけの面積とされている。この構造によれば
、図7に矢印Bで示したコロナ放電は1回だけ保護層1
2を通過する(図3では2回であった。)。
【0048】従って、先に述べた(d+2δ)の項は(
d+δ)に変り、放電開始電圧Vは次式となる。 V>0.03(d+δ)+2.2 この場合、放電開始電圧を0.03δ分だけ下げること
が出来ることを意味する。
d+δ)に変り、放電開始電圧Vは次式となる。 V>0.03(d+δ)+2.2 この場合、放電開始電圧を0.03δ分だけ下げること
が出来ることを意味する。
【0049】尚、上記実施例では誘導電極2,3の数を
一対としたが3個以上であっても良く、これに応じて放
電電極5も2個以上であって良い。
一対としたが3個以上であっても良く、これに応じて放
電電極5も2個以上であって良い。
【0050】また、Vppの測定にあたっては、図8(
本発明に係る電源特性測定装置の原理図)に示す装置を
用い、以下の表3に示す測定項目及び表4に示す測定装
置を使用した。
本発明に係る電源特性測定装置の原理図)に示す装置を
用い、以下の表3に示す測定項目及び表4に示す測定装
置を使用した。
【0051】
【表3】
【0052】
【表4】
【0053】
【発明の効果】以上に述べた通り本発明は電極配列をバ
イポーラ型としたので、放電電極に極めて容易に保護層
を被覆することができ、この保護層で放電電極を十分に
保護でき、もって本発明は塩酸雰囲気等の劣悪環境下で
も使用可能なコロナ放電器を提供するものである。
イポーラ型としたので、放電電極に極めて容易に保護層
を被覆することができ、この保護層で放電電極を十分に
保護でき、もって本発明は塩酸雰囲気等の劣悪環境下で
も使用可能なコロナ放電器を提供するものである。
【0054】又、本発明は、V>0.03(d+2δ)
+2.2の数式を提供することで、与えられた印加電圧
に応じたコロナ放電器の断面構成を容易に決定させ、も
って設計の迅速化を図る。
+2.2の数式を提供することで、与えられた印加電圧
に応じたコロナ放電器の断面構成を容易に決定させ、も
って設計の迅速化を図る。
【0055】更に、本発明は保護層にセラミックス等を
塗布することで放電時間の短縮を促しコロナ放電器の応
答性を飛躍的に改善する技術を提供する。
塗布することで放電時間の短縮を促しコロナ放電器の応
答性を飛躍的に改善する技術を提供する。
【図1】本発明に係るコロナ放電器の平面図
【図2】図
1の2−2線断面図
1の2−2線断面図
【図3】本発明の放電電極の作用図
【図4】本発明のコロナ放電器における放電電圧と(d
+2δ)の関係図
+2δ)の関係図
【図5】本発明のコロナ放電器における絶縁層厚みと絶
縁破壊電圧の関係図
縁破壊電圧の関係図
【図6】本発明のコロナ放電器における保護層厚みと放
電開始時間を示す図
電開始時間を示す図
【図7】図2の別実施例図
【図8】本発明に係る電源特性測定装置の原理図
【図9
】従来のコロナ放電器の概略断面図
】従来のコロナ放電器の概略断面図
1…コロナ放電器、2,3…誘導電極、4…誘電体基板
、5…放電電極、6…保護層。
、5…放電電極、6…保護層。
Claims (4)
- 【請求項1】 交流電圧が印加されるところの2枚以
上の誘導電極を同一面に一定の間隔を保って配置した状
態で誘電体基板に内包し、この誘電体基板に放電電極を
添え、この放電電極を絶縁材保護層でカバーしてなるコ
ロナ放電器。 - 【請求項2】 請求項1記載のコロナ放電器であって
、前記保護層厚みをδ(μm)、誘導電極と放電電極と
のギャップに相当する絶縁層厚みをd(μm)とし、誘
導電極に印加される電圧V(kVpp)が与えられた場
合に、d+2δが次式を満足する範囲に設定されたこと
を特徴とするコロナ放電器。 V>0.03(d+2δ)+2.2 - 【請求項3】 請求項1記載のコロナ放電器であって
、前記保護層厚みをδ(μm)、誘導電極と放電電極と
のギャップに相当する絶縁層厚みをd(μm)とし、誘
導電極に印加される電圧が3.5〜6kVppの範囲で
与えられた場合に、絶縁層厚みdが25〜70μmで且
つ保護層厚みδが7〜20μmの範囲とされたことを特
徴とするコロナ放電器。 - 【請求項4】 交流電圧が印加されるところの2枚以
上の誘導電極を同一面に一定の間隔を保って配置した状
態で誘電体基板に内包し、この誘電体基板に放電電極を
添え、この放電電極を絶縁材保護層でカバーし、且つこ
の保護層に金属またはセラミックスを塗布してなるコロ
ナ放電器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17324091A JPH04370688A (ja) | 1991-06-18 | 1991-06-18 | コロナ放電器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17324091A JPH04370688A (ja) | 1991-06-18 | 1991-06-18 | コロナ放電器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04370688A true JPH04370688A (ja) | 1992-12-24 |
Family
ID=15956759
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17324091A Pending JPH04370688A (ja) | 1991-06-18 | 1991-06-18 | コロナ放電器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04370688A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210109689A (ko) * | 2020-02-27 | 2021-09-07 | 한국핵융합에너지연구원 | 플라즈마 발생 장치 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6251463A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-03-06 | Canon Inc | 放電装置 |
JPS6366880A (ja) * | 1986-09-06 | 1988-03-25 | 増田 閃一 | 電界装置 |
JPH0256793A (ja) * | 1988-08-22 | 1990-02-26 | Seiko Epson Corp | 記録再生装置のカートリッジ挿入口開閉機構 |
JPH04118884A (ja) * | 1990-09-07 | 1992-04-20 | Ricoh Co Ltd | 固体放電素子 |
-
1991
- 1991-06-18 JP JP17324091A patent/JPH04370688A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6251463A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-03-06 | Canon Inc | 放電装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210109689A (ko) * | 2020-02-27 | 2021-09-07 | 한국핵융합에너지연구원 | 플라즈마 발생 장치 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980525 |