JPH04362374A - シールリング - Google Patents
シールリングInfo
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- JPH04362374A JPH04362374A JP13440591A JP13440591A JPH04362374A JP H04362374 A JPH04362374 A JP H04362374A JP 13440591 A JP13440591 A JP 13440591A JP 13440591 A JP13440591 A JP 13440591A JP H04362374 A JPH04362374 A JP H04362374A
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Landscapes
- Gasket Seals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シールリングに係り、
特に、その熱交換装置の熱交換板等耐薬液性のシール構
造に関する。
特に、その熱交換装置の熱交換板等耐薬液性のシール構
造に関する。
【０００２】
【従来の技術】強腐食性薬液を一般産業用に用いる場合
は、該液温によって反応速度が大幅に変化するため、常
に、液温の制御には綿密な注意を払う必要がある。
は、該液温によって反応速度が大幅に変化するため、常
に、液温の制御には綿密な注意を払う必要がある。
【０００３】そこで、液温の制御を行うために恒温槽等
のいろいろな温度制御装置が開発されている。
のいろいろな温度制御装置が開発されている。
【０００４】このような温度制御装置は、通常図６に示
すように、処理液の充填された反応槽１０１から、配管
１０２を介して、ポンプ１０３によって処理液を循環せ
しめ、熱交換部１０４で熱交換を行い、フィルタ１０５
を介して温度制御および不純物除去のなされた処理液を
反応槽に戻すように構成されている。
すように、処理液の充填された反応槽１０１から、配管
１０２を介して、ポンプ１０３によって処理液を循環せ
しめ、熱交換部１０４で熱交換を行い、フィルタ１０５
を介して温度制御および不純物除去のなされた処理液を
反応槽に戻すように構成されている。
【０００５】従来の熱交換部は、図７にその一例を示す
如く、薬液に対して不純物汚染のないアルミナからなる
熱交換板２０１，２０２がフッ素樹脂等の耐薬品性の樹
脂からなる側部壁体２０３を介して対向配置せしめられ
て熱交換室２０４を形成し、この熱交換部において、処
理容器からパイプ等で導出されてくる液体、例えば半導
体処理薬液に対し温度制御を行なうようにしたものが提
案されている。 この装置では、熱交換板２０１，２
０２は半導体処理薬液との反応を防ぐため表面をフッ素
樹脂でコーティングされており、サーモモジュール２０
５，２０６によって各々冷却又は発熱せしめられるよう
に構成されている。そしてサーモモジュール２０５，２
０６の放熱側は夫々、冷却パイプ２０７，２０８を介し
て導入される冷却水によって冷却される放熱ブロック２
０９，２１０に接触せしめられている。
如く、薬液に対して不純物汚染のないアルミナからなる
熱交換板２０１，２０２がフッ素樹脂等の耐薬品性の樹
脂からなる側部壁体２０３を介して対向配置せしめられ
て熱交換室２０４を形成し、この熱交換部において、処
理容器からパイプ等で導出されてくる液体、例えば半導
体処理薬液に対し温度制御を行なうようにしたものが提
案されている。 この装置では、熱交換板２０１，２
０２は半導体処理薬液との反応を防ぐため表面をフッ素
樹脂でコーティングされており、サーモモジュール２０
５，２０６によって各々冷却又は発熱せしめられるよう
に構成されている。そしてサーモモジュール２０５，２
０６の放熱側は夫々、冷却パイプ２０７，２０８を介し
て導入される冷却水によって冷却される放熱ブロック２
０９，２１０に接触せしめられている。
【０００６】そして、第１の配管２１１を介して半導体
処理薬液を上記熱交換室内に導入すると、熱交換室４内
で冷却された後第２の配管２１２を介して処理容器に戻
される。
処理薬液を上記熱交換室内に導入すると、熱交換室４内
で冷却された後第２の配管２１２を介して処理容器に戻
される。
【０００７】ところで、この装置では表面をアルミナか
らなる熱交換板２０１，２０２と側部壁体２０３との間
はフッ素系ゴムで形成されたＯリングで気密封止されて
おり、長期にわたって使用していると薬液により劣化が
生じ、シール部分等で液モレが生じたり、また薬液使用
時にフッ素系ゴム内から溶出したものとみられる金属イ
オンなどの不純物が溶出するという問題があった。
らなる熱交換板２０１，２０２と側部壁体２０３との間
はフッ素系ゴムで形成されたＯリングで気密封止されて
おり、長期にわたって使用していると薬液により劣化が
生じ、シール部分等で液モレが生じたり、また薬液使用
時にフッ素系ゴム内から溶出したものとみられる金属イ
オンなどの不純物が溶出するという問題があった。
【０００８】また、耐薬品性を高めるためにフッ素系ゴ
ムのＯリングにフッ素系樹脂等のカバー部材を被せたも
の等も提案されているが、シールされる側すなわちここ
では熱交換板および側部壁体の表面が粗面である場合に
は、気密性が悪く液もれの原因となり易いという問題が
あった。
ムのＯリングにフッ素系樹脂等のカバー部材を被せたも
の等も提案されているが、シールされる側すなわちここ
では熱交換板および側部壁体の表面が粗面である場合に
は、気密性が悪く液もれの原因となり易いという問題が
あった。
【０００９】本発明は、前記実情に鑑みてなされたもの
で、長寿命で信頼性の高い気密シール構造を得るための
シールリングを提供することを目的とする。
で、長寿命で信頼性の高い気密シール構造を得るための
シールリングを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】そこで本発明の第１では
、弾性部材から構成されるＯリングを、相対向する部分
に、リング外壁に沿うように連続的に形成された２つの
線状突起を有するカバーリングで被覆している。
、弾性部材から構成されるＯリングを、相対向する部分
に、リング外壁に沿うように連続的に形成された２つの
線状突起を有するカバーリングで被覆している。
【００１１】望ましくは、このカバーリングは、一方の
側に開口部を有する断面コの字状に成形され、前記コの
字の相対向する位置に突起を有し、シールすべき液体が
前記開口部の反対側の面に接するように構成される。
側に開口部を有する断面コの字状に成形され、前記コの
字の相対向する位置に突起を有し、シールすべき液体が
前記開口部の反対側の面に接するように構成される。
【００１２】また望ましくは、このカバーリングは、フ
ッ素系樹脂で構成される。
ッ素系樹脂で構成される。
【００１３】また本発明の第２では、中空のＯリング状
体で構成し、このＯリング状体の外壁の相対向する部分
に、リング外壁に沿うように連続的に形成された２つの
線状突起を配設している。
体で構成し、このＯリング状体の外壁の相対向する部分
に、リング外壁に沿うように連続的に形成された２つの
線状突起を配設している。
【００１４】
【作用】上記第１の構成によれば、弾性部材から構成さ
れるＯリングを、相対向する部分に、リング外壁に沿う
ように連続的に形成された２つの線状突起を有するカバ
ーリングで被覆しているため、Ｏリングの弾性に加えカ
バーリングが変形し、その突起を弾性的に被シール部材
に嵌合させるようにするため、被シール部材の表面が粗
面であっても良好に気密シール構造を得ることができる
。
れるＯリングを、相対向する部分に、リング外壁に沿う
ように連続的に形成された２つの線状突起を有するカバ
ーリングで被覆しているため、Ｏリングの弾性に加えカ
バーリングが変形し、その突起を弾性的に被シール部材
に嵌合させるようにするため、被シール部材の表面が粗
面であっても良好に気密シール構造を得ることができる
。
【００１５】またカバーリングが、一方の側に開口部を
有する断面コの字状に成形され、前記コの字の相対向す
る位置に突起を有し、シールすべき液体が前記開口部の
反対側の面に接するように構成することにより、良好に
カバーリングが変形しその突起を弾性的に被シール部材
に嵌合させるため、極めて効率よく良好に気密シールを
行うことが可能となる。
有する断面コの字状に成形され、前記コの字の相対向す
る位置に突起を有し、シールすべき液体が前記開口部の
反対側の面に接するように構成することにより、良好に
カバーリングが変形しその突起を弾性的に被シール部材
に嵌合させるため、極めて効率よく良好に気密シールを
行うことが可能となる。
【００１６】さらにＯリングは直接薬品に接することな
く、カバーリングによって良好に保護され、耐薬品性は
極めて高いものとなっている。
く、カバーリングによって良好に保護され、耐薬品性は
極めて高いものとなっている。
【００１７】さらにカバーリングを、フッ素系樹脂で構
成することにより、耐薬品性が高く弾性もあり、さらに
良好な封止構造を得ることができる。
成することにより、耐薬品性が高く弾性もあり、さらに
良好な封止構造を得ることができる。
【００１８】また本発明の第２のシールリングによれば
、中空のＯリング状体で構成し、このＯリング状体の外
壁の相対向する部分に、リング外壁に沿うように連続的
に形成された２つの線状突起を配設しているため、この
シールリングが、変形し、その突起を弾性的に被シール
部材に嵌合させるようにするため、被シール部材の表面
が粗面であっても良好に気密シール構造を得ることがで
きる。
、中空のＯリング状体で構成し、このＯリング状体の外
壁の相対向する部分に、リング外壁に沿うように連続的
に形成された２つの線状突起を配設しているため、この
シールリングが、変形し、その突起を弾性的に被シール
部材に嵌合させるようにするため、被シール部材の表面
が粗面であっても良好に気密シール構造を得ることがで
きる。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
つつ詳細に説明する。
つつ詳細に説明する。
【００２０】図１は、本発明実施例のシールリングを用
いたシール構造を示す図であり、図２はこのシールリン
グを用いた熱交換装置を示す図である。
いたシール構造を示す図であり、図２はこのシールリン
グを用いた熱交換装置を示す図である。
【００２１】このシールリング１０は、図１に示すよう
に、フッ素系ゴムからなるＯリング１１とこのＯリング
１１のまわりを、相対向する部分にリング外壁に沿うよ
うに連続的に形成された２つの線状突起１２を有するフ
ッ素系樹脂製の断面コの字状のカバーリング１３で被覆
したことを特徴とするものである。
に、フッ素系ゴムからなるＯリング１１とこのＯリング
１１のまわりを、相対向する部分にリング外壁に沿うよ
うに連続的に形成された２つの線状突起１２を有するフ
ッ素系樹脂製の断面コの字状のカバーリング１３で被覆
したことを特徴とするものである。
【００２２】そしてこのシールリングを用いて気密封止
される熱交換装置は図２に示すように、アルミナ基板か
らなる熱交換板１，２と、これらの内側に配設され、表
面をフッ素系樹脂フィルム３，４で被覆されたＳｉＣ板
５，６が、前記シールリング１０を介して、フッ素系樹
脂等の耐薬品性の樹脂からなる側部壁体７に気密シール
されて熱交換室Ｒを形成し、この熱交換部において、処
理容器からパイプＰ等で導出されてくる半導体処理薬液
に対し温度制御を行なうようにしたものである。この側
部壁体７には溝Ｕが形成されている。そして熱交換板１
，２は半導体処理薬液との反応を防ぐため表面をフッ素
系樹脂フィルム３，４で被覆されたＳｉＣ板５，６を介
して半導体処理薬液と接するように形成されるとともに
突起を有するカバーリングで被覆されたシールリングで
気密シールされており、半導体処理液はサーモモジュー
ル８，９によって各々冷却又は加熱せしめられるように
構成されている。そしてサーモモジュール８，９の放熱
側は夫々、冷却パイプを介して導入される冷却水によっ
て冷却される放熱ブロック（図示せず）に接触せしめら
れている。
される熱交換装置は図２に示すように、アルミナ基板か
らなる熱交換板１，２と、これらの内側に配設され、表
面をフッ素系樹脂フィルム３，４で被覆されたＳｉＣ板
５，６が、前記シールリング１０を介して、フッ素系樹
脂等の耐薬品性の樹脂からなる側部壁体７に気密シール
されて熱交換室Ｒを形成し、この熱交換部において、処
理容器からパイプＰ等で導出されてくる半導体処理薬液
に対し温度制御を行なうようにしたものである。この側
部壁体７には溝Ｕが形成されている。そして熱交換板１
，２は半導体処理薬液との反応を防ぐため表面をフッ素
系樹脂フィルム３，４で被覆されたＳｉＣ板５，６を介
して半導体処理薬液と接するように形成されるとともに
突起を有するカバーリングで被覆されたシールリングで
気密シールされており、半導体処理液はサーモモジュー
ル８，９によって各々冷却又は加熱せしめられるように
構成されている。そしてサーモモジュール８，９の放熱
側は夫々、冷却パイプを介して導入される冷却水によっ
て冷却される放熱ブロック（図示せず）に接触せしめら
れている。
【００２３】そして、第１の配管Ｐ１ を介して半導体
処理薬液を上記熱交換室内に導入すると、熱交換室Ｒ内
で冷却された後、第２の配管Ｐ２ を介して処理容器に
戻される。 この熱交換部は、シールリング１０によ
ってシールされており、良好にカバーリングが変形し、
その突起１２を弾性的に被シール部材であるＳｉＣ板５
，６と側部壁体に形成された溝Ｕとに嵌合させるため、
極めて効率よく良好に気密シールを行うことが可能とな
る。また突起１２によって嵌合されるため、溝Ｕの内壁
が粗面であっても気密性を良好にすることができる。
処理薬液を上記熱交換室内に導入すると、熱交換室Ｒ内
で冷却された後、第２の配管Ｐ２ を介して処理容器に
戻される。 この熱交換部は、シールリング１０によ
ってシールされており、良好にカバーリングが変形し、
その突起１２を弾性的に被シール部材であるＳｉＣ板５
，６と側部壁体に形成された溝Ｕとに嵌合させるため、
極めて効率よく良好に気密シールを行うことが可能とな
る。また突起１２によって嵌合されるため、溝Ｕの内壁
が粗面であっても気密性を良好にすることができる。
【００２４】さらにＯリング１１は直接薬品に接するこ
となく、カバーリング１３によって良好に保護されてい
る。そしてさらにカバーリングが、フッ素系樹脂で構成
されているため、耐薬品性が高く、さらに良好な封止構
造を得ることができる。
となく、カバーリング１３によって良好に保護されてい
る。そしてさらにカバーリングが、フッ素系樹脂で構成
されているため、耐薬品性が高く、さらに良好な封止構
造を得ることができる。
【００２５】なお熱交換板１，２の表面に一方の電極が
当接するようにサーモモジュール８，９がそれぞれ取り
付けられている。
当接するようにサーモモジュール８，９がそれぞれ取り
付けられている。
【００２６】このサーモモジュールは、熱伝導性の良好
なカーボン製の板状体の表面に、電極パターンを形成し
、この電極パターン上にＰ型熱電素子およびＮ型熱電素
子が半田層を介して交互に固着され、さらにこれらＰ型
熱電素子およびＮ型熱電素子の他方の電極は同様に熱伝
導性の良好なカーボン製の熱交換基板の表面に形成され
た上部電極パターンに接続されている。
なカーボン製の板状体の表面に、電極パターンを形成し
、この電極パターン上にＰ型熱電素子およびＮ型熱電素
子が半田層を介して交互に固着され、さらにこれらＰ型
熱電素子およびＮ型熱電素子の他方の電極は同様に熱伝
導性の良好なカーボン製の熱交換基板の表面に形成され
た上部電極パターンに接続されている。
【００２７】この電極パターンに通電が行なわれること
により、例えば熱交換板の側が低温部となり、板状体の
側が高温部となる。
により、例えば熱交換板の側が低温部となり、板状体の
側が高温部となる。
【００２８】なお、前記実施例では、フッ素系ゴムから
なるＯリング１１のまわりを、２つの線状突起１２を有
するフッ素系樹脂製の断面コの字状のカバーリング１３
で被覆したが、カバーリングは必ずしも断面コの字状で
ある必要はなく、図３に示すようにフッ素系ゴムからな
るＯリング２１のまわり全体を、２つの線状突起２２を
有するフッ素系樹脂製の円筒形のカバーリング２３で被
覆してもよい。
なるＯリング１１のまわりを、２つの線状突起１２を有
するフッ素系樹脂製の断面コの字状のカバーリング１３
で被覆したが、カバーリングは必ずしも断面コの字状で
ある必要はなく、図３に示すようにフッ素系ゴムからな
るＯリング２１のまわり全体を、２つの線状突起２２を
有するフッ素系樹脂製の円筒形のカバーリング２３で被
覆してもよい。
【００２９】また、図４に示すように中空のフッ素系樹
脂製の円筒形のシールリング３０で構成しても良い。こ
の場合もシールリング３０の外壁には、相対向する部分
にリング外壁に沿うように連続的に２つの線状突起３２
が配設されている。
脂製の円筒形のシールリング３０で構成しても良い。こ
の場合もシールリング３０の外壁には、相対向する部分
にリング外壁に沿うように連続的に２つの線状突起３２
が配設されている。
【００３０】さらに図５に示すようにＵ字型のフッ素系
樹脂製のシールリング４０で構成しても良い。この場合
もシールリング４０の外壁には、相対向する部分にリン
グ外壁に沿うように連続的に２つの線状突起４２が配設
されている。
樹脂製のシールリング４０で構成しても良い。この場合
もシールリング４０の外壁には、相対向する部分にリン
グ外壁に沿うように連続的に２つの線状突起４２が配設
されている。
【００３１】加えて、前記実施例では腐食性の薬品に対
して用いる例について説明したが、油など他の液体にも
適用可能であることはいうまでもなく、また、この場合
はシールリングもカバーリングも耐薬品性を有する材料
で構成する必要はない。
して用いる例について説明したが、油など他の液体にも
適用可能であることはいうまでもなく、また、この場合
はシールリングもカバーリングも耐薬品性を有する材料
で構成する必要はない。
【００３２】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明の構成
によれば、弾性部材から構成されるＯリングを、相対向
する部分に、リング外壁に沿うように連続的に形成され
た２つの線状突起を有するカバーリングで被覆している
ため、被シール部材の表面が粗面であっても良好に気密
シール構造を得ることができる。
によれば、弾性部材から構成されるＯリングを、相対向
する部分に、リング外壁に沿うように連続的に形成され
た２つの線状突起を有するカバーリングで被覆している
ため、被シール部材の表面が粗面であっても良好に気密
シール構造を得ることができる。
【００３３】また本発明の第２によれば、中空のＯリン
グ状体で構成し、このＯリング状体の外壁の相対向する
部分に、リング外壁に沿うように連続的に形成された２
つの線状突起を配設しているため、被シール部材の表面
が粗面であっても良好に気密シール構造を得ることがで
きる。
グ状体で構成し、このＯリング状体の外壁の相対向する
部分に、リング外壁に沿うように連続的に形成された２
つの線状突起を配設しているため、被シール部材の表面
が粗面であっても良好に気密シール構造を得ることがで
きる。
【図１】本発明実施例のシールリングを示す図
【図２】
同シールリングを用いた熱交換装置を示す図
同シールリングを用いた熱交換装置を示す図
【図３】本
発明の他の実施例のシールリングを示す図
発明の他の実施例のシールリングを示す図
【図４】本発
明の他の実施例のシールリングを示す図
明の他の実施例のシールリングを示す図
【図５】本発明
の他の実施例のシールリングを示す図
の他の実施例のシールリングを示す図
【図６】従来例の
温度制御装置を示す図
温度制御装置を示す図
【図７】従来例の熱交換装置を示
す図
す図
１０１ 反応槽、
１０２ 配管、
１０３ ポンプ、
１０４ 熱交換部、
１０５ フィルタ、
２０１，２０２ 熱交換板、
２０３ 側部壁体、
２０４ 熱交換室、
２０５，２０６ サーモモジュール、２０７，２０８
冷却パイプ、 ２０９，２１０ 放熱ブロック、 ２１１ 第１の配管、 ２１２ 第２の配管、 １，２ 熱交換板、 ３，４ フッ素系樹脂フィルム ５，６ ＳｉＣ板 ７ 側部壁体 ８，９ サーモモジュール １０ シールリング １１ Ｏリング １２ 突起 １３ カバーリング ２１ Ｏリング ２２ 突起 ２３ カバーリング ３０ シールリング ３２ 突起 ４０ シールリング ４２ 突起
冷却パイプ、 ２０９，２１０ 放熱ブロック、 ２１１ 第１の配管、 ２１２ 第２の配管、 １，２ 熱交換板、 ３，４ フッ素系樹脂フィルム ５，６ ＳｉＣ板 ７ 側部壁体 ８，９ サーモモジュール １０ シールリング １１ Ｏリング １２ 突起 １３ カバーリング ２１ Ｏリング ２２ 突起 ２３ カバーリング ３０ シールリング ３２ 突起 ４０ シールリング ４２ 突起
Claims (4)
- 【請求項１】 弾性部材から構成されるＯリングと前
記Ｏリングを囲むように形成され、相対向する部分に、
リング外壁に沿うように連続的に形成された２つの線状
突起を有するカバーリングとを具備したことを特徴とす
るシールリング。 - 【請求項２】 前記カバーリングは、一方の側に開口
部を有する断面コの字状に成形され、前記コの字の相対
向する位置に突起を有し、シールすべき液体が前記開口
部の反対側の面に接するように構成されていることを特
徴とする請求項１記載のシールリング。 - 【請求項３】 前記カバーリングは、フッ素系樹脂製
であることを特徴とする請求項１または２記載のシール
リング。 - 【請求項４】 中空のＯリング状体からなり、前記Ｏ
リング状体の外壁の相対向する部分に、リング外壁に沿
うように連続的に形成された２つの線状突起を配設した
ことを特徴とするシールリング。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13440591A JPH04362374A (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | シールリング |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13440591A JPH04362374A (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | シールリング |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04362374A true JPH04362374A (ja) | 1992-12-15 |
Family
ID=15127620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13440591A Pending JPH04362374A (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | シールリング |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04362374A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008251843A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Smc Corp | 薬液用熱交換器及びそれを用いた薬液用温度調節装置 |
| JP2012134290A (ja) * | 2010-12-21 | 2012-07-12 | Nikon Corp | 露光装置、露光装置のステージ製造方法及びデバイス製造方法 |
-
1991
- 1991-06-05 JP JP13440591A patent/JPH04362374A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008251843A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Smc Corp | 薬液用熱交換器及びそれを用いた薬液用温度調節装置 |
| TWI395266B (zh) * | 2007-03-30 | 2013-05-01 | Smc Corp | 藥液用溫度調整裝置 |
| JP2012134290A (ja) * | 2010-12-21 | 2012-07-12 | Nikon Corp | 露光装置、露光装置のステージ製造方法及びデバイス製造方法 |
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