JPH04362374A - シールリング - Google Patents
シールリングInfo
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- JPH04362374A JPH04362374A JP13440591A JP13440591A JPH04362374A JP H04362374 A JPH04362374 A JP H04362374A JP 13440591 A JP13440591 A JP 13440591A JP 13440591 A JP13440591 A JP 13440591A JP H04362374 A JPH04362374 A JP H04362374A
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Landscapes
- Gasket Seals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、シールリングに係り、
特に、その熱交換装置の熱交換板等耐薬液性のシール構
造に関する。
特に、その熱交換装置の熱交換板等耐薬液性のシール構
造に関する。
【0002】
【従来の技術】強腐食性薬液を一般産業用に用いる場合
は、該液温によって反応速度が大幅に変化するため、常
に、液温の制御には綿密な注意を払う必要がある。
は、該液温によって反応速度が大幅に変化するため、常
に、液温の制御には綿密な注意を払う必要がある。
【0003】そこで、液温の制御を行うために恒温槽等
のいろいろな温度制御装置が開発されている。
のいろいろな温度制御装置が開発されている。
【0004】このような温度制御装置は、通常図6に示
すように、処理液の充填された反応槽101から、配管
102を介して、ポンプ103によって処理液を循環せ
しめ、熱交換部104で熱交換を行い、フィルタ105
を介して温度制御および不純物除去のなされた処理液を
反応槽に戻すように構成されている。
すように、処理液の充填された反応槽101から、配管
102を介して、ポンプ103によって処理液を循環せ
しめ、熱交換部104で熱交換を行い、フィルタ105
を介して温度制御および不純物除去のなされた処理液を
反応槽に戻すように構成されている。
【0005】従来の熱交換部は、図7にその一例を示す
如く、薬液に対して不純物汚染のないアルミナからなる
熱交換板201,202がフッ素樹脂等の耐薬品性の樹
脂からなる側部壁体203を介して対向配置せしめられ
て熱交換室204を形成し、この熱交換部において、処
理容器からパイプ等で導出されてくる液体、例えば半導
体処理薬液に対し温度制御を行なうようにしたものが提
案されている。 この装置では、熱交換板201,2
02は半導体処理薬液との反応を防ぐため表面をフッ素
樹脂でコーティングされており、サーモモジュール20
5,206によって各々冷却又は発熱せしめられるよう
に構成されている。そしてサーモモジュール205,2
06の放熱側は夫々、冷却パイプ207,208を介し
て導入される冷却水によって冷却される放熱ブロック2
09,210に接触せしめられている。
如く、薬液に対して不純物汚染のないアルミナからなる
熱交換板201,202がフッ素樹脂等の耐薬品性の樹
脂からなる側部壁体203を介して対向配置せしめられ
て熱交換室204を形成し、この熱交換部において、処
理容器からパイプ等で導出されてくる液体、例えば半導
体処理薬液に対し温度制御を行なうようにしたものが提
案されている。 この装置では、熱交換板201,2
02は半導体処理薬液との反応を防ぐため表面をフッ素
樹脂でコーティングされており、サーモモジュール20
5,206によって各々冷却又は発熱せしめられるよう
に構成されている。そしてサーモモジュール205,2
06の放熱側は夫々、冷却パイプ207,208を介し
て導入される冷却水によって冷却される放熱ブロック2
09,210に接触せしめられている。
【0006】そして、第1の配管211を介して半導体
処理薬液を上記熱交換室内に導入すると、熱交換室4内
で冷却された後第2の配管212を介して処理容器に戻
される。
処理薬液を上記熱交換室内に導入すると、熱交換室4内
で冷却された後第2の配管212を介して処理容器に戻
される。
【0007】ところで、この装置では表面をアルミナか
らなる熱交換板201,202と側部壁体203との間
はフッ素系ゴムで形成されたOリングで気密封止されて
おり、長期にわたって使用していると薬液により劣化が
生じ、シール部分等で液モレが生じたり、また薬液使用
時にフッ素系ゴム内から溶出したものとみられる金属イ
オンなどの不純物が溶出するという問題があった。
らなる熱交換板201,202と側部壁体203との間
はフッ素系ゴムで形成されたOリングで気密封止されて
おり、長期にわたって使用していると薬液により劣化が
生じ、シール部分等で液モレが生じたり、また薬液使用
時にフッ素系ゴム内から溶出したものとみられる金属イ
オンなどの不純物が溶出するという問題があった。
【0008】また、耐薬品性を高めるためにフッ素系ゴ
ムのOリングにフッ素系樹脂等のカバー部材を被せたも
の等も提案されているが、シールされる側すなわちここ
では熱交換板および側部壁体の表面が粗面である場合に
は、気密性が悪く液もれの原因となり易いという問題が
あった。
ムのOリングにフッ素系樹脂等のカバー部材を被せたも
の等も提案されているが、シールされる側すなわちここ
では熱交換板および側部壁体の表面が粗面である場合に
は、気密性が悪く液もれの原因となり易いという問題が
あった。
【0009】本発明は、前記実情に鑑みてなされたもの
で、長寿命で信頼性の高い気密シール構造を得るための
シールリングを提供することを目的とする。
で、長寿命で信頼性の高い気密シール構造を得るための
シールリングを提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】そこで本発明の第1では
、弾性部材から構成されるOリングを、相対向する部分
に、リング外壁に沿うように連続的に形成された2つの
線状突起を有するカバーリングで被覆している。
、弾性部材から構成されるOリングを、相対向する部分
に、リング外壁に沿うように連続的に形成された2つの
線状突起を有するカバーリングで被覆している。
【0011】望ましくは、このカバーリングは、一方の
側に開口部を有する断面コの字状に成形され、前記コの
字の相対向する位置に突起を有し、シールすべき液体が
前記開口部の反対側の面に接するように構成される。
側に開口部を有する断面コの字状に成形され、前記コの
字の相対向する位置に突起を有し、シールすべき液体が
前記開口部の反対側の面に接するように構成される。
【0012】また望ましくは、このカバーリングは、フ
ッ素系樹脂で構成される。
ッ素系樹脂で構成される。
【0013】また本発明の第2では、中空のOリング状
体で構成し、このOリング状体の外壁の相対向する部分
に、リング外壁に沿うように連続的に形成された2つの
線状突起を配設している。
体で構成し、このOリング状体の外壁の相対向する部分
に、リング外壁に沿うように連続的に形成された2つの
線状突起を配設している。
【0014】
【作用】上記第1の構成によれば、弾性部材から構成さ
れるOリングを、相対向する部分に、リング外壁に沿う
ように連続的に形成された2つの線状突起を有するカバ
ーリングで被覆しているため、Oリングの弾性に加えカ
バーリングが変形し、その突起を弾性的に被シール部材
に嵌合させるようにするため、被シール部材の表面が粗
面であっても良好に気密シール構造を得ることができる
。
れるOリングを、相対向する部分に、リング外壁に沿う
ように連続的に形成された2つの線状突起を有するカバ
ーリングで被覆しているため、Oリングの弾性に加えカ
バーリングが変形し、その突起を弾性的に被シール部材
に嵌合させるようにするため、被シール部材の表面が粗
面であっても良好に気密シール構造を得ることができる
。
【0015】またカバーリングが、一方の側に開口部を
有する断面コの字状に成形され、前記コの字の相対向す
る位置に突起を有し、シールすべき液体が前記開口部の
反対側の面に接するように構成することにより、良好に
カバーリングが変形しその突起を弾性的に被シール部材
に嵌合させるため、極めて効率よく良好に気密シールを
行うことが可能となる。
有する断面コの字状に成形され、前記コの字の相対向す
る位置に突起を有し、シールすべき液体が前記開口部の
反対側の面に接するように構成することにより、良好に
カバーリングが変形しその突起を弾性的に被シール部材
に嵌合させるため、極めて効率よく良好に気密シールを
行うことが可能となる。
【0016】さらにOリングは直接薬品に接することな
く、カバーリングによって良好に保護され、耐薬品性は
極めて高いものとなっている。
く、カバーリングによって良好に保護され、耐薬品性は
極めて高いものとなっている。
【0017】さらにカバーリングを、フッ素系樹脂で構
成することにより、耐薬品性が高く弾性もあり、さらに
良好な封止構造を得ることができる。
成することにより、耐薬品性が高く弾性もあり、さらに
良好な封止構造を得ることができる。
【0018】また本発明の第2のシールリングによれば
、中空のOリング状体で構成し、このOリング状体の外
壁の相対向する部分に、リング外壁に沿うように連続的
に形成された2つの線状突起を配設しているため、この
シールリングが、変形し、その突起を弾性的に被シール
部材に嵌合させるようにするため、被シール部材の表面
が粗面であっても良好に気密シール構造を得ることがで
きる。
、中空のOリング状体で構成し、このOリング状体の外
壁の相対向する部分に、リング外壁に沿うように連続的
に形成された2つの線状突起を配設しているため、この
シールリングが、変形し、その突起を弾性的に被シール
部材に嵌合させるようにするため、被シール部材の表面
が粗面であっても良好に気密シール構造を得ることがで
きる。
【0019】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
つつ詳細に説明する。
つつ詳細に説明する。
【0020】図1は、本発明実施例のシールリングを用
いたシール構造を示す図であり、図2はこのシールリン
グを用いた熱交換装置を示す図である。
いたシール構造を示す図であり、図2はこのシールリン
グを用いた熱交換装置を示す図である。
【0021】このシールリング10は、図1に示すよう
に、フッ素系ゴムからなるOリング11とこのOリング
11のまわりを、相対向する部分にリング外壁に沿うよ
うに連続的に形成された2つの線状突起12を有するフ
ッ素系樹脂製の断面コの字状のカバーリング13で被覆
したことを特徴とするものである。
に、フッ素系ゴムからなるOリング11とこのOリング
11のまわりを、相対向する部分にリング外壁に沿うよ
うに連続的に形成された2つの線状突起12を有するフ
ッ素系樹脂製の断面コの字状のカバーリング13で被覆
したことを特徴とするものである。
【0022】そしてこのシールリングを用いて気密封止
される熱交換装置は図2に示すように、アルミナ基板か
らなる熱交換板1,2と、これらの内側に配設され、表
面をフッ素系樹脂フィルム3,4で被覆されたSiC板
5,6が、前記シールリング10を介して、フッ素系樹
脂等の耐薬品性の樹脂からなる側部壁体7に気密シール
されて熱交換室Rを形成し、この熱交換部において、処
理容器からパイプP等で導出されてくる半導体処理薬液
に対し温度制御を行なうようにしたものである。この側
部壁体7には溝Uが形成されている。そして熱交換板1
,2は半導体処理薬液との反応を防ぐため表面をフッ素
系樹脂フィルム3,4で被覆されたSiC板5,6を介
して半導体処理薬液と接するように形成されるとともに
突起を有するカバーリングで被覆されたシールリングで
気密シールされており、半導体処理液はサーモモジュー
ル8,9によって各々冷却又は加熱せしめられるように
構成されている。そしてサーモモジュール8,9の放熱
側は夫々、冷却パイプを介して導入される冷却水によっ
て冷却される放熱ブロック(図示せず)に接触せしめら
れている。
される熱交換装置は図2に示すように、アルミナ基板か
らなる熱交換板1,2と、これらの内側に配設され、表
面をフッ素系樹脂フィルム3,4で被覆されたSiC板
5,6が、前記シールリング10を介して、フッ素系樹
脂等の耐薬品性の樹脂からなる側部壁体7に気密シール
されて熱交換室Rを形成し、この熱交換部において、処
理容器からパイプP等で導出されてくる半導体処理薬液
に対し温度制御を行なうようにしたものである。この側
部壁体7には溝Uが形成されている。そして熱交換板1
,2は半導体処理薬液との反応を防ぐため表面をフッ素
系樹脂フィルム3,4で被覆されたSiC板5,6を介
して半導体処理薬液と接するように形成されるとともに
突起を有するカバーリングで被覆されたシールリングで
気密シールされており、半導体処理液はサーモモジュー
ル8,9によって各々冷却又は加熱せしめられるように
構成されている。そしてサーモモジュール8,9の放熱
側は夫々、冷却パイプを介して導入される冷却水によっ
て冷却される放熱ブロック(図示せず)に接触せしめら
れている。
【0023】そして、第1の配管P1 を介して半導体
処理薬液を上記熱交換室内に導入すると、熱交換室R内
で冷却された後、第2の配管P2 を介して処理容器に
戻される。 この熱交換部は、シールリング10によ
ってシールされており、良好にカバーリングが変形し、
その突起12を弾性的に被シール部材であるSiC板5
,6と側部壁体に形成された溝Uとに嵌合させるため、
極めて効率よく良好に気密シールを行うことが可能とな
る。また突起12によって嵌合されるため、溝Uの内壁
が粗面であっても気密性を良好にすることができる。
処理薬液を上記熱交換室内に導入すると、熱交換室R内
で冷却された後、第2の配管P2 を介して処理容器に
戻される。 この熱交換部は、シールリング10によ
ってシールされており、良好にカバーリングが変形し、
その突起12を弾性的に被シール部材であるSiC板5
,6と側部壁体に形成された溝Uとに嵌合させるため、
極めて効率よく良好に気密シールを行うことが可能とな
る。また突起12によって嵌合されるため、溝Uの内壁
が粗面であっても気密性を良好にすることができる。
【0024】さらにOリング11は直接薬品に接するこ
となく、カバーリング13によって良好に保護されてい
る。そしてさらにカバーリングが、フッ素系樹脂で構成
されているため、耐薬品性が高く、さらに良好な封止構
造を得ることができる。
となく、カバーリング13によって良好に保護されてい
る。そしてさらにカバーリングが、フッ素系樹脂で構成
されているため、耐薬品性が高く、さらに良好な封止構
造を得ることができる。
【0025】なお熱交換板1,2の表面に一方の電極が
当接するようにサーモモジュール8,9がそれぞれ取り
付けられている。
当接するようにサーモモジュール8,9がそれぞれ取り
付けられている。
【0026】このサーモモジュールは、熱伝導性の良好
なカーボン製の板状体の表面に、電極パターンを形成し
、この電極パターン上にP型熱電素子およびN型熱電素
子が半田層を介して交互に固着され、さらにこれらP型
熱電素子およびN型熱電素子の他方の電極は同様に熱伝
導性の良好なカーボン製の熱交換基板の表面に形成され
た上部電極パターンに接続されている。
なカーボン製の板状体の表面に、電極パターンを形成し
、この電極パターン上にP型熱電素子およびN型熱電素
子が半田層を介して交互に固着され、さらにこれらP型
熱電素子およびN型熱電素子の他方の電極は同様に熱伝
導性の良好なカーボン製の熱交換基板の表面に形成され
た上部電極パターンに接続されている。
【0027】この電極パターンに通電が行なわれること
により、例えば熱交換板の側が低温部となり、板状体の
側が高温部となる。
により、例えば熱交換板の側が低温部となり、板状体の
側が高温部となる。
【0028】なお、前記実施例では、フッ素系ゴムから
なるOリング11のまわりを、2つの線状突起12を有
するフッ素系樹脂製の断面コの字状のカバーリング13
で被覆したが、カバーリングは必ずしも断面コの字状で
ある必要はなく、図3に示すようにフッ素系ゴムからな
るOリング21のまわり全体を、2つの線状突起22を
有するフッ素系樹脂製の円筒形のカバーリング23で被
覆してもよい。
なるOリング11のまわりを、2つの線状突起12を有
するフッ素系樹脂製の断面コの字状のカバーリング13
で被覆したが、カバーリングは必ずしも断面コの字状で
ある必要はなく、図3に示すようにフッ素系ゴムからな
るOリング21のまわり全体を、2つの線状突起22を
有するフッ素系樹脂製の円筒形のカバーリング23で被
覆してもよい。
【0029】また、図4に示すように中空のフッ素系樹
脂製の円筒形のシールリング30で構成しても良い。こ
の場合もシールリング30の外壁には、相対向する部分
にリング外壁に沿うように連続的に2つの線状突起32
が配設されている。
脂製の円筒形のシールリング30で構成しても良い。こ
の場合もシールリング30の外壁には、相対向する部分
にリング外壁に沿うように連続的に2つの線状突起32
が配設されている。
【0030】さらに図5に示すようにU字型のフッ素系
樹脂製のシールリング40で構成しても良い。この場合
もシールリング40の外壁には、相対向する部分にリン
グ外壁に沿うように連続的に2つの線状突起42が配設
されている。
樹脂製のシールリング40で構成しても良い。この場合
もシールリング40の外壁には、相対向する部分にリン
グ外壁に沿うように連続的に2つの線状突起42が配設
されている。
【0031】加えて、前記実施例では腐食性の薬品に対
して用いる例について説明したが、油など他の液体にも
適用可能であることはいうまでもなく、また、この場合
はシールリングもカバーリングも耐薬品性を有する材料
で構成する必要はない。
して用いる例について説明したが、油など他の液体にも
適用可能であることはいうまでもなく、また、この場合
はシールリングもカバーリングも耐薬品性を有する材料
で構成する必要はない。
【0032】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明の構成
によれば、弾性部材から構成されるOリングを、相対向
する部分に、リング外壁に沿うように連続的に形成され
た2つの線状突起を有するカバーリングで被覆している
ため、被シール部材の表面が粗面であっても良好に気密
シール構造を得ることができる。
によれば、弾性部材から構成されるOリングを、相対向
する部分に、リング外壁に沿うように連続的に形成され
た2つの線状突起を有するカバーリングで被覆している
ため、被シール部材の表面が粗面であっても良好に気密
シール構造を得ることができる。
【0033】また本発明の第2によれば、中空のOリン
グ状体で構成し、このOリング状体の外壁の相対向する
部分に、リング外壁に沿うように連続的に形成された2
つの線状突起を配設しているため、被シール部材の表面
が粗面であっても良好に気密シール構造を得ることがで
きる。
グ状体で構成し、このOリング状体の外壁の相対向する
部分に、リング外壁に沿うように連続的に形成された2
つの線状突起を配設しているため、被シール部材の表面
が粗面であっても良好に気密シール構造を得ることがで
きる。
【図1】本発明実施例のシールリングを示す図
【図2】
同シールリングを用いた熱交換装置を示す図
同シールリングを用いた熱交換装置を示す図
【図3】本
発明の他の実施例のシールリングを示す図
発明の他の実施例のシールリングを示す図
【図4】本発
明の他の実施例のシールリングを示す図
明の他の実施例のシールリングを示す図
【図5】本発明
の他の実施例のシールリングを示す図
の他の実施例のシールリングを示す図
【図6】従来例の
温度制御装置を示す図
温度制御装置を示す図
【図7】従来例の熱交換装置を示
す図
す図
101 反応槽、
102 配管、
103 ポンプ、
104 熱交換部、
105 フィルタ、
201,202 熱交換板、
203 側部壁体、
204 熱交換室、
205,206 サーモモジュール、207,208
冷却パイプ、 209,210 放熱ブロック、 211 第1の配管、 212 第2の配管、 1,2 熱交換板、 3,4 フッ素系樹脂フィルム 5,6 SiC板 7 側部壁体 8,9 サーモモジュール 10 シールリング 11 Oリング 12 突起 13 カバーリング 21 Oリング 22 突起 23 カバーリング 30 シールリング 32 突起 40 シールリング 42 突起
冷却パイプ、 209,210 放熱ブロック、 211 第1の配管、 212 第2の配管、 1,2 熱交換板、 3,4 フッ素系樹脂フィルム 5,6 SiC板 7 側部壁体 8,9 サーモモジュール 10 シールリング 11 Oリング 12 突起 13 カバーリング 21 Oリング 22 突起 23 カバーリング 30 シールリング 32 突起 40 シールリング 42 突起
Claims (4)
- 【請求項1】 弾性部材から構成されるOリングと前
記Oリングを囲むように形成され、相対向する部分に、
リング外壁に沿うように連続的に形成された2つの線状
突起を有するカバーリングとを具備したことを特徴とす
るシールリング。 - 【請求項2】 前記カバーリングは、一方の側に開口
部を有する断面コの字状に成形され、前記コの字の相対
向する位置に突起を有し、シールすべき液体が前記開口
部の反対側の面に接するように構成されていることを特
徴とする請求項1記載のシールリング。 - 【請求項3】 前記カバーリングは、フッ素系樹脂製
であることを特徴とする請求項1または2記載のシール
リング。 - 【請求項4】 中空のOリング状体からなり、前記O
リング状体の外壁の相対向する部分に、リング外壁に沿
うように連続的に形成された2つの線状突起を配設した
ことを特徴とするシールリング。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13440591A JPH04362374A (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | シールリング |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13440591A JPH04362374A (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | シールリング |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04362374A true JPH04362374A (ja) | 1992-12-15 |
Family
ID=15127620
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13440591A Pending JPH04362374A (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | シールリング |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04362374A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008251843A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Smc Corp | 薬液用熱交換器及びそれを用いた薬液用温度調節装置 |
JP2012134290A (ja) * | 2010-12-21 | 2012-07-12 | Nikon Corp | 露光装置、露光装置のステージ製造方法及びデバイス製造方法 |
-
1991
- 1991-06-05 JP JP13440591A patent/JPH04362374A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008251843A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Smc Corp | 薬液用熱交換器及びそれを用いた薬液用温度調節装置 |
TWI395266B (zh) * | 2007-03-30 | 2013-05-01 | Smc Corp | 藥液用溫度調整裝置 |
JP2012134290A (ja) * | 2010-12-21 | 2012-07-12 | Nikon Corp | 露光装置、露光装置のステージ製造方法及びデバイス製造方法 |
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