JPH04357808A - セラミックグリーンシートの剥離方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、キャリアフィルム上に
形成されたセラミックグリーンシートをキャリアフィル
ムより剥離する方法に関し、特にグリーンシートの剥離
時、転送時の破損を防止するものであり、積層セラミッ
クコンデンサ等の製法に有効である。

【０００２】

【従来の技術】積層セラミックコンデンサは、誘電体で
あるセラミックと内部電極を交互に積層した構造になっ
ている。積層構造はセラミックグリーンシート上に内部
電極層を形成し、これを裁断・積層して作製している。 この方法においてグリーンシート１を積層するためには
予めグリーンシート１をキャリアフィルム２から剥離し
、積層に適した大きさに裁断する必要がある。積層セラ
ミックコンデンサの成形方法として、図３に示すように
セラミック塗料３をキャリアフィルム２に塗布装置４を
用いてグリーンシート１を薄く塗布・乾燥し、できたグ
リーンシート１を成形している。

【０００３】従来のグリーンシートの剥離から裁断まで
の工法を図４に示す。グリーンシート１はセラミック原
料粉体、バインダー樹脂、可塑剤からなりキャリアフィ
ルム２上に形成されている。１０はシート１が形成され
たフィルムの供給ローラである。このグリーンシート１
をキャリアフィルム２から剥離するために、グリーンシ
ート面に適度なサイズと間隔で表面に穴５０を有するロ
ーラ５を配し、吸引部６から穴５０を介して真空吸引し
てグリーンシート１をローラ５に保持した状態にしてお
き、位置の異なる２つの剥離用ローラ９でキャリアフィ
ルム２をグリーンシート１と引き剥し、一方のグリーン
シート１を裁断ステージに転送する方法が取られていた
。１１はキャリアフィルム巻取りローラである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法では吸引ローラ５でグリーンシート１を保持し、位置
の異なる２つの剥離用ローラ９でそれぞれキャリアフィ
ルム２とグリーンシート１を引っ張り、引き剥しを行わ
なければならない。ところで、吸引ローラ５の吸引力が
弱いとグリーンシート１の保持力が弱くなり、グリーン
シート１自体の異物、微小な割れなどの欠陥が剥離時に
欠陥部を起点として割れが拡大してグリーンシートが破
断する場合がある。そのため、本来は、剥離時にグリー
ンシート１の欠陥が拡大しないように吸引ローラ５の吸
引力を強くするのが望ましいが、吸引ローラ５の吸引力
が強いと図５に示すように剥離後のグリーンシート１が
吸引ローラ５側にたるみ１００が発生し、グリーンシー
ト１同士がたるみ部分で接着して欠陥を生じる。したが
って吸引ローラ５の吸引力はグリーンシート１をキャリ
アフィルム２より剥離するに十分な大きさに設定するこ
とができていない。

【０００５】本発明は上記課題を鑑み、剥離工程におけ
るグリーンシートのたるみ、破断を起こさない剥離方法
を提供するものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のセラミックグリーンシートの剥離方法は、
キャリアフィルム上に形成されたセラミックグリーンシ
ート面を真空吸引機能を有し、回転するローラに当接さ
せ、前記グリーンシートをローラで保持した状態でキャ
リアフィルムをグリーンシートから引き剥し、かつ剥離
後のグリーンシートに排出空気等により張力をかけ、シ
ートを張った状態で転送するものである。

【０００７】

【作用】上記方法により、剥離後のグリーンシートは排
出空気等によるテンションによりグリーンシートはロー
ラの送出部において、ローラとスムーズに分離する。よ
って、グリーンシートがたるんで接着するようなことは
ない。

【０００８】

【実施例】以下、本発明のセラミックグリーンシートの
剥離方法の一実施例を図３と図１に基づいて説明する。 なお、本実施例では積層セラミックコンデンサに適用し
て説明する。

【０００９】セラミック原料粉体１００（重量部）に対
し、バインダー樹脂としてポリビニルブチラールを１０
、可塑剤としてフタル酸ジブチルを１０、溶剤を９０の
割合で加え、分散機を用いてセラミック塗料３を作成し
た。図３に示すように、このセラミック塗料３を表面を
シリコンで離型処理したキャリアフィルム（ＰＥＴ）２
上に塗布装置４を用いて、幅１０ｃｍ・乾燥膜厚で２０
、４０、８０μｍになるように３種の膜厚に塗布し、８
０℃で１時間乾燥してグリーンシート１を作成した。 図３の剥離方法を図１で説明する。グリーンシート１を
吸引ローラ５側に配置すると共に剥離後のグリーンシー
ト１に空気圧を加え、グリーンシート１と吸引ローラ５
との分離をスムーズにするために排出空気８で圧を与え
る排出部７を設けた。吸引ローラ５の吸引部６の吸引力
は従来工法の吸引力の約３倍に（吸引ローラー５よりグ
リーンシート１を剥離するのに要する力が１０ｃｍ幅当
りで２５ｇになるように）設定し、なお排気部７からの
グリーンシート１にかかる排出空気８の圧力は３０ｇに
なるように設定した。

【００１０】本発明の図１、図３の方法と、図４の従来
の剥離工程を用いた場合の不良発生率の比較を表１に示
す。

【００１１】

【表１】

【００１２】この剥離工程で発生した不良はグリーンシ
ート１がキャリアフィルム２から剥離する際に、グリー
ンシート１がＶ字形に裂ける現象である。表１に示すよ
うに、膜厚の薄いグリーンシートで特に発生した剥離時
の不良が、本発明により大幅に改善されるのが判る。

【００１３】この不良低減理由を以下に説明する。上記
で作成した３種の膜厚のグリーンシート１について、キ
ャリアフィルム２からの剥離強度、剥離後のグリーンシ
ート１自体のせん断強度、引張破断強度を引張試験機で
測定した結果を表２に示す。

【００１４】

【表２】

【００１５】２０μｍの薄いグリーンシート１の場合で
も、シート引張破断強度はキャリアフィルム２からの剥
離強度に対して６倍以上大きなことが判る。しかし、グ
リーンシート自体の欠陥はグリーンシート１がキャリア
フィルム２から剥離される際に、その欠陥部を出発点と
して、裂けが拡大しやすい。その時の裂けに必要な力は
、グリーンシート１の剥離に要する力に比べ小さく、ま
た膜厚が薄いほど裂けやすいことが判る。また図２に示
すように、排気部７を吸引ローラ５に組み込んだ装置を
用いると、更に効率よくグリーンシート１が吸引ローラ
５より分離することができる。

【００１６】以上のように、グリーンシート１を吸引ロ
ーラー５にしっかりと保持した状態で、キャリアフィル
ム２からの剥離をおこなうために、グリーンシート１の
有する欠陥を拡大させずに剥離することができ、剥離後
のグリーンシート１に排気部７からの排出空気８により
空気圧を加え、吸引ローラ５とグリーンシート１の分離
をスムーズにするため、たるみによる欠陥が生じない。

【００１７】なお、本実施例は積層セラミックコンデン
サの製造工程に適応させたが、本発明はこれに限定させ
るものではなく、一般にコンデンサ以外のセラミックグ
リーンシートの剥離にも利用できるものである。

【００１８】

【発明の効果】以上の実施例の説明より明らかなように
、本発明のセラミックグリーンシートの剥離方法は従来
の技術と比較して吸引ローラーの吸引力を強くし、しか
も剥離後のシートにテンションを加えて吸引ローラとグ
リーンシートの分離をスムーズにすることができるので
、吸引ローラーへのグリーンシートの保持力不足により
発生する、シート自体の欠陥を出発点とするシート破断
の防止と、剥離後のシート転送時に発生する欠陥の防止
を両立することができる。したがって、グリーンシート
が薄膜化し、シートの剥離が困難となる今後、益々重要
になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すセラミックグリーンシ
ートの剥離方法の概略工程図。

【図２】本発明の他の実施例を示すセラミックグリーン
シートの剥離方法の概略工程図。

【図３】セラミック成形工程の概略図。

【図４】従来の方法を示す概略図。

【図５】従来法での剥離後のグリーンシートのたるみ発
生原因を示す図。

【符号の説明】

１　　グリーンシート ２　　キャリアフィルム ３　　セラミック塗料 ４　　塗布装置 ５　　吸引ローラ ６　　吸引部 ７　　排気部 ８　　排出空気 ９　　剥離用ローラ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　キャリアフィルム上に形成されたセラ
   ミックグリーンシート面を真空吸引機能を有し、回転す
   るローラに当接させ、前記グリーンシートをローラで保
   持した状態でキャリアフィルムをグリーンシートから引
   き剥し、かつ剥離後のグリーンシートに排出空気等によ
   り張力をかけ、シートを張った状態で転送することを特
   徴とするセラミックグリーンシートの剥離方法