JP2000271922A - キャリアフィルムの剥離方法及び剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 積層セラミックス部品を製造するための所定
の大きさに切断されたグリーンシートからキャリアフィ
ルムを剥離する工程において、グリーンシートが破れた
り、伸びたりすることなくキャリアフィルムを剥離する
ことができるとともに、剥離されたキャリアフィルムの
処理が容易で生産性の高い剥離方法及び装置を提供す
る。 【解決手段】 セラミックグリーンシートの一隅部を他
部に比して大きな力で吸引保持し、まず前記一隅部のキ
ャリアフィルムを剥離し、略対角線方向に進行し全域に
わたるように剥離していくことを特徴とするキャリアフ
ィルムの剥離方法及び剥離装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、積層セラミックス
部品の製造方法及び装置に係わり、シート状に切断され
たキャリアフィルム付きグリンシートからキャリアフィ
ルムを剥離するための方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】積層セラミックス部品の製造方法として
次のようなものが知られている。まず、キャリアフィル
ム上にドクターブレード法によりセラミックグリーンシ
ート（以下、グリーンシートと略す）が成形され、乾燥
される。次いでキャリアフィルムごと所定の大きさに打
ち抜かれるとともにビアホールが穿孔される。次にビア
ホール孔に導体ペーストが充填されるとともに内部電極
パターンが印刷され、乾燥される。その後、グリーンシ
ートからキャリアフイルムが剥離されて積層され、一体
化される。次いで所定寸法に切断された後、焼成され、
所望の積層セラミックス部品が得られる。

【０００３】前記製造方法におけるグリーンシートから
キャリアフィルムを剥離する技術として、特開平７−３
０２５２の多層配線セラミックス基板の製造方法に開示
されたものがある。これは、巻取りローラの外周面をグ
リーンシートに付着しているキャリアフィルムである樹
脂フィルムの一端に当接させて樹脂フィルムの一端部を
貼着させ、巻取りローラを樹脂フィルムの一端部側から
他端部側に向かってグリーンシート上を転動させること
により、樹脂フィルムを巻取りローラに巻回してグリー
ンシートから剥離させるものである。剥離に当たって
は、真空引きチャンバーを有し上面部が多孔質材料から
なる載架台にグリーンシートを樹脂フィルムを上側にし
て載置し、真空吸引によりグリーンシートを載架台上に
保持している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記公知例は、多孔質
材料でグリーンシートを吸引保持しているため、圧力損
失が大きくて大きな吸引力が得られず、キャリアフィル
ムとグリーンシートの付着力が大きいものには対応でき
ない。さらに、剥離したキャリアフィルムを巻取りロー
ラで巻回しているため、一枚のグリーンシートからの剥
離が終了する毎に、巻取りローラから巻回されたキャリ
アフィルムを除去しなければ次の剥離をすることができ
ないが、この除去処理は面倒であり、生産性の高い剥離
方法とは言えない。

【０００５】さらに、積層セラミックス部品は近年益々
小型化、大容量化、高性能化が要求され、グリーンシー
トが薄くなってきている。グリーンシートが２０ミクロ
ン以下ともなるとグリーンシート自体の強度は落ち、大
きな剥離力が作用すると剥離中に破けたり、一方強い力
で真空吸引しようとするとグリーンシートに皺、凹凸、
伸び等が発生するという問題もある。従って本発明は、
積層セラミックス部品を製造するための所定の大きさに
切断されたグリーンシートからキャリアフィルムを剥離
する工程において、グリーンシートが破れたり、伸びた
り、凸凹になったりすることなくキャリアフィルムを剥
離することができるとともに、剥離されたキャリアフィ
ルムの処理が容易で生産性の高い剥離方法及び装置を提
供することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明者は、グリーンシ
ートからキャリアシートを剥離する方法を研究した結
果、次の知見を得た。 １）キャリアシートをグリーンシートから剥離するに要
する力は、最初の切離し時の剥離力に対し、その後の継
続的剥離に要する力は最初の力の１／３〜１／５程度で
よく、剥離中同じ力を作用させる必要はない。 ２）最初の切離し時の剥離力を小さくするには、矩形の
グリーシートにおいては、４隅の内の任意の一隅から剥
離するようにするとよい。 ３）前記継続的剥離力を小さくするには、キャリアフィ
ルムを略対角線方向にできるだけ鋭角的に折返して引っ
張るようにするとよい。 ４）剥離力に抗するだけの所定の吸引力をグリーンシー
トに作用させるには、多孔質材料からよりも、貫通穴を
有し空間率の大きい面から吸引するほうが良いが、グリ
ーンシートに凹凸を付けないためには、小さい穴を多数
有した平板から吸着する方が望ましい。

【０００７】本発明のキャリアフィルムの剥離方法は前
記知見を基にしたものであり、積層セラミック部品を製
造するための、矩形状に切出されたキャリアフィルム付
きセラミックグリーンシートからキャリアフィルムを剥
離する方法において、セラミックグリーンシートの一隅
部を他部に比して大きな力で吸引保持し、まず前記一隅
部のキャリアフィルムを剥離し、略対角線方向に進行し
全域にわたるように剥離していくことを特徴としてい
る。また詳しくは、粘着性を有する部材をキャリアフィ
ルムに押付けて持ち上げ、前記部材を略対角線方向にキ
ャリアフィルムを折返すように進行させて剥離していく
ようにするとよい。さらに、セラミックグリーンシート
を吸引保持するとともに、剥離していく進行方向に剥離
速度と同期して未剥離部を移動して押えながら剥離して
いくようにするのが望ましい。なお、前述の略対角線方
向への移動は、セラミックグリーンシートに対して相対
的なものであればよい。

【０００８】また本発明のキャリアフィルム剥離装置
は、積層セラミック部品を製造するための、矩形状に切
出されたキャリアフィルム付きセラミックグリーンシー
トからキャリアフィルムを剥離する装置において、載置
されるキャリアフィルム付きセラミックグリーンシート
の一隅部を他部より強く吸引するような手段を備えた吸
引保持部と、キャリアフィルムを前記一隅部で保持して
持ち上げ略対角線方向に移動する粘着部材と、前記一隅
部近傍の未剥離部分を押さえながら略対角線方向に移動
するシート押え部材とを有することを特徴としている。
なお、吸引保持部としては真空又は減圧する方式のもの
が望ましく、キャリアフィルム付きセラミックグリーン
シートの一隅部を他部より強く吸引するためには、一隅
部に高真空度を、他部に低真空度を作用させるようにし
てもよいし、同じ真空度を作用させ、吸引用穴の大き
さ、間隔を変える等で吸引面積を変えるようにしてもよ
い。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明を図１〜図５を参照しなが
ら説明する。真空吸着箱３は、矩形状に切出されたキャ
リアフィルム１付きグリーンシート２を上面４に載置
し、真空吸引力で保持するものであり、内部のキャビテ
ィ５は低真空圧ポンプ７に接続されている。真空吸着箱
３の上面４は、グリンシート２の大きさとほぼ同じ大き
さの矩形状吸引面４ａを有している。吸引面４ａは例え
ばニッケルメッシュで形成する。ニッケルメッシュは、
ニッケル電気めっき加工により平滑面にメッシュパター
ンを形成したもので、約１００メッシュ程度の空間率を
有するようにしたものを用いるとよい。真空吸着箱３内
の４隅のー端には、高真空吸引筒１０が、吸引面４ａの
４隅の一端であるコーナ部２ｂにその先端が吸引面４ａ
の底面に密着するように設けられている。高真空吸引筒
１０は、高真空圧ポンプ８に接続されている。

【００１０】真空吸引箱３の上方に、フィルム剥離部
（図示せず）と、シート押え部を設ける。フィルム剥離
部は、粘着部材が上下方向及び矢印ａで示すグリーンシ
ートの対角線方向に移動できるようにしたもので、キャ
リアフィルム１を粘着保持してグリーンシート２から剥
離させて行くものである。シート押え部は、先端９ａが
ナイフエッジ状をした押えバー９を上下方向及びグリー
ンシートの対角線方向に移動できるようにしたものであ
る。押えバー９は、グリーンシート２の対角寸法以上の
長さを有し、軸受け１３回りに旋回でき、スプリング１
２の力によりグリーンシートを押さえられるようになっ
ている。

【００１１】次に、本装置の動作について説明する。キ
ャリアフィルム１が付着したままのグリーンシート２
が、キャリアフィルム面を上にして真空吸引箱３の吸引
面４ａに移載される。次いで、低真空圧ポンプ７と高真
空圧ポンプ８からの真空力を吸引面４ａに作用させ、グ
リーンシート２を吸引保持する。この時、高真空圧ポン
プ８からの真空圧は、例えばゲージ圧でマイナス０．９
ｋｇ／ｃｍ２（Ｇ）、低真空圧ポンプ７からの真空圧は
同じくマイナス０．２ｋｇ／ｃｍ２（Ｇ）と真空度を異
なるようにする。この場合、吸引面４ａのコーナ部２ｂ
上のグリーンシートは、それ以外の吸引面部分のものに
比して約４．５倍強力に吸引保持されることになる。

【００１２】次に、フィルム剥離部の粘着部材を、吸引
面４ａのコーナ部２ｂ上のグリーンシートのキャリアフ
ィルムに押圧した後持ち上げ、キャリアフィルム１をグ
リーンシート２から剥離する。この最初の切離し時の剥
離には、キャリアフィルム１をグリーンシート２から引
張って離す必要があるが、グリーンシート２のコーナの
一端で切離すので、キャリアフィルム１とグリーンシー
ト２の接合面積は小さく比較的小さな力でよい。従っ
て、粘着部材に使用する粘着材は、その引離し力以上の
保持力を有するものでよい。

【００１３】また、グリーンシート２の最初にキャリア
フィルム１が剥離される部分は、切り離し時の剥離力以
上の吸引力が作用するように高真空圧で吸引されてお
り、浮上がることはない。このように、グリーンシート
１のコーナ部は、強い力で吸引されるため、ニッケルメ
ッシュの穴部で凸状となったり、傷が付くことがある
が、通常コーナ部を含むグリーンシートの周辺一定寸法
範囲は、製品非占有面としているため問題とはならな
い。

【００１４】粘着部材は、キャリアフィルム１を保持し
た状態で上昇し、次いでグリーンシート２の対角方向に
移動する。これに伴い、キャリアフィルム１は継続的に
剥離されて行く。この間、粘着部材の押圧動作又は上昇
動作に合せてグリーンシート押えバー９を下降させ、キ
ャリアフィルム１の付着したグリーンシート２をスプリ
ング１２の力で押える。剥離されたキャリアフィルム１
がシート押えバー９に当たり、先端９ａのナイフエッジ
で鋭角に折返されるタイミングに合せて、シート押えバ
ー９も粘着部材と同じ方向に同一速度で移動させる。

【００１５】継続的な剥離はせん断力での剥離であり、
引張り力におけるものより要する力は小さい上に、押え
バー９で浮上がりを押さえていることから、この間のグ
リーンシート２の保持力は小さくてよく、前記低真空圧
はそれを満たすだけの圧力であればよい。従って、グリ
ーンシート２が吸引面４ａに吸引されていても、グリー
ンシート２は凸状となったり、伸びたり、皺となった
り、傷ついたりすることはなく、製品部分に対して特に
問題は生じない。この時の吸引力は、キャリアフィルム
１とグリーンシート２の付着力、グリーンシート２の剛
性・強度、吸引面４ａの吸引穴の大きさ、間隔等の仕様
に合せて適宜決めるとよい。

【００１６】フィルム剥離部とシート押え部が所定量移
動すると、キャリアフィルム１は完全にグリーンシート
２から剥離される。この時、キャリアフィルム１は、コ
ーナの一端のみが粘着部材に粘着している状態であり、
ロボット等のハンドリング手段で、容易にキャリアフィ
ルムを粘着部材から引き剥がして除去することができ
る。従って、新しいキャリアフィルム付きグリーンシー
トが真空吸引箱３に載置されれば、連続的に剥離作業を
行なうことができる。

【００１７】以上、本発明の一実施の形態を説明した
が、これに限定されることなく以下に示すような形態を
とることもできる。例えば、吸引面としては平面である
ニッケルメッシュ形成材が望ましいが、平面に機械的に
穴加工した部材を用いてもよいし、条件によっては金網
を用いることもできる。また、グリーンシートの各吸引
部分の大小吸引力を、異なる真空度を作用させて発生さ
せているが、低真空度の発生には、真空ポンプを用いな
くても、工業用ブロワーでも可能である。また、異なる
吸引力を得るためには、吸引面には同じ真空度を作用さ
せて、吸引面側の空間率或いは圧力損失を違えて行なう
ようにしてもよい。また、剥離に当たって、フィルム剥
離部とシート押え部側がグリーンシートの対角線方向に
移動するとしたが、真空吸引箱の方が移動してもよい
し、両方が移動するようにしてもよい。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、グリーン
シートの非製品部であるコーナー部のみ高真空で吸着し
て剥離を開始し、その後弱い真空圧で吸引するととも
に、シート押えバーで押さえながら剥離するため、製品
が形成されるグリーンシート部分には、皺、凹凸、伸び
等がなく、特に、２０ミクロン程度の薄グリーンシート
に対し効果が大きい。さらに、剥離後のキャリアフィル
ムの排除が容易であり、生産性の高い剥離を行なうこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる真空吸着箱の断面図

【図２】図１のＸ−Ｘ方向から見た、真空吸引箱の上面
を示す図

【図３】吸引面と高真空吸引筒の関係を示す図

【図４】シート押えバーの配置及び移動方向を示す図

【図５】シート押えバーの構造及び作用を説明するため
の図

【符号の説明】

１ キャリアフィルム ２ グリンシート ３ 真空吸着箱 ４ 真空吸着箱上面 ４ａ 吸引面 ５ 真空吸着箱キャビティ ７ 低真空圧ポンプ ８ 高真空圧ポンプ ９ シート押えバー １０ 高真空吸引筒 １２ スプリング １３ 軸受け

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 積層セラミック部品を製造するための、
   矩形状に切出されたキャリアフィルム付きセラミックグ
   リーンシートからキャリアフィルムを剥離する方法にお
   いて、 セラミックグリーンシートの一隅部を他部に比して大き
   な力で吸引保持し、まず前記一隅部のキャリアフィルム
   を剥離し、略対角線方向に進行し全域にわたるように剥
   離していくことを特徴とするキャリアフィルムの剥離方
   法。
2. 【請求項２】 請求項１記載のキャリアフィルムの剥離
   方法において、粘着性を有する部材をキャリアフィルム
   に押付けて持ち上げ、前記部材を略対角線方向にキャリ
   アフィルムを折返すように進行させて剥離していくキャ
   リアフィルムの剥離方法。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載のキャリアフィル
   ムの剥離方法において、セラミックグリーンシートを吸
   引保持するとともに、剥離していく進行方向に剥離速度
   と同期して未剥離部を移動して押えながら剥離していく
   キャリアフィルムの剥離方法。
4. 【請求項４】 積層セラミック部品を製造するための、
   矩形状に切出されたキャリアフィルム付きセラミックグ
   リーンシートからキャリアフィルムを剥離する装置にお
   いて、 載置されるキャリアフィルム付きセラミックグリーンシ
   ートの一隅部を他部より強く吸引するような手段を備え
   た吸引保持部と、キャリアフィルムを前記一隅部で保持
   して持ち上げ略対角線方向に移動する粘着部材と、前記
   一隅部近傍の未剥離部分を押さえながら略対角線方向に
   移動するシート押え部材とを有することを特徴とするキ
   ャリアフィルム剥離装置。