JPH04357408A - 光ジャイロの光学系の構造 - Google Patents
光ジャイロの光学系の構造Info
- Publication number
- JPH04357408A JPH04357408A JP2539291A JP2539291A JPH04357408A JP H04357408 A JPH04357408 A JP H04357408A JP 2539291 A JP2539291 A JP 2539291A JP 2539291 A JP2539291 A JP 2539291A JP H04357408 A JPH04357408 A JP H04357408A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- linbo3
- glass
- substrate
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 37
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 34
- 229910003327 LiNbO3 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 28
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims abstract description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 7
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005679 Peltier effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は共振形光ジャイロに関し
、光ジャイロの特に温度変化に対して安定な光学系の構
造に関する。
、光ジャイロの特に温度変化に対して安定な光学系の構
造に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来技術による共振形光ジャイ
ロの一例のブロック図である。
ロの一例のブロック図である。
【０００３】同図において、光源（例えば、レーザダイ
オード）１からの光を、導波路２に配設された方向性結
合器３により二分岐して、導波路４，５に導く。導波路
４の光は、変調器６により変調され、導波路７を経て、
Ｐ／Ｕ位相変調器８によりＰ／Ｕ位相変調を施されて、
導波路９を経て方向性結合器１０に至る。そして、ここ
で二分岐され導波路１１，偏光子１２，および導波路１
３を通って、方向性結合器１４により共振器１５に導か
れる。この共振器１５からの出射光は、導波路１８，偏
光子１９および導波路２０を経て、方向性結合器２１に
より二分岐され、導波路２２を通って受光素子２３で受
光される。この光を該受光素子２３で電気信号に変換し
て、共振点検出回路３４で共振点を共振器出射光強度と
して検出し、変調器ドライバ３５の出力信号により、共
振点をロックするように、前記変調器６にフィードバッ
クしている。
オード）１からの光を、導波路２に配設された方向性結
合器３により二分岐して、導波路４，５に導く。導波路
４の光は、変調器６により変調され、導波路７を経て、
Ｐ／Ｕ位相変調器８によりＰ／Ｕ位相変調を施されて、
導波路９を経て方向性結合器１０に至る。そして、ここ
で二分岐され導波路１１，偏光子１２，および導波路１
３を通って、方向性結合器１４により共振器１５に導か
れる。この共振器１５からの出射光は、導波路１８，偏
光子１９および導波路２０を経て、方向性結合器２１に
より二分岐され、導波路２２を通って受光素子２３で受
光される。この光を該受光素子２３で電気信号に変換し
て、共振点検出回路３４で共振点を共振器出射光強度と
して検出し、変調器ドライバ３５の出力信号により、共
振点をロックするように、前記変調器６にフィードバッ
クしている。
【０００４】他方、前記光源１から二分岐され、導波路
５に導かれた光は、変調器２６および導波路２７を経て
Ｐ／Ｕ位相変調器２８（この周波数は前記Ｐ／Ｕ位相変
調器８と同一でも、異なってもよい）により位相変調を
受ける。そして、導波路２９を通り方向性結合器２１に
より二分岐された後、導波路２０，偏光子１９および導
波路１８を通って、方向性結合器１４により共振器１５
に導かれる。この共振器１５からの出射光は、導波路１
３，偏光子１２および導波路１１を経て、方向性結合器
１０により二分岐され、導波路３０を通って受光素子３
１で受光される。この光を該受光素子３１で電気信号に
変換して、共振点検出回路３２で共振点を共振器出射光
強度として検出し、変調器ドライバ３３の出力信号によ
り、共振点をロックするように、前記変調器２６にフィ
ードバックする。
５に導かれた光は、変調器２６および導波路２７を経て
Ｐ／Ｕ位相変調器２８（この周波数は前記Ｐ／Ｕ位相変
調器８と同一でも、異なってもよい）により位相変調を
受ける。そして、導波路２９を通り方向性結合器２１に
より二分岐された後、導波路２０，偏光子１９および導
波路１８を通って、方向性結合器１４により共振器１５
に導かれる。この共振器１５からの出射光は、導波路１
３，偏光子１２および導波路１１を経て、方向性結合器
１０により二分岐され、導波路３０を通って受光素子３
１で受光される。この光を該受光素子３１で電気信号に
変換して、共振点検出回路３２で共振点を共振器出射光
強度として検出し、変調器ドライバ３３の出力信号によ
り、共振点をロックするように、前記変調器２６にフィ
ードバックする。
【０００５】前記構成の光ジャイロが共振点にロックさ
れているとき、該ジャイロに角速度入力があると、サニ
ャック効果により、共振点の位相が比例して変化するこ
とが知られている。この変化を打ち消そうとして、各変
調器ドライバから出力されるフィードバック信号を周波
数カウンタ４０，４１によりｆ１， ｆ２を求め、それ
らｆ１， ｆ２の差Ｇによりその角速度がわかる。
れているとき、該ジャイロに角速度入力があると、サニ
ャック効果により、共振点の位相が比例して変化するこ
とが知られている。この変化を打ち消そうとして、各変
調器ドライバから出力されるフィードバック信号を周波
数カウンタ４０，４１によりｆ１， ｆ２を求め、それ
らｆ１， ｆ２の差Ｇによりその角速度がわかる。
【０００６】このとき共振点を安定化させるため、温度
センサ１６ａ により温度を測定し、温度センサの出力
を温度制御回路１６ｂ によりヒーターまたはクーラー
１６ｃ にフィードバックし、系の温度を一定にするこ
とが行なわれている。
センサ１６ａ により温度を測定し、温度センサの出力
を温度制御回路１６ｂ によりヒーターまたはクーラー
１６ｃ にフィードバックし、系の温度を一定にするこ
とが行なわれている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】通常、光ジャイロの共
振器１５等を構成するために光ファイバーが使用されて
いる。しかしながら光ファイバーを用いる光共振器は温
度変化の影響を受けやすいという問題点を有する。
振器１５等を構成するために光ファイバーが使用されて
いる。しかしながら光ファイバーを用いる光共振器は温
度変化の影響を受けやすいという問題点を有する。
【０００８】光ファイバーの線膨張係数は４×１０−５
１／℃程度であるので、たとえば、共振器長を１０ｃ
ｍ、光源の波長を １．３μｍ 、屈折率を１．５ 、
光速を３×１０８ｍ／ｓ とすると、温度が１℃変化し
たときの共振器長の変化△Ｌは △Ｌ＝（１０×１０−２）×（４×１０−５）×１
＝４×１０−６〔ｍ〕であり、波長が １．３μｍ で
あることを考慮すると ３．１波長分も共振点が動いて
しまう。これを仮に ０．１波長の変動に抑えようとす
ると０．０３℃の温度制御をしなければならない。
１／℃程度であるので、たとえば、共振器長を１０ｃ
ｍ、光源の波長を １．３μｍ 、屈折率を１．５ 、
光速を３×１０８ｍ／ｓ とすると、温度が１℃変化し
たときの共振器長の変化△Ｌは △Ｌ＝（１０×１０−２）×（４×１０−５）×１
＝４×１０−６〔ｍ〕であり、波長が １．３μｍ で
あることを考慮すると ３．１波長分も共振点が動いて
しまう。これを仮に ０．１波長の変動に抑えようとす
ると０．０３℃の温度制御をしなければならない。
【０００９】また、共振器を光ファイバーで構成すると
き、共振器の半径を小さくすると光ファイバーの曲げ損
失の増大により共振器特性が劣化するので、ジャイロの
小形化に限界があった。
き、共振器の半径を小さくすると光ファイバーの曲げ損
失の増大により共振器特性が劣化するので、ジャイロの
小形化に限界があった。
【００１０】光ジャイロの導波路として、光ファイバー
を用いずに、ＬｉＮｂＯ３基板上にＴｉ等を拡散させて
形成した領域を使用することも知られている。しかしな
がらＬｉＮｂＯ３の膨張率は光ファイバーの膨張率と同
程度である。したがって導波路の熱膨張に関する問題点
はＬｉＮｂＯ３を用いた導波路によっても存在する。
を用いずに、ＬｉＮｂＯ３基板上にＴｉ等を拡散させて
形成した領域を使用することも知られている。しかしな
がらＬｉＮｂＯ３の膨張率は光ファイバーの膨張率と同
程度である。したがって導波路の熱膨張に関する問題点
はＬｉＮｂＯ３を用いた導波路によっても存在する。
【００１１】本発明は温度変化による影響が小さい導波
路、およびこの導波路を用いた光共振器、変調器、さら
にこの光共振器および変調器を用いた光ジャイロを提供
することを課題とする。
路、およびこの導波路を用いた光共振器、変調器、さら
にこの光共振器および変調器を用いた光ジャイロを提供
することを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題は、ＬｉＮｂＯ
３基板上にＴｉを拡散させて形成した導波路において、
このＬｉＮｂＯ３基板がＬｉＮｂＯ３より小さい熱膨張
率を有しかつＬｉＮｂＯ３層より厚いガラス板に固定さ
れていることを特徴とする導波路を使用することによっ
て解決された。熱膨張率の小さいガラスとして、例えば
石英ガラスを使用することができる。
３基板上にＴｉを拡散させて形成した導波路において、
このＬｉＮｂＯ３基板がＬｉＮｂＯ３より小さい熱膨張
率を有しかつＬｉＮｂＯ３層より厚いガラス板に固定さ
れていることを特徴とする導波路を使用することによっ
て解決された。熱膨張率の小さいガラスとして、例えば
石英ガラスを使用することができる。
【００１３】
【作用】ＬｉＮｂＯ３基板の熱膨張率はガラス板の熱膨
張率より大きい。しかしガラス板の厚さがＬｉＮｂＯ３
基板より大きいので、全体としての熱膨張はガラス板の
熱膨張率によって支配される。したがって、ＬｉＮｂＯ
３の熱膨張率より小さい熱膨張率を有するガラスを選択
することにより、ＬｉＮｂＯ３基板上の導波路の熱膨張
を小さくすることができる。なおガラス板の厚さはＬｉ
ＮｂＯ３基板の厚さの１０倍以上であることが好ましい
。またガラス板は石英ガラスのように熱膨張率が１０−
６１／℃以下であることが好ましい。
張率より大きい。しかしガラス板の厚さがＬｉＮｂＯ３
基板より大きいので、全体としての熱膨張はガラス板の
熱膨張率によって支配される。したがって、ＬｉＮｂＯ
３の熱膨張率より小さい熱膨張率を有するガラスを選択
することにより、ＬｉＮｂＯ３基板上の導波路の熱膨張
を小さくすることができる。なおガラス板の厚さはＬｉ
ＮｂＯ３基板の厚さの１０倍以上であることが好ましい
。またガラス板は石英ガラスのように熱膨張率が１０−
６１／℃以下であることが好ましい。
【００１４】
【実施例】図１は本発明に係る導波路を用いた光ジャイ
ロの好ましい実施例における変調器の部分の断面を示す
斜視図である。
ロの好ましい実施例における変調器の部分の断面を示す
斜視図である。
【００１５】ＬｉＮｂＯ３基板にＴｉをスパッタリング
等により拡散したＴｉ拡散領域が導波路として形成され
ている。例えばＬｉＮｂＯ３基板の厚さは１ｍｍ以下、
Ｔｉ拡散領域の幅は１０μｍ以下、Ｔｉ拡散領域の深さ
は２〜３μｍ である。
等により拡散したＴｉ拡散領域が導波路として形成され
ている。例えばＬｉＮｂＯ３基板の厚さは１ｍｍ以下、
Ｔｉ拡散領域の幅は１０μｍ以下、Ｔｉ拡散領域の深さ
は２〜３μｍ である。
【００１６】図１に示された光ジャイロの変調器の部分
では導波路としてのＴｉ拡散領域の両側に電極が形成さ
れている。ＬｉＮｂＯ３は電気光学効果を有するので、
両電極に電圧を印加することにより導波路内の屈折率を
変化させることができ、この結果波長が変化する。すな
わち両電極に印加される電圧によって導波路内の光の位
相を変調することができる。共振器はＬｉＮｂＯ３上の
Ｔｉ拡散領域を所定の形状に形成することにより得るこ
とができる。この場合は図１の電極は不用である。また
別の方法としてガラス基板に他のガラスをスパッタする
ことによって得ることができる。
では導波路としてのＴｉ拡散領域の両側に電極が形成さ
れている。ＬｉＮｂＯ３は電気光学効果を有するので、
両電極に電圧を印加することにより導波路内の屈折率を
変化させることができ、この結果波長が変化する。すな
わち両電極に印加される電圧によって導波路内の光の位
相を変調することができる。共振器はＬｉＮｂＯ３上の
Ｔｉ拡散領域を所定の形状に形成することにより得るこ
とができる。この場合は図１の電極は不用である。また
別の方法としてガラス基板に他のガラスをスパッタする
ことによって得ることができる。
【００１７】本発明に係る導波路のＬｉＮｂＯ３基板は
厚さが１０ｍｍ程度のガラス板の上面に一体に固定され
ている。そしてガラス板の厚さがＬｉＮｂＯ３の厚さよ
り充分に大きいので、全体としての膨張はガラス板の膨
張に支配される。 したがってガラスの素材として線膨張率が５×１０−７
１／℃のオーダーのものを選択すると、導波路の線膨
張率も５×１０−７ １／℃のオーダーになる。このと
き、例えば共振器長１０ｃｍ、光源の波長 １．３μｍ
として、第０００８節と同様の計算をすると、 △Ｌ＝（１０×１０−２）×（５×１０−７）×１＝５
×１０−８〔ｍ〕 ＝０．０３８ 波長となり、温度変化の影響が極めて小
さい。
厚さが１０ｍｍ程度のガラス板の上面に一体に固定され
ている。そしてガラス板の厚さがＬｉＮｂＯ３の厚さよ
り充分に大きいので、全体としての膨張はガラス板の膨
張に支配される。 したがってガラスの素材として線膨張率が５×１０−７
１／℃のオーダーのものを選択すると、導波路の線膨
張率も５×１０−７ １／℃のオーダーになる。このと
き、例えば共振器長１０ｃｍ、光源の波長 １．３μｍ
として、第０００８節と同様の計算をすると、 △Ｌ＝（１０×１０−２）×（５×１０−７）×１＝５
×１０−８〔ｍ〕 ＝０．０３８ 波長となり、温度変化の影響が極めて小
さい。
【００１８】図１の実施例では、ガラス板の下面にペル
チエ効果を奏するペルチエ素子が取付けられ、ペルチエ
素子に流す電流を制御することにより、ガラス板の温度
変化自体を少くするように構成されている。
チエ効果を奏するペルチエ素子が取付けられ、ペルチエ
素子に流す電流を制御することにより、ガラス板の温度
変化自体を少くするように構成されている。
【００１９】図２は本発明に係る光ジャイロの光学部の
第１実施例の斜視図である。ガラス板の上面にＬｉＮｂ
Ｏ３基板が固定され、ＬｉＮｂＯ３基板上に導波路、分
岐導波路、変調器、方向性結合器、共振器等が、Ｔｉ拡
散領域によって形成され、また変調器のため電極ＧがＬ
ｉＮｂＯ３基板上に金属を蒸着することにより形成され
ている。なお図２，図３，図４の実施例の光ジャイロの
原理的構造は図５のブロック図に対応するので、主要部
材について対応する部材には同一の参照番号を付し説明
を省略する。
第１実施例の斜視図である。ガラス板の上面にＬｉＮｂ
Ｏ３基板が固定され、ＬｉＮｂＯ３基板上に導波路、分
岐導波路、変調器、方向性結合器、共振器等が、Ｔｉ拡
散領域によって形成され、また変調器のため電極ＧがＬ
ｉＮｂＯ３基板上に金属を蒸着することにより形成され
ている。なお図２，図３，図４の実施例の光ジャイロの
原理的構造は図５のブロック図に対応するので、主要部
材について対応する部材には同一の参照番号を付し説明
を省略する。
【００２０】図３は本発明に係る光ジャイロの光学部の
第２実施例の斜視図である。この実施例では、第２の光
ジャイロの光学部の共振器１５、方向性結合器１４の部
分と、その光学系の部分を別のＬｉＮｂＯ３基板上に形
成し、両基板をそれぞれガラス板に固定し、さらに両ガ
ラス板にペルチエ素子を取付けたものである。この実施
例は、両部分が独立に交換可能であるという利点を有す
る。
第２実施例の斜視図である。この実施例では、第２の光
ジャイロの光学部の共振器１５、方向性結合器１４の部
分と、その光学系の部分を別のＬｉＮｂＯ３基板上に形
成し、両基板をそれぞれガラス板に固定し、さらに両ガ
ラス板にペルチエ素子を取付けたものである。この実施
例は、両部分が独立に交換可能であるという利点を有す
る。
【００２１】図４は本発明に係る光ジャイロの光学部の
第３実施例の斜視図である。ガラス板の上面にＬｉＮｂ
Ｏ３基板が固定され、ＬｉＮｂＯ３基板上に導波路、分
岐導波路、変調器が、Ｔｉ拡散領域によって形成され、
また変調器のため電極ＧがＬｉＮｂＯ３基板上に金属を
蒸着することにより形成され、方向性結合器、共振器は
ガラス基板上に別のガラスをスパッタすること等により
形成されている。この実施例は両部分が独立に交換可能
であるという利点とともに、共振器自体の線膨張係数を
小さくでき、温度に対する共振点の変動をさらに抑える
ことができる。
第３実施例の斜視図である。ガラス板の上面にＬｉＮｂ
Ｏ３基板が固定され、ＬｉＮｂＯ３基板上に導波路、分
岐導波路、変調器が、Ｔｉ拡散領域によって形成され、
また変調器のため電極ＧがＬｉＮｂＯ３基板上に金属を
蒸着することにより形成され、方向性結合器、共振器は
ガラス基板上に別のガラスをスパッタすること等により
形成されている。この実施例は両部分が独立に交換可能
であるという利点とともに、共振器自体の線膨張係数を
小さくでき、温度に対する共振点の変動をさらに抑える
ことができる。
【００２２】
１） 温度に対して安定な共振器が得られる。
２） 全てリジッドであるので振動・衝撃に強い。
３） 可動部がないので半永久的な寿命となる。
４） 光ジャイロが小形化できる。
【図１】本発明に係る導波路を用いた光ジャイロの好ま
しい実施例における変調器の断面斜視図である。
しい実施例における変調器の断面斜視図である。
【図２】本発明に係る光ジャイロの光学部の第１実施例
の斜視図である。
の斜視図である。
【図３】本発明に係る光ジャイロの光学部の第２実施例
の斜視図である。
の斜視図である。
【図４】本発明に係る光ジャイロの光学部の第３実施例
の斜視図である。
の斜視図である。
【図５】従来技術による共振形光ジャイロの一例のブロ
ック図である。
ック図である。
１ 光源
２ 導波路
３ 方向性結合器
４，５ 導波路
６ 変調器
７ 導波路
８ 変調器
９ 導波路
１０ 方向性結合器
１１ 導波路
１２ 偏光子
１３ 導波路
１４ 方向性結合器
１５ 共振器
１８ 導波路
１９ 偏光子
２０ 導波路
２１ 方向性結合器
２２ 導波路
２３ 受光素子
２６ 変調器
２７ 導波路
２８ 変調器
２９ 導波路
３０ 導波路
３１ 受光素子
３２ 共振点検出回路
３３ 変調器ドライバ
３４ 共振点検出回路
３５ 変調器ドライバ
４０ 周波数カウンタ
４１ 周波数カウンタ
Claims (7)
- 【請求項１】 ＬｉＮｂＯ３基板上にＴｉを拡散させ
て形成した導波路において、このＬｉＮｂＯ３基板がＬ
ｉＮｂＯ３より小さい熱膨張率を有しかつＬｉＮｂＯ３
層より厚いガラス板に固定され、ペルチエ素子によりガ
ラスの温度変化を制御することを特徴とする導波路。 - 【請求項２】 ガラス板の厚さがＬｉＮｂＯ３基板の
厚さの１０倍以上であることを特徴とする請求項１記載
の導波路。 - 【請求項３】 ガラス板が石英ガラスからなることを
特徴とする請求項１記載の導波路。 - 【請求項４】 請求項１記載の導波路を用いて形成し
た共振器。 - 【請求項５】 請求項１記載の導波路を用いて形成し
た変調器。 - 【請求項６】 請求項１記載の導波路を用いて形成し
た光ジャイロ。 - 【請求項７】 請求項５記載の変調器と、ガラス基板
上に別のガラスをスパッタして形成した方向性結合器と
共振器を有し、ペルチエ素子によりガラスの温度を制御
することを特徴とする光ジャイロ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2539291A JPH04357408A (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | 光ジャイロの光学系の構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2539291A JPH04357408A (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | 光ジャイロの光学系の構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04357408A true JPH04357408A (ja) | 1992-12-10 |
Family
ID=12164617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2539291A Pending JPH04357408A (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | 光ジャイロの光学系の構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04357408A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05133757A (ja) * | 1991-11-12 | 1993-05-28 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | リング共振型ジヤイロ |
| JP2007309937A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-29 | Honeywell Internatl Inc | 集積光学回転センサおよび回転レートを検出する方法 |
-
1991
- 1991-01-25 JP JP2539291A patent/JPH04357408A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05133757A (ja) * | 1991-11-12 | 1993-05-28 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | リング共振型ジヤイロ |
| JP2007309937A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-29 | Honeywell Internatl Inc | 集積光学回転センサおよび回転レートを検出する方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7123800B2 (en) | Integrated loop resonator with adjustable couplings and methods of using the same | |
| JP4183716B2 (ja) | 光導波路素子 | |
| JPH08101363A (ja) | 制御可能な複屈折音響−光学的同調可能フィルタ、及びそれにより同調されるレーザ | |
| US6876782B2 (en) | Integrated type optical waveguide device | |
| US6778313B2 (en) | Optical phase modulator and optical equalizer using the same | |
| JP2007025145A (ja) | 光モジュール及び光導波路部品の実装ずれ補償方法 | |
| JPH0672964B2 (ja) | 導波形光干渉計 | |
| JPH05181028A (ja) | 光リング共振器 | |
| JPH08222790A (ja) | レーザ装置 | |
| US6038354A (en) | Optical modulator having a reflection plate mounted on a reflection end with an inclined angle against the reflection end | |
| JPH0422246B2 (ja) | ||
| JP3573180B2 (ja) | マッハ・ツェンダ干渉計アームのポーリング方法 | |
| JPH04357408A (ja) | 光ジャイロの光学系の構造 | |
| Kominato et al. | Silica-based finesse-variable ring resonator | |
| KR100288447B1 (ko) | 광강도변조기및그제조방법 | |
| JPH10293223A (ja) | 光導波路素子 | |
| JPH05224044A (ja) | モニタ付導波路型光デバイス | |
| JPH0588123A (ja) | 可変波長フイルタ | |
| JPH0720413A (ja) | 複合光回路 | |
| JPH0728006A (ja) | 光学バイアス調整方法及び導波路型光変調デバイス並びに導波光への位相差付与方法 | |
| JPH05249419A (ja) | 光導波路型光デバイス | |
| JPH05333296A (ja) | 光制御素子 | |
| JP4161897B2 (ja) | 光導波路素子の位相差調整方法 | |
| JP2814967B2 (ja) | 導波路型光デバイス | |
| JPS6316204A (ja) | マツハ・ツエンダ−形光干渉計 |